WO2023189069A1 - 搬送システム - Google Patents

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WO2023189069A1
WO2023189069A1 PCT/JP2023/006674 JP2023006674W WO2023189069A1 WO 2023189069 A1 WO2023189069 A1 WO 2023189069A1 JP 2023006674 W JP2023006674 W JP 2023006674W WO 2023189069 A1 WO2023189069 A1 WO 2023189069A1
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WO
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route
processing
control device
target route
article
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Inventor
亘 北村
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村田機械株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention mainly relates to a conveyance system that conveys articles using a conveyance vehicle.
  • the transport system of Patent Document 1 includes a travel path, a transport vehicle that travels along the travel path, and a control device that controls the transport vehicle.
  • the control device can perform route down processing on a part of the travel route.
  • the control device controls the transport vehicle so as not to pass through the route down the route.
  • route down process When executing the route down process, various processes are required in conjunction with the route down process. For example, it may be necessary to change the route of the transport vehicle. In addition, it may be necessary to also take down the transport port destination associated with the route down. Therefore, when the route down process is executed, the processing load on the control device increases.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and its main purpose is to provide a transport system that can suppress the processing load on a control device when executing route down processing.
  • a conveyance system having the following configuration. That is, the transport system includes a transport vehicle and a control device.
  • the transport vehicle transports articles by traveling along a track.
  • the control device controls the transport vehicle.
  • the destination of the transport vehicle includes a processing position where the article is delivered to a processing device, and a storage position where the article is temporarily stored.
  • the control device executes a preliminary process and a route down process when bringing down a target route that is selected from a plurality of routes on the trajectory.
  • the pre-processing may be (1) a process in which only some of the transport vehicles pass through the target route, or (2) a process in which the goods located in a closed area, which is an area scheduled to be closed due to the downtime of the target route, are transferred to the target route. Either the transport vehicle is used to evacuate the vehicle to a valid area that is not closed before or after the route is down, or (3) transport is allowed to reach the processing position in the closed area as the destination. At least one process of prohibiting transportation to a certain storage location as a destination is included.
  • the route down process is a process that is performed after the preliminary process, and is a process that prohibits the guided vehicle from traveling on the target route.
  • the target route can be closed in stages. Therefore, the processing load on the control device can be reduced.
  • the above-mentioned transport system preferably has the following configuration. That is, the control device performs a process of causing only some of the guided vehicles to pass through the target route. If there is a detour route that avoids the target route, the control device causes the transport vehicle to travel to the destination via a route that does not pass through the target route. If there is no detour route that avoids the target route, the control device causes the transport vehicle to travel to the destination along a route that passes through the target route.
  • the pre-processing includes a process of retracting the article located in the closed area to the effective area using the transport vehicle, and the control device moves the article from the closed area to the effective area. It is preferable that all the articles are evacuated from the closed area to the effective area after evacuation destinations have been secured for all the articles to be evacuated to the effective area.
  • the articles can be evacuated after setting the evacuation destination, so the articles can be evacuated smoothly.
  • the article is a container that accommodates the object to be transported.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a conveyance system according to an embodiment of the present invention. Front view of the conveyance system.
  • FIG. 3 is a schematic plan view showing a closed area and an effective area after setting a target route.
  • 7 is a flowchart showing processing from receiving an instruction for route down reservation processing to executing route down processing.
  • a table showing contents of first pre-processing, second pre-processing, and route down processing.
  • the transport system 1 shown in FIG. 1 is installed in a facility such as a semiconductor manufacturing factory or a warehouse, and transports articles 50.
  • the article 50 transported by the transport system 1 is a container that accommodates a wafer (semiconductor wafer).
  • the container is a FOUP (Front-Opening Unified Pod) or a wafer cassette.
  • the article 50 may be a reticle pod that accommodates a reticle.
  • the articles 50 are products, parts, etc. stored in the warehouse.
  • the transport system 1 includes a management control device (control device) 10, a transport vehicle 20, and a track 30.
  • control device control device
  • transport vehicle 20 As shown in FIGS. 1 and 2, the transport system 1 includes a management control device (control device) 10, a transport vehicle 20, and a track 30.
  • the management control device 10 is a computer that has a calculation device such as a CPU, and a storage device such as an HDD, SSD, or flash memory.
  • the management control device 10 can perform various controls regarding the transportation and processing of the articles 50 by reading and executing programs stored in a storage device.
  • the management control device 10 instructs the transport vehicle 20 to transport the article 50 by generating a transport command based on the information received from the higher-level control device and assigning the transport command to the transport vehicle.
  • the transport vehicle 20 is an OHT (Overhead Hoist Transfer).
  • the transport vehicle 20 is a vehicle that transports the article 50 by traveling unmanned along a track 30 suspended from the ceiling. As shown in FIG. 2, the transport vehicle 20 includes a communication device 21, a drive control device 22, a motor 23, wheels 24, and a transport section 25.
  • the communication device 21 is a wireless communication module for wirelessly communicating with the outside.
  • the communication device 21 can communicate with the management control device 10 that controls the transport system 1 .
  • the drive control device 22 is a computer that includes a calculation device such as a CPU, and a storage device such as an HDD, SSD, or flash memory.
  • the drive control device 22 can perform various controls regarding the transport vehicle 20 by reading and executing programs stored in a storage device.
  • the drive control device 22 operates the motor 23 based on a transport command received from the management control device 10, for example.
  • the motor 23 uses the electric power supplied via the track 30 to generate a driving force for driving the transport vehicle 20.
  • the driving force generated by the motor 23 is transmitted to the wheels 24 via a transmission mechanism. Thereby, the transport vehicle 20 travels along the track 30.
  • the conveying unit 25 has a hand that can switch between, for example, a state of holding the article 50 and a state of releasing the holding of the article 50, and is capable of receiving and delivering the article 50.
  • a storage shelf 31 and a processing device 101 are provided in the semiconductor manufacturing factory.
