TW201009987A - Method of adjusting velocity of transfer member, method of transferring substrate using the method, and substrate-processing apparatus - Google Patents

Description

201009987 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明在此揭露了關於—種關於製造半導體基板的設備，特- 別是關於—種赃運送元件速度之方法及應職方法之基板傳送— 方法’與基板處理設備。 【先前技術】 在基板製造製程當中，為了將所想要的精緻圖樣製作於基板 上’ -般是需要將沉積與_介電f與金屬材料、塗佈與娜光 ^或者灰化製程(asher process)等製程重複許多次才能達成。但 疋’即使這些f程當中包含了蝴或者灰化等製程，外來的一些 物質健會殘留在基板上。所以在，製程當中也包含了利时 離子水或者化科品#清雜程來去除這斜麵㈣。 在執行清潔製程(deaning process)之基板清潔設備分類為批 I土板清潔設備與單片基板清潔設備。批量基板清潔設備通常包 3 了-個化學槽、—鋪洗槽與—個乾燥槽程槽，並且這些 製程槽需要具備能夠同時容納25片或者5()片基板的容量大小: =種批量基板清潔設備通常是將一批量基板分別浸入各別製程槽 當中-段預定㈣間以去除外來婦。因此這種批量基 潔設備能夠同時清潔基板的上表面與下表面，並且可同時處理大 =基板。但是，當基板的紐尺寸增加時，這錄程槽的尺寸也 隨之增加’所需要的化學藥品總量與該設備的大小也會增加。而 且，由基板分離出麟來物f會在化學射與婦的基板相互污 染0 4 201009987 近來，隨著基板直經尺寸的增加 泛應用。在單片基板清潔設備 ^基板備也被廣 jL » β-^A^Ak 田 土板會被固定一個基板夾具 的喷頭將化學藥品或去 得化學藥品或者去軒水散録上。基㈣旋轉會使 板表面的外來物質。這種藉此可去除在基 裝置齡+^-^一—/以销具有比批量基板清潔 Ϊ中ίίΪίί 麵諸處理料紐的小尺寸製程室 ㈣二二!達來旋轉’接著會透過-個設置於基板上 裝置較小的尺寸’並且可達到一均勻的清潔效果。 置入/31說’難ί㈣咖她咖有：一個 盘一Γ 时5丨控㈣置、—轉存單元、多個f程室 存單元置。μ引控制裝裝用於置入/取出單元與暫 赢的基板絲是已清_基鮮待送至顧〜取出單元。 複數懷置就像是索引控制裝置與主傳送控㈣置包含了 心煮，並且基板是被置放於每一個懸臂之上。 ，;臂是_水平移_方式將基減儲麵如㈣^晶圓盒 _^pen unified pods, FOUPs)或者是暫存單元之中取出或放入。 當傳送控制裝置垂直地移動以將基板放置於懸臂的上表面， 或者當放置於懸臂上的基板隨著傳送控制裝置垂直地移動時，由 ^干擾與震動生，傳送控職置就需要於—個低速度下移 口此’傳送控制裝置的基板傳送時間就會增加，並且傳送效 率就會降低。 201009987 【發明内容】 本發明係提供一種調整運送元件移動速度的方法，其以增進 傳送一基板的效率。 本發明也提供一種應用上述運送元件移動速度的方法之基板 傳送方法。 本發明也提供一種基板處理設備處理一基板利用傳送基板的 方法。 本發明的實施例提供具有複數個傳送懸臂並且基板被置放於 其上的運送元件的調整移動速度的方法，其中各別的傳送懸臂面 向一地端、該方法包括：從起始點至第一點對該傳送懸臂進行加 速度運動，其中該懸臂在該起始點開始垂直地移動，該第一點係 為該傳送懸臂之速度到達一預設的參考速度；從一第二點至一目 標點逐漸地對該懸臂於該參考速度進行減速度運動；將該第一點 至該第二點區分為N個移動區域（其中N為一自然數且至少值為 二）’並將該傳送懸臂根據所對應的移動區域進行下列任一運動： 一減速度運動、一加速度運動、一均勻速度運動，其中，該傳送 懸臂於目前的移動區域中的運動與前一個移動區域中的運動不 同。 在本發明的其他的實施例，一種基板傳送方法，使用具有複 數個傳讀;臂並有基板置放其上的運送元件，各觸該傳送懸臂 面向y地端’該方法包括：將該運送元件移動至儲存元件以從該 儲存70件巾置放或拿取絲板；職傳聰臂垂直地移動至位於 °亥儲存元件之一目標點；將位於該傳送懸臂之上表面之該基板置 入於該目標點，或拿取置放於該目標點之該基板。 201009987 该傳送懸臂的移動包括：從—起始點至—第—點加速該傳送 懸臂，其中該傳送懸臂在該起始點開始垂直地移動，而該第一點 =為該傳賤臂之移動速度達職的參考速度。將從該第一點至 -第二點之間的區域分割為N個移動區域（其中N為—自然數且 至少值為二）並將該傳送懸臂根據對應的該移動區域進行下任一 運動：一加速度運動、一減速度運動、一均勻速度運動。將具有 該參考ί錄速度之該傳賴做娜二點至該目標點減速；該傳 送懸臂於目前的移動區域内的運動與前—個移動區域内的運動不 同。 在本發明的其他實施例中，基板處理設備包括一個儲存元 件、一個運送元件以及一個控制單元。 二該儲存元件，係將複數個基板垂直地安置以儲存該些基板。 運送元件包括.被數個於垂直方向彼此面對的傳送懸臂、一 ，水平地移動該些傳職臂的师驅動部件、以及—被配置於懸 ，驅動部件之下且用以改變該傳送懸臂之該垂直位置的垂直移ς 部件，其中該些基板被置放於該些傳送懸臂上、該運送元件將至 夕片该基板從該儲存元件中取出或置入。該控制單元調整該垂 直移動部件之-移動速度’直職傳賴㈣舰移動至位於該 儲存元件之—目標點，其中該控制單元_垂直移_件進行二 速至一預設的參考速度，直到該傳送懸臂從一起始點到達一第一 點’該控制單元對錄該參考速度之該垂直移動部件進行逐漸地 減速，直到該傳送懸臂從一第二點到達該目標點，並且當該傳送 懸臂於介於該第-點與該第二點之間的—區域内移動時^區域 被分割為Ν個移動區域（其中Ν為一自然數且至少值為二) 制單元垂直地移動該垂直移動部件並根據各別的該移動區域= 7 201009987 下列任i運動：—加速度運動、—減速度勒、—均 ^。