WO2013108501A1 - 走行車システム - Google Patents

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WO2013108501A1
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一見 原崎
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村田機械株式会社
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    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
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    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67288Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like

Definitions

  • the present invention relates to a traveling vehicle system for conveying various objects to be processed.
  • a traveling vehicle system for transporting a processing object such as a semiconductor wafer and a glass substrate in a clean room of a manufacturing factory for semiconductor devices and liquid crystal display devices is known.
  • various traveling controls are performed at the branching portion and the merging portion of the traveling route network (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
  • JP 2006-31461 A International Publication No. 2010/035411
  • the traffic congestion of the traveling vehicle may increase from the position where the abnormality has occurred.
  • the present invention provides a traveling vehicle system capable of suppressing an increase in the congestion range of a traveling vehicle even if any abnormality occurs downstream of a branching portion while improving traveling efficiency of the traveling vehicle. With the goal.
  • the traveling vehicle system of the present invention includes a first traveling path, a traveling path network including a second traveling path and a third traveling path branched from the first traveling path at a branching portion, and a plurality of traveling traveling on the traveling path network.
  • a controller for controlling the traveling of the traveling vehicle, and the controller passes through the branching unit immediately before the abnormality grasping means for grasping an abnormality in the downstream traveling path of the branching unit including at least the second traveling path.
  • the branching section is For the traveling vehicle that passes immediately after, the judgment of whether or not to enter the second traveling path is omitted, and when the abnormality is grasped by the abnormality grasping means, the judgment as to whether or not the traveling vehicle that passes immediately after the branching section enters the second traveling path is made. Hand to determine whether to enter And, with a.
  • the abnormality grasping means may grasp the abnormality when the traveling vehicle determined to be allowed to enter the predetermined part of the downstream traveling path does not pass through the predetermined part for a predetermined time.
  • the predetermined portion may be a downstream merging portion where the second traveling path merges with another traveling path.
  • the abnormality grasping means stores in advance a combination of a branching unit that is a target for determining whether the traveling vehicle that passes immediately after the branching unit is allowed to enter the second traveling path and a predetermined unit that is a target for grasping the abnormality. It may be. According to this configuration, since it is only necessary to execute processing for grasping the abnormality in the downstream traveling path for the predetermined portion associated with the branching section, the downstream traveling path can be suppressed while suppressing an increase in processing load. Can grasp abnormalities.
  • the abnormality grasping means may grasp the abnormality when the traveling vehicle that has entered the second traveling path stops for a predetermined time on the downstream traveling path. According to this configuration, since it is not necessary to newly provide a sensor or the like in order to grasp the abnormality in the downstream traveling road, it is possible to grasp the abnormality in the downstream traveling road with a simple configuration.
  • the inter-vehicle stop means that the following traveling vehicle stops at a predetermined inter-vehicle distance from the traveling vehicle stopped for some reason.
  • the traveling vehicle makes an entry permission setting request for entering the second traveling path or the third traveling path through the branching section, and passes the branching section when the entry permission setting is performed by the controller.
  • the vehicle enters the second travel path or the third travel path, and the traveling vehicle makes an entry permission determination when it makes an entry permission setting request for entering the second travel path through the bifurcation. If it is not determined by the means that it is possible to enter the second travel path for a predetermined time, an entry permission setting request for passing through the branching section and entering the third travel path may be made.
  • the traveling vehicle that has made the entry permission setting request for entering the second travel path through the branch section has an abnormality on the downstream travel path of the branch section including the second travel path. When it occurs, it is avoided that the vehicle stops continuously before the branching portion, so that it is possible to suppress an increase in the traffic jam range of the traveling vehicle from the branching portion.
  • the present invention it is possible to provide a traveling vehicle system capable of suppressing an increase in the congestion range of a traveling vehicle even if any abnormality occurs downstream of a branching portion while improving traveling efficiency of the traveling vehicle. Is possible.
  • FIG. 1 is a plan view of a traveling route network of a traveling vehicle system according to an embodiment of the present invention.
  • the traveling vehicle system 1 includes a traveling road network 2 including linear traveling paths R1 to R16 and curved traveling paths R21 to R26, and a plurality of traveling road networks 2 traveling in the direction of the arrow. Traveling vehicle 3.
  • Each travel path R1 to R16, R21 to R26 is provided with one or more points P.
  • the traveling vehicle 3 grasps the position of the own vehicle in the traveling road network 2 by reading the position information from the point P.
  • Such a traveling vehicle system 1 is applied to a clean room of a manufacturing factory such as a semiconductor device and a liquid crystal display device in order to transfer a processing object such as a semiconductor wafer and a glass substrate from a transfer source to a transfer destination.
  • the traveling vehicle 3 is an overhead traveling unmanned transport vehicle that creates a travel route from the transport source to the transport destination by the own vehicle and transports the processing object while grasping the position of the own vehicle in the travel route network 2. Transport from the source to the destination. As the transfer source and transfer destination, there are stations for performing various processes on the processing object.
  • the traveling vehicle 3 may be another type of automatic guided vehicle such as a tracked automatic guided vehicle.
  • the traveling route R2 and the traveling route R21 branch from the traveling route R1 at the branching portion S1.
  • the traveling road R6 and the traveling road R23 branch off from the traveling road R5 at the branch portion S2.
  • the traveling road R8 and the traveling road R22 branch off from the traveling road R7 at the branch portion S3.
  • the traveling road R11 and the traveling road R24 branch off from the traveling road R10 at the branch portion S4.
  • the traveling road R13 and the traveling road R26 branch off from the traveling road R12 at the branch portion S5.
  • the traveling road R15 and the traveling road R25 branch off from the traveling road R14 at the branch portion S6.
  • the travel path R2 and the travel path R22 merge with the travel path R3 at the junction C1.
  • the traveling path R4 and the traveling path R21 merge with the traveling path R5 at the junction C2.
  • the traveling path R6 and the traveling path R24 merge with the traveling path R7 at the junction C3.
  • the traveling path R9 and the traveling path R25 merge with the traveling path R10 at the junction C4.
  • the travel path R11 and the travel path R23 merge with the travel path R12 at the junction C5.
  • the traveling path R15 and the traveling path R26 merge with the traveling path R16 at the junction C6.
  • FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the control system of the traveling vehicle system according to the embodiment of the present invention.
  • the control system 10 of the traveling vehicle system 1 includes a transport request controller 11, a distribution controller 12, and a stocker controller 13 in addition to the traveling vehicle controller 4 that controls traveling of the traveling vehicle 3.
  • the physical distribution controller 12 is a host controller of the traveling vehicle controller 4 and the stocker controller 13 and can communicate with the controllers 4 and 13.
  • the transport request controller 11 can communicate with each of a plurality of stations 14 for performing various processes on the processing target.
  • the stocker controller 13 can communicate with each of the plurality of stockers 15 for temporarily storing the processing object.
  • the traveling vehicle controller 4 can communicate with each traveling vehicle 3.
  • the transport request controller 11 When the transport request controller 11 receives a transport request (carry-in request and carry-out request) of the processing object from the station 14, the transport request controller 11 transmits the transport request to the physical distribution controller 12.
  • the logistics controller 12 that has received the transport request transmits a request for loading / unloading the processing object to the stocker controller 13 as necessary.
  • the stocker controller 13 that has received the entry / exit request transmits an entry / exit command to the stocker 15.
  • the stocker 15 that has received the loading / unloading command loads / unloads the processing object to / from the traveling vehicle 3 at a predetermined timing.
  • the logistics controller 12 that has received the transport request from the transport request controller 11 transmits the transport request to the traveling vehicle controller 4.
  • the traveling vehicle controller 4 that has received the transportation request transmits a transportation command to the traveling vehicle 3.
  • the traveling vehicle 3 that has received the transportation instruction creates a traveling route from the transportation source station 14 to the transportation destination station 14 with its own vehicle, and grasps the position of the own vehicle in the traveling route network 2 while processing the object to be processed. Are transferred from the transfer source station 14 to the transfer destination station 14.
  • the traveling vehicle 3 reads the position information from the point P provided on the traveling road network 2 to grasp the position of the own vehicle in the traveling road network 2, and sends the position information of the own vehicle to the traveling vehicle controller 4. Send from time to time.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the traveling vehicle controller of FIG.
  • the traveling vehicle controller 4 is an electronic control unit including a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and includes at least an abnormality grasping unit (abnormality grasping unit) 5 and an entry availability determination unit (entry availability determination unit). 6.
  • the traveling vehicle controller 4 loads the program stored in the ROM onto the RAM and executes it by the CPU, thereby configuring the abnormality grasping unit 5 and the entry possibility determination unit 6 with software.
  • each process part of the traveling vehicle controller 4 may be comprised with hardware.
  • the abnormality grasping unit 5 grasps abnormalities in the traveling paths R2, R6, R8, R11, R13, R15, R21 to R26 branching from the respective branch portions S1 to S6.
  • the approach propriety determination unit 6 travels about to pass through each of the branch portions S1 to S6 according to the grasping state of the abnormality by the abnormality grasping portion 5.
  • a determination is made as to whether or not the vehicle 3 is allowed to enter the travel paths R2, R6, R8, R11, R13, R15, R21 to R26.
  • the abnormality grasping unit 5 and the entry permission / inhibition determining unit 6 will be described in more detail in the following [Procedure for the traveling vehicle controller]. [Treatment procedures for traveling vehicles]
  • a processing procedure in the traveling vehicle 3A will be described with reference to the flowchart of FIG. First, when the traveling vehicle 3A that has created a traveling route using one of the traveling routes R6 and R23 approaches the branching portion S2 on the traveling route R5, the traveling vehicle controller 4 transmits an entry permission setting request to the traveling vehicle controller 4 (step S51).
  • This entry permission setting request requests the traveling vehicle controller 4 to set the entry permission for passing through the branch portion S2 and entering one of the traveling paths R6 and R23.
  • the traveling vehicle 3A passes through the branch portion S2 and the traveling path R6 or the traveling path where the entry permission is set. Enter R23 (step S53). Subsequently, the traveling vehicle 3A that has passed through the branch portion S2 transmits an entry permission release request to the traveling vehicle controller 4 (step S54).
  • step S52 if the entry permission is not set by the traveling vehicle controller 4 (step S52), the traveling vehicle 3A stops before the branch portion S2 and transmits a setting request for entry permission (for example, an entry permission setting request).
  • a setting request for entry permission for example, an entry permission setting request.
  • step S55 the process of step S52 is executed.
  • step S55 the traveling vehicle 3A recreates a traveling route that uses the other of the traveling routes R6 and R23, and transmits another entry permission setting request to the traveling vehicle controller 4 ( Step S51), the processing after step S52 is executed.
  • This another entry permission setting request requests the traveling vehicle controller 4 to set an entry permission for passing through the branch portion S2 and entering the other of the traveling paths R6 and R23.
  • the traveling vehicle controller 4 when the traveling vehicle controller 4 does not set the entry permission for the traveling vehicle 3A to enter one of the traveling paths R6 and R23 through the branching portion S2, the traveling vehicle 3A The traveling vehicle controller 4 is requested to set entry permission for passing through and entering the other of the traveling paths R6 and R23. [Processing procedure in the vehicle controller]
  • the abnormality grasping unit 5 of the traveling vehicle controller 4 monitors the presence or absence of abnormality in each of the traveling paths R6 and R23.
  • the traveling vehicle controller 4 receives an entry permission setting request from the traveling vehicle 3A approaching the branch section S2 on the traveling path R5 (step S61)
  • the entry permission determination unit 6 of the traveling vehicle controller 4 Travel in which one of the traveling paths R6 and R23 to which the traveling vehicle 3A (the traveling vehicle 3 passing immediately after the branching portion S2) enters is entered by the traveling vehicle 3B (the traveling vehicle 3 passing immediately before the branching portion S2). It is determined whether it is the same as the road R6 or the traveling road R23 (step S62). This determination process is performed based on the entry permission setting request finally received from the traveling vehicle 3B and the entry permission setting request received from the traveling vehicle 3A.
