TW201109096A - Paste dispenser and method for controlling the same - Google Patents
Paste dispenser and method for controlling the same Download PDFInfo
- Publication number
- TW201109096A TW201109096A TW099121041A TW99121041A TW201109096A TW 201109096 A TW201109096 A TW 201109096A TW 099121041 A TW099121041 A TW 099121041A TW 99121041 A TW99121041 A TW 99121041A TW 201109096 A TW201109096 A TW 201109096A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- substrate
- nozzle
- laser displacement
- displacement sensor
- laser
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
- B05C11/1015—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
- B05C11/1015—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target
- B05C11/1018—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target responsive to distance of target
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Description
201109096 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明關於塗佈膠到基板上之塗膠機以及控制塗膠機 之方法。. 【先前技術】 欣一般而言,平面板顯示器(FPDs)是比傳統使用陰極射線 官的,視或監視器還輕薄的視訊顯示器。已開發使用的平面 板顯不器範例為液晶顯示器(LCDs)、電漿顯示面板(pDPs)、 場發射顯示器(FEDs)、以及有機發光二極體(〇LEDs)。 在f多平面板顯示器中,液晶顯示器為基於影像資訊個 =供應貢料訊號到矩陣配置的液晶胞的顯示器,因此控制液 晶胞的透射率’而顯示所需影像。由於液晶顯示器具有的優 ,在於薄、輕、且功率消耗與操作電壓又低,所以液晶顯示 器已廣為使用。-般製造用於液晶顯示器之液晶面板的方法 將說明如下。 首先,彩色濾光片與共用電極形成於上基板上,而薄膜 電:¾體CTFT}及畫素電極形成於相對於上基板的下基板上。 接著,配向膜塗佈於基板上後,配向膜摩擦提供待形成於配 向膜間的液晶層中之液晶分子預傾角及配向方向。 ^再者,為了維持基板間的預定間隙,以避免液晶洩漏並 挽封基板間的間隙,塗佈預定圖案的膠於至少一個基板,以 形成膠圖案。之後’形成液晶層於基板之間。以此方式,製 造了液晶面板。 201109096 於製造液晶面板當t ’塗膠機用以形成膠圖案於基板 亡:塗膠機包含供裝設基板之平台、配備翻膠之^嘴之頭 單元、以及支撐頭單元之頭支撐件。 、 此類塗膠機在改變各噴嘴相對於基板間之位置時, 膠圖案於基板上。亦即,在藉由上/下移動各頭單元之噴嘴 於z軸方向來維持喷嘴之排出孔與基板間一致的間隙時,、塗 膠機水平移動喷嘴及/或基板於χ及γ轴方向,且自喷 出膠於基板上’因而形成勝圖案。 門/n,圖案於基板時,為了維持基板與喷嘴的排出孔 的-致_ ’各頭單元配備有雷射位移感測[雷射位移 提供1測喷嘴的排出孔與基板之間的間隙所得之間 2料到塗膠機的控制單心因此,控制單㈣基於間 料執行控制’而使喷嘴與基板之_間隙—致。亦即,在 2動喷嘴或基板於X軸及γ軸方向而形成膠圖案時,若 噴嘴的排出孔與基板之間的間隙因為基板不平或其他原因 ^改^,則卿成的__寬歧高度可能偏離預設範 的膠圖案。為了解決此問題 雷射位減·包含發射雷狀之發射部,以及接收自 二自基板反射之雷射光之接收部。雷射位移感測 電二=控二單元’而量測基板與噴嘴之間的間隙, 發射部發射並由基板反射之雷射光之影 同%,塗佈膠到基板的程序中,4測形成於基板上的 201109096 圖案的截面積,並決定膠圖案的截面積是否對應所需的截面 積右膠圖案罝測的截面積不對映所需的截面積,則執行校 正膠圖案截面積的程序。 膠圖案的截面積依據喷嘴的排出孔與基板間的間隙而 化° S噴嘴的排出孔與基㈣的_:大時,㈣案的截面 3加。相對地’當喷嘴的孔與基板間關隙小時,膜 截面積降低。因此,為了校正膠圖案的截面積,即形