該控辦元㈣直軸部件以使得直猶部件ς， 剛的移動區域的運動與前—個移動區域⑽運動不同。 根據本發明，當運送树_參相速度時魏树 各別=移動區域而有與前—個移動區域不同的移動速度。因此一 ^與則-個移祕域不_脈衝會被提供至基板上。因此， 曰應疊加會域基板殘㈣震動，從啸升元件的傳送效率。 【實施方式】 以下將配合所_示詳墙述本發明之最佳實關。本發明 將有數個；ί；同形式的實細，但不麟為關本發明之真正發明 精神。更物地說’這些實補職底地鑛本發明之特徵，並 且將向熟知此技藝者完全表達本發明之發明範圍。 以下將配合所附圖示說明本發明的實施例。 第-圖所不為-根據本發明之—實關之基板處理系統 〇〇〇。第二圖為如圖-所示之索引控制裝i綱的透視圖。 參考第一81與第二® ’基板處理祕1GGG包括-置入/取出 單元m、-索引控制裝置200、一暫存單元300、一主傳送控制 裝置500、複數個製程室_、第一控制單元71〇與第二控制單元 720 〇 置入/取出單元110包含了複數個置入通道賺服、胸 與110d。雖然於本實施例當中置入/取出單元11〇包含了西個置入 通道UOa、110b、110c與_，但是置入通道的數量仍然可以根 據基板處㈣、統1_的處理效率齡統㈣件封裝來增加或減 201009987 少。 刖開式晶圓盒(front open unified pods, FOUPs) 120a、120b、 120c、120d被放置於置入通道110a、11〇b、11〇c、11〇d上。晶片 被儲存於前開式晶圓盒(FOUPs) 120a、120b、120c、120d中。這 些前開式晶圓盒(FOUPs) 120a、120b、120c、120d各別包含複數 個縫隙可以將晶片水平地儲存於其中並面向地端。前開式晶圓盒 (FOUPs) 120a、120b、120c、120d中所儲存的這些晶片是已經過 製程室600的製程或是將要送入製程室6〇〇的製程。以下，為了 參方便解說，將已經過基板處理系統1000的晶片稱之為已製程晶片 (processed wafers)，而仍未經過製程的晶片稱之為原始晶片 (primitive wafers) ° 索引控制裝置200被配置於置入/取出單元11〇與暫存單元 300之間，並且一第一傳輸軌道2〇被配置於索引控制單元2〇〇的 下方。索引控制裝置200會沿著第一傳輸軌道2〇務動並傳送晶 片。索引控制裝置200包括一懸臂驅動部件21〇、一索引縣 ⑽、複數個連接部件230、一旋轉部件、一垂直移^牛 與一水平移動部件260。 尤其是，懸臂驅動部件21〇水平地移動各別的索引懸臂功、 也、223、224。索引懸臂22卜拉、⑵、似係為賴由 驅動部件210所驅動。 索引懸臂部件220配置於懸臂驅動部件21〇 =、222、223、224於垂直方向面向彼此，並且於每_= 22卜222、223、224上都放置一片晶片。在本實施例 控制裝置200被配置了四個索引懸臂221、222、2幻、’、g 1 201009987 索引懸臂221、222、223、224的數量可根據基板處理系統1〇〇〇 的處理效率而增加。 索引懸臂221、222傳送原始晶片可被稱之為置入的索引懸 臂，索引懸臂223、224傳送已製程晶片可被稱之為取出的索引懸 臂。在這個例子，置入的索引懸臂221、222與取出的索引懸臂 223、224係分別地配置，而不是交錯地配置。舉例來說，取出的 索引懸臂223、224被配置於置入的索引懸臂221、222之上。因 此，索引控制裝置200就可以避免於傳送已製程晶片與原始晶片 的過程中，已製程晶片受到原始晶片的污染，從而提昇了產品的 良率。 配置於置入/取出單元110之置入的索引懸臂221、222會將 原始晶片從任一個前開式晶圓盒(FOUPS)120a、120b、120c、120d 中取出原始晶片’然後將這些原始晶片置入於暫存單元3〇〇。索引 控制裝置200會從這些在等待的前開式晶圓盒(F〇ups)12〇a、 120b、12〇c、l2〇d其中之一，一次至少取出一片原始晶片。因此， 置入的索引懸臂22卜222可同時將原始晶片插入等待製程的前開 式晶圓盒(FOUPsWOa、i2〇b、120c、120d，然後再將這些原始晶 片同時取出。所以，兩片原始晶片可同時從前開式晶圓盒(F〇ups) 120a、12〇b、120c、120d 被取出。 同樣的，索引控制裝置200可將至少一片原始晶片置入暫存 單元300中。因此，置入的索引懸臂22卜222可同時插入暫存單 元3〇〇 ’然後同時將原始晶片置入暫存單元3〇〇。所以兩片原始晶 片可同時置入暫存單元300。 °曰曰 201009987 來說，索引控制裝置一次可同時從等待製程的前開 式曰曰！U(F〇UPs)12()a、働、、刪中取出晶片的最大數量 時將晶片置人暫存單元細的最大數量，與置入的索 引懸#221、222的數量相同。 取出的索引懸臂223、224係將已製程晶片從暫存單元· 取出並將已製程晶片置入於索引控制裝置2〇〇。索引控制 參 參 -次從暫存單幻⑻取出至少—片已製程晶片。因此，取出的索 3^3、224可同時插人暫存單元·，_時將原始晶片 中取出。所以，兩片原始晶片可同時從暫存單元 同樣的，索引控制裝置200可再一次將至少一片 置入等待製程的前開式晶圓盒(F〇UPs)120a、120b、i2〇c、 ==’取出的索引懸臂223、224可同時插入等待製程的前開 式曰曰BU(FOUPs)12〇a、隱、隱、聰中，然後同時將已製程 晶片置入等待製程的前開式晶圓雜㈤琴施、^、〗施、漏 :㈤片已製程晶片可同時置入等待製程的前開式晶圓盒 (FOUPs)l 20a、120b、120c、120d 中。 ，例來說，索引控制裝置2〇〇 一次可同時從暫存單元3⑻中 取出晶片的最大數量與—次可同時將晶片置人前開式晶圓各 Γ,Γ}1Γ' 12lb'120c'120d j ^ # 223、224的數量相同。 就其本身而論，索引控制裝置2〇〇 一次從前開式盒 (FOUPS)120a、12〇b、120c、12〇d與暫存單元300取出與置入複二 片晶片，從而減少傳送晶片的時間與提昇生產力。、 11 201009987 係與22G係與連接部件23G相連接。