TW202413240A - 搬運系統 - Google Patents

Abstract

搬運系統，係具備搬運車，以及控制裝置。搬運車，係沿著軌道行走而藉此搬運物品。控制裝置，係控制搬運車。搬運車之目的地，係包含處理位置以及保管位置。控制裝置，係於使對象路徑停用之際，執行事前處理以及路徑停用處理。事前處理，係包含以下之至少1者：(1)僅使一部分之搬運車通過對象路徑之處理、(2)使用搬運車令位於封閉區域之物品退避至可用區域之處理、(3)允許將位於封閉區域之處理位置作為目的地之搬運，並禁止將位於封閉區域之前述保管位置作為目的地之搬運之處理。路徑停用處理，係於事前處理之後進行之處理，且係禁止搬運車於對象路徑行走之處理。

Description

搬運系統

本發明，係主要關於藉由搬運車搬運物品之搬運系統。

專利文獻1之搬運系統，係具備行走路徑、沿著行走路徑行走之搬運車、控制搬運車之控制裝置。控制裝置，係能夠對於行走路徑之一部分執行路徑停用(route down)處理。控制裝置，係以使不通過受到路徑停用之行走路徑之方式控制搬運車。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2010/100834號

[發明所欲解決之問題]

於執行路徑停用處理之情形，伴隨路徑停用處理，必須進行各種處理。例如，必須進行變更搬運車之路徑之處理。並且，係有必須進行使關聯於受到路徑停用之行走路徑之搬運埠目標一併停用之處理。因此，執行路徑停用處理時，控制裝置之處理負荷會提高。

本發明係有鑑於以上情事完成者，主要目的在於提供一種搬運系統，其能夠減輕執行路徑停用處理時之控制裝置之處理負荷。 [解決問題之技術手段]

本發明所欲解決之課題係如以上所述，以下係說明用以解決該課題之手段及其效果。

依據本發明之觀點，係提供以下構成之搬運系統。亦即，搬運系統，係具備搬運車，以及控制裝置。前述搬運車，係沿著軌道行走而藉此搬運物品。前述控制裝置，係控制前述搬運車。前述搬運車之目的地，係包含：處理位置，係用以對於處理裝置授予前述物品之位置；以及保管位置，係用以暫時保管前述物品之位置。前述控制裝置，係於使作為自前述軌道上之複數個路徑選擇之路徑之對象路徑停用之際，執行事前處理，以及路徑停用處理。事前處理，係包含以下之至少1者：(1)僅使一部分之前述搬運車通過前述對象路徑之處理、(2)將位於作為因前述對象路徑之停用而預定受到封閉之區域之封閉區域之前述物品，使用前述搬運車退避至作為於前述對象路徑之停用之前後未受到封閉之區域之可用區域之處理、(3)允許將位於前述封閉區域之前述處理位置作為目的地之搬運，並禁止將位於前述封閉區域之前述保管位置作為目的地之搬運之處理。路徑停用處理，係於前述事前處理之後進行之處理，且係禁止前述搬運車於前述對象路徑行走之處理。

藉此，能夠階段性執行對象路徑之封閉。因此，能夠減輕控制裝置之處理負荷。

前述之搬運系統，係以下構成為佳。亦即，前述控制裝置，係進行僅使一部分之前述搬運車通過前述對象路徑之處理。前述控制裝置，於存在有迴避前述對象路徑之迂迴路徑之情形，使前述搬運車以不通過前述對象路徑之路徑行走至目的地。前述控制裝置，於不存在有迴避前述對象路徑之迂迴路徑之情形，使前述搬運車以通過前述對象路徑之路徑行走至目的地。

藉此，能夠使搬運車通過對象路徑之頻率降低，並且於必須通過對象路徑之情形能夠允許通過對象路徑。

於前述之搬運系統中，前述事前處理，係包含使用前述搬運車令位於前述封閉區域之前述物品退避至前述可用區域之處理。前述控制裝置，於針對須自前述封閉區域退避至前述可用區域之所有物品確保了退避目標之後，使所有前述物品自前述封閉區域退避至前述可用區域為佳。

