TW201337488A - 行走車系統 - Google Patents

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Abstract

行走車系統，是具備：包含行走路(R5、R6、R23)的行走路網、及複數行走車(3)、及行走車控制器。行走車控制器，是具有：異常把握部，是用於把握包含至少行走路(R6)的分岐部(S2)的下游側行走路中的異常；及進入可否判斷部，是在使剛剛通過分岐部(S2)的行走車(3B)進入行走路(R6)，且欲使隨後通過分岐部(S2)的行走車(3A)連續進入行走路(R6)的情況時，當未把握到由異常把握部所得知的異常時，對於行走車(3A)省去朝行走路(R6)的進入可否的判斷，當把握到由異常把握部所得知的異常時，對於行走車(3A)進行朝行走路(R6)的進入可否的判斷。

Description

行走車系統
本發明，是有關於搬運各種處理對象物用的行走車系統。
習知，在半導體裝置及液晶顯示裝置等的製造工場的清淨室，已有供搬運半導體晶圓及玻璃基板等的處理對象物用的行走車系統。在這種行走車系統中，為了提高行走車的行走效率，在行走路網的分岐部及合流部被施加各式各樣的行走控制(例如專利文獻1、2參照)。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2006-313461號公報
[專利文獻2]國際公開第2010/035411號
但是在如上述的行走車系統中，在分岐部的 下游發生任何的異常的話，行走車的擁塞會有從異常發生的位置擴大的情況。
在此，本發明的目的是提供一種行走車系統，是可以達成行走車的行走效率的提高，且在分岐部的下游即使任何的異常發生，仍可以抑制行走車的擁塞範圍的擴大。
本發明的行走車系統，是具備：包含第1行走路和在分岐部從第1行走路分岐的第2行走路及第3行走路的行走路網、及行走於行走路網的複數行走車、及控制行走車的行走用的控制器，控制器，是具有：異常把握手段，是用於把握至少包含第2行走路的分岐部的下游側行走路中的異常用；及進入可否判斷手段，是在使剛剛通過分岐部的行走車進入第2行走路，且欲使隨後通過分岐部的行走車連續進入第2行走路的情況時，當未把握到由異常把握手段所得知的異常的時，對於隨後通過分岐部的行走車可省去朝第2行走路的進入可否的判斷，當把握到由異常把握手段所得知的異常時，對於隨後通過分岐部的行走車進行朝第2行走路的進入可否的判斷。
在此行走車系統中，在使剛剛通過分岐部的行走車進入第2行走路，且欲使隨後通過分岐部的行走車連續進入第2行走路的情況時，若未把握到包含第2行走路的分岐部的下游側行走路中的異常時，是對於欲連續進 入第2行走路的行走車可省去朝第2行走路的進入可否的判斷。由此，可以提高行走車的行走效率。另一方面，該情況時，若把握到包含第2行走路的分岐部的下游側行走路中的異常時，是對於欲連續進入第2行走路的行走車進行朝第2行走路的進入可否的判斷。由此，可以抑制由行走車連續進入包含異常發生的下游側行走路的第2行走路所起因的行走車的擁塞範圍從異常發生的位置擴大。因此，依據此行走車系統的話，可達成行走車的行走效率的提高，且在分岐部的下游即使任何的異常發生，仍可抑制行走車的擁塞範圍的擴大。
異常把握手段，是在被判斷為可進入下游側行走路的預定部的行走車若預定時間未通過預定部時才把握異常也可以。預定部，是第2行走路與其他的行走路合流的下游側合流部也可以。依據這些構成的話，因為不需要為了把握在下游側行走路中的異常而新設感測器等，所以由簡易的構成就可以把握下游側行走路中的異常。
異常把握手段，是預先記憶：成為對於隨後通過分岐部的行走車進行朝第2行走路的進入可否的判斷的對象的分岐部、及成為把握異常的對象的預定部之組合也可以。依據此構成的話，因為實行以關連於分岐部的預定部作為對象把握下游側行走路中的異常用的處理即可，所以可以抑制處理負荷的增大且可以把握下游側行走路中的異常。