=有^截面積的膠随,可考慮調整喷嘴的排出孔與基 板間之間隙的方法。 A 器2句二?所不’於習知的塗膠機中,雷射位移感測 :2包:發射部2a以及接收部孔,*中發射部^發射雷射 2光而=部2b接收自發射部2a發射並自基板s反射之雷 =。二射位移感測器2牢接於鄰近噴嘴ι的位置,並盘喷 ^荦,—° ’為了形献有所_面積的膠 η示1的排出孔1a與基板8之_間隙。如圖 大於預定‘時1 孔1a與基板s之間的間隙控制成 狀預疋嶋時’自雷射位移感測器2之 自基板S上表面反射的雷射光與接 x ’ ° ^ ’如 圖3所示,當喑喈1沾妯山w , t丨的外面接觸。如 成小於預與基板§之間的間隙控制 移感測器2之發射部仏發射 是的雷射光並未人射到接收部化,而 「的==1部2b之間的區域。因此,當喷嘴 的排出孔la與基板s之間的間 、 降低到小於預定間隙時,自雷射位移= f 射位移感_ 2的接㈣2b,地入射到雷 難以利用f射位移感測 6 201109096 量測喷嘴1的排出孔la與基板S之間的間隙。 如此一來,習知塗膠機的問題在於, 排出孔u與基板s之間的間隙,而形成嘴1的 膠圖案。 v战具有所需截面積的 【發明内容】 因此,本發明有鑒於上述習知問題,本發 於提供控·膠機之方法,其中喷嘴相對於^射 = 獨立地垂直移動,因而最佳化地控制喷嘴之排 間的間隙’及/或量測雷射位移感測器之位 ^ ^ 預定截面叙卵案。 s叫成具有 為了達成上述目的’本發明提供一種控制塗 法’塗勝機包含雷射位移感測器以及噴嘴,雷射轉 光之發射部以及接收自發射部發射且^板 器獨立地垂直移動並排出膠’此方法 == 以形成膠圖案於基板上;(_丨形成於基 ⑷歧於步驟(b)所量敎糊案否 ==:=)當在步驟⑷決定膠圖案之 在預δ又截面積辄圍内時’固定雷射位移感測器之位置,以及 上/下移動喷嘴’而調整噴嘴與基板之間的間隙。 步^⑹可包含:⑴向下移動喷嘴 Γ而基使板自之^表面;(2)調整雷射位移』板 之間的_,而使自發射部發射且自基板之上表面反射之雷 201109096 射光入射到接收部之接收範圍内;以及(3)在@定雷射位 測β之位置時,垂直移動噴嘴。 於步驟(2),可垂直移動雷射位移感測器,以調整雷射位 移感測器與基板之間的間隙。 於步驟(2) ’可垂直移動雷射位移感測器,而容許自基板 =上表面反射之雷射光入射到接收部之接收範圍之中央部 _步ΓΓΓ包七⑴調整雷射⑽制11與基板之間的 ’而使自發射部發蚊自基板之上表面反射之雷射光入 味到^部之接收範圍内;(2)在固定雷射位移 ,,^下移動対,而使喷嘴接觸基板之上表面;二f 在固疋雷射轉麵H之位置時,向上移動喷嘴。 =驟⑴’可垂直移動雷射位移感測器,以調整雷射位 移感測器與基板之間的間隙。 =步驟⑴’可垂直移動雷射位移感測器 =表面反射之雷射光入射到接收部之接收範圍 人.,者,為了達成上述目的’本發明提供—種塗 各.毎射位移感測器,可垂直地移動,並且 ^ 匕 發射部以及接收雷射光之接收部 相射光之 獨立地垂直移動;位置量測單元用於量 射位移感測器之垂直位置;以及控制單元用於 8 201109096 移感測a之位置時’彳目對於雷射位移感·獨立地垂直移動 喷嘴,而調整喷嘴與基板之間的間隙。 心=置早元可包含:反射表面,提供於支#雷射位移 感測器之支撐構件或支撐噴嘴之捕構件上,並反射自光源 發射之光,以量測雷射位移制器射嘴之_位置改變; 以及光接收躺n ’提供於械於反射表面之表面,且用於 接收自反射表面反射之光。 、 哭之包含:尺規提供於支撐雷射位移感測 之支樓構件上;以及相機,提供於 相對於尺規之表面,且用於捕捉尺規之影像。 由上述可知’根據本發明之塗膠機以及控制塗膠機 法的優勢在於’喷嘴可械於雷射位概啦社垂1也3 動’且將雷射位移感測器固定在預定位置的狀態下 整噴嘴與基板之間的垂直間隙’而調整膠圖案的截面I因 而容許雷射位移感測器總是位在精確量測、 基板間之_的最佳位置。 