TW201328787A - 塗佈裝置及塗佈方法 - Google Patents

Abstract

本發明無需進行複雜之控制即可提高塗佈結束部之響應性而形成高品質之塗佈膜。本發明係一種塗佈方法，其係將藉由對供液路內之塗佈液供給固定壓力而壓送之塗佈液自狹縫噴嘴(30)之前端噴出，於與狹縫噴嘴(30)之前端之間維持既定間隔而相對於狹縫噴嘴(30)相對移動之工件(W)之塗佈面形成既定長度之塗佈膜，且於塗佈結束時藉由泵(40)而抽吸殘留於狹縫噴嘴(30)之前端之塗佈液。

Description

塗佈裝置及塗佈方法

本發明係關於一種塗佈裝置及塗佈方法，尤其關於適合對片狀之工件(網膜)進行間歇塗佈之塗佈裝置及塗佈方法。

專利文獻1中提出有塗佈裝置101，如圖8所示，其包括空氣加壓線(恆定壓力供給手段)120、塗佈液箱130、供給配管140、供給用閥150、恆定容量泵(恆定容量供給手段)160、噴出配管170、噴出用閥180、狹縫噴嘴190、活動載物台200及控制部。空氣加壓線120與塗佈液箱130連接，將於壓縮機等中壓縮之空氣供給至塗佈液箱130內，對塗佈液箱130內之塗佈液賦予固定壓力。塗佈液箱130與恆定容量泵160之入口之間以供給配管140連接。供給用閥150設置於供給配管140之中途，隨著其打開動作而進行利用上述空氣加壓線120之塗佈液之壓送。

恆定容量泵160係採用活塞可往返移動地配置於氣缸內之活塞泵等，利用交流電(AC，Alternating Current)伺服馬達等使活塞以固定速度進行往移動，藉此擠出氣缸內之固定量之塗佈液。恆定容量泵160之出口與狹縫噴嘴190之間係以噴出配管170連接。噴出用閥180設置於噴出配管170之中途，隨著其打開動作而進行利用上述恆定容量泵160之塗佈液之恆定容量送液。

於狹縫噴嘴190之下方設置有以固定速度移動之活動載物台200。於活動載物台200上吸附保持有玻璃基板等片狀之工件W。藉由自狹縫噴嘴190噴出塗佈液，而將塗佈液塗佈於與活動載物台200一同移動之工件W。

說明專利文獻1中所記載之塗佈裝置101之動作。塗佈開始時，藉由控制部210驅動空氣加壓線120而使噴出用閥180進行關閉動作，且使供給用閥150進行打開動作，由此提高塗佈液箱130內之壓力。然後，使噴出用閥180打開，且使供給用閥150關閉，而自狹縫噴嘴190之前端開始塗佈液之噴出。同時，使用活動載物台200使工件W與狹縫噴嘴190相對移動。

其後，藉由控制部210使空氣加壓線120停止，塗佈液箱130內之壓力係以恢復至大氣壓之方式設定。其後之塗佈液之送液係僅以恆定容量泵160將流量維持於固定地進行，從而以均勻之膜厚進行塗佈。塗佈結束時，使噴出用閥180關閉，且使供給用閥150打開，藉此強制性地停止塗佈液對狹縫噴嘴190之供給。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4366757號公報

一般而言，作為塗佈液之主要送液手段，採用容易將每單位時間之流量控制於固定之恆定容量泵。然而，於利用恆定容量泵之送液中，於泵之動作初期產生響應延遲，噴出壓力無法上升。因此，於專利文獻1中，如上所述般於塗佈開始時輔助地活用利用空氣加壓線120之壓送，由此彌補噴出壓力之不足，而抑制恆定容量泵160之動作初期之響應延遲。

然而，於塗佈結束時，由於基本上僅僅是使噴出用閥180關閉而阻斷塗佈液向狹縫噴嘴190之供給，故而響應性變差。即，存在無法控制之殘留於狹縫噴嘴前端之塗佈液因自重或惰性而流出，從而導致塗佈結束部之塗佈膜擴大之情況。又，於塗佈液為低黏度之塗佈液之情形時，存在塗佈結束部無法直線地保持一致之問題。

尤其，於在長條狀之工件上隔開固定間隔(間歇區域)而連續地反覆形成固定塗佈長度之塗佈膜、即進行間歇塗佈之情形時，使活動載物台200持續移動直至完成對於1個工件之塗佈，因此若產生如上所述之塗佈不良則良率大幅降低，材料成本之損失增多。