異常把握手段，是在已進入第2行走路的行 走車若預定時間車間停止在下游側行走路時才把握異常也可以。依據此構成的話，因為不需要為了把握在下游側行走路中的異常而新設感測器等，由簡易的構成就可以把握下游側行走路中的異常。又，車間停止，是指因為任何的理由使後續的行走車與停止的行走車隔著預定的車間距離停止的意思。
行走車，是在要求通過分岐部進入第2行走路或第3行走路用的進入許可的設定後，若從控制器獲得進入許可的設定時，就通過分岐部進入第2行走路或第3行走路，行走車，是在要求通過分岐部進入第2行走路用的進入許可的設定的情況時，若預定時間未從進入可否判斷手段獲得可進入第2行走路時，就要求通過分岐部進入第3行走路用的進入許可的設定也可以。依據此構成的話，要求通過分岐部進入第2行走路用的進入許可的設定的行走車，是在包含第2行走路的分岐部的下游側行走路發生異常的情況時，因為可迴避在分岐部的前方持續停止，所以可以抑制行走車的擁塞範圍從分岐部擴大。
依據本發明的話，可提供一種行走車系統，可以達成行走車的行走效率的提高，且在分岐部的下游即使任何的異常發生，仍可以抑制行走車的擁塞範圍的擴大。
1‧‧‧行走車系統
2‧‧‧行走路網
3‧‧‧行走車
4‧‧‧行走車控制器(控制器)
5‧‧‧異常把握部(異常把握手段)
6‧‧‧進入可否判斷部(進入可否判斷手段)
R1、R5、R7、R10、R12、R14‧‧‧行走路(第1行走路)
R2、R6、R8、R11、R13、R15、R21~R26‧‧‧行走路(第2行走路、第3行走路、下游側行走路)
S1~S6‧‧‧分岐部
C1~C6‧‧‧合流部(預定部、下游側合流部)
[第1圖]本發明的一實施例的行走車系統的行走路網的俯視圖。
[第2圖]顯示本發明的一實施例的行走車系統的控制系統的構成的方塊圖。
[第3圖]顯示第2圖的行走車控制器的構成的方塊圖。
[第4圖]第1圖的行走路網的一部分放大圖。
[第5圖]顯示第2圖的行走車中的處理程序的流程圖。
[第6圖]顯示第2圖的行走車控制器中的處理程序的流程圖。
以下，對於本發明的最佳的實施例，參照圖面詳細說明。又，在各圖中對於同一或相當部分附加同一符號，並省略重複的說明。
[行走車系統的行走路網的構成]
第1圖，是本發明的一實施例的行走車系統的行走路網的俯視圖。如第1圖所示，行走車系統1，是具備：包含直線狀的行走路R1~R16及曲線狀的行走路R21~R26的行走路網2、及將行走路網2朝箭頭方向行 走的複數行走車3。在各行走路R1~R16、R21~R26中，設有1個或複數點P。行走車3，是藉由從點P讀取位置資訊，來把握行走路網2中的自車的位置。
這種行走車系統1，因為是將半導體晶圓及玻璃基板等的處理對象物從搬運起點朝搬運終點搬運，所以適用於半導體裝置及液晶顯示裝置等的製造工場的清淨室。行走車3，是頂棚行走式無人搬運車，由自車作成從搬運起點朝搬運終點的行走路線，一邊把握行走路網2中的自車的位置，一邊將處理對象物從搬運起點朝搬運終點搬運。搬運起點及搬運終點，是具有對於處理對象物施加各種處理用的平台等。又，行走車3，是有軌道式無人搬運車等其他的形式的無人搬運車也可以。
在行走路網2中，行走路R2及行走路R21，是在分岐部S1從行走路R1分岐。行走路R6及行走路R23，是在分岐部S2從行走路R5分岐。行走路R8及行走路R22，是在分岐部S3從行走路R7分岐。行走路R11及行走路R24，是在分岐部S4從行走路R10分岐。行走路R13及行走路R26，是在分岐部S5從行走路R12分岐。行走路R15及行走路R25，是在分岐部S6從行走路R14至分岐。
在行走路網2中，行走路R2及行走路R22，是在合流部C1與行走路R3合流。行走路R4及行走路R21，是在合流部C2與行走路R5合流。行走路R6及行走路R24，是在合流部C3與行走路R7合流。行走路R9 及行走路R25，是在合流部C4與行走路R10合流。行走路R11及行走路R23，是在合流部C5與行走路R12合流。行走路R15及行走路R26，是在合流部C6與行走路R16合流。
[行走車系統的控制系統的構成]