與 【實施方式】 例之塗 於後,參考伴隨圖式將說明根據本發明較佳 膠機以及控制塗膠機之方法。 土 ^ 如圖4及圖5所示,根據本發明之塗膠機包含框 桌台20、平台30、一對支撐移動導引件4〇、頭支俨件 頭單元60、以及控制單元(未顯示)。桌台2〇提供於二架⑴ 201109096 二:上轴方广平㈣安裝於桌台2〇,而 -所支掠,==方的支撐移動細; ::rx轴方向=包=二安的裝= 料50可提供於一個框架複數頭支 動於y轴方向。複數頭單元6。可安= 動頭= 撐構件62, /二^二==支_“卜第二支 5的垂直方向)、以及第三支撐構===(圖 所支樓而移動於Z軸方向(圖5的垂直方向)第,冓牛 部,Λ發=發感測器71包含發射部以及接收 隔,並接收自基板s ^射之;4m發射部相隔預定間 出電訊號到控制單元,^ 發射^ 第二支撐構件63提供有填充膠之注 近雷射位移感測器71並排出膠之嘖 w 广成郇 72與噴嘴73彼此相通的連通f %、。、以料注射器 第 驅動單元81提供於第—切構件61與第二支撐 201109096 件62之間,以移動第二支標構件⑺於 早兀82提供於第二支撐構件犯 :二―驅動 以相對於第二支撐構件—又撐構件63之間, 向。 叉符構件62而移動第三支撐構件63於2輪方 舉例而言,第-驅動單元81包 及將第-驅動馬達811 *第 驅動馬達811以 軸.當第一驅動馬達件第62,的第—驅動 對於第—切構㈣獨立地_於^;^撐構件幻相 第二:二含:動接於第二支卿^ ^ 63 822 ^ It I2' ^支雜件 6—二“ 821 元81的操作移動於z 芽構件62稭由第-驅動單 的第二驅動馬達821及舞接第mi二支撐構件62 件63與第二支樓構件62 —起移動於z轴方1 向的第三支撐構 同時,耦接器64提供於筮口一 822與第三支撐構件幻之:第二驅動軸 三支樓構件63。此類64 j動轴822與第 的下端朝第,接構件⑷延伸於γ軸方向弟, 二叙接構件642。第_叔二#弟—轉接構件641及第 上端延伸於Y轴方向,妾構件⑷自第三支樓構件63的 的下端朝第-為姑a弟=輕接構件642自第二驅動軸822 [fl 201109096 ::接:此,第三支撐構件63藉由第-耦接構 1自第一耦接構件642懸吊。 移動:第3!:件62藉由第一驅動單元81的操作而向下 - 第三支撐構件6d蔣=上表面接觸時,避免 63停止的狀離下银步向下移動。因此,在第三支樓構件 分離,且第一輕接構件642與第一麵接構件641 板s上表2Γ 62向下移動。再者,當喷嘴73與基 離時,第二^構與第一福接構件64!分 支嶋62的向上… 感測器71及tj3皆;=:接觸時’雷射位移 上或向下移^表觸而停止時,雷射位移感測器71可向 雷射位移感咖操作時, 動,或雷射位移感測器71與噴嘴73可同時_。於相或反向方下向移 -之間於、方向的相;二^ 供於弟二支撐構件62的參考部9],以及偵測參考二= t f] 201109096 ,方向的位置的感測部92。此類位置量測單元9〇利用參考 91與感測部92間的互動,量測第二支樓構件幻與第三 支撐構件63之間於Z軸方向的相對位置。 根據本發明範例的位置量測單元9〇中,參考部91可包 含具有刻度的尺規’而感測部92可包含補捉尺規影像的相 機。於此案例中,參考部91與感測部%間的相對位置可基 於相機所捕捉的尺規影像來量測。 根據本發明另一範例的位置量測單元9〇中,參考部91 可包含根據位置具林同反㈣的反射表面,喊測部92 可包含接收自反射表面反射之光的域㈣·。於此案例 中,光接收感測器量測自錢發社自反射表面反射的光, 而量測參考部91與感測部92間的相對位置。 同時,根據本發明實施例,參考部91提供於第二支撐 構件62而感測部92提供於第三支撐構件e。秋而 明不限於這__。亦即,參考部%可提餘 ^ 構件63而感測部92可提供於第二支撐構件62。 一牙 根據第二支撐構件62與第三支撐構件6 置,參考㈣與感測部92間的相對位置發生變化。如^ 所示,假設喷嘴73的排出孔與雷射位移感測器7 軸方向關隙表示為參考符號A,f射位移感㈣71 = 板S之間的間隙表示為參考符號B,而喷嘴7 ^ 基板3之__表㈣參考錢G,滿足方,m A”。參考圖6,假設參考部9丨的特定位置為零點〇,而喷 嘴73的排出孔與雷射位移感測器71之間在零點〇的間隙 201109096 表示為AO,當第三支撐構件63相 上移動了移動距離C時,得到方藉4.,乂 支撐構件62向 嗔αΓΓ孔與基板s之間的 (〇 - C)。再者,若第三支撐構 轾式0 Β- 62向下移動了移動距離c時,得 |第二支撐構件 此,噴嘴73的排出孔愈A 式A = A0 + C”。因