又，於專利文獻1之塗佈裝置101中，於1次塗佈動作中，除恆定容量泵160以外，甚至還必需控制空氣加壓線120或供給用及噴出用之2個閥150、180之動作，控制系統變得複雜。其結果為，為獲得高品質之塗佈膜而使得製程時間增加，生產率降低。實際上，專利文獻1係以對1個片狀之 工件進行1次塗佈為前提。

本發明係為解決上述之技術性問題而完成者，其目的在於無需進行複雜之控制即可提高塗佈結束時之響應性而形成高品質之塗佈膜。

塗佈裝置係對與工件對向配置之狹縫噴嘴供給塗佈液，使上述工件或上述狹縫噴嘴相對移動，自上述狹縫噴嘴之前端將上述塗佈液噴出至上述工件之塗佈面，藉此形成既定長度之塗佈膜。

本發明之塗佈裝置包括狹縫噴嘴、供液路、壓送裝置、供液用閥、移動裝置、吸液手段及控制部。狹縫噴嘴係將上述塗佈液自前端噴出至上述工件之塗佈面。供液路與上述狹縫噴嘴連接。塗佈液流過供液路而供給至上述狹縫噴嘴。壓送裝置係對上述供液路內之塗佈液於固定方向始終供給固定壓力而壓送塗佈液。供液用閥開閉上述供液路。移動裝置使上述工件或上述狹縫噴嘴相對移動。吸液手段構成為可抽吸上述狹縫噴嘴內之塗佈液。控制部係控制上述供液用閥及上述吸液手段之動作。

根據該構成，於塗佈結束時，藉由上述控制部使上述供液用閥進行關閉動作，並且使上述吸液手段動作，藉此抽吸殘留於上述狹縫噴嘴之前端之剩餘之塗佈液。即，塗佈結束時之響應性得到改善，防止塗佈結束部之塗佈膜擴大或不一致 之情況。

上述吸液手段可列舉泵作為一例。該泵構成為於上述供液路之塗佈液流通方向配置於上述供液用閥之下游，可對上述供液路內之上述塗佈液賦予負壓。

藉此，於塗佈結束時，藉由供液用閥之關閉動作而停止利用壓送裝置之塗佈液之壓送，進而隨著藉由泵之驅動而對供液路內之塗佈液賦予負壓，供液路內之塗佈液回流。藉此，抽吸殘留於狹縫噴嘴前端之剩餘之塗佈液。又，使用壓送裝置作為主要之送液手段，輔助地使用泵，因此以容量較少之小型泵即可獲得必要之性能。因此，亦有助於設備成本之削減。

為進而提高塗佈結束時之響應性，本發明之塗佈裝置亦可進而包括如下殘壓去除手段，該殘壓去除手段構成為藉由上述控制部進行控制而可去除上述狹縫噴嘴內之殘壓。

根據該構成，於塗佈結束時，作為第1階段，藉由上述控制部使上述供液用閥進行關閉動作並且使上述噴出壓力去除手段動作，藉此去除上述狹縫噴嘴之殘壓。繼而，作為第2階段，藉由上述控制部使上述吸液手段動作，藉此抽吸上述狹縫噴嘴內之塗佈液。即，由吸液手段抽吸之塗佈液預先藉由殘壓去除手段去除殘壓，因此相較單獨由吸液手段抽吸之情形，塗佈結束時之響應性提高。

作為此種殘壓去除手段之一例，可列舉如下者，其包括： 配管，其係連接於上述狹縫噴嘴之末端敞開於大氣中；及殘壓去除閥，其藉由上述控制部進行控制而開閉上述配管。根據該構成，若藉由上述控制部使上述殘壓去除閥進行打開動作，則上述配管敞開於大氣中，將上述狹縫噴嘴內之殘壓去除。