第2圖，是顯示本發明的一實施例的行走車系統的控制系統的構成的方塊圖。如第2圖所示，行走車系統1的控制系統10，是除了行走車3的行走控制的行走車控制器4以外，更具有搬運要求控制器11、物流控制器12及貯藏庫控制器13。物流控制器12，是行走車控制器4及貯藏庫控制器13的上位控制器，可與各控制器4、13通訊。搬運要求控制器11，是成為可各別與對於處理對象物施加各種處理用的複數平台14通訊。貯藏庫控制器13，是成為可各別與處理對象物一時保管用的複數貯藏庫15通訊。行走車控制器4，是成為可與各行走車3通訊。
搬運要求控制器11，是從平台14收訊到處理對象物的搬運要求(搬入要求及搬出要求)的話，就將該搬運要求朝物流控制器12發訊。收訊到該搬運要求的物流控制器12，是依據需要，將處理對象物的入出庫要求朝貯藏庫控制器13發訊。收訊到該入出庫要求的貯藏庫控制器13，是將入出庫指令朝貯藏庫15發訊。收訊到該入出庫指令的貯藏庫15，是由預定的時間點對於行走車3 進行處理對象物的入出庫。
從搬運要求控制器11收訊到搬運要求的物流控制器12，是將該搬運要求朝行走車控制器4發訊。收訊到該搬運要求的行走車控制器4，是將搬運指令朝行走車3發訊。收訊到該搬運指令的行走車3，是由自車作成從搬運起點的平台14朝搬運終點的平台14的行走路線，一邊把握行走路網2中的自車的位置，一邊將處理對象物從搬運起點的平台14朝搬運終點的平台14搬運。此時，行走車3，是藉由從設在行走路網2中的點P讀取位置資訊，來把握行走路網2中的自車的位置，隨時將自車的位置資訊朝行走車控制器4發訊。
第3圖，是顯示第2圖的行走車控制器的構成的方塊圖。如第3圖所示，行走車控制器4，是由CPU、ROM、RAM等所構成的電子控制單元，至少具有異常把握部(異常把握手段)5及進入可否判斷部(進入可否判斷手段)6。行走車控制器4，是由軟體構成異常把握部5及進入可否判斷部6，藉由將被容納於ROM的程式裝載至RAM上，由CPU實行。又，行走車控制器4的各處理部，是由硬體所構成也可以。
異常把握部5，是用於把握從各分岐部S1~S6分岐的行走路R2、R6、R8、R11、R13、R15、R21~R26中的異常。進入可否判斷部6，是在行走車3欲通過各分岐部S1~S6的情況時，對應由異常把握部5所得知的異常的把握狀態，對於欲通過各分岐部S1~S6的行走 車3進行朝行走路R2、R6、R8、R11、R13、R15、R21~R26的進入可否的判斷。對於異常把握部5及進入可否判斷部6，是在下述的[行走車控制器中的處理程序]，更詳細說明。
[行走車中的處理程序]
以如第4圖所示的分岐部S2及合流部C3的周邊領域為例，一邊參照第5圖的流程圖一邊，說明行走車3A中的處理程序。首先，使用行走路R6、R23的一方作成行走路線的行走車3A，若在行走路R5接近分岐部S2的話，就朝行走車控制器4發訊進入許可的設定要求(步驟S51)。此進入許可的設定要求，是朝行走車控制器4要求通過分岐部S2進入行走路R6、R23的一方用的進入許可的設定。
且從行走車控制器4獲得進入許可的設定的情況時(步驟S52)，行走車3A，是通過分岐部S2，進入已獲得進入許可的設定之行走路R6或行走路R23(步驟S53)。接著，已通過分岐部S2的行走車3A，是朝行走車控制器4發訊要求進入許可的解除(步驟S54)。
另一方面，未從行走車控制器4獲得進入許可的設定的情況時(步驟S52)，行走車3A，是停止分岐部S2的前方，未經過預定時間(例如發訊從要求進入許可的設定之後的預定時間)時(步驟S55)，實行步驟S52的處理。且，經過預定時間時(步驟S55)，行走車3A，是重新使 用行走路R6、R23的另一方作成行走路線，朝行走車控制器4發訊要求別的進入許可的設定(步驟S51)，實行步驟S52之後的處理。此別的進入許可的設定要求，是朝行走車控制器4要求通過分岐部S2朝行走路R6、R23的另一方進入用的進入許可的設定。
如以上，行走車3A，是未從行走車控制器4獲得通過分岐部S2朝行走路R6、R23的一方進入用的進入許可的設定的情況時，朝行走車控制器4要求通過分岐部S2朝行走路R6、R23的另一方進入用的進入許可的設定。
[行走車控制器中的處理程序]