=B - (A0 + Q”。如此S,在“;^ 7足方程式”G 〇預先量測噴嘴73與雷射位移咸置元9〇的零點 位移戍測$ 早几9G量測的噴嘴73相對於雷射 的3 = 以及利用雷射位移感測器刀量測 73的姑山移感測$ 71與基板S之間的間隙β,來量測喷嘴 73的排出孔與基板S之_間隙⑺ 噴嘴 於後,參考圖7說明根據本發明控制塗膠機之方法。 單元Hi基板S放置於平台3〇上後,頭支撐件50或頭 始點五i動,而使喷嘴73的排出孔對準基板S上的塗佈起 C ,於步驟S1G,#頭讀件5G或頭單元6〇移動 狀的勝圖Ϊ 73排出膠到基板S ’而在基板S上形成預定形 多圖案。於此,基板S可為測試用的暫置基板。 於步驟S20,當膠圖案形成於基板s上時,量測膠圖案 60的面積。為、了量測膠圖案的截面積,可使用裝設於頭單元 備、戴面積感測為(未顯示),亦可使用具有雷射掃瞒器的設 膠圖案的$ 再者’於步驟S30 ’控制單元決定所量測之 14 201109096 積範圍内。若膠圖案之截面積是在預設 截面積範_ ’則完成了形成膠_於基板s上。 然而’若軸義截面積不在預設截 ^請’她蝴整基板s射嘴則 =此點,膠圖案喊面積小於預設戴面積賴,則執行 枚正,以增加基板s與喷嘴73之間的間隙 = 截面積範圍,則執行校正,以縮= 板s射嘴73之間的_。為了調整基板3與 的間隙,控鮮it停止第—軸單元81的操作、嘴 : g位移,測器距離基板S的垂直位置,並操作 二 =上,下移動噴嘴73 ’而調整噴嘴73距離基板S = 藉此’由於噴嘴73垂直移動時雷射位 J位置是固” ’因此維持雷射位移感測器 杨間隙’而谷許自雷射位移感測器7 & 基板S之上表面反射㈣料,發射並由 的接收部。域的雷射先,入射到雷射位移感測器
如上所述’在校正基板s與喷嘴73之間的 再次執行形成膠圖案於基板s上之步驟⑽、量導H 以及決定所量測的膠圖案之截面積是否 在預δ又截面積範圍内之步驟S3〇 〇 制二i之ΐί:至圖10說明根據本發^ αι 71獨立垂直地移動喷嘴73的操作,以調整膠圖案$ 201109096 位=含將雷射位移感測…位在垂 面積二:圖案的截面積不在預設截 :隙。百先’位置量測裝置% /73之間的 疋於零點0。為了將參考部91 ^ ^感测部92設 點〇,操作第二驅動單元82,而的位置設定於零 二移動第三支撐構件63。當 于9 $擇構件62上 剧位置顿定於零點G,且當參考^ 91=感測部92的目 相對位置改變時,可量測距離零點〇的;立之間的 再者,如圖5所示,在嘴嘴7 的狀態下,第一驅動單元81^興基板S相隔預定間隙 支撑件62及63,而t喷向下移動第二及第三 如圖8所示,雷射位移感測器71 嘴%的f表面。此時’ 喷嘴73接觸基板;§的上表面。一、嘴73向下移動,而使 作第—Ξ 動 Ϊ: : 及63。當雷射位移感測器71盘基 ^-支樓構件62 佳範圍WR内時,停止第一驅 ,間的間隙B是在最 佳範圍WR是雷射位移残測早:81的操作。於此’最 ,射位移感測器面其 圍。於相關的背景中,當形成二
與雷射位移感測ϋ 7】執行料*^基板S上時,基板S
上表面反射的雷射光不是人對運動。自基板S 疋八射到接收範圍的一點,而是根痛] 201109096 基板s的上表面高度,可入射到接收範圍内的複數點。因 此’當調整雷射位移感測器71與基板s之間的間隙,而使 自基板S之上表面反射的雷射光總是入射到接收部的接收 範圍内時’較佳調整雷射位移感測器71的位置,而使自基 板S之上表面反射的雷射光入射到接收部之接收範圍内的 中央部分。 再者’當第二支撐構件62停止而藉由第二驅動單元82 亡/下移動第三支撐構件63時,利用位置量測單元置9〇所 置測的喷嘴73相對於雷射位移感測器71的移動位置c以及 利用雷射位移感湘71所量測的雷射位減測器71與基板 s之間的間隙B(WR) ’來調整喷嘴73與基板s之間的間隙 G。