上述泵可較佳地使用可正反流驅動之恆定容量泵。藉此，藉由恆定容量泵之正流驅動而對供液路內之塗佈液賦予正壓，藉由恆定容量泵之反流驅動而對供液路內之塗佈液賦予負壓。

於塗佈開始時，使上述供液用閥進行打開動作，並且以藉由上述恆定容量泵之正流驅動而對上述供液路內之上述塗佈液賦予正壓之方式動作。藉此，於塗佈開始時，藉由供液用閥之打開動作開始進行壓送裝置之塗佈液之壓送，進而隨著藉由恆定容量泵之正流驅動對供液路內之塗佈液賦予正壓，而快速地將塗佈液供給至狹縫噴嘴。即，塗佈開始時之響應性得到改善。進而，以恆定容量泵之正流驅動彌補塗佈開始時之噴出壓力之不足，從而可減少塗佈開始部之塗佈膜之膜厚之不均勻部分。尤其，於對長條狀之工件進行間歇塗佈之情形時，良率提高，從而有助於材料成本之削減。

尤其，若所使用之塗佈液之黏性提高，則對塗佈液賦予之壓力難以追隨泵之動作，因此相應地必需提前開始泵之驅動。於此種情形時，只要為恆定容量泵，則亦可藉由控制泵 之流量而相對容易地進行對塗佈液所賦予之壓力之管理。因此，容易應對塗佈液之更換。

於塗佈開始時以恆定容量泵之正流驅動彌補噴出壓力之不足，噴出壓力充分提高後，停止恆定容量泵之驅動，由此實現僅利用壓送裝置之塗佈液之壓送。此期間之壓送係以固定壓力進行，因此噴出壓力亦大致固定，可自狹縫噴嘴之前端以大致固定之流量噴出塗佈液，從而於工件之塗佈面以均勻之膜厚形成塗佈膜。

再者，若將上述移動裝置以將片狀之工件(網膜)以固定速度連續搬送之方式構成，則可一面使片狀之工件連續移動一面以卷對卷進行間歇塗佈。藉此，製程時間縮短，從而生產率提高。

根據該發明，於藉由供給用閥之關閉動作強制阻斷壓送裝置之塗佈液之送液時，使吸液手段動作而抽吸殘留於狹縫噴嘴前端之剩餘之塗佈液。因此，無需進行複雜之控制，塗佈結束時之響應性得到改善。藉此，防止塗佈結束部之塗佈膜擴大或不一致之情況，減少塗佈不良之產生。

再者，若使用可逆泵作為吸液手段，則藉由使供給用閥進行打開動作而再次開始壓送裝置之塗佈液之送液時，藉由正流驅動可逆泵，而彌補自狹縫噴嘴之噴出壓力不足。因此，亦可改善塗佈開始時之響應性。

本發明之塗佈裝置係以如下方式構成：對與工件對向配置之狹縫噴嘴供給塗佈液，使工件或狹縫噴嘴相對移動，自狹縫噴嘴之前端將塗佈液噴出至工件之塗佈面，藉此形成既定長度之塗佈膜。以下，參照圖式說明本發明之實施形態。

圖1係表示本發明之第1實施形態之塗佈裝置之概略構成的圖式。如圖1所示，塗佈裝置1包括供液路10、壓送裝置20、狹縫噴嘴30、泵40、供液用閥50、移動裝置60及控制部70。

供液路10係塗佈液流通之配管，且由第1配管11及第2配管12之2根管構成。本實施形態中，利用壓送裝置作為主要之送液手段，因此構成供液路10之配管11、12較佳為由可承受較大壓力(數10 kPa)之材料形成，例如使用鐵氟龍(註冊商標)管。於如壓力(0.3 MPa以上)增大之情形時較佳為使用鋼管。第1配管11將塗佈液箱23與泵40之入口之間連接，第2配管12將泵40之出口與狹縫噴嘴30之間連接。

作為一例，壓送裝置20係由壓縮空氣之壓縮機21、壓縮空氣流通之耐壓配管22及塗佈液箱23構成。塗佈液箱23係收容塗佈液之密閉容器。耐壓配管22之下游端連接於塗佈液箱23內之塗佈液之液面上方。上述第1配管11之上游端插入至塗佈液箱23內之塗佈液中。

耐壓配管22將已於壓縮機21中壓縮之空氣供給至塗佈液 箱23內，對塗佈液箱23內之塗佈液賦予固定壓力。於塗佈液箱23內加壓之塗佈液被擠出至供液路10內。藉由對供液路10內之塗佈液始終於固定方向賦予固定壓力，從而塗佈液被壓送過供液路10而供給至狹縫噴嘴30。再者，可於塗佈液箱23之出口側設置壓力調節閥(調節器)等，而將賦予給塗佈液之壓力精密地調整為固定。本發明中，使用此種壓送裝置20作為主要之送液手段。