連接部件230 件：::==::=0的下方。部 伽旋轉。耻，索晴動部 直移動部件25G係被配置於旋轉部件24G的下方，而水平 f部件26G储配制於垂直移動部件_下= ❹ 此，懸f驅動部件210與索引懸臂部件B的垂ί 並Γ件26❻係與第一傳輸執道2。相連接， 可道2〇移動。藉此’索引控制裝置朋就 道l〇a、li〇b、ii〇c、11〇d所配置的方向移動。 與製==^2置於介於_制裝置細被配置的區域 Ϊ 3__索弓_單元所傳送的原始晶片，以及 至600經過製程的晶片。 、袈程 第二圖所示為第—崎示之暫存單元·的透視圖。 參考第一圖與第三圖，暫存單元3〇〇包括-個主本體31〇以 及第一與第二支撐部件320、330。 尤其疋，主本體310可包括一個底表Φ 31卜第-與第二侧 牆312、313，以及-個頂表面314，其中該第一與第二側牆犯、 313係從底表面311向上垂直延伸，該頂表φ 3M係與第—二 侧牆312、313的頂端相連接。 〃— 12 ❹ 參 201009987 的而么了要f取晶片’主本體31G係有一個面向索引控制裝置200 本向别開口與—個面向主傳送控制裝置谓的向後開口。因此， 單主傳送控制裝置谓可方便地將晶片從暫存 第-與第二支撐部件32〇、33〇係為配置於主本體3ι〇之令。 望一f部件320與第一織312相連接，第二支擇部㈣〇盥 魏相連接。每一個第一與第二支撐部件320、330包括 =個支撐物。這些位於第一支卿件細的支撐物係為一對一 於第二支撐部件33〇的支撐物。被暫存單元接收之 曰曰片會有兩端被第一支撐部件獨的支樓物與第二支撐部件33〇 的支撐物所支撐，並且這些晶片係為面向底表面3ιι。 ，-與第二支揮部件32〇、33G之支撐物係為相互間於垂直方 一個第—間隙的距離放置’並且與置人懸臂22卜222盘取 出必# 223、224的數量相同(參考第三圖）。置 :取出的索引懸物、224各別之__二隙的 距離。因此’索引控繼置·可一次從暫存單元·取出輕 =數個晶片。在此，$ 一間隙與前開式晶圓盒卿ps)施、 120b、12〇c、i2〇d的縫隙寬度相同。 31 與第二支撐部件320、330的支撐物可被配置導引部件 m片的位置。導引部件31從切物的上表面凸出，並可 支撐日日片的邊緣表面。 13 201009987 如上所述，暫存單元300之支撐物之間的間隙係為依序地配 置如同索引懸臂221、222、223、224之間的間隙，其中引懸臂221、 222、223、224能同時拿取或置入晶片。因此，索引控制裝置· -次從暫存單元300取出或置入複數片晶片，從而提昇可使用性 與生產力並可減少製程時間。 主傳送控制裝置500傳送置放於暫存單元3〇〇之原始晶片至 各別的製程室600。主傳送控制裝置5〇〇被配置於一傳=走廊 400 ’並可沿著配置於傳輸走廊4〇〇之第二傳輸轨道％移動。傳 輸走廊400係與製程室6〇〇相連接。 +主傳送控制裝置5〇〇從暫存單元3〇〇拿取原始晶片然後沿 著第一傳輸轨道30移動，並向恰當的製程室6〇〇提供原始晶片。 同樣地，主傳送控制裝置5〇〇將位於製程室6〇〇中之已製程晶片 置入暫存單元300。 第四圖所示為第-讀示之主傳触織置的透視圖。 參閱第-圖與第四圖，主傳送控制裝置5〇〇包括一手驅動部 件10手取手部件520、複數個連接部件530、一旋轉部件540、 一垂直移動部件55〇與一水平移動部件56〇。 〇 特別是，手驅動部件510水平移動各別的拿取手521、522、 523、524。14些各別的拿取手52卜522、523、524係獨立地由手 手驅動部件510所驅動。 旱取手部件520係被配置於手驅動部件51〇的上部。拿取手 521 522、523、524係為於垂直方向相互面對，並且晶片係被置 放於每-個拿取手52卜M2、S23、似之上。在本實施例中主 傳送控制裝置50〇被配置有四個拿取手52卜522、523、524 ’但 14 201009987 是拿取手 521、522、523、524 的處理效率而增加 的數I會根據基板處理系統1000 傳送原始晶片的拿取手切、522是指置入的拿取手，傳送已 製程土片的拿取手523、524是指取出的拿取手，在這個例子，置 =拿取手52卜522與取出的拿取手523、似係為分別地配置， 並非交錯地配置。舉例來說，取出的拿取手奶、汹可配置於置 入的拿取手521、522之上。於是，主傳送控制裝置可於傳送 原始晶片與已製程晶㈣避免6製程晶片受到原始晶片的污染， 從而提昇了產品的良率。 置放的拿取手52卜奶各別地將原始晶片從暫存單元3〇〇 取出並將已製程晶片置放於閒置的製程室6⑻巾。置放的拿取手 切、522之間係具有間隙，而間隙係與暫存單元3〇〇之支撐物的 第-間隙相同。因此’置放的拿取手Μ卜522可以同時從暫存單 元300中拿取原始晶片。 取出的拿取手523、524各別地將已製程晶片從製程室6〇〇 φ 取出，其中這些晶片是已經完成製程的，然後將已製程晶片置放 入暫存單元300。取出的拿取手523、524係相距一第一間隙。因 此，取出的拿取手523、524可以從製程室600拿出已製程的晶片 並置放入暫存單元300。在本實施例，各別的置放的拿取手521、 522與取出的拿取手523、524各別的數量都是兩支，但是這個數 量可以根據基板處理系統1000的處理效率而增加。 舉例來說，暫存單元300中的支撐物的數量、索引控制裂置 2〇〇之索引懸臂22卜222、223、224的最大數量、以及於主傳送 控制裝置500之拿取手52卜522、523、524的最大數量，通通都 15 201009987 =樣’其中暫存單元猶中的支獅具有第—職的距離並順序 ^配置，且索引控制裝置200之索引懸臂221、222、223、224 — 次從暫存單元3〇〇取出或置入晶片，而主傳送控制裝置之拿 取手521、522、523、524亦-次從暫存單元3〇〇取出或置入晶片。 就本身*論，主傳送控制裝置5〇0-次從暫存單元3〇〇取出 複數片或者-片的原始晶片。而且，主傳送控 ，元_置入複數片或者一片的已製程晶片。因^ 片傳运時_減少，基板處理魏即可並可提升生產力。