如此一來’在雷射位移感測器71停止的狀態下,向上 或向下移動噴嘴73,而如圖1〇所示,使噴嘴73位在噴嘴 G容許形成具有所需戴面 71鱼程序’雷射位移感測器71位在雷射位移感測器 嘴之間的間隙是在最佳範圍WR内的位置,而11 # Hπ +、嘴73的排出孔與基板S之間的間隙G容 成具有所频面積之案的位置FG。 奋杨 制塗膠機之方‘類彳^ U =根據本發明^ —實施例控 包含相對於;处貫施例,根據此實施例的方法 作,以調=:二器,卿^ 感測器7]定位在φ吉貝再者,此方法包含將雷射位移 疋位在垂直方向的最佳位置的操作。 201109096 截面:若形成於基板s上的膠圖案的 “與感測部量測裝置9〇的參考部 %的位置設定於零點=參考部91與感測部 第二支撐構件62上/τβ^作第—縣早元82 ’而相對於 #牛上下移動第三支樓構件63。 立即ΐί第如斤不’只要雷射位移感測器71 -操作, 三支下移動第二及第 雷射位移_器74;^=;=卿71所量測之 WR内時,停止帛H隱B是在最佳範圍 ί雷之間的間隙,其容許 中央it 測器71之接收部的接收範圍之 再者’如圖12所示,在第一躯叙留一。 即第二支樓構件62與雷射:移== 停,狀態下’ 操作第二驅動單^ 82以移動対 ^位置為固疋的’ S的上表面。 ㈣嘴73直到噴嘴73接觸基板 ^者’當在第-驅動單元81停 ,,與雷射位移感測器71_置為^下的:j 二測早兀置9G所量_噴嘴73相對於雷射位移 的移動位置C以及利用雷射位移感 夕感測态71 移感測器7!與基板S之間的間;測的雷射位 水在雷射位移感測器y 201109096 狀i下,向上移動噴嘴73 ’而如圖13所示,使噴嘴 右排出孔與基板s之間的間隙g容許形成具 有所需截面積之膠圖案的位置FG。 7! 2過此程序,雷射位移感測器71位在雷射位移感測器 一土板S之間的間隙B是在最佳範圍WRr的位置,而 ^ 73位在喷嘴73的排出孔與基板S之間的間隙G容許 形成具有所需截面積之膠圖案的位置F(}。 甘上所述’本發明提供塗膠機以及控缝膠機的方法, -中噴嘴73可相對於雷射位移感測$ 71獨立垂直地移動, 以及在雷射位移感測器71固定在預定位置的狀態下,藉由 調整噴嘴73與基板s之間賴直_ 面積’而容許雷·移感· 71總是位在购 的排出孔與基板S間之間隙的最佳位置。 本發明實施例的技術精神可獨立地或彼此結合地實施。 【圖式簡單說明】 本發明上述及其他的目的、特徵、以及優點,結合伴隨 圖式與詳細說明將更易了解,其中: 圖1至圖3為顯示習知塗膠機調整喷嘴之排出孔與基板 間之間隙的操作之示意圖; 圖4為顯示根據本發明之塗膠機之透視圖; 圖5為顯示根據本發明之塗膠機之頭單元之示意圖; 圖6為顯示圖5之頭單元之位置量測單元之示意圖; 圖7為根據本發明實施例控制塗膠機之方法之流程圖;
I 19 201109096 雜媳f 8至圖10為依序顯示根據本發明另一實施例控制塗 =_·立方法中,設定噴嘴之排出孔與基板之間之間隙的程序 i不思圖;以及 勝機,至圖13為依序顯示根據本發明又一實施例控制塗 之示意^中’狀嘴嘴之排*孔與基板之間之間隙的程序 【主要元件符號說明】 1噴嘴 la排出孔 2雷射位移感測器 2a發射部 2b接收部 10框架 20桌台 30平台 4〇支撐移動導引件 50頭支撐件 6〇頭單元 61第一支撐構件 62第二支撐構件 63第三支撐構件 64耦接器 71雷射位移感測器 72注射器 73噴嘴 [S 1 20 201109096 74連通管 81第一驅動單元 82第二驅動單元 90位置量測單元 91參考部 92感測部 641第一耦接構件 642第二耦接構件 811第一驅動馬達 812第一驅動軸 821第二驅動馬達 822第二驅動軸 A喷嘴的排出孔與雷射位移感測器之間在Z軸方向的間隙 B雷射位移感測器與基板S之間的間隙 FG喷嘴的位置 G喷嘴的排出孔與基板之間的間隙 S基板 WR最佳範圍
Claims (1)