以如第4圖所示的分岐部S2及合流部C3的周邊領域為例，一邊參照第6圖的流程圖一邊，說明行走車控制器4中的處理程序。前提是，行走車控制器4的異常把握部5，是監視各行走路R6、R23中的異常的有無。在此前提下，在行走路R5若行走車控制器4收訊到從接近分岐部S2的行走車3A要求進入許可的設定的話(步驟S61)，行走車控制器4的進入可否判斷部6，是判斷行走車3A(隨後通過分岐部S2的行走車3)欲進入的行走路R6、R23的一方，是否與行走車3B(剛剛通過分岐部S2的行走車3)已進入的行走路R6或行走路R23相同(步驟S62)。此判斷處理，是依據從行走車3B最終的收訊到的進入許可的設定要求、及從行走車3A收訊到的進入許可的設 定要求進行。
步驟S62的判斷處理的結果，行走車3A欲進入的行走路R6、R23的一方，是與行走車3B已進入的行走路R6或行走路R23不同的情況(例如行走車3B已進入行走路R23之後(第4圖的二點鎖線參照)，行走車3A欲進入行走路R6的情況)時，進入可否判斷部6，是判斷是否對於行走路R6、R23的一方進行進入許可的解除(步驟S63)。其結果，未進行進入許可的解除的情況時，返回至步驟S62的處理，已進行了進入許可的解除的情況時，進入可否判斷部6，是對於行走路R6、R23的一方進行進入許可的設定(步驟S64)。
如此，進入可否判斷部6，若行走車3A欲進入的行走路R6、R23的一方，是與行走車3B已進入的行走路R6或行走路R23不同的情況時，可不依存由異常把握部5所得知的異常的把握狀態，對於行走車3A進行朝行走路R6、R23的一方的進入可否的判斷(在此為步驟S63的判斷處理)。
另一方面，步驟S62的判斷處理的結果，行走車3A欲進入的行走路R6、R23的一方，是與行走車3B已進入的行走路R6或行走路R23相同的情況(例如行走車3B已進入行走路R6之後(第4圖的實線參照)，行走車3A欲進入行走路R6的情況)時，進入可否判斷部6，是藉由異常把握部5判斷行走路R6、R23的一方中的異常是否被把握(步驟S65)。其結果，異常未被把握的情況 時，進入可否判斷部6，就不判斷是否進行進入許可的解除，就對於行走路R6、R23的一方進行進入許可的設定(步驟S64)。
如此，進入可否判斷部6，是行走車3A欲進入的行走路R6、R23的一方，是與行走車3B已進入的行走路R6或行走路R23相同的情況時，若未把握到由異常把握部5所得知的異常時，可省去對於行走車3A進行朝行走路R6、R23的一方的進入可否的判斷(在此為步驟S63的判斷處理)。
另一方面，步驟S65的判斷處理的結果，異常被把握的情況時，進入可否判斷部6，是判斷是否對於行走路R6、R23的一方進行進入許可的解除(步驟S63)。其結果，未進行進入許可的解除的情況時，返回至步驟S62的處理，已進行了進入許可的解除的情況時，進入可否判斷部6，是對於行走路R6、R23的一方進行進入許可的設定(步驟S64)。
如此，進入可否判斷部6，若行走車3A欲進入的行走路R6、R23的一方，是與行走車3B已進入的行走路R6或行走路R23相同的情況時，在由異常把握部5所得知的異常的把握時，對於行走車3A進行朝行走路R6、R23的一方的進入可否的判斷(在此為步驟S63的判斷處理)。
且對於行走路R6、R23的一方進行進入許可的設定的行走車控制器4，是從通過分岐部S2的行走車 3A收訊到進入許可的解除要求的話(步驟S66)，進行進入許可的解除(步驟S67)。
接著，說明異常把握部5中的異常的把握處理。前提是，異常把握部5，是預先記憶成為進行進入可否的判斷的對象的分岐部S1~S6、及成為把握異常的對象的合流部C1~C6的組合。如第1圖所示，在分岐部S1中，在其下游側與最初設置的合流部C1、C2被附加關連，異常把握部5，是記憶被附加關連的分岐部S1及合流部C1、C2的組合。同樣地，異常把握部5，是記憶：分岐部S2及合流部C3、C5的組合、及分岐部S3及合流部C1的組合、及分岐部S4及合流部C3、C5的組合、及分岐部S5及合流部C6的組合、及分岐部S6及合流部C4、C6的組合。
在此前提下，異常把握部5，是如下實行異常的把握處理。例如，如第4圖所示，對於行走於行走路R6的行走車3C在朝合流部C3的進入許可的設定被進行的狀態下，在行走車3C發生異常使行走車3C停止的情況時，異常把握部5，當行走車3C預定時間未通過合流部C3時，就把握在行走路R6發生的異常。