藉此，能夠於設定退避目標之後使物品退避，故能夠使物品順暢地退避。

於前述之搬運系統中，前述物品，係收容搬運對象物之容器為佳。

藉此，容器不易殘留於封閉區域，故能夠抑制路徑停用處理後之搬運效率降低。

接著，參照圖式說明本發明之實施方式。

圖1所示之搬運系統1，係設於半導體製造工廠或倉庫等之設施，搬運物品50。搬運系統1所搬運之物品50，係收容晶圓(半導體晶圓)之容器。具體而言，容器係FOUP(Front-Opening Unified Pod，前開式晶圓傳送盒)或晶圓匣。又，物品50，係收容光柵之光柵盒亦可。並且，於搬運系統1設於倉庫之情形，物品50，係保管於倉庫之商品或零件等。

如圖1及圖2所示，搬運系統1，係具備管理控制裝置(控制裝置)10、搬運車20、軌道30。

管理控制裝置10，係具有CPU等之運算裝置以及HDD、SSD或快閃記憶體等之記憶裝置之電腦。管理控制裝置10，係讀取記憶裝置所記憶之程式並執行，藉此能夠執行關於物品50之搬運及處理之各種控制。管理控制裝置10，係根據自上位之控制裝置接收之資訊生成搬運指令，並將搬運指令分配至搬運車，藉此對於搬運車20指示物品50之搬運。

搬運車20，係OHT(Overhead Hoist Transfer，懸吊式輸送)。搬運車20，係沿著懸吊於天花板之軌道30以無人之方式行走並搬運物品50之車輛。如圖2所示，搬運車20，係具備通訊裝置21、驅動控制裝置22、馬達23、車輪24、搬運部25。

通訊裝置21，係用以與外部進行無線通訊之無線通訊模組。通訊裝置21，係能夠與控制搬運系統1之管理控制裝置10進行通訊。驅動控制裝置22，係具有CPU等之運算裝置以及HDD、SSD或快閃記憶體等之記憶裝置之電腦。驅動控制裝置22，係讀取記憶裝置所記憶之程式並執行，藉此能夠執行關於搬運車20之各種控制。驅動控制裝置22，係例如根據自管理控制裝置10接收之搬運指令使馬達23動作。馬達23，係使用經由軌道30供給之電力，產生用以使搬運車20行走之驅動力。馬達23所產生之驅動力，係經由傳達機構傳達至車輪24。藉此，搬運車20，係沿著軌道30行走。搬運部25，係具有能夠例如切換為保持物品50之狀態及解除物品50之保持之狀態之機械手，並能夠受取及授予物品50。

於半導體製造工廠，係設有保管棚架31及處理裝置101。保管棚架31及處理裝置101，係配置於軌道30之附近。搬運車20，係能夠對於保管棚架31及處理裝置101授予物品50，或是自保管棚架31及處理裝置101受取物品50。

保管棚架31，係暫時保管物品50之部分。本實施方式之保管棚架31，係配置在俯視觀察下相鄰於軌道30之位置。保管棚架31，係暫時保管等待處理裝置101所進行之處理之物品50，或是暫時保管須搬運至其他地點之物品50。用以使搬運車20對於保管棚架31授予物品50之位置，係稱為保管位置。將沿著軌道30行走之方向作為前後方向，將在俯視觀察下正交於前後方向之方向作為左右方向。保管棚架31，係例如配置於例如軌道30之左右方向外側。

處理裝置101，係具有自搬運車20受取物品50之裝載埠(處理位置)102。處理裝置101，係使搬運車20接收放置於裝載埠102之物品50，並對於收容於物品50之晶圓進行處理(例如用以製造半導體裝置之一步驟)。裝載埠102，係配置於在俯視觀察下重疊於軌道30之位置，然而配置於不同位置亦可。

又，相鄰於處理裝置101設有移載輔助裝置亦可。輔助裝置，係暫時保管等待處理裝置101之處理之物品50。移載輔助裝置，係接收並暫時保管自搬運車20授予之物品50。接著，於處理裝置101成為能夠進行處理之狀態之後，移載輔助裝置係對於處理裝置101授予物品50。搬運車20對於移載輔助裝置授予物品50之位置，係用以對於處理裝置101授予物品50之位置，故相當於處理位置。