  • the storage shelf 31 and the processing device 101 are arranged near the track 30.
  • the transport vehicle 20 can deliver the article 50 to the storage shelf 31 and the processing device 101, and can receive the article 50 from the storage shelf 31 and the processing device 101.
  • the storage shelf 31 is a part that temporarily stores the articles 50.
  • the storage shelf 31 of this embodiment is arranged at a position adjacent to the track 30 in plan view.
  • the storage shelf 31 temporarily stores articles 50 waiting to be processed by the processing device 101, or temporarily stores articles 50 to be transported to another location.
  • the position where the transport vehicle 20 delivers the article 50 to the storage shelf 31 is referred to as a storage position.
  • the direction in which the vehicle travels along the track 30 is defined as the front-rear direction, and the direction orthogonal to the front-rear direction in plan view is defined as the left-right direction.
  • the storage shelf 31 is arranged, for example, on the outer side of the track 30 in the left-right direction.
  • the processing device 101 has a load port (processing position) 102 that receives the article 50 from the transport vehicle 20.
  • the processing apparatus 101 takes in the article 50 placed on the load port 102 by the transport vehicle 20, and performs processing (for example, one step for manufacturing a semiconductor device) on the wafer accommodated in the article 50.
  • the load port 102 is arranged at a position overlapping the track 30 in a plan view, it may be arranged at a different position.
  • a transfer auxiliary device may be provided adjacent to the processing device 101.
  • the auxiliary device temporarily stores the articles 50 waiting to be processed by the processing device 101.
  • the transfer auxiliary device takes in the article 50 delivered from the transport vehicle 20 and temporarily stores it. Then, after the processing device 101 becomes ready for processing, the transfer assisting device delivers the article 50 to the processing device 101.
  • the position where the transport vehicle 20 delivers the article 50 to the transfer assisting device is the position where the article 50 is delivered to the processing device 101, and thus corresponds to a processing position.
  • the route down process is to take down a part of the track 30, for example, for the purpose of maintenance.
  • Types of maintenance include, for example, maintenance of the track 30 and maintenance related to power supply performed via the track 30.
  • the tracks 30 included in the area where communication or control is stopped are brought down.
  • the transport vehicle 20 cannot travel on the down route.
  • the management control device 10 sets the destination and route of the guided vehicle 20 so that the guided vehicle 20 does not travel on a down route.
  • the route to be brought down will be referred to as the "target route.”
  • an area (closed area) that is scheduled to be closed may occur as route down processing is executed.
  • the guided vehicle 20 cannot be driven outside the closed area, and the guided vehicle 20 cannot be driven into the closed area from outside the closed area.
  • the area surrounded by the two target routes becomes a closed area.
  • an area that is valid both before and after execution of the route down process is referred to as a valid area.
  • the management control device 10 immediately executes the route down process after receiving the route down process instruction, it will be necessary to change the destinations or routes of all guided vehicles 20 affected by the route down process. Therefore, the processing load on the management control device 10 when executing the route down process increases, and as a result, other controls performed by the management control device 10 may be delayed. Furthermore, the articles 50 that are in the closed area when the route down process is performed cannot be used after the route down process is performed. As a result, the wafer transfer efficiency may decrease.
  • the management control device 10 of this embodiment executes preprocessing before executing the route down process.
  • the processing load on the management control device 10 can be distributed.
  • delays in other controls performed by the management control device 10 can be reduced.
  • the preprocessing will be explained in detail below.
  • route down processing becomes necessary, the administrator operates his or her own terminal or PC to set the target route and start time. As a result, an instruction for route down reservation processing is transmitted to the management control device 10.
  • the administrator may directly operate the management control device 10 to instruct route down reservation processing.
  • the management control device 10 may be instructed to perform route down reservation processing according to a schedule created in advance.
  • the management control device 10 determines whether an instruction for route down reservation processing has been received (S101). When the management control device 10 receives the instruction for route down reservation processing, it registers the target route and start time of the route down processing (S102).
  • the management control device 10 executes a first preprocessing (S103).
  • the preprocessing is divided into two stages: a first preprocessing and a second preprocessing.
  • the first pre-processing includes "1. Route support,” “2. Article evacuation,” and “3. Transport command support.” Note that the order in which the first preliminary processes “1. Route handling”, “2. Article evacuation”, and “3. Transport command handling” are performed is not limited, and at least two processes may be performed simultaneously.
  • Route support is a process for gradually prohibiting the guided vehicle 20 from traveling on the target route. By reducing this frequency, the number of guided vehicles 20 that are affected when route down processing is executed is reduced, so that the processing load on the management control device 10 can be suppressed.
  • the cost of passing through the target route is increased.
  • Cost is a parameter commonly used when searching for a route.
  • the management control device 10 searches for a route that minimizes the cost from the starting point to the destination, and sets the route for the transport vehicle 20. As a general rule, the longer the distance traveled, the greater the cost. Further, the cost of passing through a position where it is not desirable to pass is set to a value greater than the cost of passing through other positions. Therefore, by making the cost of passing through the target route significantly greater than the cost of passing through other routes, it is possible to reduce the frequency with which the guided vehicle 20 passes through the target route.
  • the management control device 10 lists the guided vehicles 20 that pass through the target route and travel from the valid area to the closed area as monitoring targets. This list is used in the second pre-processing.
  • Route support is only one example, and may be replaced with another process of allowing only some guided vehicles 20 to pass through the target route.
  • processing may be performed to permit guided vehicles 20 whose destination is a point within the closed area to pass through the target route, and to prohibit guided vehicles 20 whose destination is a point outside the closed area from passing through the target route. good.
