TW200931485A - Discharge lamp - Google Patents

Description

200931485 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明主要是產業用燈，有關於介電質屏障放電燈、 電容麵合型高頻放電燈。例如有關於作為紫外線光源之準 5分子燈、低壓水銀燈等等。 【先前技3 例如上述產業用之紫外線光源中有一種具有發光波長 為172nm之氙準分子燈，常用於基板洗淨等方面。以準分子 燈而s，常常使用雙重管構造之燈。其等燈中，每一個發 10光部都是形成軸向伸長之管狀。對於如此燈，有專利文獻i 等介紹，例如密封有Xe氣體之準分子燈常用在液晶面板用 基板之乾式洗淨等。此時，被照射對象物之基板係以一定 速度移動在運輸帶上，燈是在與運輸帶的流動方向正交之 方向上设置於基板的稍微上方。以一次照射被照射對象物 15之寬度整體，因為基板以一定速度移動時，所以可跨及基 板整體做均-的處理。此外，在例如半導體製程之領域上， 在各步驟中亦多使用紫外線進行半導體晶圓表面之加工、 改質等。為此，大多使用來自氤之準分子之發光之i72nm、 來自氪與氣之準分子之發光之222nm、水銀共鳴線之254抓 2〇等之紫外線。又，亦創作出一個不是在雙重管構造而是單 管之放電容器之兩侧面配置電極之螢光燈。在該燈中，為 了防止使用時之沿面放電，提高安全性之目的，具備玻璃 管或以陶瓷等之耐熱性構件形成之被覆層。以下舉一些與 此有關連之習知技術例。 3 200931485 專利文獻1所揭示之雙重管方式之「介電質屏障放電 燈」係於内側管之内侧面形成―電極，在外侧管之外側面 形成另-電極。在這兩電極之間施加數…之高頻電壓時， 在内側管與外側管之間之放電空間發生介電質屏障放電。 5因為在電極間施加達數kV之高電壓，唯恐在兩電極之間發 生沿放電容器表面傳遞之沿面放電。藉充分取得放電容器 之兩端迄至電極端間之距離’或者是在放電容器端附加絕 緣性物質，可阻止沿面放電。以習知之準分子燈而言，如 上述之雙重管構造之管狀燈是报常用的，為一般者。 10 專利文獻2所揭示之「稀有氣體放電燈」係施有外壁電 極之絕緣保護以防止沿面放電或感電事故之放電燈。如第 5(b)圖所示’在内壁塗佈螢光體膜之管狀玻璃管之中封入以 氙氣為主要成分之稀有氣體。在玻璃管之外壁配置跨越玻 璃管之大致全長而形成之一對帶狀電極。在含帶狀電極在 15内之玻璃管上塗佈矽樹脂等之絕緣性覆膜 。進而，在這絕 緣性覆膜上覆蓋熱縮性絕緣管。 專利文獻3所揭示之「稀有氣體放電燈」係施有外壁電 極之絕緣保護以防止沿面放電之放電燈。如第5(c)圖所示， 在内壁塗佈有螢光體膜之管狀玻璃管之中封入以氙氣為主 20要成分之稀有氣體。在玻璃管之外壁配設一對帶狀電極。 在玻璃管之表面上形成矽樹脂之透明的絕緣覆膜。進而’ 從這上面覆蓋聚酯之熱縮性樹脂管。藉此，使帶狀電極雙 重絕緣來保護。 專利文獻4所揭示之「螢光燈」係提高了對於外部電極 200931485 5 ❹ 10 15 ❹ 20 施加之高電壓之安全性者。如第5(d)圖所示，在由玻璃管構 成之外圍器之内面覆著發光層，以形成開孔部。在這外圍 器之外面’在與此相對之狀態下，沿轴向固定由鋁帶構成 之外部電極。在這外部電極之端部連接有與外部電路連接 用之引線。在外圍器之外面形成由玻璃管構成之被覆層， 俾使外部電極之主要部分被覆蓋。 