接著，參照圖3至圖5，針對路徑停用處理進行說明。

所謂路徑停用處理，係例如以維護為目的，使軌道30之一部分停用。作為維護之種類，係例如軌道30之維護、關於經由軌道30進行之供電之維護。或者，於暫時停止管理控制裝置10與搬運車20之間之通訊或控制之情形，使包含通訊或控制受到停止之區域之軌道30停用。搬運車20，係無法於停用之路徑行走。詳細而言，管理控制裝置10，係以使搬運車20不於停用之路徑行走之方式，設定搬運車20之目的地及路徑。以下，係將受到停用之對象之路徑稱為「對象路徑」。

接著，針對封閉區域及可用區域進行說明。於搬運系統1，會出現伴隨於路徑停用處理之執行受到封閉之預定之區域(封閉區域)之情形。於某區域受到封閉之情形，係無法使搬運車20自受到封閉之區域行走至該區域之外側，並且，無法使搬運車20自該區域之外側行走至受到封閉之區域。例如，如圖3所示，於對象路徑為2條之情形，受到2條對象路徑包圍之區域係受到封閉之區域。另一方面，於執行路徑停用處理之前及之後雙方皆可用之區域(未受封閉之區域)係稱為可用區域。

假使，於管理控制裝置10接收到路徑停用處理之指示之後立即執行路徑停用處理之情形，會產生變更受到其影響之所有搬運車20之目的地或路徑之必要性。因此，執行路徑停用處理時之管理控制裝置10之處理負荷會提高，因此，會有使管理控制裝置10進行之其他控制延遲之可能性。並且，於執行路徑停用處理時位於封閉區域之物品50，於執行路徑停用處理之後無法使用。因此，會有晶圓之搬運效率低落之可能性。

就該點而言，本實施方式之管理控制裝置10，係於執行路徑停用處理之前，執行事前處理。藉此，能夠分散管理控制裝置10之處理負荷。因此，能夠減少管理控制裝置10進行之其他控制之延遲。以下，針對事前處理進行詳細說明。

於必須進行路徑停用處理之情形，管理者係操作自身之終端機或PC等，設定對象路徑及開始時刻。藉此，對於管理控制裝置10傳送路徑停用預約處理之指示。管理者，係亦可直接操作管理控制裝置10以指示路徑停用預約處理。或者，亦可遵照事先製作之時程對於管理控制裝置10指示路徑停用預約處理。

管理控制裝置10，係判定是否接收到路徑停用預約處理之指示(S101)。管理控制裝置10，於受領到路徑停用預約處理之指示之情形，係登錄路徑停用處理之對象路徑及開始時刻(S102)。

接著，管理控制裝置10，係執行第1事前處理(S103)。於本實施方式中，事前處理係劃分為第1事前處理及第2事前處理之2階段。如圖5所示，第1事前處理，係包含「1. 路徑對應」及「2. 物品之退避」及「3. 搬運指令對應」。又，進行第1事前處理之「1. 路徑對應」及「2. 物品之退避」及「3. 搬運指令對應」之順序並未受到限定，同時進行至少2項處理亦可。

「1. 路徑對應」，係用以階段性禁止搬運車20於對象路徑行走之處理。藉由使其頻率降低，於執行路徑停用處理之際受到影響之搬運車20之數量會減少，故能夠減輕管理控制裝置10之處理負荷。

於第1事前處理之「1. 路徑對應」，係使通過對象路徑之成本上升。所謂成本，係於進行路徑搜尋之際一般上使用之參數。管理控制裝置10，係以使自出發地至目的地之成本為最小之方式搜尋路徑，並對於搬運車20進行設定。原則上而言，行走距離越長則成本越大。並且，通過不適合通過之位置之成本，係設定為比通過其他位置之成本更大之值。因此，藉由使通過對象路徑之成本大幅地比通過其他路徑之成本更大，能夠使搬運車20通過對象路徑之頻率降低。

具體而言，於存在有迂迴對象路徑之迂迴路徑之情形，係對於搬運車20設定於迂迴路徑行走之路徑。另一方面，於不存在有迂迴路徑之情形，係對於搬運車20設定經過對象路徑前往目的地之路徑。並且，管理控制裝置10，係將通過對象路徑自可用區域行走至封閉區域之搬運車20作為監測對象清單化。該清單係使用於第2事前處理。

並且，於「1. 路徑對應」使通過對象路徑之成本上升之處理係一例，能夠替換為僅允許一部分之搬運車20通過對象路徑之其他處理。例如，亦可進行允許以封閉區域內之地點作為目的地之搬運車20通過對象路徑，並禁止以封閉區域以外之地點作為目的地之搬運車20通過對象路徑之處理。