拿取手52卜522、523、524係被連接至連接部件53〇。連接 ，件530係與手驅動部件51〇相連接，且連接部件53〇因手驅動 縣動進而水平地移動與之相連接的拿取手521、您、 523、524。 旋轉部件540被配置於手驅動部件51()的下方。旋轉部件· =與手驅動部件51〇相連接’並旋轉使得手驅動部件51〇旋轉。 藉此’拿取手52卜522、523、524可一同旋轉。

垂直移動部件55G被配置於旋轉部件54()的下方，水平移動 =被配置於垂直移動部件55G的下方。垂直移動部件55〇 糸”方疋轉部件540相連接，並且使旋轉部件54〇向上或向下移動， 以致於調整手驅動部件51G與拿取手部件52()的垂直位置 2部件係與第二傳輸軌道3G相連接，並且可沿著第二傳輸 =3〇移動。因此，主魏控織置·可於暫存單元與製 程室600之間移動。 傳輸走廊400的兩端係與製程室_相連接，其中主傳送控 難置500被配置於傳輸走廊伽，而製程室用以對原始晶片工 16 201009987 得原始晶片轉變為已製程晶片。在製程室600所進 相互^對原始晶片進行清潔製程。每兩個製程室_係為 且傳輸走廊_被配置於此兩個製程室_之間。 一個製程至600則是被配置於傳輸走廊4〇〇的每—邊。 _ H於本實施例中，基板處理系統_包括六個製程室 统的量可根絲域理祕_的效率或者係 製加或減少。而且，雖然於本實施例中， 魯 六個製程室-備十菊麵列成 送押__第—㈣單元71G相連接，並且主傳 單r°相連接。第-控制單元71° 制裝置5⑻=的位置’第二控制單元™控制主傳送控 動部LI是1一控鮮元710控制索引控制裝置綱之水平移 位置，即曰^周整位於第一傳輸執道2〇上之索引控制裝置朋的 第控制裝置2〇0的水平移動位置與水平移動速度。 索引Utr10控制索引控織置200之旋轉部件240以調整 置2(；之之旋轉位置與旋轉速度’並且控制索引控制褒 位置與垂直件250以調整索引懸臂部件220之垂直移動 晶片所造成的1 減少來自於垂直移動對 響應係為-輪_供-一脈衝 17 201009987 尤其疋’當具備基板於上的索引懸臂μ卜222、223、224 (參 考第二圖)垂直移動時，第一控制單元710調整索引控制裝置200 的，動速度以提供-新的脈衝至位於索引懸臂22i、222、223、224 的aa片因此，來自於目前的脈衝的脈衝響應被一個來自新的 脈衝的脈衝響應所疊加’從而減少施加於位於索引懸臂22卜222、 223、224之晶片上的震動。 第五圖所不為根據本發明之一實施例之透過脈衝響應疊加抵 消殘留的震動的圖表。