  • step S62 when one of the travel paths R6 and R23 to which the traveling vehicle 3A is about to enter is different from the travel path R6 or the travel path R23 into which the traveling vehicle 3B has entered (for example, the traveling vehicle 3B is traveling After entering R23 (refer to the two-dot chain line in FIG. 4), when the traveling vehicle 3A is about to enter the traveling path R6), the entry permission / inhibition determining unit 6 permits entry of one of the traveling paths R6 and R23. It is determined whether or not cancellation has been performed (step S63). As a result, if the entry permission has not been released, the process returns to step S62. If the entry permission has been released, the entry permission / inhibition determining unit 6 determines whether one of the traveling paths R6 and R23 is present. The entry permission is set for (Step S64).
  • the entry determination unit 6 determines whether the traveling vehicle 3A is about to enter when one of the traveling roads R6 and R23 is different from the traveling road R6 or the traveling road R23 into which the traveling vehicle 3B has entered. Whether or not the traveling vehicle 3A can enter one of the traveling paths R6 and R23 is determined (in this case, the determination process in step S63).
  • step S62 when one of the traveling paths R6 and R23 to which the traveling vehicle 3A is about to enter is the same as the traveling path R6 or the traveling path R23 into which the traveling vehicle 3B has entered (for example, the traveling vehicle 3B After entering the travel path R6 (see the solid line in FIG. 4), when the traveling vehicle 3A is about to enter the travel path R6), the entrance determination unit 6 determines whether the travel paths R6 and R23 It is determined whether or not one of the abnormalities is grasped (step S65). As a result, when the abnormality is not grasped, the entry permission determination unit 6 sets the entry permission for one of the traveling paths R6 and R23 without determining whether or not the entry permission is canceled. This is performed (step S64).
  • the entry determination unit 6 determines whether the traveling vehicle 3A is about to enter the abnormality grasping unit 5 when one of the traveling roads R6 and R23 is the same as the traveling road R6 or the traveling road R23 into which the traveling vehicle 3B has entered.
  • the determination of whether or not the traveling vehicle 3A can enter one of the traveling paths R6 and R23 is omitted.
  • step S65 if an abnormality is grasped, the approach permission determination unit 6 determines whether or not the entry permission is canceled for one of the travel paths R6 and R23 ( Step S63). As a result, if the entry permission has not been released, the process returns to step S62. If the entry permission has been released, the entry permission / inhibition determining unit 6 determines whether one of the traveling paths R6 and R23 is present. The entry permission is set for (Step S64).
  • the entry determination unit 6 determines whether the traveling vehicle 3A is about to enter the abnormality grasping unit 5 when one of the traveling roads R6 and R23 is the same as the traveling road R6 or the traveling road R23 into which the traveling vehicle 3B has entered. At the time of grasping the abnormality, the determination is made as to whether or not the traveling vehicle 3A can enter one of the traveling paths R6 and R23 (in this case, the determination process in step S63).
  • Step S66 when the traveling vehicle controller 4 that has set the entry permission for one of the traveling paths R6 and R23 receives a request for canceling the entry permission from the traveling vehicle 3A that has passed through the branch portion S2 (step S66), the entry permission is canceled. (Step S67).
  • the abnormality grasping unit 5 stores in advance combinations of the branching portions S1 to S6 that are targets for determining whether or not to enter and the merging portions C1 to C6 that are targets for grasping the abnormality.
  • the junction portion C1 and C2 that are initially provided on the downstream side of the branch portion S1 are associated with each other, and the abnormality grasping portion 5 includes the associated branch portion S1 and the junction portion C1. , C2 are stored.
  • the abnormality grasping unit 5 includes a combination of the branching unit S2 and the merging units C3 and C5, a combination of the branching unit S3 and the merging unit C1, a combination of the branching unit S4 and the merging units C3 and C5, and the branching unit S5.
  • the combination with the merging portion C6 and the combination of the branch portion S6 with the merging portions C4 and C6 are stored.
  • the abnormality grasping unit 5 executes an abnormality grasping process as follows. For example, as shown in FIG. 4, in the state where entry permission to the junction C3 is set for the traveling vehicle 3C traveling on the traveling path R6, an abnormality occurs in the traveling vehicle 3C and the traveling vehicle 3C stops. If it has been done, the abnormality grasping unit 5 grasps that an abnormality has occurred in the traveling road R6 when the traveling vehicle 3C does not pass the merging portion C3 for a predetermined time.
  • the abnormality grasping unit 5 determines that the traveling vehicle 3B that has entered the traveling path R6 is in the traveling path R6. It is understood that an abnormality has occurred in the travel path R6 when the vehicle is stopped for a predetermined time. That is, the abnormality grasping unit 5 stops the traveling vehicle 3B when the traveling vehicle 3B that has entered the traveling path R6 stops at a predetermined inter-vehicle distance from the traveling vehicle 3C that is stopped, and a predetermined time elapses in this state. It is understood that an abnormality has occurred on the travel route R6.
  • the above grasping information of the abnormality in the traveling road R6 is the determination of whether or not the traveling vehicle 3A is about to pass through the branching section S2 stored as the combination with the merging section C3 and whether or not the traveling road R6 or R23 can enter one of the traveling paths R6 and R23. It is used when performing (in the determination process of step S65 by the approach permission determination part 6 mentioned above). [Action and effect]
  • the traveling vehicle system 1 configured as described above, as described below, while traveling efficiency of the traveling vehicle 3 is improved, even if any abnormality occurs downstream of the branch portions S1 to S6, the traveling vehicle system 1 It becomes possible to suppress the expansion of the traffic jam range of the car 3.
  • the traveling vehicle 3B that has just passed through the branching section S2 enters the traveling path R6, and the traveling vehicle 3A that has just passed through the branching section S2 attempts to enter the traveling path R6 continuously.
  • the determination as to whether or not the travel vehicle 3A intends to enter the travel route R6 continuously can enter the travel route R6 is omitted.
  • the traveling vehicle 3B that has just passed through the branching section S2 enters the traveling path R23, and the traveling vehicle 3A that has just passed through the branching section S2 attempts to enter the traveling path R23 continuously,
  • the determination as to whether or not the traveling vehicle 3A trying to continuously enter the traveling path R23 can enter the traveling path R23 is omitted.
  • the above operation is the same for the branch portions S1, S3 to S6. Thereby, the traveling efficiency of the traveling vehicle 3 can be improved.