  • Treatment of articles is a process of retracting the articles located in the closed area to the effective area. If the route down process is performed with the articles 50 located in the closed area, the number of usable articles 50 will decrease, resulting in a decrease in wafer transfer efficiency. Furthermore, it may be necessary to register that the article 50 has become unusable, and in that case, the processing load on the management control device 10 increases. Further, when a worker carries these articles 50 to the effective area, it takes time and effort. In this respect, since the transport vehicle 20 moves the articles 50 to the effective area before the route down process is executed, the number of usable articles 50 after the route down process is less likely to decrease, which improves wafer transfer efficiency. Can be maintained. Furthermore, the processing load on the management control device 10 during route down processing can be suppressed. Further, compared to the method of manually transporting the article 50, the effort can be reduced.
  • the management control device 10 controls the transportation of the article 50 using the conveyor vehicle 20 based on the position of the conveyor vehicle 20 and the position of the article 50 . Therefore, the management control device 10 can specify the article 50 located in the closed area based on the information used in this control.
  • the management control device 10 secures the same number of evacuation destinations as the number of identified articles 50.
  • the evacuation destination is a storage shelf 31 in the effective area, where no other articles 50 are located, and which is not the destination of other articles 50. If this type of evacuation destination exists, the management control device 10 secures the evacuation destination by blocking this evacuation destination. Blocking means setting the transport vehicle 20 so that no other articles 50 are placed thereon.
  • Conveyance command response is a process of gradually reducing the number of conveyance commands whose departure or destination is a closed area. This reduces the number of guided vehicles 20 that are affected when the route down process is executed, so the processing load on the management control device 10 can be suppressed.
  • the management control device 10 can generate a transport command with an arbitrary starting point or destination and assign it to the transport vehicle 20 based on the information received from the higher-level control device.
  • the management control device 10 determines whether it is time to shift to the second pre-processing (S104).
  • the management control device 10 determines that it is time to shift to the second preliminary process, for example, at a predetermined time before the start time of the route down process.
  • the condition for transitioning to the second pre-process may be that the evacuation destinations for all the articles 50 were secured in the first pre-process.
  • the management control device 10 determines that it is the timing to shift to the second pre-processing, it executes the second pre-processing (S105).
  • the second pre-processing includes "1. Route handling", “2. Article evacuation”, and "3. Transport command handling”. Note that the order in which "1. Route handling", “2. Article evacuation”, and “3. Transport command handling" of the second pre-processing are performed is not limited. However, it is preferable to perform "3. Response to transport command" after "2. Evacuation of articles". Furthermore, at least two processes may be performed simultaneously.
  • the management control device 10 executes a process of prohibiting travel on the target route. If the above-mentioned situation in which permission is granted occurs, the management control device 10 temporarily permits travel on the target route by performing cancel processing or abort processing.
  • evacuation of the articles 50 whose evacuation destinations have been secured in the first pre-processing is executed. That is, in this embodiment, evacuation of the articles 50 is started after evacuation destinations have been secured for all the articles 50 to be evacuated in the second preliminary process. Specifically, the management control device 10 instructs the transport vehicle 20 to collect the article 50 located in the closed area and to transport the article 50 to the evacuation destination secured in the first preliminary process. After all the articles 50 in the closed area have been evacuated, the management control device 10 notifies the higher-level control device to that effect.
  • Transport command support a transport command whose destination is a storage position in a closed area is not permitted. Specifically, the management control device 10 shuts down or blocks the point (port) corresponding to the storage position in the closed area to prevent the storage position in the closed area from becoming the destination. Note that a transport command whose destination is a processing position in a closed area is permitted. This is because the purpose of a semiconductor factory is for the processing apparatus 101 to process wafers, so transporting the article 50 to the processing position has a high priority.
  • Evacuation of articles in order to collect the articles 50 in the closed area, transportation is performed with the storage position as the destination. Therefore, in the second pre-processing, it is preferable to perform "3. Conveyance command response" after "2. Evacuating the article”.
  • the management control device 10 determines whether it is time to shift to route down processing (S106). The management control device 10 determines that it is the timing to shift to the route down process, for example, when the start time of the route down process has arrived. Note that if the start time of the route down process is not set, the condition for transitioning to the route down process may be that the evacuation of all the articles 50 is completed in the second preliminary process.
  • the management control device 10 determines that it is time to transition to the route down process, it executes the route down process (S107). In route down processing, traveling on the target route is prohibited without exception. Furthermore, all conveyances originating from or ending in closed locations are not permitted. Specifically, the management control device 10 prevents the closed area from becoming the starting point and destination of the transport vehicle 20 by shutting down or blocking all points (ports) located in the closed area. With the above steps, the route down process is completed. The route down process continues until another command is received to release the target route from being down.
  • the transport system 1 of this embodiment includes the transport vehicle 20 and the management control device 10.
  • the transport vehicle 20 transports the article 50 by traveling along the track 30 .
  • the management control device 10 controls the transport vehicle 20.
  • the destinations of the transport vehicle 20 include a processing position where the article 50 is delivered to the processing device and a position where the article 50 is delivered to the storage shelf 31 where the article 50 is temporarily stored. Includes storage location.
  • the management control device 10 performs preliminary processing and route down processing when bringing down a target route that is selected from a plurality of routes on the orbit.
  • the pre-processing is either (1) a process in which only some transport vehicles 20 are allowed to pass through the target route, or (2) a process in which the goods 50 located in a closed area, which is an area scheduled to be closed due to the target route being down, is moved down the target route. (3) A process of evacuation using the transport vehicle 20 to an effective area that is an area that is not closed before and after the processing, or (3) a process of allowing transportation with the processing position in the closed area as the destination and aiming at the storage position in the closed area. including at least one process for prohibiting the transportation of The route down process is a process that is performed after the preliminary process, and is a process that prohibits the guided vehicle 20 from traveling on the target route.
  • the target route can be closed in stages. Therefore, the processing load on the management control device 10 can be suppressed.
  • the management control device 10 performs a process of allowing only some transport vehicles 20 to pass through the target route. If there is a detour route that avoids the target route, the management control device 10 causes the transport vehicle 20 to travel to the destination via a route that does not pass through the target route. If there is no detour route that avoids the target route, the management control device 10 causes the transport vehicle 20 to travel to the destination on a route that passes through the target route.