- 201109096 七、申凊專利範圍: 及-喷嘴之方法,。該塗膠機包含一雷射位移感測器以 及接收自該發:部:-發射部以 ==部於該_移感測器獨== ⑷排出膠到該基板以 ⑼量測形成於該基板之該膠圖案十’ 域測之該膠 圖案之該截面積是否在預 積範圍内時在之該截面積不在該預設截面 该噴嘴’而調整該噴嘴與該基板之間的間隙上下移動 Τι)申圍第1項所述之方法’其中該步驟⑹包含: 該基板之該上細'^噴嘴及該雷射位移感測11,而使該喷嘴接觸 發射該基板之間的間隙,而使自該 收部之一接收範、面反射之該雷射光人射到該接 Ο)在固定該雷射位移感測器之該位置時,垂直移動該喷 嘴 .如申請專利範圍第2 直矛夕動該雷射位移感測器 之間的間隙。 項所述之方法’其中於該步驟(2),垂 以5周整該雷射位移感測 器與該基板 22 201109096 .如申請專利範圍第2或3項所述之方法,其中於該步驟 垂直移動該雷射位移感測器,而容許自該基板之該上表面反射 之該雷射光入射到該接收部之該接收範圍之一中央部分。. 5.如申請專利範圍第i項所述之方法,其中該步驟⑷包含: (1) 調整該雷射位移感測器與該基板之間的間隙, ,射。P發射且自該基板之該上表面反射之該雷射光以 收部之-接收範_ ; _这接 (2) 在固㈣雷射位移感測器之該位置時,向下移動 嘴,而使該噴嘴接觸該基板之該上表面;以及 噴 嘴。(3)在固定該雷射位移感測器之該位置時,向上移動該喷 6. 吉銘t申請專利範圍第5項所述之方法,其中於該步驟⑴,垂 射位移感測器’以調整該雷射位移感測器與該基板 7·如申請專利範圍第5或6項所诚夕t,、土甘p 雷射位移感測器,而容許自該基板之該射 之該雷射光人賴該接收部之該接收範圍之一巾央部分。 8· —種塗膠機,包含: 之;位減測^ ’可垂直地移動,並具有發射—雷射光 之一發射部以及接_雷料之—魏部; 由 1嘴旦可彳:對於該雷射位移❹】雜立軸直移動; 哭之:單^ ’用於置測該噴嘴相對於該雷射位移感測 為之一垂直位置;以及 23 201109096 控制單it ’用於在m定該雷射位移感測器之位置時,相 對於該雷射位移感測器獨立地垂直移動該噴嘴,而調整該喷嘴 與該基板之間的間隙。 ' 9·如申請專利範圍第8項所述之塗膠機,其中該位置量測單元 包含: 一反射表面,提供於支撐該雷射位移感測器之一支撐構件 或支撐該喷嘴之一支撐構件上,並反射自一光源發射之光,以 量測該雷射位移感測器與該喷嘴之間的位置改變;以及 一光接收感測器,提供於相對於該反射表面之一表面,且 用於接收自該反射表面反射之光。 10.如申明專利範圍第8項所述之塗膠機’其中該位置量測單元 包含: 一尺規,提供於支撐該雷射位移感測器之一支撐構件或支 撐該喷嘴之一支撐構件上;以及 — 一相機,提供於相對於該尺規之一表面,且用於捕捉該尺 規之一影像。 24
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090086927A KR101175284B1 (ko) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201109096A true TW201109096A (en) | 2011-03-16 |
Family
ID=43861263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW099121041A TW201109096A (en) | 2009-09-15 | 2010-06-28 | Paste dispenser and method for controlling the same |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101175284B1 (zh) |
CN (1) | CN102019244A (zh) |
TW (1) | TW201109096A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI760621B (zh) * | 2018-07-03 | 2022-04-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101871171B1 (ko) * | 2011-12-20 | 2018-06-27 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 디스펜서 |
KR101911700B1 (ko) * | 2011-12-28 | 2018-10-26 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 도포방법 |
KR101588094B1 (ko) | 2013-12-31 | 2016-01-25 | 이구환 | 대용량 분사용 디스펜서 |