狹縫噴嘴30係於供液路10之塗佈液流通方向配置於最下游。狹縫噴嘴30呈大致長方體形狀，以長度方向與正交於工件W之搬送方向之方向一致之方式配置於工件W之上方。狹縫噴嘴30之前端部(下端部)形成為尖細之錐形，於其前端具有狹縫狀之噴出口。狹縫噴嘴30係使前端之噴出口隔開既定間隔而與工件W對向配置，藉由自噴出口噴出之塗佈液而於工件W形成塗佈膜。

泵40為本發明之吸液手段之一例。構成為可對供液路10內之塗佈液賦予正壓及負壓。此種泵40中，作為一例，使用如活塞泵或膜片泵之可正反流驅動之恆定容量泵。即，若正流驅動容量泵則對供液路10內之塗佈液賦予正壓，若反流驅動恆定容量泵則對供液路10內之塗佈液賦予負壓。泵40之壓力賦予方向或流量係藉由控制部70進行控制。

供液用閥50係於供液路10之塗佈液流通方向配置於較泵40靠上游。換言之，泵40係於供液路10之塗佈液流通方 向配置於較供液用閥50靠下游。本實施形態中，供液用閥50配置於第1配管11。藉由供液用閥50之關閉動作而停止壓送裝置20之塗佈液之壓送。供液用閥50之開閉係藉由控制部70進行控制。

移動裝置60係以使工件W或狹縫噴嘴30相對移動之方式構成。本實施形態中，移動裝置60係使工件W相對於固定之狹縫噴嘴30而移動之裝置。作為一例，移動裝置60作為如下裝置而構成，即具有旋轉驅動之捲取輥61及從動旋轉之送出輥62，藉由捲取輥61對捲繞保持於捲取輥61與送出輥62之片狀之工件(網膜)W進行捲取，藉此以所謂之卷對卷按固定速度連續搬送工件W。

控制部70以控制泵40及供液用閥50之動作之方式而構成。作為一例，控制部70由電腦構成。本發明中，於塗佈裝置1之運行中變更動作狀態者為泵40及供液用閥50。壓送裝置20及移動裝置60亦於塗佈裝置1之運行中被驅動，但並非控制部70之控制對象。其原因為，該等一旦開始動作便就維持固定狀態而不變更動作狀態。

又，本發明中，使用壓送裝置20作為主要之送液手段，並輔助地使用泵40，因此以容量較少之小型泵即可獲得必要之性能。於1次塗佈動作中應控制之部分亦較少，因此控制機構亦可簡易地構成。

其次，使用圖2~圖5說明以如上之方式構成之塗佈裝置 1之動作。圖2係表示藉由上述塗佈裝置1並使用低黏度(1~10 cP)之塗佈液對片狀之工件W進行間歇塗佈之情形之各部的控制時序、及基於此之噴出壓力、膜厚之經時變化之一例的時序圖。圖3係表示藉由上述塗佈裝置1並使用高黏度(≧100 cP)之塗佈液對片狀之工件W進行間歇塗佈之情形之各部的控制時序、及基於此之噴出壓力、膜厚之經時變化之一例的時序圖。圖4(A)~圖4(D)係分別表示與圖2、圖3所示之A~D之各期間對應之狹縫噴嘴前端部之塗佈液之狀態的模式圖。

即便於形成相同長度之塗佈膜之情形時，亦根據所使用之塗佈液之黏性，而改變壓送裝置之供給壓力、泵之驅動開始之時序或流量之控制，因此分成低黏度(1~10 cP)之塗佈液之情形(圖2、圖5)與高黏度(100 cP)之塗佈液(圖3)之情形進行說明。

首先，使用圖2、圖4(A)~圖4(D)對所使用之塗佈液為低黏度之情形進行說明。再者，塗佈裝置1之驅動中，壓送裝置20始終對塗佈液箱供給噴出壓力為20 kPa之固定壓力，移動裝置60以100 mm/秒之固定速度連續搬送片狀之工件W。

<塗佈開始部(參照圖2之區間A、圖4(A))>

藉由供液用閥50之打開動作(圖2之時間軸中為0.3秒)，開始利用壓送裝置20對供液路10內之塗佈液之壓力供給。 實際上，因存在響應延遲，故而即便打開供液用閥50，噴出壓力亦無法立即上升至規定之20 kPa。此期間，因成為膜厚不均勻之區域，故而欲儘可能地使其縮短。因此，為彌補噴出壓力之不足，於供液用閥50之打開動作之同時，以既定流量(作為一例為0.3 mL/秒)正流驅動泵40，對塗佈液賦予正壓。藉此，自供液用閥50之打開動作起，以0.04秒使噴出壓力達到規定值，膜厚不均勻之塗佈開始部之塗佈膜之長度收斂於4 mm。