  • the traveling vehicle 3B that has just passed through the branch portion S2 enters the traveling path R6, and the traveling vehicle 3A that has just passed through the branch section S2 attempts to enter the traveling path R6 continuously.
  • an abnormality is detected in the travel route R6, it is determined whether or not the travel vehicle 3A attempting to enter the travel route R6 continuously can enter the travel route R6.
  • traveling vehicle 3B that has just passed through the branch portion S2 enters the traveling route R23, and the traveling vehicle 3A that immediately passes through the branch portion S2 is about to enter the traveling route R23 continuously.
  • a determination is made as to whether or not the traveling vehicle 3A attempting to enter the traveling path R23 continuously can enter the traveling path R23.
  • the above operation is the same for the branch portions S1, S3 to S6.
  • the traveling vehicle 3 continues to the traveling paths R2, R6, R8, R11, R13, R15, R21 to R26 (hereinafter referred to as “traveling path R2 etc.”) downstream of the branch portions S1 to S6 where the abnormality has occurred. Therefore, it is possible to suppress an increase in the traffic jam range of the traveling vehicle 3 from the position where the abnormality has occurred due to the approach.
  • the abnormality grasping unit 5 of the traveling vehicle controller 4 grasps an abnormality in the traveling path R6 when the traveling vehicle 3C that is determined to be allowed to enter the junction C3 downstream of the branching portion S2 does not pass through the junction C3 for a predetermined time. To do. Similarly, the abnormality grasping unit 5 grasps an abnormality in the traveling path R23 when the traveling vehicle 3 determined to be allowed to enter the junction C5 downstream of the branching portion S2 does not pass through the junction C5 for a predetermined time. The above operation is the same for the branch portions S1, S3 to S6.
  • the abnormality grasping unit 5 stores in advance a combination of the branching portions S1 to S6 that are targets for determining whether or not to enter and the merging portions C1 to C6 that are targets for grasping the abnormality. As a result, it is only necessary to execute a process for grasping the abnormality in the travel path R2 or the like for the merging sections C1 to C6 associated with the branch sections S1 to S6, so that the travel path is suppressed while suppressing an increase in processing load. Abnormalities in R2 etc. can be grasped.
  • the abnormality grasping unit 5 grasps the abnormality when the traveling vehicle 3B that has entered the traveling road R2 or the like on the downstream side of the branch portions S1 to S6 stops for a predetermined time in the traveling road R2 or the like. As a result, it is not necessary to newly provide a sensor or the like in order to grasp the abnormality in the traveling path R2 or the like downstream of the branch portions S1 to S6, so that the abnormality in the traveling path R2 or the like can be grasped with a simple configuration. Can do.
  • the traveling vehicle controller 4 of the traveling vehicle controller 4 uses the traveling availability R6.
  • an entry permission setting request is made to enter the other of the traveling paths R6 and R23 through the branch portion S2.
  • the abnormality grasping unit 5 of the traveling vehicle controller 4 is not limited to one that grasps an abnormality in the traveling route R2 or the like (for example, the traveling route R2 or the traveling route R21 with respect to the branching portion S1). It is also possible to grasp an abnormality in the travel path downstream of the branch sections S1 to S6 including R2 (for example, the travel paths R2, R3 or the travel paths R21, R5 with respect to the branch section S1).
  • the abnormality grasping unit 5 includes at least a predetermined part of the traveling path downstream of the branching sections S1 to S6 including the traveling path R2 (the merging sections C1 to C6 and the traveling path R2 and the like branch to a plurality of other traveling paths.
  • the traveling vehicle 3 that is determined to be able to enter the branching portion or the portion where the point P is provided does not pass through the predetermined portion for a predetermined time, the abnormality on the downstream traveling path is grasped. May be.
  • the present invention it is possible to provide a traveling vehicle system capable of suppressing an increase in the congestion range of a traveling vehicle even if any abnormality occurs downstream of a branching portion while improving traveling efficiency of the traveling vehicle. Is possible.
  • SYMBOLS 1 ... Traveling vehicle system, 2 ... Traveling route network, 3 ... Traveling vehicle, 4 ... Traveling vehicle controller (controller), 5 ... Abnormality grasping part (abnormality grasping means), 6 ... Enterability determination part (entry possibility determination means), R1, R5, R7, R10, R12, R14 ... travel path (first travel path), R2, R6, R8, R11, R13, R15, R21 to R26 ... travel paths (second travel path, third travel path, Downstream travel path), S1 to S6... Branching portion, C1 to C6... Junction (predetermined portion, downstream junction).