  • the pre-processing includes a process of evacuating the articles 50 located in the closed area to the effective area using the conveyance vehicle 20, and all the articles 50 to be evacuated from the closed area to the effective area. After the evacuation destination is secured for all the articles 50, all the articles 50 are evacuated from the closed area to the effective area.
  • the article 50 can be evacuated after setting the evacuation destination, so the article 50 can be evacuated smoothly.
  • the article 50 is a container (FOUP) that accommodates a wafer, which is an object to be transported.
  • FOUP container
  • the flowchart shown in the above embodiment is an example, and some processes may be omitted, the contents of some processes may be changed, or new processes may be added.
  • the preprocessing may be handled as one process without dividing it into the first preprocessing and the second preprocessing. In this case, as "1. Route support”, either a process of increasing the cost of passing through the target route or a process of prohibiting traveling on the target route is performed in principle.
  • Route support either a process of increasing the cost of passing through the target route or a process of prohibiting traveling on the target route is performed in principle.
  • Evacuation of goods a process of relocating the conveyance vehicle 20 is performed every time an evacuation destination is secured.
  • the management control device 10 may perform only one of "1. Route handling", "2. Article evacuation”, and "3. Transport command handling” as a preliminary process. Even in this case, the processing load on the management control device 10 can be reduced compared to the case where the route down process is performed immediately.
  • Route support of the above embodiment, the cost of passing through the target route is increased.
  • other settings for route search may be changed. For example, if a route search is performed with the target route disabled, and if there is a route from the departure point to the destination, that route is set, and if there is no route from the departure point to the destination, the target route is set. You may also set the route search to be performed again with the route enabled. Even with this setting, it is possible to reduce the frequency with which the guided vehicle 20 travels the target route.
  • an OHT was used as an example of the transport vehicle 20, but the present invention can also be applied to other vehicles, such as an AGV (Automated Guided Vehicle) or a suspended crane.
  • AGV Automated Guided Vehicle

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Abstract

搬送システムは、搬送車と、制御装置と、を備える。搬送車は、軌道に沿って走行することで物品を搬送する。制御装置は、搬送車を制御する。搬送車の目的地には、処理位置と保管位置が含まれている。制御装置は、対象ルートをダウンさせる際に、事前処理と、ルートダウン処理と、を実行する。事前処理は、（１）対象ルートを一部の搬送車のみ通過させる処理か、（２）閉鎖領域に位置する物品を有効領域まで搬送車を用いて退避させる処理か、（３）閉鎖領域にある処理位置を目的地とする搬送を許可して閉鎖領域にある前記保管位置を目的地とする搬送を禁止する処理の少なくとも１つを含む。ルートダウン処理は、事前処理の後に行われる処理であり、搬送車による対象ルートの走行を禁止する処理である。