專利文獻5所揭示之「螢光放電管」係以絕緣覆膜防止 外部放電’且以輔助管提高機械強度者。如第5(e)圖所示， 在於内部密封有稀有氣體之玻璃管的筒體外面沿轴向帶狀 設置有相對之一對外部電極。以絕緣覆膜覆蓋筒體之外面 全區。在玻璃管外覆辅助管，以輔助管覆蓋絕緣覆膜，保 護絕緣覆膜。在傳真器等之機器内設置這種螢光放電管， 也可使飛散之碳粉不會附著在絕緣覆膜，可防止外部放電。 專利文獻6所揭示之「螢光燈」係防止因濕氣的附著而 降低玻璃管面上之外部電極間之絕緣電阻者。如第5(f)圖所 示，在管狀玻璃管之内面形成螢光體覆膜。沿管之管軸方 向，在管的外面形成具有透光性之一對外部電極。在管内 封入放電介質。為了防範降低容易附著濕氣之玻璃管的絕 緣，防止兩外部電極間之短路，而在玻璃管外面之一對外 部電極之間形成由矽樹脂等構成之電氣絕緣層。電氣絕緣 層，不只外部電極間，亦可形成在管之全周圍。形成在全 周圍時，可使電極間絕緣，對於電極連接引線之放電燈， 可為強固的固著。在跨越管之全周圍時，亦可覆蓋聚乙烯 等之熱縮性管。 5 200931485 [專利文獻1]日本發明專利公報第3170952號 [專利文獻2]日本發明專利申請案公開公報第H〇4_〇87249號 [專利文獻3]日本發明專利申請案公開公報第H〇4 112449號 [專利文獻4]曰本實用新型申請案公開公報第H〇5 〇9〇8〇3號 5 [專利文獻5]日本發明專利申請案公開公報第H07-272691號 [專利文獻6]日本發明專利申請案公開公報第號 惟，為了進行準分子發光，所以提高封入壓力，特別 是必須提高施加電壓，只單純地以絕緣性物質覆蓋之程度 的對策時，已知可靠性極低。這是因為就算用玻璃構成被 1〇覆層，加熱使其密著，透過放電容器與被覆層之間的很小 的間隙，亦有可能造成絕緣破壞之疑慮存在。 使用鋁箔等作為電極時，由於鋁箔的融點低，因此即 使加熱，亦不忐充分地提鬲溫度，因此很難配合電極形狀 進行無間隙地覆蓋。又，放電容器與被覆層之熱膨脹係數 15不同時，因燈之點亮與熄滅所造成之熱履歷，而產生應力， 在界面漸漸地產生很小的間隙，有造成絕緣破壞之疑慮存 在。藉玻璃材之熔射而覆著時，亦會產生氣泡或間隙透 過這氣泡或間隙，亦有絕緣破壞之疑慮衍生。為其等情況， 對於習知使用單管之放電容器之燈，無法施加足夠的高 20壓’只能實現放射輸出低之燈。 C Oh明内溶1】 本發明之目的係於提供一種為了獲得高放射輸出而施 加足夠的咼壓時，亦不會發生沿面放電，可靠性高之外部 電極型放電燈。 200931485 為解決上述課題，本發明係一種包含有封入藉介電質 屏障放電或電容耦合型高頻放電而形成準分子之放電氣體 之石英製管狀放電容器；及在放電容器的兩側之管壁内部， 與轴向平行且相對地埋設於放電容器之辖電極之放電燈之 5放電容器，箔電極係對稱地埋設於沿放電容器之圓筒狀側 面，或形成為剖面呈八字形狀，或呈平行平板狀且對稱， 或呈平板狀且形成為剖面呈八字形狀，而埋設於沿放電容 器之圓筒狀側面。 又，本發明係一種包含有於放電容器之管壁内部沿軸 10向埋s又於放電谷器之猪電極；及沿軸向而設於放電容器之 外側圓筒面之外部電極之放電燈之放電容器，箔電極係沿 放電容器之圓筒狀侧面而埋設其中或呈平板狀。在放電容 器之外部設有金屬板或多層介電質膜之光反射構件。 又’在放電容器之管壁内部設有軸向埋設於放電容器 15之箔電極、及在放電容器之管壁内部軸向埋設於放電容器 之網狀電極。