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Abstract

 走行車システムは、走行路(R5,R6,R23)を含む走行路網と、複数の走行車(3)と、走行車コントローラと、を備える。走行車コントローラは、少なくとも走行路(R6)を含む分岐部(S2)の下流側走行路での異常を把握する異常把握部と、分岐部(S2)を直前に通過した走行車(3B)が走行路(R6)に進入し、分岐部(S2)を直後に通過する走行車(3A)が走行路(R6)に連続して進入しようとしている場合において、異常把握部による異常の未把握時には、走行車(3A)について走行路(R6)への進入可否の判断を省き、異常把握部による異常の把握時には、走行車(3A)について走行路(R6)への進入可否の判断を行う進入可否判断部と、を有する。

Description

走行車システム
 本発明は、種々の処理対象物を搬送するための走行車システムに関する。
 従来、半導体装置及び液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームにおいて、半導体ウェハ及びガラス基板等の処理対象物を搬送するための走行車システムが知られている。このような走行車システムでは、走行車の走行効率を向上させるために、走行路網の分岐部及び合流部において様々な走行制御が実施されている(例えば、特許文献1,2参照)。
特開2006-313461号公報 国際公開第2010/035411号
 しかしながら、上述したような走行車システムにおいては、分岐部の下流で何らかの異常が発生すると、異常が発生した位置から走行車の渋滞が拡大する場合があった。
 そこで、本発明は、走行車の走行効率の向上を図りつつ、分岐部の下流で何らかの異常が発生しても、走行車の渋滞範囲の拡大を抑制することができる走行車システムを提供することを目的とする。
 本発明の走行車システムは、第1走行路、並びに、分岐部において第1走行路から分岐する第2走行路及び第3走行路を含む走行路網と、走行路網を走行する複数の走行車と、走行車の走行を制御するコントローラと、を備え、コントローラは、少なくとも第2走行路を含む分岐部の下流側走行路での異常を把握する異常把握手段と、分岐部を直前に通過した走行車が第2走行路に進入し、分岐部を直後に通過する走行車が第2走行路に連続して進入しようとしている場合において、異常把握手段による異常の未把握時には、分岐部を直後に通過する走行車について第2走行路への進入可否の判断を省き、異常把握手段による異常の把握時には、分岐部を直後に通過する走行車について第2走行路への進入可否の判断を行う進入可否判断手段と、を有する。
 この走行車システムでは、分岐部を直前に通過した走行車が第2走行路に進入し、分岐部を直後に通過する走行車が第2走行路に連続して進入しようとしている場合において、第2走行路を含む分岐部の下流側走行路での異常が把握されていないときには、第2走行路に連続して進入しようとしている走行車について第2走行路への進入可否の判断が省かれる。これにより、走行車の走行効率を向上させることができる。一方、当該場合において、第2走行路を含む分岐部の下流側走行路での異常が把握されたときには、第2走行路に連続して進入しようとしている走行車について第2走行路への進入可否の判断が行われる。これにより、異常が発生した下流側走行路に含まれる第2走行路に走行車が連続して進入することに起因して、異常が発生した位置から走行車の渋滞範囲が拡大するのを抑制することができる。よって、この走行車システムによれば、走行車の走行効率の向上を図りつつ、分岐部の下流で何らかの異常が発生しても、走行車の渋滞範囲の拡大を抑制することが可能となる。
 異常把握手段は、下流側走行路の所定部に進入可と判断された走行車が所定部を所定時間通過しないときに異常を把握してもよい。所定部は、第2走行路が他の走行路と合流する下流側合流部であってもよい。これらの構成によれば、下流側走行路での異常を把握するためにセンサ等を新たに設ける必要がないため、簡易な構成で下流側走行路での異常を把握することができる。
 異常把握手段は、分岐部を直後に通過する走行車について第2走行路への進入可否の判断を行う対象となる分岐部と、異常を把握する対象となる所定部との組合せを予め記憶していてもよい。この構成によれば、分岐部に関連付けられた所定部を対象として下流側走行路での異常を把握するための処理を実行すれば済むため、処理負荷の増大を抑制しつつ下流側走行路での異常を把握することができる。
 異常把握手段は、第2走行路に進入した走行車が下流側走行路において所定時間車間停止したときに異常を把握してもよい。この構成によれば、下流側走行路での異常を把握するためにセンサ等を新たに設ける必要がないため、簡易な構成で下流側走行路での異常を把握することができる。なお、車間停止とは、何らかの理由で停止した走行車から所定の車間距離をとって後続の走行車が停止することをいう。
 走行車は、分岐部を通過して第2走行路又は第3走行路に進入するための進入許可の設定要求を行い、コントローラによって進入許可の設定が行われたときに、分岐部を通過して第2走行路又は第3走行路に進入するものであり、走行車は、分岐部を通過して第2走行路に進入するための進入許可の設定要求を行った場合において、進入可否判断手段によって第2走行路に進入可と所定時間判断されないときには、分岐部を通過して第3走行路に進入するための進入許可の設定要求を行ってもよい。この構成によれば、分岐部を通過して第2走行路に進入するための進入許可の設定要求を行った走行車が、第2の走行路を含む分岐部の下流側走行路で異常が発生した場合に、分岐部の手前で停止し続けることが回避されるため、分岐部から走行車の渋滞範囲が拡大するのを抑制することができる。
 本発明によれば、走行車の走行効率の向上を図りつつ、分岐部の下流で何らかの異常が発生しても、走行車の渋滞範囲の拡大を抑制することができる走行車システムを提供することが可能となる。
本発明の一実施形態の走行車システムの走行路網の平面図である。 本発明の一実施形態の走行車システムの制御系の構成を示すブロック図である。 図2の走行車コントローラの構成を示すブロック図である。 図1の走行路網の一部拡大図である。 図2の走行車における処理手順を示すフローチャートである。 図2の走行車コントローラにおける処理手順を示すフローチャートである。
 以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
[走行車システムの走行路網の構成]
 図1は、本発明の一実施形態の走行車システムの走行路網の平面図である。図1に示されるように、走行車システム1は、直線状の走行路R1~R16及び曲線状の走行路R21~R26を含む走行路網2と、走行路網2を矢印方向に走行する複数の走行車3と、を備えている。各走行路R1~R16,R21~R26には、1つ又は複数のポイントPが設けられている。走行車3は、ポイントPから位置情報を読み取ることにより、走行路網2における自車の位置を把握する。