進一步，在如上述的狀態下，在行走車3C發生異常使行走車3C停止的情況時，異常把握部5，當已進入行走路R6的行走車3B若預定時間車間停止在行走路R6時，才把握在行走路R6發生的異常。即，異常把握部5，當已進入行走路R6的行走車3B，是與停止的行 走車3C隔著預定的車間距離停止，且在該狀態下經過了預定時間時，就藉由與行走車3B的通訊，把握在行走路R6發生的異常。
以上的行走路R6中的異常的把握資訊，是對於欲通過作為與合流部C3的組合被記憶的分岐部S2的行走車3A，進行朝行走路R6、R23的一方的進入可否的判斷時(在由上述的進入可否判斷部6所得知的步驟S65的判斷處理中)被利用。
[作用及效果]
依據如以上構成的行走車系統1的話，如下述，可達成行走車3的行走效率的提高，且在分岐部S1~S6的下游任何的異常即使發生，仍可抑制行走車3的擁塞範圍的擴大。
即，在行走車系統1中，在使剛剛通過分岐部S2的行走車3B進入行走路R6，且欲使隨後通過分岐部S2的行走車3A連續進入行走路R6的情況時，若未被把握到行走路R6中的異常時，可省去對於欲連續進入行走路R6的行走車3A進行朝行走路R6的進入可否的判斷。同樣地，在使剛剛通過分岐部S2的行走車3B進入行走路R23，且欲使隨後通過分岐部S2的行走車3A連續進入行走路R23的情況時，若未把握到行走路R23中的異常時，可省去對於欲連續進入行走路R23的行走車3A進行朝行走路R23的進入可否的判斷。以上的作用，是對於分 岐部S1、S3~S6也同樣。由此，可以提高行走車3的行走效率。
在行走車系統1中，在使剛剛通過分岐部S2的行走車3B進入行走路R6，且欲使隨後通過分岐部S2的行走車3A連續進入行走路R6的情況時，若有把握到行走路R6中的異常時，就對於欲連續進入行走路R6的行走車3A進行朝行走路R6的進入可否的判斷。同樣地，在使剛剛通過分岐部S2的行走車3B進入行走路R23，且欲使隨後通過分岐部S2的行走車3A連續進入行走路R23的情況時，若有把握到行走路R23中的異常時，就對於欲連續進入行走路R23的行走車3A進行朝行走路R23的進入可否的判斷。以上的作用，是對於分岐部S1、S3~S6也同樣。由此，可以抑制行走車3連續進入異常發生的分岐部S1~S6的下游側的行走路R2、R6、R8、R11、R13、R15、R21~R26(以下稱為「行走路R2等」)所起因的行走車3的擁塞範圍從異常發生的位置擴大。
行走車控制器4的異常把握部5，當被判斷為可進入分岐部S2的下游側的合流部C3的行走車3C若預定時間未通過合流部C3時才把握行走路R6中的異常。同樣地，異常把握部5，當被判斷為可進入分岐部S2的下游側的合流部C5的行走車3若預定時間未通過合流部C5時才把握行走路R23中的異常。以上的作用，是對於分岐部S1、S3~S6也同樣。由此，因為不需要為了把握分岐部S1~S6的下游側的行走路R2等中的異常而新設 感測器等，由簡易的構成就可以把握行走路R2等中的異常。
異常把握部5，是預先記憶：成為進行進入可否的判斷的對象的分岐部S1~S6、及成為把握異常的對象的合流部C1~C6的組合。由此，因為實行以被與分岐部S1~S6附加關連的合流部C1~C6作為對象進行把握行走路R2等中的異常用的處理即可，所以可以抑制處理負荷的增大且把握行走路R2等中的異常。
異常把握部5，當已進入分岐部S1~S6的下游側的行走路R2等的行走車3B若預定時間車間停止於行走路R2等時才把握異常。由此，因為不需要為了把握分岐部S1~S6的下游側的行走路R2等中的異常而新設感測器等，由簡易的構成就可以把握行走路R2等中的異常。
行走車3A，是要求通過分岐部S2進入行走路R6、R23的一方用的進入許可的設定的情況時，若行走車控制器4的進入可否判斷部6預定時間未判斷出可進入行走路R6、R23的一方時，就要求通過分岐部S2進入行走路R6、R23的另一方用的進入許可的設定。由此，要求通過分岐部S2進入行走路R6、R23的一方用的進入許可的設定的行走車3A，當在行走路R6、R23的一方異常發生的情況時，可迴避持續停止於分岐部S2的前方。以上的作用，是對於分岐部S1、S3~S6也同樣。因此，可以抑制行走車3的擁塞範圍從分岐部S1~S6擴大。