或，在放電容器之外侧圓筒面軸向設有網狀 電極。箔電極係沿放電容器之圓筒狀側面埋設，或呈平板 狀。箔電極係以鉬、钽及鎢之任一者為主要成分之箔。 又，各電極之各供電線係相互地配置於轴向之相反 側放電氣體係稀有氣體或稀有氣體與齒素氣體之現合氣 體在放電容器之軸向一端部設有光取出口。 [發明之效果] 藉如上構成，可實現確實地防止沿面放電，可靠性高 之燈。又，可足以提高施加電壓，因此可實現放射輸出高 7 200931485 之燈。又，亦可以單管構成，因此可實現小型且細又廉價 之燈。 [圖式簡單說明] 第l(a)-l(g)圖係本發明實施例1之放電燈之概念圖。 第2(a)-2(g)圖係本發明實施例2之放電燈之概念圖。 第3 (a)-3 (e)圖係本發明實施例3之放電燈之概念圖。 第4(a)-4(d)圖係本發明實施例4之放電燈之概念圖。 第5(a)-5(e)圖係習知放電燈之概念圖。 t實施方式3 10 以下，參照第1-4圖詳細說明實施本發明之最佳型態。 【實施例1】 本發明之實施例1係使箔電極在放電容器兩侧之管壁 内部軸向平行相對而埋設於放電容器之放電燈。 第1圖係本發明實施例1之放電燈之概念圖。第l(a)圖係 15 放電燈之軸向剖視圖。第1(b)圖係放電燈之徑向剖視圖。第 1(c)圖係具有反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第1(d)圖係 具有刳面呈八字形狀之電極之放電燈之徑向剖視圖。第1(0 圖係具有轴向光取出口之放電燈之徑向剖視圖。第1(f)、1(g) 圖係顯示放電燈之製造方法之徑向刮視圖。 20 在第1圖中，石英製放電容器1為石英製單管。亦只稱 為放電容器。亦可形成為橢圓形狀或四角形狀或六角形狀 等之多角形等。放電容器未必要是石英製的。以代表性的 來說，是石英製之管狀放電容器，但意思是亦可包括具同 樣特性之其他性質之物。以封入氙氣及氣氣之混合氣體而 200931485 5 ❹ 10 15 ❹ 20 放射3〇8nm之紐之介電料障放電燈而言，對於放電容 器’可使用硬質麵製容器。為保護放電容器之玻璃的脆 化或防止《與封人氣體之反應，適當地在放電容器之表 面形成氧化減、氧化賴或氧傾料之倾膜。封入 氣體包含有鹵素時，則形成氟化鎂膜等。 放電空間2為放電容器内部之放電空間。在放電空間内 沒有電極。在放電㈣狀錢氣或減與氣之混合氣 體。令封人放電”内之㈣树出準分子光線之氣體。 或者是發出如水銀之特性紫外線之波長254咖或185細之 紫外線之氣體。藉選擇其他適當的封人物，可得到與此對 應之波長的光線。代表性氣體係指形成準分子之放電氣 體，但也意味著包括同樣發光之其他放電氣體。 结電極3係帶狀f|電極。在與軸對稱地在上方與下方相 對的狀態下埋設於放電容以之㈣内部。③電極3係以翻 箔形成。在鉬箔之一端係取出於放電容器丨之外部。另一端 係完全地埋入放電容器壁之内部，作為終端。為了使箔電 極3朝外部之電性連接，所以端延伸到外部，但取出處各為 相反侧。亦可電性連接鉬棒等，再向外部取出。箔電極3亦 可為鉬箔以外之同樣材質之物。光反射構件4係可將光線反 射之構件。依照放電燈之使用目的，亦可不使用。射出窗6 是轴向取光之窗。 說明如上述構成之本發明之實施例1之放電燈之功能 及動作。首先參考第l(a)、i(b)圖，說明放電燈之功能之概 要。在石英製之管狀放電容器丨之兩側的管壁内部，將箔電 9 200931485 極3轴向平行相對地埋設於放電容器1。