「2. 物品之退避」，係使位於封閉區域之物品退避至可用區域之處理。在使物品50位於封閉區域之狀態下執行路徑停用處理之情形，能夠使用之物品50之數量會減少，而晶圓之搬運效率會降低。更有甚者，亦會有登錄無法使用物品50之事項等之必要性，在此情形，管理控制裝置10之處理負荷會提高。並且，於操作者將該等物品50搬運至可用區域之情形，會耗費勞力。就該點而言，至路徑停用處理受到執行為止之期間，使搬運車20將物品50移動至可用區域，藉此使路徑停用處理後能夠使用之物品50之數量不易減少，故能夠維持晶圓之搬運效率。並且，能夠減輕路徑停用處理時之管理控制裝置10之處理負荷。並且，與藉由人力搬運物品50之方法相比，能夠減輕勞力。

於第1事前處理之「2. 物品之退避」，係首先辨識位於封閉區域之物品50。管理控制裝置10，係進行根據搬運車20之位置及物品50之位置，使用搬運車20搬運物品50之控制。因此，管理控制裝置10，係能夠根據於該控制所使用之資訊，辨識出位於封閉區域之物品50。接著，管理控制裝置10，係確保與辨識出之物品50之個數為相同數量之退避目標。退避目標，係位於可用區域之保管棚架31，且係無其他物品50，亦未成為其他物品50之目的地之地點。管理控制裝置10，於存在有該種退避目標之情形，係屏蔽該退避目標，藉此確保退避目標。所謂屏蔽，係設定為使搬運車20不放置其他物品50。

「3. 搬運指令對應」係使將封閉區域作為出發地或目的地之搬運指令階段性減少之處理。藉此，於執行路徑停用處理之際受到影響之搬運車20之數量會減少，故能夠減輕管理控制裝置10之處理負荷。

於第1事前處理之「3. 搬運指令對應」，係允許所有搬運指令。換言之，於第1事前處理之前後，關於搬運指令之條件係相同。因此，管理控制裝置10，係能夠根據自上位之控制裝置接收之資訊，生成出發地或目的地為任意位置之搬運指令，並分配至搬運車20。

管理控制裝置10，於開始執行第1事前處理之後，判定是否為對於第2事前處理之移行時機(S104)。管理控制裝置10，例如於達到路徑停用處理之開始時刻之預定時間前之時點，判定為對於第2事前處理之移行時機。或者，將能過於第1事前處理確保所有物品50之退避目標作為對於第2事前處理之移行條件亦可。

管理控制裝置10，於判定為對於第2事前處理之移行時機之情形，執行第2事前處理(S105)。第2事前處理，係包含「1. 路徑對應」及「2. 物品之退避」及「3. 搬運指令對應」。又，進行第2事前處理之「1. 路徑對應」及「2. 物品之退避」及「3. 搬運指令對應」之順序並未受到限定。然而，於進行「2. 物品之退避」之後進行「3. 搬運指令對應」為佳。並且，同時進行至少2項處理亦可。

於第2事前處理之「1. 路徑對應」，係用以原則上禁止搬運車20於對象路徑行走。允許搬運車20於對象路徑行走之情形，係僅限於在第1事前處理製作之清單所記載之搬運車20之行走。因清單所記載之搬運車20係位於封閉區域，故於執行路徑停用處理之後會無法運作。因此，允許搬運車20自封閉位置移動至可用位置。

又，於一併進行第2事前處理之「1. 路徑對應」及「2. 物品之退避」之情形，係允許為進行「2. 物品之退避」之搬運車20於對象路徑行走。並且，於一併進行「1. 路徑對應」及「3. 搬運指令對應」之情形，係允許為進行「3. 搬運指令對應」之搬運車20於對象路徑行走。然而，亦可於「2. 物品之退避」及「3. 搬運指令對應」結束之後執行「1. 路徑對應」。

管理控制裝置10，係執行禁止於對象路徑行走之處理。並且，於發生前述之受到允許之事態之情形，管理控制裝置10係進行取消處理或是中止處理，藉此能夠暫時允許於對象路徑行走。