參考第五圖。—由第一脈衝產生的脈衝響應IR1被一由第二 脈衝產生的脈衝響應IR2所疊加’並且一位於脈衝響應則以及 IR2所結合的位置的結合的響應叫系等於零。即是，當於彼此不 同的時間點輸入的脈衝響應R1與IR2相結合時，脈衝響應皿 與IR2將會抵消。 第六圖所示說明-過程如第—圖所示之第—控制單元彻根 ―:弓丨控職置2GG _直位置控直移動速度的方法的概要 工’並係根據本發明之實施例使用-脈衝響應的方法。第七圖

係為-圖表說明如第六圖所示之索引控制裝置綱 區域的垂直移動速度。 糾的刀割 參考第-圖、第六圖與第七圖，當索引控制裝置· 置根據置入的索引懸臂221的垂直， 置级製置入的索引懸臂221的速度。換言之，當索引 =-個晶片被拿取的拿取點OP移動至—個晶片被放置^放置: ’ ^者當索引懸臂Ml從放置點P移動至拿取點〇 ] 控制單元710將介於拿取點op與放置點Ip之間的區域_^ 18 201009987 個分割區域。特別是，當一中間點MP為位於拿取點〇p以及放置 點ip中間時’介於放置點IP與中間點Mp的中間部分被設定為一 第一修改點Ml，介於拿取點0P與中間點Mp的中間部分被設定 為第一修改點M2。參考第六圖，介於第一修改點M1以及第二 修改點M2之間的區域被稱之為一修改區域md。 第一控制單元710基於各別的0Ρ、ΙΡ、Μρ、Μ1、Μ點來 ，制索引控制裝置200㈤垂直移動速度。換言之，於相關的技藝， #索引控制裝置200被垂直加速達到-預設的最大速度時，索引 控制農置2GG係以-最大速度進行均勻獅，然後索引控制裝置 2〇〇將於靠近目標點時減速。但是’於相關的技藝中，第一控制裝 置710修改區域中的速度從而對晶片提供一個新 區域為索引控制裝置於最大速度進行均句運動的白^域其中^ 以下將詳細敘述，當索引控制裝置200從拿取點OP向放置 =IP移動時’第一控制單元71〇會修改索引控制展置細的移動 迷度。 參 特別是’索引控制裝置2〇〇之垂直移動部件250 (參考第三圖） =動索引懸臂221以-個預設的加速度從拿取點〇p向第二修改點 引2縣T動’並當索引懸臂221到達一個預設的最大速度VM時，索 懸臂221會以最大速度VM進行均勻的運動。拿取點係為 索引控制骏置200開始垂直移動的起始點 第一 f索弓丨懸臂221到達第二修改點M2時’為了脈衝響應疊加， —控制單元彻改變索引控制|置細的垂直移動速度^ _固修=運動。於此，第二修改點M2係為—修改運_起^ 。當索引控制裝置200從放置點正向拿取點〇p移動時，第 19 201009987 二修改點係為修改運動的終點。 當修改運動開始，帝引松去丨 %县士 心以控制震置測之垂直移動部件250即 ^=速度VM開始減速至1設的最小速度Μ，然後於一預定 的時間内以此預設的最小速度％做均勻運動。 日年懸臂221通過中間點細並到達第一修改點M1 Ιΐΐ 0即加速再次達到最大速度vm。於此’第 為—修改運動的終點。當索引控制裝置200從放 赴° #點OP移動時，第一修改點M1係為一修改運動的