结電極3係沿著放電 容器1之圓筒狀側面對稱地埋設。箔電極3係以鉬、钽或鎮 為主要成分之箔。各箔電極3之各個供電線係相互地配置於 軸向相反側。將藉介電質屏障放電或電容耦合型高頻放電 5而形成準分子之放電氣體封入放電容器1。放電氣體係稀有 氣體或稀有氣體與鹵素氣體之混合氣體。 對箔電極3之間一施加高頻電壓，則產生介電質屏障放 電。此時產生之成之準分子光線（波長172nm)可由络電極3 之間取出。放電氣體為乳及氯時，可取出波長222nm之準分 10子光線。又，令封入物為水銀及開始起動用之氬氣時，進 行低壓水銀之高頻放電’亦可得到波長254nm4185nm之水 銀特有之紫外線光線。此時，為了維持點亮中之水銀蒸氣 壓為最適者’而控制最冷部，使其冷卻到適溫者。使用多 數這個放電燈，形成可照射廣大的範圍者。 15 其次，參照第i(c)圖，說明設有光反射構件之放電燈。 在放電容器1之上方的外表面設有反射構件7。反射構件7係 由氧化矽及氧化鈦之多層膜構成，以蒸鍍形成。亦可為單 純的金屬板。在第1(b)圖之構成中，光線的取出方向成為與 相對之箔電極3垂直之直角方向。將朝其中之一方（上方）射 20出之光線，藉反射構件7朝相反方向取出，使下方之放射照 度提高。 其次，參照第1(d)圖，說明具有剖面呈/、字形狀之箔電 極之放電燈。沿放電容器1之圓筒狀側面埋設箔電極3，且 使箔電極3形成八字形狀之剖面者。箔電極3之位置位於放 200931485 電容器1中心軸之上方。為此，箔電極3之間隔，上侧變得 較窄，下側變得較寬。因為放電產生領域位於對向電極之 間，所以從中心往上方產生放電。由於箔電極3靠近上方， 因此可藉箔電極3本身，使被遮蔽的光線變少，可由下方有 5 φ 10 15 ❹ 效率地取出藉放電所產生之光線，可得到很強的放射輸出。 其次，參照第1(e)圖，說明軸向取光之放電燈。在放電 容器1之軸向一端部設置光取出口。放電容器1之一端部形 成射出窗6’可使_電極3、3之間所發出之光線轴向取出。 為此，射出光係重疊軸向很長之放電領域中之發光，得到 很強的光線。又’因此可在與_電極3所造成之遮光無關 之狀態下取出光線。 其次，參照第1(f)、1(g)圖，說明放電燈之製作方法。 如第1(f)圖所示，為製造放電容器丨，而準備直徑不同之2 根石奂笞。將較細的石英管插入較粗的石英管疊合，在其 等之間插人㈣。—邊將粗石英管與細石英管間之間隙形 成減壓狀態’-邊由外側加熱。粗^英管變形，而密著於 細石英管。進而加熱時’在㈣以外之部分完全溶著。2根 石英官變成一體，如第1(g)圖所示，形成為放電容器丨。鉬 羯形成埋人放電容器i之壁中之形態，可防止放電空間2以 外之沿面放電等。 如上述，在本發明之實施例丨中，構造成將箔電極在放 電容器之兩侧的管壁内部軸向平行對向，埋設於放電容器 者，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又， 可將施加電壓充分地提高，因此可以放射輸出高之燈予以 20 200931485 實現者。又，亦可以單管構成，因此可實現小型、細且廉 價之燈。 【實施例2】 本發明之實施例2係將箔電極在放電容器之管壁内部 5軸向埋設於放電容器，在放電容器之外側圓筒面軸向設有 外部電極之放電燈。 第2圖係本發明實施例2之放電燈之概念圖。第2(a)圖係 放電燈之軸向刮視圖。第2(b)圖係放電燈之徑向剖視圖。