以上，雖說明了本發明的一實施例，但是本發明，不限定於上述實施例。例如，行走車控制器4的異常把握部5，不限定於把握行走路R2等(例如對於分岐部S1為行走路R2或行走路R21)中的異常，把握至少包含行走路R2等的分岐部S1~S6的下游側行走路(例如對於分岐部S1為行走路R2、R3或行走路R21、R5)中的異常也可以。且，異常把握部5，是當被判斷為可進入至少包含行走路R2等的分岐部S1~S6的下游側行走路的預定部(合流部C1~C6以外，也有行走路R2等朝複數其他的行走路分岐的情況時的該部分岐部、和設有點P的部分等)的行走車3若預定時間未通過該預定部時，才把握該下游側行走路中的異常也可以。
[產業上的可利用性]
依據本發明的話，可提供一種行走車系統，可以達成行走車的行走效率的提高，且在分岐部的下游即使任何的異常發生，仍可以抑制行走車的擁塞範圍的擴大。
3、3A、3B、3C‧‧‧行走車
R5、R7‧‧‧行走路
R6、R23、R24‧‧‧行走路
S2‧‧‧分岐部
C3‧‧‧合流部
P‧‧‧點

Claims (6)

  1. 一種行走車系統，具備：包含第1行走路和在分岐部從前述第1行走路分岐的第2行走路及第3行走路的行走路網、及行走於前述行走路網的複數行走車、及控制前述行走車的行走用的控制器，前述控制器，是具有：異常把握手段，是用於把握至少包含前述第2行走路的前述分岐部的下游側行走路中的異常；及進入可否判斷手段，是在使剛剛通過前述分岐部的前述行走車進入前述第2行走路，且欲使隨後通過前述分岐部的前述行走車連續進入前述第2行走路的情況時，當未把握到由前述異常把握手段所得知的前述異常時，對於隨後通過前述分岐部的前述行走車省去朝前述第2行走路的進入可否的判斷，當把握到由前述異常把握手段所得知的前述異常時，對於隨後通過前述分岐部的前述行走車進行朝前述第2行走路的進入可否的判斷。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之行走車系統，其中，前述異常把握手段，是對於前述下游側行走路的預定部若被判斷為可進入的前述行走車預定時間未通過前述預定部時才把握前述異常。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之行走車系統，其中，前述預定部，是前述第2行走路與其他的行走路合流的下游側合流部。
  4. 如申請專利範圍第2或3項所述之行走車系統，其中，前述異常把握手段，是預先記憶：對於隨後通過前述分岐部的前述行走車成為進行朝前述第2行走路的進入可否的判斷的對象的前述分岐部、及成為把握前述異常的對象的前述預定部之組合。
  5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之行走車系統，其中，前述異常把握手段，是在已進入前述第2行走路的前述行走車若預定時間車間停止於前述下游側行走路時才把握前述異常。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之行走車系統，其中，前述行走車，是在要求通過前述分岐部進入前述第2行走路或前述第3行走路用的進入許可的設定後，若從前述控制器獲得進入許可的設定時，就通過前述分岐部進入前述第2行走路或前述第3行走路，前述行走車，是在要求通過前述分岐部進入前述第2行走路用的前述進入許可的設定的情況時，若預定時間未從前述進入可否判斷手段獲得可進入前述第2行走路時，就要求通過前述分岐部進入前述第3行走路用的前述進入許可的設定。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI705034B (zh) * 2016-02-10 2020-09-21 日商大福股份有限公司 物品搬送設備
TWI801519B (zh) * 2018-03-15 2023-05-11 日商村田機械股份有限公司 行走車控制器及行走車系統