於第2事前處理之「2. 物品之退避」，係執行於第1事前處理確保了退避目標之物品50之退避。亦即，於本實施方式中，在對於第2事前處理受到退避之所有物品50確保退避目標之後，開始物品50之退避。具體而言，管理控制裝置10，係對於搬運車20，指示回收位於封閉區域之物品50，以及對於在第1事前處理受到確保之退避目標搬運物品50。於封閉區域之所有物品50之退避結束之後，管理控制裝置10，係對於上位之控制裝置通知該事項。

於第2事前處理之「3. 搬運指令對應」，係不允許以封閉區域之保管位置作為目的地之搬運指令。具體而言，管理控制裝置10，係停用或屏蔽對應於封閉區域之保管位置之地點(埠)，使封閉區域之保管位置不會成為目的地。又，允許以封閉區域之處理位置作為目的地之搬運指令。此係因為半導體工廠之目的係在於使處理裝置101對於晶圓進行處理，故對於處理位置搬運物品50之優先度高。於第2事前處理之「2. 物品之退避」，係進行為了回收位於封閉區域之物品50而以保管位置作為目的地之搬運。因此，於第2事前處理，在進行「2. 物品之退避」之後進行「3. 搬運指令對應」為佳。

管理控制裝置10，係於開始執行第2事前處理之後，判定是否為對於路徑停用處理之移行時機(S106)。管理控制裝置10，例如於達到路徑停用處理之開始時刻之時點，判定為對於路徑停用處理之移行時機。或者，於路徑停用處理之開始時刻未受到設定之情形，將於第2事前處理使所有物品50退避結束作為對於路徑停用處理之移行條件亦可。

管理控制裝置10，例如於判定為路徑停用處理之移行時機之情形，執行路徑停用處理(S107)。於路徑停用處理，係無例外地禁止對象路徑之行走。並且，不允許以封閉位置作為出發地或目的地之所有搬運。具體而言，管理控制裝置10，係停用或屏蔽位於封閉區域之所有地點(埠)，藉此使封閉區域不會成為搬運車20之出發地及目的地。以上，結束路徑停用處理。路徑停用處理，係持續至接收到使對象路徑之停用解除之其他指令為止。

如以上說明般，本實施方式之搬運系統1，係具備搬運車20、管理控制裝置10。搬運車20，係沿著軌道30行走而藉此搬運物品50。管理控制裝置10，係控制搬運車20。搬運車20之目的地，係包含：處理位置，係用以對於處理裝置授予物品50之位置；以及保管位置，係用以對於用以暫時保管物品50之保管棚架31授予物品50之位置。管理控制裝置10，係於使作為自軌道上之複數個路徑選擇之路徑之對象路徑停用之際，執行事前處理，以及路徑停用處理。事前處理，係包含以下之至少1者：(1)僅使一部分之搬運車20通過前述對象路徑之處理、(2)使用搬運車20，令位於作為因對象路徑之停用而預定受到封閉之區域之封閉區域之物品50，退避至作為於對象路徑之停用之前後未受到封閉之區域之可用區域之處理、(3)允許將位於封閉區域之處理位置作為目的地之搬運，並禁止將位於封閉區域之保管位置作為目的地之搬運之處理。路徑停用處理，係於事前處理之後進行之處理，且係禁止搬運車20於對象路徑行走之處理。

藉此，能夠階段性執行對象路徑之封閉。因此，能夠減輕管理控制裝置10之處理負荷。

於本實施方式之搬運系統1中，管理控制裝置10，係進行僅使一部分之搬運車20通過對象路徑之處理。管理控制裝置10，於存在有迴避對象路徑之迂迴路徑之情形，使搬運車20以不通過對象路徑之路徑行走至目的地。管理控制裝置10，於不存在有迴避對象路徑之迂迴路徑之情形，使搬運車20以通過對象路徑之路徑行走至目的地。

藉此，能夠使搬運車20通過對象路徑之頻率降低，並且於必須通過對象路徑之情形能夠允許通過對象路徑。

於本實施方式之搬運系統1中，事前處理，係包含使用搬運車20令位於封閉區域之物品50退避至前述可用區域之處理，於針對須自封閉區域退避至可用區域之所有物品50確保了退避目標之後，使所有物品50自封閉區域退避至可用區域。