第 2(c)圖係具有反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第2(d)圖係 © 10 具有剖面呈八字形狀之電極之放電燈之徑向剖視圖。第2(e) 圖係具有軸向光取出口之放電燈之徑向剖視圖。第2(f)、2(g) 圖係顯示放電燈之製造方法之徑向剖視圖。第2圖中，外部 電極7係轴向設於放電容器之外側圓筒面之電極。其他基本 - 的構成係與實施例1同樣。針對與實施例1同一部分，便省 15 略說明。 說明如上述構成之本發明實施例2之放電燈之功能及 動作。首先，參照第2(a)、2(b)圖，說明放電燈的功能之概 ® 要。在石英製之管狀放電容器1之管壁内部，將箔電極3埋 設於放電容器1。將外部電極7軸向設於放電容器1之外側圓 20筒面。 其次，參照第2(c)-2(e)圖，說明放電燈之變形例。第2(c) 圖係設有光反射構件之放電燈。在放電容器1之上方的外表 面設有反射構件7。第2(d)圖係具有剖面呈八字形狀之電極 之放電燈。沿放電容器1之圓筒狀側面’在使電極形成八字 12 200931485 形狀d面，埋设箔電極3，並設置外部電極7。第^(e)圖係軸 向取光之放電燈。在放電容器1之軸向一端部設有光取出 σ 〇 5 ❹ 10 15 ❹ 20 其人，參照第2(f)、2(g)圖，說明放電燈之製作方法。 為製w放電容器1，而準備直徑不同之2根石英管。如第2(f) 圖所示，將細的石英管插入粗的石英管重合在其等之間 插入鉬箔。一邊將粗的石英管與細的石英管間之間隙形成 減壓狀悲，一邊由外側加熱。粗石英管變形，而密著於細 石英管。進而加熱時，在鉬箔以外之部分完全熔著。2根石 英管變成一體，如第2(g)圖所示 ，形成為放電容器1。鉬箔 形成埋入放電容器1之壁中之形態，可防止放電空間2以外 之沿面放電等。 如上述，在本發明之實施例2中，構造成箔電極在放電 容器之管壁内部，轴向地相對於放電容器無間隙之狀態下 埋設於放電容器，且在放電容器之外側圓筒面軸向設有外 部電極者，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之 燈。又，可將施加電壓充分地提高，因此可以放射輸出高 之燈予以實現者。又，亦可以單管構成，因此可實現小型、 細且廉價之燈。 【實施例3】 本發明之實施例3係使平板狀箔電極在放電容器兩側 之管壁内部軸向平行地面對面，埋設於放電容器之放電燈。 第3圖係本發明實施例3之放電燈之概念圖。第3(a)圖係 放電燈之軸向剖視圖。第3(b)圖係放電燈之徑向刻視圖。第 13 200931485 3(c)圖係具有反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第3(d)圖係 具有剖面呈八字形狀之電極及反射構件之放電燈之徑向剖 視圖。第3(e)圖係具有轴向光取出口之放電燈之徑向剖視 圖。基本的構成係與實施例1同樣，因此針對與實施例1同 5 —部分，便省略說明。 說明如上述構成之本發明實施例3之放電燈之功能及 動作。首先，參照第3(a)、3(b)圖，說明放電燈之功能之概 要。在石英製之管狀放電容器丨之管壁内部，將箔電極3埋 設於放電容器1。箔電極3係平行平板狀，對稱地埋設著。 10使金屬箔及燈内面之厚度b變薄。要將厚度b變薄，只要依 如下進行製作者即可。將直徑不同之石英管疊合，在其等 之間插入箔而製作時，先將内側之管的兩側面削平。