為進行比較，圖5中表示根據使用相同之低黏度之塗佈液，不使用泵40而僅以利用壓送裝置20之壓送噴出塗佈液之情形(供液用閥50之開閉動作之時序相同)進行同樣之塗佈膜之塗佈之情形的時序圖。於此情形時，噴出壓力達到規定值花費0.1秒，膜厚不均勻區域之長度達到成倍以上之10 mm。根據以上情況可確認如下效果：於塗佈開始時藉由輔助地活用泵，響應性提高，可縮短膜厚不均勻之塗佈開始部之塗佈膜之長度。

<塗佈中央部(參照圖2之區間B、圖4(B))>

於停止泵40之正流驅動後，僅以利用壓送裝置20之壓送進行塗佈液之噴出。噴出壓力達到既定值後穩定，因此噴出流量亦穩定，獲得均勻之膜厚之塗佈膜。該塗佈中央部(參照圖2中施以影線之區域)為膜厚均勻之區域，且為進行蝕刻等加工之塗佈膜之可使用區域。即，該塗佈中央部之長度 越長，塗佈膜之品質越高。圖2中，該塗佈中央部之長度為96 mm。

<塗佈結束部(參照圖2之區間C、圖4(C))>

藉由供液用閥50之關閉動作(圖2之時間軸中為1.3秒)，阻斷利用壓送裝置20對供液路10內之塗佈液之壓力供給。實際上，因存在響應延遲，故而即便關閉供液用閥50，噴出壓力亦不會立即變為零。此期間，不會對位於供液用閥50之下游側之塗佈液產生制動，殘留於狹縫噴嘴30前端之剩餘之塗佈液因自重或惰性流出，有塗佈結束部之塗佈膜擴大或不一致之虞。因此，為削減剩餘之噴出壓力，以既定流量(作為一例為0.3 mL/秒)反流驅動泵40，對塗佈液賦予負壓。藉此，自供液用閥50之關閉動作起以0.05秒使噴出壓力變為零。藉此，膜厚不均勻之塗佈結束部之塗佈膜之長度收斂至5 mm。

相對於此，如圖5所示，於使用相同之低黏度之塗佈液，不使用泵40而僅以利用壓送裝置20之壓送噴出塗佈液之情形時，噴出壓力達到規定值花費0.1秒，膜厚不均勻區域之長度亦達到成倍之10 mm。根據以上情況可期待如下效果：於塗佈結束時藉由輔助地反流驅動泵40，而抽吸殘留於狹縫噴嘴30前端之剩餘之塗佈液，塗佈液之消除較佳。即，塗佈結束時之響應性得到改善，防止塗佈結束部之塗佈膜擴大或不一致之情況。

<間歇區域(參照圖2之區間D、圖4(D)>

若噴出壓力變為零(圖2之時間軸中為1.35秒)，則塗佈液無法噴出，塗佈膜之形成中斷。繼而，再次打開供液用閥50(圖2之時間軸中為1.5秒)，自狹縫噴嘴30前端再次開始塗佈液之噴出。

如此，包含塗佈開始部、塗佈中央部及塗佈結束部之塗佈膜夾持著間歇區域而反覆形成於連續搬送之工件W。

其次，使用圖3、圖4(A)~圖4(D)，對使用高黏度(≧100 cP)之塗佈液之情形進行說明。再者，於塗佈裝置1之驅動中，壓送裝置20始終對塗佈液箱供給噴出壓力成為較低黏度之塗佈液時高之50 kPa之固定壓力。移動裝置60之移動速度及供液用閥50之開閉動作之時序與低黏度之塗佈液時相同。

隨著塗佈液之黏性變高，相對於供液用閥50之開閉動作之噴出壓力之響應降低。因此，於塗佈開始部(A區間)，較供液用閥50之打開動作稍早地以既定流速(圖3中為0.8 mL/秒)正流驅動泵40。另一方面，於塗佈結束部(C區間)，於與供液用閥50之關閉動作之同時反流驅動泵40，但為長時間地驅動泵40而快速進行啟動，且花費時間進行停止。