 このような走行車システム1は、半導体ウェハ及びガラス基板等の処理対象物を搬送元から搬送先に搬送するために、半導体装置及び液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームに適用される。走行車3は、天井走行式無人搬送車であって、搬送元から搬送先への走行ルートを自車で作成し、走行路網2における自車の位置を把握しながら、処理対象物を搬送元から搬送先に搬送する。搬送元及び搬送先としては、処理対象物に各種処理を施すためのステーション等がある。なお、走行車3は、有軌道式無人搬送車等、他の形式の無人搬送車であってもよい。
 走行路網2において、走行路R2及び走行路R21は、分岐部S1において走行路R1から分岐している。走行路R6及び走行路R23は、分岐部S2において走行路R5から分岐している。走行路R8及び走行路R22は、分岐部S3において走行路R7から分岐している。走行路R11及び走行路R24は、分岐部S4において走行路R10から分岐している。走行路R13及び走行路R26は、分岐部S5において走行路R12から分岐している。走行路R15及び走行路R25は、分岐部S6において走行路R14から分岐している。
 走行路網2において、走行路R2及び走行路R22は、合流部C1において走行路R3に合流している。走行路R4及び走行路R21は、合流部C2において走行路R5に合流している。走行路R6及び走行路R24は、合流部C3において走行路R7に合流している。走行路R9及び走行路R25は、合流部C4において走行路R10に合流している。走行路R11及び走行路R23は、合流部C5において走行路R12に合流している。走行路R15及び走行路R26は、合流部C6において走行路R16に合流している。
[走行車システムの制御系の構成]
 図2は、本発明の一実施形態の走行車システムの制御系の構成を示すブロック図である。図2に示されるように、走行車システム1の制御系10は、走行車3の走行を制御する走行車コントローラ4に加え、搬送要求コントローラ11、物流コントローラ12及びストッカコントローラ13を有している。物流コントローラ12は、走行車コントローラ4及びストッカコントローラ13の上位コントローラであり、各コントローラ4,13と通信可能となっている。搬送要求コントローラ11は、処理対象物に各種処理を施すための複数のステーション14のそれぞれと通信可能となっている。ストッカコントローラ13は、処理対象物を一時保管するための複数のストッカ15のそれぞれと通信可能となっている。走行車コントローラ4は、各走行車3と通信可能となっている。
 搬送要求コントローラ11は、処理対象物の搬送要求(搬入要求及び搬出要求)をステーション14から受信すると、当該搬送要求を物流コントローラ12に送信する。当該搬送要求を受信した物流コントローラ12は、必要に応じて、処理対象物の入出庫要求をストッカコントローラ13に送信する。当該入出庫要求を受信したストッカコントローラ13は、入出庫指令をストッカ15に送信する。当該入出庫指令を受信したストッカ15は、所定のタイミングで走行車3に対して処理対象物の入出庫を行う。
 搬送要求コントローラ11から搬送要求を受信した物流コントローラ12は、当該搬送要求を走行車コントローラ4に送信する。当該搬送要求を受信した走行車コントローラ4は、搬送指令を走行車3に送信する。当該搬送指令を受信した走行車3は、搬送元のステーション14から搬送先のステーション14への走行ルートを自車で作成し、走行路網2における自車の位置を把握しながら、処理対象物を搬送元のステーション14から搬送先のステーション14に搬送する。このとき、走行車3は、走行路網2に設けられたポイントPから位置情報を読み取ることにより、走行路網2における自車の位置を把握し、自車の位置情報を走行車コントローラ4に随時送信する。
 図3は、図2の走行車コントローラの構成を示すブロック図である。図3に示されるように、走行車コントローラ4は、CPU、ROM、RAM等からなる電子制御ユニットであって、少なくとも異常把握部(異常把握手段)5及び進入可否判断部(進入可否判断手段)6を有している。走行車コントローラ4は、ROMに格納されているプログラムをRAM上にロードし、CPUで実行することによって、異常把握部5及び進入可否判断部6をソフトウェアで構成する。なお、走行車コントローラ4の各処理部は、ハードウェアで構成されてもよい。
 異常把握部5は、各分岐部S1~S6から分岐する走行路R2,R6,R8,R11,R13,R15,R21~R26での異常を把握する。進入可否判断部6は、走行車3が各分岐部S1~S6を通過しようとしている場合に、異常把握部5による異常の把握状態に応じて、各分岐部S1~S6を通過しようとしている走行車3について走行路R2,R6,R8,R11,R13,R15,R21~R26への進入可否の判断を行う。異常把握部5及び進入可否判断部6については、下記の[走行車コントローラにおける処理手順]において、より詳細に説明する。
[走行車における処理手順]
 図4に示される分岐部S2及び合流部C3の周辺領域を例として、図5のフローチャートを参照しつつ、走行車3Aにおける処理手順について説明する。まず、走行路R6,R23の一方を用いる走行ルートを作成した走行車3Aは、走行路R5において分岐部S2に接近すると、走行車コントローラ4に進入許可の設定要求を送信する(ステップS51)。この進入許可の設定要求は、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の一方に進入するための進入許可の設定を走行車コントローラ4に要求するものである。
 そして、走行車コントローラ4によって進入許可の設定が行われた場合には(ステップS52)、走行車3Aは、分岐部S2を通過して、進入許可の設定が行われた走行路R6又は走行路R23に進入する(ステップS53)。続いて、分岐部S2を通過した走行車3Aは、走行車コントローラ4に進入許可の解除要求を送信する(ステップS54)。
 一方、走行車コントローラ4によって進入許可の設定が行われない場合には(ステップS52)、走行車3Aは、分岐部S2の手前で停止し、所定時間(例えば、進入許可の設定要求を送信してからの所定時間)経過していないときには(ステップS55)、ステップS52の処理を実行する。そして、所定時間経過したときには(ステップS55)、走行車3Aは、走行路R6,R23の他方を用いる走行ルートを作成し直して、走行車コントローラ4に別の進入許可の設定要求を送信し(ステップS51)、ステップS52以降の処理を実行する。この別の進入許可の設定要求は、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の他方に進入するための進入許可の設定を走行車コントローラ4に要求するものである。
 以上のように、走行車3Aは、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の一方に進入するための進入許可の設定が走行車コントローラ4によって行われない場合には、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の他方に進入するための進入許可の設定を走行車コントローラ4に要求する。
[走行車コントローラにおける処理手順]