Description

搬送システム
　本発明は、主として、搬送車により物品を搬送する搬送システムに関する。
　特許文献１の搬送システムは、走行路と、走行路に沿って走行する搬送車と、搬送車を制御する制御装置と、を備える。制御装置は、走行路の一部に対してルートダウン処理を実行することができる。制御装置は、ルートダウンさせた走行路を通過しないように搬送車を制御する。
国際公開第２０１０／１００８３４号
　ルートダウン処理を実行する場合、ルートダウン処理に伴って様々な処理が必要となる。例えば、搬送車のルートを変更する処理が必要になることがある。また、ルートダウンさせた走行路に関連する搬送ポート先を併せてダウンさせる処理が必要になることがある。従って、ルートダウン処理の実行時は制御装置の処理負荷が高くなる。
　本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、ルートダウン処理の実行時の制御装置の処理負荷を抑えることができる搬送システムを提供することにある。
課題を解決するための手段及び効果
　本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
　本発明の観点によれば、以下の構成の搬送システムが提供される。即ち、搬送システムは、搬送車と、制御装置と、を備える。前記搬送車は、軌道に沿って走行することで物品を搬送する。前記制御装置は、前記搬送車を制御する。前記搬送車の目的地には、処理装置に前記物品を受け渡すための位置である処理位置と、前記物品を一時的に保管するための位置である保管位置と、が含まれている。前記制御装置は、前記軌道上の複数のルートから選択されたルートである対象ルートをダウンさせる際に、事前処理と、ルートダウン処理と、を実行する。事前処理は、（１）前記対象ルートを一部の前記搬送車のみ通過させる処理か、（２）前記対象ルートのダウンにより閉鎖される予定の領域である閉鎖領域に位置する前記物品を前記対象ルートのダウンの前後で閉鎖されない領域である有効領域まで前記搬送車を用いて退避させる処理か、（３）前記閉鎖領域にある前記処理位置を目的地とする搬送を許可して前記閉鎖領域にある前記保管位置を目的地とする搬送を禁止する処理の少なくとも１つを含む。ルートダウン処理は、前記事前処理の後に行われる処理であり、前記搬送車による前記対象ルートの走行を禁止する処理である。
　これにより、対象ルートの閉鎖を段階的に実行することができる。従って、制御装置の処理負荷を抑えることができる。
　前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記制御装置は、前記対象ルートを一部の前記搬送車のみ通過させる処理を行う。前記制御装置は、前記対象ルートを回避する迂回ルートが存在する場合には前記対象ルートを通らないルートで前記搬送車を目的地まで走行させる。前記制御装置は、前記対象ルートを回避する迂回ルートが存在しない場合には前記対象ルートを通るルートで前記搬送車を目的地まで走行させる。
　これにより、搬送車が対象ルートを通過する頻度を低下させつつ、対象ルートの通過が必須である場合は対象ルートの通過を許可できる。
　前記の搬送システムにおいては、前記事前処理には、前記閉鎖領域に位置する前記物品を前記有効領域まで前記搬送車を用いて退避させる処理が含まれ、前記制御装置は、前記閉鎖領域から前記有効領域に退避させる全ての物品について退避先が確保された後に、全ての前記物品を前記閉鎖領域から前記有効領域に退避させることが好ましい。
　これにより、退避先を設定した後に物品を退避させることができるので、物品をスムーズに退避させることができる。
　前記の搬送システムにおいては、前記物品は、搬送対象物を収容する容器であることが好ましい。
　これにより、閉鎖領域に容器が残されにくくなるので、ルートダウン処理の後の搬送効率の低下を抑制できる。
本発明の一実施形態に係る搬送システムの概略平面図。 搬送システムの正面図。 対象ルートの設定後における閉鎖領域と有効領域を示す概略平面図。 ルートダウン予約処理の指示を受信してからルートダウン処理を実行するまでの処理を示すフローチャート。 第１事前処理、第２事前処理、ルートダウン処理の内容を示す表。
　次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
　図１に示す搬送システム１は、半導体製造工場又は倉庫等の施設に設けられ、物品５０を搬送する。搬送システム１が搬送する物品５０は、ウエハ（半導体ウエハ）を収容する容器である。具体的には、容器は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ－Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）又はウエハカセットである。なお、物品５０は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。また、搬送システム１が倉庫に設けられる場合、物品５０は、倉庫に保管される商品又は部品等である。
　図１及び図２に示すように、搬送システム１は、管理制御装置（制御装置）１０と、搬送車２０と、軌道３０と、を備える。
　管理制御装置１０は、ＣＰＵ等の演算装置と、ＨＤＤ、ＳＳＤ、又はフラッシュメモリ等の記憶装置と、を有するコンピュータである。管理制御装置１０は、記憶装置に記憶されたプログラムを読み出して実行することにより、物品５０の搬送及び処理に関する様々な制御を実行可能である。管理制御装置１０は、上位の制御装置から受信した情報に基づいて搬送指令を生成し、搬送指令を搬送車に割り付けることにより、搬送車２０に対して物品５０の搬送を指示する。
　搬送車２０は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ）である。搬送車２０は、天井に吊るされた軌道３０に沿って無人で走行して物品５０を搬送する車両である。図２に示すように、搬送車２０は、通信装置２１と、駆動制御装置２２と、モータ２３と、車輪２４と、搬送部２５と、を備える。
　通信装置２１は、外部と無線通信を行うための無線通信モジュールである。通信装置２１は、搬送システム１を制御する管理制御装置１０と通信を行うことができる。駆動制御装置２２は、ＣＰＵ等の演算装置と、ＨＤＤ、ＳＳＤ、又はフラッシュメモリ等の記憶装置と、を有するコンピュータである。駆動制御装置２２は、記憶装置に記憶されたプログラムを読み出して実行することにより、搬送車２０に関する様々な制御を実行可能である。駆動制御装置２２は、例えば管理制御装置１０から受信した搬送指令に基づいてモータ２３を動作させる。モータ２３は、軌道３０を介して供給された電力を用いて、搬送車２０を走行させるための駆動力を発生する。モータ２３が発生させた駆動力は、伝達機構を介して車輪２４に伝達される。これにより、搬送車２０が軌道３０に沿って走行する。搬送部２５は、例えば物品５０を保持する状態と、物品５０の保持を解除する状態と、を切替可能なハンドを有しており、物品５０の受取り及び受渡しが可能である。