藉此，無需變更移動裝置60之移動速度及供液用閥50之開閉動作之時序，藉由調整於塗佈開始部及塗佈結束部輔助地活用之泵40之驅動開始時序或流量即可彌補因塗佈液 之黏性變高所致之響應之降低。因此，即便塗佈液之黏性發生變化亦不損及生產率，可藉由間歇塗佈而連續地形成固定品質之塗佈膜。

再者，上述實施形態中，移動裝置60係以使工件W相對於狹縫噴嘴30進行移動之方式構成，亦可以將狹縫噴嘴30支撐於活動支持構件，並使狹縫噴嘴30相對於工件W進行移動之方式構成。其中，於使狹縫噴嘴30移動之情形時，必需至少於第2配管12採用撓性管。

圖6係表示本發明之第2實施形態之塗佈裝置之概略構成的圖式。塗佈結束時之塗佈裝置之行為中，於使供液用閥50為關閉狀態時，於處理高黏度之塗佈液之情形或雖為低黏度但塗佈量較多之情形、或者塗佈液噴出之狹縫之寬度較窄之情形等時，因黏性阻抗等阻抗力而導致產生殘壓。於此情形時，藉由泵40之反流驅動而進行之塗佈液之抽吸自殘壓之去除起開始。即，若與上述條件等情形以外之情形進行比較，則實際上開始塗佈液之抽吸之前響應延遲一拍。因此，成為塗佈結束部之塗佈膜擴大之原因。

因此，本實施形態之塗佈裝置1中，如圖6所示，進而包括殘壓去除手段80。殘壓去除手段80係以將作用於狹縫噴嘴30內之塗佈液之上述殘壓去除之方式構成。作為一例，殘壓去除手段80包括配管81及殘壓去除閥82。配管82之一端與狹縫噴嘴30連接，另一端敞開於大氣中。殘壓去除 閥82係由控制部70控制而進行開閉動作。

藉由將殘壓去除閥82設置於狹縫噴嘴30之近邊，而更有效地進行殘壓之去除。繼而，配管81具有相對較大口徑(例如於構成供液路10之配管11、12之直徑為 4~6 mm時，直徑為 10 mm)，藉此，即便於塗佈液為高黏度之情形時亦可有效地進行殘壓之去除。進而，自狹縫噴嘴30將配管81向垂直上方拉出，將殘壓去除閥配置於狹縫噴嘴30之正上方，藉此，積存於狹縫噴嘴30內之空氣亦可於殘壓去除之同時排出。殘壓之去除中產生之塗佈液被回收至排水瓶83等中。若將未使用之塗佈液返回至塗佈液箱23進行再利用，則可謀求塗佈液之節約。

作為供液用閥50、泵40及殘壓去除閥82之動作時序，如圖7所示，於塗佈結束時，於供液用閥50受到關閉控制之同時，殘壓去除閥82受到打開控制，開始殘壓之去除。維持於殘壓去除閥82之打開狀態之時間作為一例設定為0.05秒~0.5秒左右(圖7之例中為0.15秒)。殘壓之去除結束，對殘壓去除閥82進行關閉控制，並且使泵40反流驅動，抽吸狹縫噴嘴30前端之剩餘之塗佈液。

上述實施形態之說明於所有方面應視為例示而非限制性者。本發明之範圍並非由上述實施形態而是由申請專利之範圍表示。進而，本發明之範圍意圖包含與申請專利之範圍均等之意思及範圍內之所有變更。

(產業上之可利用性)

本發明對在長條狀之工件上反覆形成既定長度之塗佈膜之間歇塗佈有用。

W‧‧‧工件

1、101‧‧‧塗佈裝置

10‧‧‧供液路

11‧‧‧第1配管

12‧‧‧第2配管

20‧‧‧壓送裝置

21‧‧‧壓縮機

22‧‧‧耐壓配管

23、130‧‧‧塗佈液箱

30、190‧‧‧狹縫噴嘴

40‧‧‧泵

50、150‧‧‧供液用閥

60‧‧‧移動裝置

61‧‧‧捲取輥

62‧‧‧送出輥

70、210‧‧‧控制部

80‧‧‧殘壓去除手段

81‧‧‧配管

82‧‧‧殘壓去除閥

83‧‧‧排水瓶

120‧‧‧空氣加壓線(恆定壓力供給手段)

140‧‧‧供給配管

160‧‧‧恆定容量泵(恆定容量供給手段)