藉此，能夠於設定退避目標之後使物品50退避，故能夠使物品50順暢地退避。

於本實施方式之搬運系統1中，物品50，係收容作為搬運對象物之晶圓之容器(FOUP)。

藉此，容器不易殘留於封閉區域，故能夠抑制路徑停用處理後之搬運效率降低。

以上，說明本發明之合適之實施方式，然而前述構成係能夠例如以下般進行變更。

前述實施方式所示之流程圖係一例，省略一部分處理、變更一部分處理之內容、追加新處理亦可。例如，不將事前處理劃分為第1事前處理及第2事前處理，而視作1個處理亦可。在此情形，作為「1. 路徑對應」，係進行使通過對象路徑之成本上升之處理，或是原則上禁止於對象路徑行走之處理之其中任一方。作為「2. 物品之退避」，係進行每當能夠確保退避目標時便使搬運車20轉移之處理。

管理控制裝置10，係僅進行「1. 路徑對應」及「2. 物品之退避」及「3. 搬運指令對應」當中之任1者作為事前處理亦可。即便於此情形，相較於立即進行路徑停用處理之情形，亦能夠減輕管理控制裝置10之處理負荷。

於前述實施方式之第1事前處理之「1. 路徑對應」，係使通過對象路徑之成本上升。或者，變更路徑搜尋之其他設定亦可。例如，亦可設定為：使對象路徑為不可行走並進行路徑搜尋，若存在有自出發地到達目的地之路徑，則設定為該路徑，若不存在有自出發地到達目的地之路徑，則使對象路徑能夠行走，並再度進行路徑搜尋。即便為該設定，亦能夠使搬運車20於對象路徑行走之頻率降低。

於前述實施方式中，雖舉出OHT作為搬運車20之例進行說明，然而對於其他車輛例如AGV(Automated Guided Vehicle，無人搬運車)或懸吊式起重機亦能夠運用本發明。

1:搬運系統 10:管理控制裝置(控制裝置) 20:搬運車 30:軌道 101:處理裝置 102:裝載埠(處理位置)

[圖1]本發明之一實施方式之搬運系統之概略平面圖。 [圖2]搬運系統之正視圖。 [圖3]表示設定對象路徑後之封閉區域及可用區域之概略平面圖。 [圖4]表示自接收到路徑停用預約處理之指示至執行路徑停用處理之處理之流程圖。 [圖5]表示第1事前處理、第2事前處理、路徑停用處理之內容之表。

Claims (4)

1. 一種搬運系統，係具備： 搬運車，係沿著軌道行走而藉此搬運物品；以及 控制裝置，係控制前述搬運車， 前述搬運車之目的地，係包含：處理位置，係用以對於處理裝置授予前述物品之位置；以及保管位置，係用以對於用以暫時保管前述物品之保管棚架授予前述物品之位置， 前述控制裝置，係： 於使作為自前述軌道上之複數個路徑選擇之路徑之對象路徑停用之際，執行： 事前處理，係執行以下之至少1者：(1)僅使一部分之前述搬運車通過前述對象路徑之處理、(2)使用前述搬運車，令位於作為因前述對象路徑之停用而預定受到封閉之區域之封閉區域之前述物品，退避至作為於前述對象路徑之停用之前後未受到封閉之區域之可用區域之處理、(3)允許將位於前述封閉區域之前述處理位置作為目的地之搬運，並禁止將位於前述封閉區域之前述保管位置作為目的地之搬運之處理；以及 路徑停用處理，係於前述事前處理之後進行之處理，且係禁止前述搬運車於前述對象路徑行走之處理。
2. 如請求項1所述之搬運系統，其中， 於前述事前處理中，前述控制裝置，係： 進行僅使一部分之前述搬運車通過前述對象路徑之處理，藉此， 於存在有迴避前述對象路徑之迂迴路徑之情形，使前述搬運車以不通過前述對象路徑之路徑行走至目的地， 於不存在有迴避前述對象路徑之迂迴路徑之情形，使前述搬運車以通過前述對象路徑之路徑行走至目的地。
3. 如請求項1或2所述之搬運系統，其中， 前述事前處理，係包含使用前述搬運車令位於前述封閉區域之前述物品退避至前述可用區域之處理， 前述控制裝置，於針對須自前述封閉區域退避至前述可用區域之所有物品確保了退避目標之後，使所有前述物品自前述封閉區域退避至前述可用區域。
4. 如請求項3所述之搬運系統，其中， 前述物品，係收容搬運對象物之容器。

Images