CN104475303B (zh) | 2014-12-30 | 2016-08-17 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种涂布装置 |
CN104607339B (zh) * | 2015-01-22 | 2017-01-04 | 上海理工大学 | 药物喷涂z轴系统 |
KR101588017B1 (ko) | 2015-08-31 | 2016-01-25 | 이구환 | 고압력 분사용 디스펜서노즐 |
KR20170036191A (ko) | 2015-09-23 | 2017-04-03 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트의 단면적 측정 방법 |
KR101703730B1 (ko) | 2015-10-16 | 2017-02-07 | 이구환 | 고정밀 디스펜서 |
CN105679970B (zh) * | 2016-04-11 | 2017-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 胶体烧结设备及方法 |
US20200009602A1 (en) * | 2018-07-03 | 2020-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of producing display panel |
KR102226468B1 (ko) * | 2018-09-28 | 2021-03-10 | 주식회사 포스코 | 레이저 용접기의 헤드 간격 유지 장치 |
CN109718968A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-05-07 | 惠科股份有限公司 | 涂布机的喷嘴模组及喷嘴的调节方法 |
CN111729813B (zh) * | 2020-06-23 | 2021-05-14 | 湖北三江航天江河化工科技有限公司 | 一种半自动灌胶装置及灌胶方法 |
CN112958375B (zh) * | 2021-01-30 | 2022-04-22 | 上海盛普流体设备股份有限公司 | 可在线检测的独立旋转喷嘴式紧凑型涂胶头及其涂胶方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2752553B2 (ja) * | 1992-10-02 | 1998-05-18 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
JP3492190B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2004-02-03 | 株式会社 日立インダストリイズ | ペースト塗布方法とペースト塗布機 |
KR100700176B1 (ko) * | 2002-12-18 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시패널의 디스펜서 및 이를 이용한 노즐과 기판의갭 제어방법 |
JP2005058830A (ja) | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 |
KR100591692B1 (ko) * | 2005-10-31 | 2006-06-22 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드 |
KR100649962B1 (ko) * | 2006-06-28 | 2006-11-29 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛 |
KR100919622B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2009-09-30 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 디스펜서의 거리 센서 |
-
2009