 図4に示される分岐部S2及び合流部C3の周辺領域を例として、図6のフローチャートを参照しつつ、走行車コントローラ4における処理手順について説明する。前提として、走行車コントローラ4の異常把握部5は、各走行路R6,R23での異常の有無を監視している。この前提の下に、走行路R5において分岐部S2に接近する走行車3Aから進入許可の設定要求を走行車コントローラ4が受信すると(ステップS61)、走行車コントローラ4の進入可否判断部6は、走行車3A(分岐部S2を直後に通過する走行車3)が進入しようとしている走行路R6,R23の一方が、走行車3B(分岐部S2を直前に通過した走行車3)が進入した走行路R6又は走行路R23と同じか否かを判断する(ステップS62)。この判断処理は、走行車3Bから最終的に受信した進入許可の設定要求、及び走行車3Aから受信した進入許可の設定要求に基づいて行われる。
 ステップS62の判断処理の結果、走行車3Aが進入しようとしている走行路R6,R23の一方が、走行車3Bが進入した走行路R6又は走行路R23と異なる場合(例えば、走行車3Bが走行路R23に進入した後に(図4の二点鎖線参照)、走行車3Aが走行路R6に進入しようとしている場合)には、進入可否判断部6は、走行路R6,R23の一方について進入許可の解除が行われているか否かを判断する(ステップS63)。その結果、進入許可の解除が行われていない場合には、ステップS62の処理に戻り、進入許可の解除が行われている場合には、進入可否判断部6は、走行路R6,R23の一方について進入許可の設定を行う(ステップS64)。
 このように、進入可否判断部6は、走行車3Aが進入しようとしている走行路R6,R23の一方が、走行車3Bが進入した走行路R6又は走行路R23と異なる場合には、異常把握部5による異常の把握状態に依らず、走行車3Aについて走行路R6,R23の一方への進入可否の判断(ここでは、ステップS63の判断処理)を行う。
 一方、ステップS62の判断処理の結果、走行車3Aが進入しようとしている走行路R6,R23の一方が、走行車3Bが進入した走行路R6又は走行路R23と同じ場合(例えば、走行車3Bが走行路R6に進入した後に(図4の実線参照)、走行車3Aが走行路R6に進入しようとしている場合)には、進入可否判断部6は、異常把握部5によって走行路R6,R23の一方での異常が把握されているか否かを判断する(ステップS65)。その結果、異常が把握されていない場合には、進入可否判断部6は、進入許可の解除が行われているか否かを判断することなく、走行路R6,R23の一方について進入許可の設定を行う(ステップS64)。
 このように、進入可否判断部6は、走行車3Aが進入しようとしている走行路R6,R23の一方が、走行車3Bが進入した走行路R6又は走行路R23と同じ場合において、異常把握部5による異常の未把握時には、走行車3Aについて走行路R6,R23の一方への進入可否の判断(ここでは、ステップS63の判断処理)を省く。
 一方、ステップS65の判断処理の結果、異常が把握されている場合には、進入可否判断部6は、走行路R6,R23の一方について進入許可の解除が行われているか否かを判断する(ステップS63)。その結果、進入許可の解除が行われていない場合には、ステップS62の処理に戻り、進入許可の解除が行われている場合には、進入可否判断部6は、走行路R6,R23の一方について進入許可の設定を行う(ステップS64)。
 このように、進入可否判断部6は、走行車3Aが進入しようとしている走行路R6,R23の一方が、走行車3Bが進入した走行路R6又は走行路R23と同じ場合において、異常把握部5による異常の把握時には、走行車3Aについて走行路R6,R23の一方への進入可否の判断(ここでは、ステップS63の判断処理)を行う。
 そして、走行路R6,R23の一方について進入許可の設定を行った走行車コントローラ4は、分岐部S2を通過した走行車3Aから進入許可の解除要求を受信すると(ステップS66)、進入許可の解除を行う(ステップS67)。
 次に、異常把握部5における異常の把握処理について説明する。前提として、異常把握部5は、進入可否の判断を行う対象となる分岐部S1~S6と、異常を把握する対象となる合流部C1~C6との組合せを予め記憶している。図1に示されるように、分岐部S1には、その下流側において最初に設けられた合流部C1,C2が関連付けられており、異常把握部5は、関連付けられた分岐部S1と合流部C1,C2との組合せを記憶している。同様に、異常把握部5は、分岐部S2と合流部C3,C5との組合せ、分岐部S3と合流部C1との組合せ、分岐部S4と合流部C3,C5との組合せ、分岐部S5と合流部C6との組合せ及び分岐部S6と合流部C4,C6との組合せを記憶している。
 この前提の下に、異常把握部5は、次のように、異常の把握処理を実行する。例えば、図4に示されるように、走行路R6を走行する走行車3Cについて合流部C3への進入許可の設定が行われた状態で、走行車3Cに異常が発生して走行車3Cが停止してしまった場合には、異常把握部5は、走行車3Cが合流部C3を所定時間通過しないときに、走行路R6で異常が発生したことを把握する。
 更に、上述したような状態で、走行車3Cに異常が発生して走行車3Cが停止してしまった場合には、異常把握部5は、走行路R6に進入した走行車3Bが走行路R6において所定時間車間停止したときに、走行路R6で異常が発生したことを把握する。つまり、異常把握部5は、走行路R6に進入した走行車3Bが、停止している走行車3Cから所定の車間距離をとって停止し、その状態で所定時間経過したときに、走行車3Bとの通信によって、走行路R6で異常が発生したことを把握する。
 以上の走行路R6での異常の把握情報は、合流部C3との組合せとして記憶された分岐部S2を通過しようとしている走行車3Aについて、走行路R6,R23の一方への進入可否の判断を行うときに(上述した進入可否判断部6によるステップS65の判断処理において)利用される。
[作用及び効果]
 以上のように構成された走行車システム1によれば、次に述べるように、走行車3の走行効率の向上を図りつつ、分岐部S1~S6の下流で何らかの異常が発生しても、走行車3の渋滞範囲の拡大を抑制することが可能となる。
 すなわち、走行車システム1では、分岐部S2を直前に通過した走行車3Bが走行路R6に進入し、分岐部S2を直後に通過する走行車3Aが走行路R6に連続して進入しようとしている場合において、走行路R6での異常が把握されていないときには、走行路R6に連続して進入しようとしている走行車3Aについて走行路R6への進入可否の判断が省かれる。同様に、分岐部S2を直前に通過した走行車3Bが走行路R23に進入し、分岐部S2を直後に通過する走行車3Aが走行路R23に連続して進入しようとしている場合において、走行路R23での異常が把握されていないときには、走行路R23に連続して進入しようとしている走行車3Aについて走行路R23への進入可否の判断が省かれる。以上の作用は、分岐部S1,S3~S6に関しても同様である。これにより、走行車3の走行効率を向上させることができる。