起點。 古、遵垂直移動耕25〇係為於一最大速度VM做均句運 t直^引懸臂221接近放置點正。第七_示之參考符號圓 表不一個修改運動的區域。

就其本身而論，當索引控制裝置200之素引別於 與第二修改點M1、M2之間移動時，即當索引控制裝置2⑻於修 改區域MD垂直移動’第—控制單元㈣周期地改變索引控制裝 置200的垂直移動速度。換言之，當索引懸臂221於修改區域md 移動時，索引懸臂22!係根據目前的移動區域進行下列任一運動， 即加速度運動、減速度運動移動、均勻速度運動，肠目前的區 域之運2與前-個區域的運動不同。舉例來說，當索引懸臂221 係為於前-個的區域加速度移動時，索引懸臂221將會於目前的 區域減速度或者均勻移動。 就其本身而論，當索引懸臂功的運動型式根據區域而改變 時對於索引懸f 221上的晶片所提供的脈衝也會依據區域的不 同而改變，從而減日日日片的震動。因此，基板處理纽誦可以 20 201009987 將索引控制裝置2〇〇於最大速度移動而不必擔心晶片的震動，從 而減少基板傳輸的時間並且提升生產力。 於本實施例’由於索引控制裝置從放置點ιρ向拿取點 OP移動並藉由第-控織置71㈣有不_移動速度，與索引押 制裝置200從拿取點OP向放置點的移動皆相同因此詳細ς 說明將被忽略。 再次參考第-圖與第四圖，第二控制單元72〇控製主傳送斤 ❹繼置之水平移動部件560 m周整主傳送控制裝£ 500於^ 二傳輸軌道30雜置，岐域送控繼置，的水平移動位置 以及主傳送控織置5⑻的水平鶴速度。第二控制單元⑽控 制主傳送控制裝置500之旋轉部件540以調整拿取手521、522二 523、、524之旋轉位置以及旋轉速度，且第二控制單元72〇控制主 傳送控制裝置500之垂直移動部件55〇以調整拿取手％卜522、 523、524之垂直移動位置以及垂直移動速度。 特別地，當調整主傳送控制裝置5〇〇之垂直移動部件55〇的 ❹垂直移動速度時’第二控制單元72〇使用脈衝響應疊加方法來減 少來自晶片垂直移動所產生的振動以及干擾。 而且，由於本實施例之第二控制單元72〇調整主傳送控制襞 置500的垂直移動速度以抵消位於拿取手521、522、523、524上 之晶片的振動的過程係與第一控制單元71〇抵消位於索引懸臂 221上之晶片的振動的過程相同，因此對此詳細的說明將忽略。 第八圖至第十五圖係為說明如第一圖所示之第一控制單元 710控制索引控制裝置2〇〇的垂直移動速度的差異。 21 201009987 考第參圓考^1圖以及第八圖至第十五圖，第一控制單元爪（夹 考第-圖）於料猶2 制裝置200進行減少⑽如击古r_^⑽作進而對索引控 控制裝置2_垂直_；砂f動速度，峨職地改變索引 置2〇〇之索引懸臂⑵從放^赴換5之，在這個例子(索引控織 點㈣放置㈣移動)，/索：=r移_ 索引控制單元710 2達修改區域MD時， 八圖5 w 索繼置獅進行修改動作。如第 於=23所示之修改動作區域應’說明了當索引懸物 於修改Q域MD内移動時，移動速度的改變。

之Hi八圖至第十五圖，_臂221於到達修改區域繼 二〈俊胃索引懸臂221到達修改區域_並 域進行以下之-動作:-加速度運動 此、、 =二運動係’其中在目前的區域内的運動係盥 GST運動不同。參考速度係為如第八圖至第十五圖除 圖之最大速度。就其本身而論，由於索引懸臂切的運動