　半導体製造工場には、保管棚３１及び処理装置１０１が設けられている。保管棚３１及び処理装置１０１は、軌道３０の近傍に配置されている。搬送車２０は、保管棚３１及び処理装置１０１に物品５０を受け渡したり、保管棚３１及び処理装置１０１から物品５０を受け取ったりすることができる。
　保管棚３１は、物品５０を一時的に保管する部分である。本実施形態の保管棚３１は、平面視で軌道３０に隣接する位置に配置されている。保管棚３１は、処理装置１０１による処理を待機する物品５０を一時的に保管したり、別の地点に搬送させる物品５０を一時的に保管したりする。搬送車２０が保管棚３１に物品５０を受け渡すための位置を保管位置と称する。軌道３０に沿って走行する方向を前後方向として、平面視で前後方向に直交する方向を左右方向とする。保管棚３１は、例えば軌道３０の左右方向外側に配置される。
　処理装置１０１は、搬送車２０から物品５０を受け取るロードポート（処理位置）１０２を有する。処理装置１０１は、搬送車２０がロードポート１０２に置いた物品５０を取り込み、物品５０に収容されたウエハに対して処理（例えば半導体デバイスを製造するための一工程）を行う。ロードポート１０２は、平面視で軌道３０に重なる位置に配置されているが、異なる位置に配置されていてもよい。
　なお、処理装置１０１に隣接して移載補助装置が設けられていてもよい。補助装置は、処理装置１０１の処理待ちの物品５０を一時的に保管する。移載補助装置は、搬送車２０から受け渡された物品５０を取り込み、一時的に保管する。そして、処理装置１０１が処理を行うことができる状態になった後に、移載補助装置は、処理装置１０１に物品５０を受け渡す。搬送車２０が移載補助装置に物品５０を受け渡す位置は、処理装置１０１に物品５０を受け渡すための位置であるため、処理位置に相当する。
　次に、図３から図５を参照して、ルートダウン処理について説明する。
　ルートダウン処理とは、例えばメンテナンスを目的として、軌道３０の一部をダウンさせることである。メンテナンスの種類としては、例えば軌道３０のメンテナンス、軌道３０を介して行われる給電に関するメンテナンスがある。あるいは、管理制御装置１０と搬送車２０の間の通信又は制御を一時的に停止する場合、通信又は制御が停止される領域に含まれる軌道３０をダウンさせる。搬送車２０は、ダウンしたルートを走行できない。詳細には、管理制御装置１０は、ダウンしたルートを搬送車２０が走行しないように、搬送車２０の目的地及びルートを設定する。以下では、ダウンさせる対象のルートを「対象ルート」と称する。
　次に、閉鎖領域と有効領域について説明する。搬送システム１には、ルートダウン処理の実行に伴って閉鎖される予定の領域（閉鎖領域）が発生することがある。ある領域が閉鎖された場合、閉鎖された領域からその外側に搬送車２０を走行させることができず、かつ、閉鎖された領域にその外側から搬送車２０を走行させることができない。例えば、図３に示すように、対象ルートが２本ある場合、２本の対象ルートで囲まれる領域が閉鎖された領域となる。一方、ルートダウン処理の実行の前及び後の両方で有効である領域（閉鎖されていない領域）を有効領域と称する。
　仮に、管理制御装置１０がルートダウン処理の指示を受信した後に即座にルートダウン処理を実行した場合、その影響を受ける全ての搬送車２０の目的地又はルートを変更する必要が生じる。そのため、ルートダウン処理の実行時の管理制御装置１０の処理負荷が高くなる、その結果、管理制御装置１０が行う他の制御が遅延する可能性がある。更に、ルートダウン処理の実行時に閉鎖領域にある物品５０は、ルートダウン処理の実行後に使用できない。この結果、ウエハの搬送効率が低下する可能性がある。
　この点、本実施形態の管理制御装置１０は、ルートダウン処理を実行する前に事前処理を実行する。これにより、管理制御装置１０の処理負荷を分散させることができる。その結果、管理制御装置１０が行う他の制御の遅延を低減することができる。以下、事前処理について詳細に説明する。
　ルートダウン処理が必要になった場合、管理者は、自身の端末又はＰＣ等を操作して、対象ルート及び開始時刻を設定する。これにより、管理制御装置１０にルートダウン予約処理の指示が送信される。管理者は、管理制御装置１０を直接操作してルートダウン予約処理を指示してもよい。あるいは、予め作成されたスケジュールに沿って管理制御装置１０にルートダウン予約処理が指示されてもよい。
　管理制御装置１０は、ルートダウン予約処理の指示を受信したか否かを判定している（Ｓ１０１）。管理制御装置１０は、ルートダウン予約処理の指示を受領した場合、ルートダウン処理の対象ルート及び開始時刻を登録する（Ｓ１０２）。
　次に、管理制御装置１０は、第１事前処理を実行する（Ｓ１０３）。本実施形態では、事前処理が第１事前処理と第２事前処理の２段階に区分されている。図５に示すように、第１事前処理は、「１．ルート対応」と「２．物品の退避」と「３．搬送指令対応」を含む。なお、第１事前処理の「１．ルート対応」と「２．物品の退避」と「３．搬送指令対応」を行う順序は限定されないし、少なくとも２つの処理を同時に行ってもよい。
　「１．ルート対応」は、搬送車２０による対象ルートの走行を段階的に禁止するための処理である。この頻度が低下することにより、ルートダウン処理を実行した際に影響を受ける搬送車２０の数が減るため、管理制御装置１０の処理負荷を抑えることができる。
　第１事前処理の「１．ルート対応」では、対象ルートを通過するコストを上昇させる。コストは、ルート探索を行う際に一般的に用いられるパラメータである。管理制御装置１０は、出発地から目的地までのコストを最小にするようなルートを探索して、搬送車２０に設定する。原則として、走行距離が長くなるにつれてコストが大きくなる。また、通過することが好ましくない位置を通過するコストは、他の位置を通過するコストより大きな値が設定されている。そのため、対象ルートを通過するコストを他のルートを通過するコストよりも大幅に大きくすることにより、搬送車２０が対象ルートを通過する頻度を低下させることができる。
　具体的には、対象ルートを迂回する迂回ルートが存在する場合、搬送車２０には迂回ルートを走行するルートが設定されることになる。一方で、迂回ルートが存在しない場合、搬送車２０には、対象ルートを経由して目的地に向かうルートが設定されることになる。また、管理制御装置１０は、対象ルートを通過して有効領域から閉鎖領域に走行する搬送車２０を監視対象としてリスト化する。このリストは第２事前処理で用いられる。