 走行車システム1では、分岐部S2を直前に通過した走行車3Bが走行路R6に進入し、分岐部S2を直後に通過する走行車3Aが走行路R6に連続して進入しようとしている場合において、走行路R6での異常が把握されたときには、走行路R6に連続して進入しようとしている走行車3Aについて走行路R6への進入可否の判断が行われる。同様に、分岐部S2を直前に通過した走行車3Bが走行路R23に進入し、分岐部S2を直後に通過する走行車3Aが走行路R23に連続して進入しようとしている場合において、走行路R23での異常が把握されたときには、走行路R23に連続して進入しようとしている走行車3Aについて走行路R23への進入可否の判断が行われる。以上の作用は、分岐部S1,S3~S6に関しても同様である。これにより、異常が発生した分岐部S1~S6の下流側の走行路R2,R6,R8,R11,R13,R15,R21~R26(以下、「走行路R2等」という)に走行車3が連続して進入することに起因して、異常が発生した位置から走行車3の渋滞範囲が拡大するのを抑制することができる。
 走行車コントローラ4の異常把握部5は、分岐部S2の下流側の合流部C3に進入可と判断された走行車3Cが合流部C3を所定時間通過しないときに走行路R6での異常を把握する。同様に、異常把握部5は、分岐部S2の下流側の合流部C5に進入可と判断された走行車3が合流部C5を所定時間通過しないときに走行路R23での異常を把握する。以上の作用は、分岐部S1,S3~S6に関しても同様である。これにより、分岐部S1~S6の下流側の走行路R2等での異常を把握するためにセンサ等を新たに設ける必要がないため、簡易な構成で走行路R2等での異常を把握することができる。
 異常把握部5は、進入可否の判断を行う対象となる分岐部S1~S6と、異常を把握する対象となる合流部C1~C6との組合せを予め記憶している。これにより、分岐部S1~S6に関連付けられた合流部C1~C6を対象として走行路R2等での異常を把握するための処理を実行すれば済むため、処理負荷の増大を抑制しつつ走行路R2等での異常を把握することができる。
 異常把握部5は、分岐部S1~S6の下流側の走行路R2等に進入した走行車3Bが走行路R2等において所定時間車間停止したときに異常を把握する。これにより、分岐部S1~S6の下流側の走行路R2等での異常を把握するためにセンサ等を新たに設ける必要がないため、簡易な構成で走行路R2等での異常を把握することができる。
 走行車3Aは、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の一方に進入するための進入許可の設定要求を行った場合において、走行車コントローラ4の進入可否判断部6によって走行路R6,R23の一方に進入可と所定時間判断されないときには、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の他方に進入するための進入許可の設定要求を行う。これにより、分岐部S2を通過して走行路R6,R23の一方に進入するための進入許可の設定要求を行った走行車3Aが、走行路R6,R23の一方で異常が発生した場合に、分岐部S2の手前で停止し続けることが回避される。以上の作用は、分岐部S1,S3~S6に関しても同様である。従って、分岐部S1~S6から走行車3の渋滞範囲が拡大するのを抑制することができる。
 以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、走行車コントローラ4の異常把握部5は、走行路R2等(例えば、分岐部S1に対して、走行路R2又は走行路R21)での異常を把握するものに限定されず、少なくとも走行路R2等を含む分岐部S1~S6の下流側走行路(例えば、分岐部S1に対して、走行路R2,R3又は走行路R21,R5)での異常を把握するものであってもよい。そして、異常把握部5は、少なくとも走行路R2等を含む分岐部S1~S6の下流側走行路の所定部(合流部C1~C6の他、走行路R2等が複数の他の走行路に分岐する場合におけるその分岐部や、ポイントPが設けられた部分等)に進入可と判断された走行車3が当該所定部を所定時間通過しないときに、当該下流側走行路での異常を把握してもよい。
 本発明によれば、走行車の走行効率の向上を図りつつ、分岐部の下流で何らかの異常が発生しても、走行車の渋滞範囲の拡大を抑制することができる走行車システムを提供することが可能となる。
 1…走行車システム、2…走行路網、3…走行車、4…走行車コントローラ(コントローラ)、5…異常把握部(異常把握手段)、6…進入可否判断部(進入可否判断手段)、R1,R5,R7,R10,R12,R14…走行路(第1走行路)、R2,R6,R8,R11,R13,R15,R21~R26…走行路(第2走行路、第3走行路、下流側走行路)、S1~S6…分岐部、C1~C6…合流部(所定部、下流側合流部)。

Claims (6)

  1.  第1走行路、並びに、分岐部において前記第1走行路から分岐する第2走行路及び第3走行路を含む走行路網と、
     前記走行路網を走行する複数の走行車と、
     前記走行車の走行を制御するコントローラと、を備え、
     前記コントローラは、
     少なくとも前記第2走行路を含む前記分岐部の下流側走行路での異常を把握する異常把握手段と、
     前記分岐部を直前に通過した前記走行車が前記第2走行路に進入し、前記分岐部を直後に通過する前記走行車が前記第2走行路に連続して進入しようとしている場合において、前記異常把握手段による前記異常の未把握時には、前記分岐部を直後に通過する前記走行車について前記第2走行路への進入可否の判断を省き、前記異常把握手段による前記異常の把握時には、前記分岐部を直後に通過する前記走行車について前記第2走行路への進入可否の判断を行う進入可否判断手段と、を有する、走行車システム。
  2.  前記異常把握手段は、前記下流側走行路の所定部に進入可と判断された前記走行車が前記所定部を所定時間通過しないときに前記異常を把握する、請求項1記載の走行車システム。
  3.  前記所定部は、前記第2走行路が他の走行路と合流する下流側合流部である、請求項2記載の走行車システム。
  4.  前記異常把握手段は、前記分岐部を直後に通過する前記走行車について前記第2走行路への進入可否の判断を行う対象となる前記分岐部と、前記異常を把握する対象となる前記所定部との組合せを予め記憶している、請求項2又は3記載の走行車システム。
  5.  前記異常把握手段は、前記第2走行路に進入した前記走行車が前記下流側走行路において所定時間車間停止したときに前記異常を把握する、請求項1~4のいずれか一項記載の走行車システム。
  6.  前記走行車は、前記分岐部を通過して前記第2走行路又は前記第3走行路に進入するための進入許可の設定要求を行い、前記コントローラによって進入許可の設定が行われたときに、前記分岐部を通過して前記第2走行路又は前記第3走行路に進入するものであり、
     前記走行車は、前記分岐部を通過して前記第2走行路に進入するための前記進入許可の設定要求を行った場合において、前記進入可否判断手段によって前記第2走行路に進入可と所定時間判断されないときには、前記分岐部を通過して前記第3走行路に進入するための前記進入許可の設定要求を行う、請求項1~5のいずれか一項記載の走行車システム。
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