先削 成平坦時，可防範金屬箔移動，使金屬箔相對於放電容器 而封著於預期的位置。又，先削平時，使内側之管的強度 Μ變弱，因此可先將原的管（金屬络以外之部分)之厚度^ 粗。將厚度b構成較薄時，使得施加於電極之間之外部電壓 中位於放電空間之電壓部分變大。為此，可將用以得到同 一光輸出之外部施加電壓降低。 其次，參照第3(c)圖，說明設有光反射構件之放電燈。 20在放電容器1之上方的外表面設有反射構件7。反射構件7係 由氧化妙及氧化鈦之多層膜構成，以蒸鍵形成者。亦可為 單純的金屬板。在第1(b)圖之構成中，光之取出方向成為盘 對向配置之箱電極3垂直之直角方向。藉反射構件7，由相 反方向取出朝其中-方(上方）射出之光線，使下方之放射照 200931485 度提兩。 欠，參照第3(d)®，說明使用平板狀且剖 面呈八字形 狀之箱電極之例。在形成剖面呈八字形狀之狀態下，將猪 電極3埋③於放電容111。由於fl電極3位於放電容器【之中 5 :軸上方，所以羯電極3之間隔是在上側較窄，下側較寬。 V白電極3靠近上方，因此藉箱電極3本身，光線被遮住的少， 便可由下方有效率地取出藉放電所產生之光線，得到強放 射輸出。因應需要，亦可設置反射構件4。 "、人，參照第3(e)圖，說明軸向取光之放電燈。在放電 1〇备器1之軸向-端部設有絲出口。放電容器【之一端部形 成射出窗6，在笛電極3、3之間發出之光線可沿轴向取出。 為此射出光係重疊有沿軸向很長之放電領域之發光，可 得到強光。又，可在與箔電極3所造成之遮光無關之狀態下 取出光線。 15 如上述’在本發明之實施例3中，構造成將平板狀箔電 極在放電容器兩側之管壁内部軸向平行相對，且埋設於放 電容器者，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之 燈。又’可充分地提高施加電壓，因此可藉放射輸出高之 燈予以實現者。又，亦可以單管構成，因此可實現小型、 20細且廉價之燈。 【實施例4】 本發明之實施例4係一種放電燈，其係於放電容器之管 壁内部’將箔電極沿軸向埋設於放電容器，在放電容器之 外侧圓筒面軸向設有網狀電極。 15 200931485 第4圖係本發明實施例4之放電燈之概念圖。第4(a)圖係 於放電容器外部具有網狀電極之放電燈之徑向剖4見圖。第 4(b)圖係於放電容器内部具有平板狀箔電極及網狀電極之 放電燈之徑向剖視圖。第4(c)圖係於放電容器内部具有平板 5狀箔電極，放電容器外部具有網狀電極之放電燈之徑向剖 視圖。第4(d)圖係平面型燈之例。在第4圖中，網狀電極$ 係呈網狀之電極。由於基本的構成係與實施例丨同樣，所、 針對與實施例1同一部分便省略說明。 10 15 20

說明如上述構成之本發明實施例4之放電燈之功外及 動作。首先一邊參照第4(a)圖，一邊說明放電燈功能 要。在石英製之管狀放電容器丨之管壁内部，由放電容器^ 將箔電極3埋設於放電容器丨。在此例中，只有其 ° 電極3埋入放電容器1之壁内。金屬製之網狀電極5係與π 極3成對之電極。網狀電極5係亦可直接在放電容器1印2 t 電性物質而形成者。網狀電極5通常為接地電極。 ，^ ^ ^ 野於箔電 極3施有高頻高壓。在使用兩個箔電極3之型熊 T，藉以箱