　また、「１．ルート対応」で対象ルートを通過するコストを上昇させる処理は一例であり、一部の搬送車２０のみに対象ルートの通過を許可する他の処理に置き換えることもできる。例えば、閉鎖領域内の地点を目的地とする搬送車２０による対象ルートの通過は許可し、閉鎖領域外の地点を目的地とする搬送車２０による対象ルートの通過を禁止する処理を行ってもよい。
　「２．物品の退避」は、閉鎖領域に位置する物品を有効領域に退避させる処理である。閉鎖領域に物品５０を位置させた状態でルートダウン処理が実行された場合、使用可能な物品５０の数が減るため、ウエハの搬送効率が低下する。更に、物品５０が使用不能になったこと等の登録が必要になることもあり、その場合は管理制御装置１０の処理負荷が高くなる。そして、これらの物品５０を作業者が有効領域まで運ぶ場合は、手間が生じる。この点、ルートダウン処理が実行されるまでの間に搬送車２０が物品５０を有効領域まで移動させることにより、ルートダウン処理後に使用可能な物品５０の数が減りにくいので、ウエハの搬送効率を維持できる。また、ルートダウン処理時の管理制御装置１０の処理負荷を抑えることができる。また、人手で物品５０を運ぶ方法と比較して手間を軽減できる。
　第１事前処理の「２．物品の退避」では、初めに、閉鎖領域に位置する物品５０が特定される。管理制御装置１０は、搬送車２０の位置及び物品５０の位置に基づいて、搬送車２０を用いて物品５０を搬送する制御を行っている。従って、管理制御装置１０は、この制御で用いる情報に基づいて、閉鎖領域に位置する物品５０を特定できる。次に、管理制御装置１０は、特定した物品５０の個数と同数の退避先を確保する。退避先は、有効領域にある保管棚３１であって、他の物品５０が位置しておらず、他の物品５０の目的地にもなっていない地点である。管理制御装置１０は、この種の退避先が存在した場合、この退避先をブロックすることで退避先を確保する。ブロックとは、搬送車２０が他の物品５０を置かないように設定することである。
　「３．搬送指令対応」は、閉鎖領域を出発地又は目的地とする搬送指令を段階的に減らす処理である。これにより、ルートダウン処理を実行した際に影響を受ける搬送車２０の数が減るため、管理制御装置１０の処理負荷を抑えることができる。
　第１事前処理の「３．搬送指令対応」では、全ての搬送指令が許可される。言い換えれば、第１事前処理の前後で、搬送指令に関する条件は同じである。従って、管理制御装置１０は、上位の制御装置から受信した情報に基づいて、出発地又は目的地が任意の位置の搬送指令を生成して搬送車２０に割り付けることができる。
　管理制御装置１０は、第１事前処理の実行を開始した後に、第２事前処理への移行タイミングか否かを判定する（Ｓ１０４）。管理制御装置１０は、例えばルートダウン処理の開始時刻の所定時間前になった時点で、第２事前処理への移行タイミングと判定する。これに代えて、第１事前処理で全ての物品５０の退避先を確保できたことが、第２事前処理への移行条件であってもよい。
　管理制御装置１０は、第２事前処理の移行タイミングと判定した場合、第２事前処理を実行する（Ｓ１０５）。第２事前処理は、「１．ルート対応」と「２．物品の退避」と「３．搬送指令対応」を含む。なお、第２事前処理の「１．ルート対応」と「２．物品の退避」と「３．搬送指令対応」を行う順序は限定されない。ただし、「２．物品の退避」を行った後に、「３．搬送指令対応」を行うことが好ましい。また、少なくとも２つの処理を同時に行ってもよい。
　第２事前処理の「１．ルート対応」では、搬送車２０による対象ルートの走行が原則禁止される。搬送車２０による対象ルートの走行が許可されるのは、第１事前処理で作成したリストに記載された搬送車２０の走行に限られる。リストに記載された搬送車２０は閉鎖領域に位置しているため、ルートダウン処理が実行された後は稼動できなくなる。従って、搬送車２０が閉鎖位置から有効位置に移動することは許可される。
　なお、第２事前処理の「１．ルート対応」と「２．物品の退避」を並行して行う場合、「２．物品の退避」を行うための搬送車２０の対象ルートの走行は許可される。また、「１．ルート対応」と、「３．搬送指令対応」とを並行して行う場合、「３．搬送指令対応」を行うための搬送車２０の対象ルートの走行は許可される。ただし、「２．物品の退避」及び「３．搬送指令対応」が完了した後に「１．ルート対応」を実行してもよい。
　管理制御装置１０は対象ルートの走行を禁止する処理を実行する。そして、上記の許可される事態が発生した場合、管理制御装置１０は、キャンセル処理又はアボート処理を行うことにより、対象ルートの走行を一時的に許可する。
　第２事前処理の「２．物品の退避」では、第１事前処理で退避先を確保した物品５０の退避が実行される。つまり、本実施形態では、第２事前処理で退避させる全ての物品５０に対して退避先が確保された後に、物品５０の退避が開始される。具体的には、管理制御装置１０は、搬送車２０に対して、閉鎖領域に位置する物品５０の回収と、第１事前処理で確保した退避先への物品５０の搬送と、を指示する。閉鎖領域の全ての物品５０の退避が完了した後に、管理制御装置１０は、上位の制御装置にその旨を通知する。
　第２事前処理の「３．搬送指令対応」では、閉鎖領域の保管位置を目的地とする搬送指令は許可されない。具体的には、管理制御装置１０は、閉鎖領域の保管位置に対応する地点（ポート）をダウン又はブロックして、閉鎖領域の保管位置が目的地とならないようにする。なお、閉鎖領域の処理位置を目的地とする搬送指令は許可される。なぜなら、半導体工場の目的は処理装置１０１がウエハに対して処理を行うことであるため、処理位置への物品５０の搬送は優先度が高いためである。第２事前処理の「２．物品の退避」では、閉鎖領域にある物品５０を回収するために保管位置を目的地とした搬送が行われる。そのため、第２事前処理では、「２．物品の退避」を行った後に「３．搬送指令対応」を行うことが好ましい。
　管理制御装置１０は、第２事前処理の実行を開始した後に、ルートダウン処理への移行タイミングか否かを判定する（Ｓ１０６）。管理制御装置１０は、例えばルートダウン処理の開始時刻になった時点で、ルートダウン処理への移行タイミングと判定する。なお、ルートダウン処理の開始時刻が設定されない場合は、第２事前処理で全ての物品５０の退避が完了したことが、ルートダウン処理への移行条件であってもよい。
　管理制御装置１０は、ルートダウン処理の移行タイミングと判定した場合、ルートダウン処理を実行する（Ｓ１０７）。ルートダウン処理では、対象ルートの走行が例外なく禁止される。更に、閉鎖位置を出発地又は目的地とする全ての搬送が許可されない。具体的には、管理制御装置１０は、閉鎖領域に位置する全ての地点（ポート）をダウン又はブロックすることにより、閉鎖領域が搬送車２０の出発地及び目的地とならないようにする。以上によりルートダウン処理が完了する。ルートダウン処理は、対象ルートのダウンを解除する別の指令を受信するまで継続される。