前-個_域_運動不同’進而就會有與絲區域不同 的脈衝被提供至索引控制裝置勘上之基板上。因此，位於索引 控制裝置200上之基板的震動將會脈衝響應疊加所抵消。 以上揭露_料_深思減，係敎能更清楚地描述本 發明之特徵無神’但是並非以上述_露陳佳具體實施例來 對本發明之範嘴加以限制’並且附加的權利範圍申請項的範嘴内 已包3所有類似的修改、改良與其他的實施例。因此，在最大程 ^上於法律所允許的範_ ’本發明的發明制可藉由以下權利 範圍以及其相等内容的最大可允許地範圍來絲但是並非以上 22 201009987 述所之揭簡本翻之範•加以限制 【圖式簡單說明】 圖 第一圖所示為根據本發明之實施例之—基板處理系統的概要 第一圖中所示之索引控制裴置的透視圖； 第二圖為第一圖中之暫存單元的透視圖； ❿ ❷ f四圖為第—圖所示之主傳送控制裝置的透視圖； 殘存的發明之實施例透過脈衝響應疊加來抵消 第/、®為如第騎示之第—控制單元控制根據 置的垂直位置來控制垂直鶴速度，並個根據本發背施Ιΐ 脈衝響應的方法的概要圖； 第七圖為第六圖所示之索引控制裝置根據各別的區域控 直移動速度的圖表示意圖； 仲第八圖至第十五圖為索弓I控制農置受到第一圖所示之第 制單元控伽造成柯的垂直移動速度的示賴。 工 【主要元件符號說明】 1000基板處理系統 20 第一傳輸軌道 30 第二傳輸轨道 31 導引部件 110 置入/取出單元 110a、110b、110c、ll〇d 置入通道 23 201009987 120a 200 221 ' 220 230 240 250 260 300 310 311 312 313 314 314a 320 330 400 500 510 520 521、 530 540 550 、120b、120c、120d 前開式晶圓盒 索引控制裝置

222'223 > 224 索引懸臂 索引懸臂部件 連接部件 旋轉部件 垂直移動部件 水平移動部件 暫存單元 主本體 底表面 第一侧牆 第二侧牆 頂表面 開口

第一支撐部件 第二支撐部件 傳輸走廊 主傳送控制裝置 手驅動部件 拿取手部件 522'523 ' 524 拿取手 連接部件 旋轉部件 垂直移動部件 24 201009987 560 水平移動部件 600 製程室 710 第一控制單元 720 第二控制單元 IP 放置點 OP 拿取點 Ml 第一修改點 M2 第二修改點 φ MP 中間點 VS 最小速度 VM 最大速度 ST 起始點 MM 修改動作區域

Claims (1)

1. 201009987 七、申請專利範圍： 1、-種輕魏元件義毅之綠，該運 傳送懸臂，並且複數片基板被置放於該複數個傳送複= 數個懸臂各別面向—地端，該方法包括： 心 A ，縣點至一第一點對該傳送懸臂進行加迷度運動，其中 起始點開始垂直地移動，而該第一點係為該傳送懸 之速度到達一預設的參考速度； G 速度Ξ動第二點至—目標闕漸崎_臂於該參考速度進行減 _將1^=該第二點分割為關移祕域（其中Ν為一自 :ΐ二重! 並將該傳送懸臂根據所對應的移動區域進 動丁 y:，··-減速度運動、—加速度獅、，速度運 其中《轉韻臂於目前的鶴區域巾的縣與前—個 區域中的運動不同。 2、 如申请專利範圍第丄項所述之調整運送元件移動速度之方❹ 法，其中該傳讀臂於至少—個移祕域進行加速度運動，並且 於至少一個移動區域進行減速度運動。 3、 如巾請專魏圍第2項所狀輕運送元件機速度之方 法，其中該傳關臂於三侧序制的移祕域之巾間的移動區 域進行均勻速度運動’並且該傳送懸臂進行加速度運動或減速度 運動於該中間的移動區域的前—個移動區域，以及該傳送懸臂進 行加速度運動或減速度運動於該中間的移動區域的後一個移動區 26 201009987 域。 運動 度運動 ηξξξξξ 5、-種基板方法，祕板傳送方法中伽—運送元件 該具有複數個傳送懸臂’且該複數個傳送懸臂

   稷數片基板，各·傳魏臂面向—地端，㈣基 法方法包括： 將該運送元件移較-儲存元件峨雜存元件巾置放 取該基板； 將該傳送懸臂垂直地移動至位於該儲存元件之一目標點； 將位於該傳送懸臂之上表面之該基板置人於該目標點，或拿取 置放於該目標點之該基板； 其中，該傳送懸臂的移動包括： 從起始點至一第一點加速該傳送懸臂，其中該傳送懸臂在 該起始點開始垂直地移動，而該第—點係為該傳送懸臂之一移動 速度達一預設的參考速度； 將從該第一點至一第二點之間的區域分割為Ν個移動區域 (其中Ν為-自絲’且至少值為二）並將該傳送懸臂根據所對 應的該移祕域1%行下顺―運動：—減速度運動、—加速度運 動、一均勻速度運動； 27 201009987 -點至該目標點減 具有該參考移動速度之該傳送懸臂從讀第 速；以及 與前一個移動區域内 方法’其中該傳送懸 並且該傳送懸臂於至 該傳送懸臂於目前的移動區域内的運動 的運動不同。 6、如申請專利範圍第5項所述之基板傳送 臂於至少一個移動區域内進行加速度運動， 少一個移動區域内進行減速度運動。 7、 如申請專利範圍第6項所述之基板傳送方法，i中

   臂於該三個順序排列的移動區域之中間的移動區域⑽=勾ς 度運動，並且該傳送㈣進行加速度運動或減速度運動於該中間 的移動區域的前-個移動區域，以及該傳送懸臂進行加速度運動 或減速度運動於該中間的移祕域的後―個移動區域。 8、 如申請專利範圍第7項之基板傳送方法，其中該傳送懸臂以 參考速度於第-移動區域内進行均勻速度運動，以及該傳送懸臂 以參考速度於最後移動區域内進行均勻速度運動。