- 2009-09-15 KR KR1020090086927A patent/KR101175284B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-06-28 TW TW099121041A patent/TW201109096A/zh unknown
- 2010-08-06 CN CN2010102470376A patent/CN102019244A/zh active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI760621B (zh) * | 2018-07-03 | 2022-04-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101175284B1 (ko) | 2012-08-21 |
CN102019244A (zh) | 2011-04-20 |
KR20110029305A (ko) | 2011-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW201109096A (en) | Paste dispenser and method for controlling the same | |
TWI293712B (en) | Sealant dispenser and control method thereof | |
CN101444773B (zh) | 检测涂胶机的喷孔和激光位移传感器的光点的位置的位置检测设备和方法 | |
TW201242672A (en) | Nozzle cleaning apparatus and paste dispenser having the same | |
TW201119749A (en) | Method for controlling paste dispenser | |
JP2007178367A (ja) | ペーストの塗布量測定装置及びペースト塗布装置 | |
TW201043341A (en) | Method for dispensing paste and substrate having paste pattern formed thereon by the method | |
JP4385033B2 (ja) | ペースト塗布機およびその制御方法 | |
TW201006565A (en) | Paste dispenser and method for forming paste pattern using the same | |
KR100795509B1 (ko) | 페이스트 패턴 검사 방법 | |
TW201109095A (en) | Paste dispenser and method for applying paste | |
JP2006245174A (ja) | 位置決めステージ、パターン形成装置、検査装置、位置補正方法、基板支持部 | |
TWI462780B (zh) | 分配器設備及其控制方法 | |
CN104475303B (zh) | 一种涂布装置 | |
TWI611845B (zh) | 膠塗佈機 | |
TW201109089A (en) | Method for applying paste | |
CN106583157B (zh) | 涂布设备 | |
TWI311929B (en) | Head unit for use in a paste dispenser | |
TWI385425B (zh) | 測量點膠量分佈之方法 | |
KR20060093687A (ko) | 씰런트 디스펜서 및 그 제어방법 | |
TW201105425A (en) | Method of controlling coating apparatus | |
KR100984156B1 (ko) | 페이스트 디스펜서의 높이측정용 변위센서 | |
KR101107499B1 (ko) | 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 | |
KR101096710B1 (ko) | 액정표시장치용 시일재 도포장치를 사용한 시일재 도포방법 | |
KR20070118218A (ko) | 씰런트 디스펜서 및 그 제어방법 |