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10077060B2 (en) * 2012-07-11 2018-09-18 Carnegie Mellon University Railroad interlocking system with distributed control
US9043056B2 (en) 2013-07-08 2015-05-26 Disney Enterprises, Inc. Method and system for using dynamic boundaries to manage the progression of ride vehicles that have rider control inputs
JP6270518B2 (ja) * 2014-02-05 2018-01-31 日立建機株式会社 作業車両の管制システム
US9389614B2 (en) * 2014-04-08 2016-07-12 Unitronics Automated Solutions Ltd System and method for tracking guiding lines by an autonomous vehicle
WO2015186440A1 (ja) * 2014-06-02 2015-12-10 村田機械株式会社 走行車システム及び走行車の制御方法
JP6331896B2 (ja) * 2014-09-02 2018-05-30 村田機械株式会社 走行車システム
CN105158654B (zh) * 2015-08-24 2017-09-26 大连世有电力科技有限公司 用于变压器局部放电诊断的智能机器人
CN108352349B (zh) * 2015-12-09 2022-07-22 村田机械株式会社 输送系统和输送方法
JP6520797B2 (ja) * 2016-04-11 2019-05-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US9921582B2 (en) * 2016-04-20 2018-03-20 GM Global Technology Operations LLC Reconfigurable automated guided vehicle system
JP6652084B2 (ja) * 2017-02-09 2020-02-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6601805B2 (ja) * 2017-04-28 2019-11-06 株式会社Ｓｕｂａｒｕ 車両
JP6963908B2 (ja) * 2017-05-09 2021-11-10 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6825532B2 (ja) * 2017-10-12 2021-02-03 株式会社ダイフク 搬送システム
US10401870B1 (en) * 2018-11-15 2019-09-03 Grey Orange Pte. Ltd. System and method for handling items using movable-bots
JP7081567B2 (ja) * 2019-05-20 2022-06-07 株式会社ダイフク 物品搬送装置
CN110938807B (zh) * 2019-11-26 2022-10-21 北京北方华创微电子装备有限公司 Pvd溅射设备的晶圆按指定路径回盘的控制方法及系统
JP7334633B2 (ja) * 2020-01-31 2023-08-29 株式会社ダイフク 物品搬送装置
WO2021241046A1 (ja) * 2020-05-27 2021-12-02 村田機械株式会社 台車システム、及び台車制御方法