　以上に説明したように、本実施形態の搬送システム１は、搬送車２０と、管理制御装置１０と、を備える。搬送車２０は、軌道３０に沿って走行することで物品５０を搬送する。管理制御装置１０は、搬送車２０を制御する。搬送車２０の目的地には、処理装置に物品５０を受け渡すための位置である処理位置と、物品５０を一時的に保管するための保管棚３１に物品５０を受け渡すための位置である保管位置と、が含まれている。管理制御装置１０は、軌道上の複数のルートから選択されたルートである対象ルートをダウンさせる際に、事前処理とルートダウン処理とを実行する。事前処理は、（１）対象ルートを一部の搬送車２０のみ通過させる処理か、（２）対象ルートのダウンにより閉鎖される予定の領域である閉鎖領域に位置する物品５０を対象ルートのダウンの前後で閉鎖されない領域である有効領域まで搬送車２０を用いて退避させる処理か、（３）閉鎖領域にある処理位置を目的地とする搬送を許可して閉鎖領域にある前記保管位置を目的地とする搬送を禁止する処理の少なくとも１つを含む。ルートダウン処理は、事前処理の後に行われる処理であり、搬送車２０による対象ルートの走行を禁止する処理である。
　これにより、対象ルートの閉鎖を段階的に実行することができる。従って、管理制御装置１０の処理負荷を抑えることができる。
　本実施形態の搬送システム１において、管理制御装置１０は、対象ルートを一部の搬送車２０のみ通過させる処理を行う。管理制御装置１０は、対象ルートを回避する迂回ルートが存在する場合には対象ルートを通らないルートで搬送車２０を目的地まで走行させる。管理制御装置１０は、対象ルートを回避する迂回ルートが存在しない場合には対象ルートを通るルートで搬送車２０を目的地まで走行させる。
　これにより、搬送車２０が対象ルートを通過する頻度を低下させつつ、対象ルートの通過が必須である場合は対象ルートの通過を許可できる。
　本実施形態の搬送システム１において、事前処理には、閉鎖領域に位置する物品５０を有効領域まで搬送車２０を用いて退避させる処理が含まれ、閉鎖領域から有効領域に退避させる全ての物品５０について退避先が確保された後に、全ての物品５０を閉鎖領域から有効領域に退避させる。
　これにより、退避先を設定した後に物品５０を退避させることができるので、物品５０をスムーズに退避させることができる。
　本実施形態の搬送システム１において、物品５０は、搬送対象物であるウエハを収容する容器（ＦＯＵＰ）である。
　これにより、閉鎖領域に容器が残されにくくなるので、ルートダウン処理の後の搬送効率の低下を抑制できる。
　以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
　上記実施形態で示したフローチャートは一例であり、一部の処理を省略したり、一部の処理の内容を変更したり、新たな処理を追加したりしてもよい。例えば、事前処理を第１事前処理と第２事前処理に区分せずに１つの処理として扱ってもよい。この場合、「１．ルート対応」としては、対象ルートを通過するコストを上昇させる処理か、対象ルートの走行を原則禁止する処理かの何れか一方が行われる。「２．物品の退避」としては、退避先が確保できる度に搬送車２０を移転させる処理が行われる。
　管理制御装置１０は、事前処理として、「１．ルート対応」と「２．物品の退避」と「３．搬送指令対応」のうち何れか１つのみを行ってもよい。この場合であっても、即座にルートダウン処理を行う場合と比較して、管理制御装置１０の処理負荷を抑えることができる。
　上記実施形態の第１事前処理の「１．ルート対応」では対象ルートを通過するコストを上昇させる。これに代えて、ルート探索の別の設定を変更してもよい。例えば、対象ルートを走行不可としてルート探索を行い、出発地から目的地まで到達するルートが存在すれば、そのルートを設定し、出発地から目的地まで到達するルートが存在しなければ、対象ルートを走行可能として再度ルート探索を行うように設定してもよい。この設定であっても、搬送車２０が対象ルートを走行する頻度を低下させることができる。
　上記実施形態では、搬送車２０の例としてＯＨＴを挙げて説明したが、別の車両、例えばＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ　Ｇｕｉｄｅｄ　Ｖｅｈｉｃｌｅ）又は懸垂式クレーンにも本発明を適用できる。
　１　搬送システム
　１０　管理制御装置（制御装置）
　２０　搬送車
　３０　軌道
　１０１　処理装置
　１０２　ロードポート（処理位置）

Claims (4)

  1. 　軌道に沿って走行することで物品を搬送する搬送車と、
    　前記搬送車を制御する制御装置と、
    を備え、
    　前記搬送車の目的地には、処理装置に前記物品を受け渡すための位置である処理位置と、前記物品を一時的に保管する保管棚に前記物品を受け渡すための位置である保管位置と、が含まれており、
    　前記制御装置は、
    　前記軌道上の複数のルートから選択されたルートである対象ルートをダウンさせる際に、
    　（１）前記対象ルートを一部の前記搬送車のみ通過させる処理か、（２）前記対象ルートのダウンにより閉鎖される予定の領域である閉鎖領域に位置する前記物品を前記対象ルートのダウンの前後で閉鎖されない領域である有効領域まで前記搬送車を用いて退避させる処理か、（３）前記閉鎖領域にある前記処理位置を目的地とする搬送を許可して前記閉鎖領域にある前記保管位置を目的地とする搬送を禁止する処理の少なくとも１つを実行する事前処理と、
    　前記事前処理の後に行われる処理であり、前記搬送車による前記対象ルートの走行を禁止するルートダウン処理と、
    を実行することを特徴とする搬送システム。
  2. 　請求項１に記載の搬送システムであって、
    　前記事前処理において、前記制御装置は、
    　前記対象ルートを一部の前記搬送車のみ通過させる処理を行うことにより、
    　前記対象ルートを回避する迂回ルートが存在する場合には前記対象ルートを通らないルートで前記搬送車を目的地まで走行させ、
    　前記対象ルートを回避する迂回ルートが存在しない場合には前記対象ルートを通るルートで前記搬送車を目的地まで走行させることを特徴とする搬送システム。
  3. 　請求項１又は２に記載の搬送システムであって、
    　前記事前処理には、前記閉鎖領域に位置する前記物品を前記有効領域まで前記搬送車を用いて退避させる処理が含まれ、
    　前記制御装置は、前記閉鎖領域から前記有効領域に退避させる全ての物品について退避先が確保された後に、全ての前記物品を前記閉鎖領域から前記有効領域に退避させることを特徴とする搬送システム。
  4. 　請求項３に記載の搬送システムであって、
    　前記物品は、搬送対象物を収容する容器であることを特徴とする搬送システム。
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