   9 ;、如申料利顧第8項之基板傳送方法，其中介於該起始點 與該目標點之間之-區域被分割為四舰域，該第—點係為介於 該四個分龍域之第-個與第二舰域之—邊界，該第二點係為 介於該四個分割區域之第三個與第四個區域之一邊界。 10、一種基板處理設備’包括·· 一儲存元件，其係將複數個基板垂直地安置以儲存該些基 板， 一運送元件，其包含複數個於垂直方向彼此面對的傳送懸 28 201009987 臂、-能水平地移該些傳送懸臂_臂轉部件、以及一被配置 於懸臂驅動部件下且肋改變該傳送懸臂之—垂直位置的垂直移 動部件’其巾該錄板被置放於該些傳臂上、該運送元件將 至少一片該基板從該儲存元件中取出或置入；以及 一控制單元，其調整該垂直移動部件之一移動速度，直到該 ，送懸臂垂直地移動至位於該齡元件之—目標點，其中該控制 單兀對《直雜部件進行加速至—預設的參考速度，直到該傳 达懸臂從始點到達—第—點，該控制單元對位於該參考速度 之該垂直移動部件進行逐漸地減速，直到該傳送懸臂從一第二點 到達該目標點’並且當該傳_臂於介於該第—雜該 之 間的-區域⑽動時，舰域被分割為關移祕域中㈣ -自然數’且至少值為二），該控制單元垂直地移動該垂直移動部 件並根據各別的該移動區域進行下列任一種運動：一加速度運 動、一減速度運動、一均勻速度運動；以及 該控制單70控制漏直鶴料喊得_直移動部件於 目前的移動區域内的運動與前一個移動區域内的運動不同。 11、 如申請專利範圍第1〇項所述之基板處理設備，其中當調 整該垂直鑛部件之鶴速麟，該控鮮元控伽垂直移動部 件於至少一個該移動區域内進行加速度運動，以及該控制單元控 制該垂直移動部件於至少一個該移動區域内進行減速度運動。二 12、 一基板處理設備，包括： 一儲存容器，其係將複數片基板垂直地安置以儲存該些基 板，其中該些基板區分為已製程的該些基板或是待製程的該些基 板； —土 29 201009987 一暫存單元，其於係將複數片基板垂直地安置以儲存該些基 板，其中該些基板區分為已製程的基板或是待製程的基板； 一索引控制裝置包含複數個於垂直方向彼此面對的索引懸 臂、一能水平地移動該些索引懸臂的懸臂驅動部件、以及一被配 置於該懸臂驅動部件之下且用以改變該索引懸臂之垂直位置的第 垂直移動。|5件，其中該些基板被置放於各別的該些索引懸臂之 上，該索引控制裝置將該基板於該儲存容器與該暫存單元之間傳 达、騎引控繼置將至少絲板從該儲存容器或該暫存單 兀之中取出或置入；以及

   一第-控鮮元，其調魏第—垂直雜部件之一移動速 度’直到該索㈣臂垂直鷄至倾_存容n或存單元内 其中該第—控制單元對該第—垂直移動部件加速至 。又的第-參考速度，直到該索引 直到該索引懸臂從-第二點到達該目^ 引懸臂於介於該第—點與該第二點之__區域内

   且至；為移動區域（其中N為—自然數， ’心第—控制單兀垂直地移動該第—垂直移動邱# 、’根據各卿該懸臂移祕域 σ牛 動、，逮度運動、一均勻速度運:：種運動 垂 個懸臂移動區 直移動部件於第—垂直騎部相使得該第-域内的運動不同域内的運動與前 30 201009987 ·、如中請專利範圍第1 2項所述之基板處理設備，更進-步 包抬·· 一製程室，其可供該基板進行製程； -儲存元件’其於該垂直方向安置複數絲板以儲存該些基 ▲、送元件I包含複數個於該垂直方向面對彼此的拿取

   料酿地移驗些拿取手的手驅動料、錢—被配置於 f手，動抖之下且用以改變該拿取手的垂直位置的第二垂直移 兀件’其巾該絲板被置放於各別賴齡取手上、該運送元 件將至少—片該基板從該儲存元件之+取出或置人；以及 a人第一控制單元，其調整該第二垂直移動部件的移動速度直 到該拿取手垂直地移動至位於該暫存單元之一目標點；其中 一该第二控制單元對該第二垂直移動部件加速至一預設的第 f考速度’直到该拿取手從—;^始點到達—第三點，該第二控 ^單70對位於销二參考速度之該第二垂直軸部件進行逐漸地 厂速，直到该拿取手從一第四點到達該目標點，並且當該拿取手 於介於該第三點與該第四點之—區域内移動時，該區域將被切判 為W固手移動區域（其中M為—自然數，且至少值為二），該第二 控制單元垂直地移動該第二垂直移動部件並根據各別的該手移動 區域進行下列任-種運動：—加速度運動、—減速度 勻速度運動；以及 邊第二控制單元控制該第二垂直移動部件以使得該第二垂 直移動部件於目前的手移動區域内的運動與前—個手移動區域内 的運動不同。 31