CN112320257A (zh) * 2020-10-28 2021-02-05 浙江瑞晟智能科技股份有限公司 载具变轨检测方法及系统
CN116453993B (zh) * 2023-06-15 2023-09-08 上海果纳半导体技术有限公司 天车搬运系统、搬运方法和可存储介质

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4503333B2 (ja) * 2004-03-30 2010-07-14 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP2006313461A (ja) 2005-05-09 2006-11-16 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP2007257154A (ja) * 2006-03-22 2007-10-04 Asyst Shinko Inc 搬送車管理装置、搬送車管理システム、搬送車管理方法及び搬送車管理プログラム
JP4306723B2 (ja) * 2006-12-15 2009-08-05 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP4240333B2 (ja) * 2007-05-01 2009-03-18 村田機械株式会社 走行車システム
CN100494900C (zh) * 2007-07-03 2009-06-03 北京控制工程研究所 适用于自主移动车辆的环境感知的单目视觉导航方法
JP5071695B2 (ja) * 2008-05-22 2012-11-14 村田機械株式会社 走行車システムと走行車システムでの走行制御方法
JP5019540B2 (ja) 2008-07-01 2012-09-05 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送車
CN102160007B (zh) 2008-09-26 2013-07-24 村田机械株式会社 搬运车系统
JP4811454B2 (ja) * 2008-12-02 2011-11-09 村田機械株式会社 搬送台車システム及び搬送台車への走行経路の指示方法
CN101963812B (zh) * 2009-07-24 2013-02-20 株式会社Ihi 无人输送装置和其输送路径决定方法
JP5104909B2 (ja) * 2010-06-23 2012-12-19 村田機械株式会社 搬送車システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI705034B (zh) * 2016-02-10 2020-09-21 日商大福股份有限公司 物品搬送設備
TWI801519B (zh) * 2018-03-15 2023-05-11 日商村田機械股份有限公司 行走車控制器及行走車系統

Also Published As

Publication number Publication date
CN104067191B (zh) 2016-04-27
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KR101603086B1 (ko) 2016-03-14
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SG11201404187WA (en) 2014-10-30
KR20140088157A (ko) 2014-07-09
TWI584092B (zh) 2017-05-21
JP5748006B2 (ja) 2015-07-15
EP2806323A4 (en) 2015-08-05
CN104067191A (zh) 2014-09-24

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