170‧‧‧噴出配管

180‧‧‧噴出用閥

200‧‧‧活動載物台

圖1係表示本發明之第1實施形態之塗佈裝置之概略構成的圖式。

圖2係表示藉由上述塗佈裝置並使用低黏度(1~10 cP)之塗佈液間歇塗佈於片狀之工件之情形之各部的控制時序及基於此之噴出壓力、膜厚之經時變化之一例的時序圖。

圖3係表示藉由上述塗佈裝置並使用高黏度(≧100 cP)之塗佈液間歇塗佈於片狀之工件之情形之各部的控制時序及基於此之噴出壓力、膜厚之經時變化之一例的時序圖。

圖4(A)至圖4(D)係分別表示與圖2、圖3所示之A~D之各期間對應之狹縫噴嘴前端部之塗佈液之狀態的模式圖。

圖5係表示僅藉由壓送而使用低黏度(1~10 cP)之塗佈液間歇塗佈於片狀之工件之情形之各部的控制時序及基於此之噴出壓力、膜厚之時間變化之一例的時序圖。

圖6係表示本發明之第2實施形態之塗佈裝置之概略構成的圖式。

圖7係表示藉由上述塗佈裝置並使用高黏度(≧100 cP)之塗佈液間歇塗佈於片狀之工件之情形之各部的控制時序及基於其之噴出壓力、膜厚之經時變化之一例的時序圖。

圖8係表示先前之塗佈裝置之一例之概略構成的圖式。

Claims (9)

1. 一種塗佈裝置，其係對與工件對向配置之狹縫噴嘴供給塗佈液，藉由移動裝置使上述工件或上述狹縫噴嘴相對移動，自上述狹縫噴嘴之前端將上述塗佈液噴出至上述工件之塗佈面，藉此形成既定長度之塗佈膜者，且包括：供液路，其與上述狹縫噴嘴連接，用以對上述狹縫噴嘴供給塗佈液；壓送裝置，其對上述供液路內之塗佈液始終於固定方向供給固定壓力而壓送塗佈液；供液用閥，其開閉上述供液路；吸液手段，其構成為可抽吸上述狹縫噴嘴內之塗佈液；及控制部，其控制上述供液用閥及上述吸液手段之動作。
2. 如申請專利範圍第1項之塗佈裝置，其中，上述吸液手段係構成為於上述供液路之塗佈液流通方向配置於上述供液用閥之下游，可對上述供液路內之上述塗佈液賦予負壓之泵。
3. 如申請專利範圍第2項之塗佈裝置，其中，進而包括構成為藉由上述控制部進行控制而可將上述狹縫噴嘴內之殘壓去除之殘壓去除手段。
4. 如申請專利範圍第3項之塗佈裝置，其中，上述殘壓去除手段包括：配管，其與上述狹縫噴嘴連接，末端敞開於大氣中；及殘壓去除閥，其藉由上述控制部進行控制而開閉上 述配管。
5. 如申請專利範圍第3項之塗佈裝置，其中，上述泵為可正反流驅動之恆定容量泵。
6. 如申請專利範圍第4項之塗佈裝置，其中，上述泵為可正反流驅動之恆定容量泵。
7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之塗佈裝置，其中，上述移動裝置係以將片狀之上述工件以固定速度連續搬送之方式構成。
8. 一種塗佈方法，其係將藉由對供液路內之塗佈液供給固定壓力而壓送之塗佈液自狹縫噴嘴之前端噴出，於與上述狹縫噴嘴之前端之間維持既定間隔而相對於上述狹縫噴嘴進行相對移動之上述工件之塗佈面形成既定長度之塗佈膜者；該塗佈方法之特徵在於：於塗佈結束時停止上述塗佈液之壓送，並且抽吸殘留於上述狹縫噴嘴之前端之塗佈液。
9. 一種塗佈方法，其係將藉由對供液路內之塗佈液供給固定壓力而壓送之塗佈液自狹縫噴嘴之前端噴出，於與上述狹縫噴嘴之前端之間維持既定間隔而相對於上述狹縫噴嘴進行相對移動之上述工件之塗佈面形成既定長度之塗佈膜者；該塗佈方法之特徵在於：於塗佈結束時停止上述塗佈液之壓送，並且於去除上述狹縫噴嘴內之殘壓後，抽吸殘留於上述狹縫噴嘴內之塗佈液。