電極3之遮光，使發光的一部分不能朝外部取出。對於使用 網狀電極之型態中，被遮住之光線的比例大幅地減少，= 此照射光量變多，可實現發光效率高之放電燈。 其次，-邊參照第4刚，-邊說明放電燈之變形例。 在石英製之管狀放電容器i之管壁内部，將平板型箱電極3 埋設於放電容器1。在放電容器1之管壁内部，將網狀電極5 埋設於放電容器1。施加於電極間之外部電壓中，位於放電 空間之電壓部分變大’因此為了得到同—光輸出，所以可 16 200931485 降低由外部向電極施加之電壓。 其次，一邊參照第4(c)圖，一邊說明放電燈之另一變形 例。在石英製之管狀放電容器1之管壁内部，將平板型落電 極3埋設於放電容器1。將箔電極3及成對之金屬製網狀電極 5 5設於放電容器1之外側。施加於電極間之外部電壓中，位 於放電空間之電壓部分變大’因此可降低用以得到同一光 輸出之由外部向電極施加之電壓。第4(d)圖係構成平面型燈 之例。 ❹ 10 如上述，本發明之實施例4中，構造成將箔電極在放電 容器之管壁内部沿軸向而埋設於放電容器，且在放電容器 之外側圓筒面沿軸向設置網狀電極之構造，因此可實現確 實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又’可將施加電壓充 分地提高，因此可實現放射輸出高之燈。又，亦可以單管 構成者，因此可實現小型、細且廉價之燈。 15 [產業可利用性] 本發明之放電燈最適合作為產業用紫外線光源之用。 ❹ 【圖式簡單說明】 第l(a)-l(g)圖係本發明實施例1之放電燈之概念圖。 第2(a)-2(g)圖係本發明實施例2之放電燈之概念圖。 20 第3(a)-3(e)圖係本發明實施例3之放電燈之概念圖。 第4(a)-4(d)圖係本發明實施例4之放電燈之概念圖。 第5(a)-5(e)圖係習知放電燈之概念圖。 【主要元件符號說明】 1·.·石英製放電容器 2…放電空間 17 200931485 3.. .箔電極 6...射出窗 4.. .反射構件 7...外部電極 5.. .網狀電極

18

Claims (1)

1. 200931485 七、申請專利範圍： ^種放電燈，係'於放電容器内封人放電氣體，在前述放 電容器之對向的兩側面配置電極，且至少1的前述電 極埋設於前述放電容器之管壁内部。 2. 如申請專利範圍第i項之放電燈，其中前述放電容器内， 藉介電質屏障放f或電容M合型高頻放電，形成準分子。 3. 如申請專利範圍第_項之放電燈’其中前述放電刀容器 ❹ 之一部分至少為石英。 4. 如巾請專利範圍第_項之放電燈，其中㈣對向配置 之電極中設於前述放電容器管壁内部之電極係以鉬、 鈕、鎢之任一單體或其等之一為主要成份之箔。 5. ^請專利範圍第_項之放電燈，其中㈣管狀放電 容器内’前述對向配置且埋設於前述放電容器管壁内部 之兩電極，在相反方向配置有軸向細長且供給電力之供 電線。 ^ ❹ 6·如巾請專㈣圍第1或2項之放，其中放電氣體為稀 有氣體或稀有氣體與齒素氣體之混合氣體。 7.如申請專利範圍第印項之放電燈，其中由前述對向配 置之電極間之放電空間，在與連結電極之方向正交之兩 個光取出方向中之其中—光取出部分配置光反射構件。 8_如申請專利範圍第7項之放電燈，其中前述光反射構件嗖 置於前述放電容器之外部，前述光反射構件係金屬板， 或於基材蒸鍵有多層介電質膜者。 9·如申請專利範圍第7項之放電燈’其中前述光反射構件係 200931485 於前述放電容器之外表面蒸鍍有金屬膜或多層介電質膜 者。 10. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中前述對向配置 之電極中一個埋設於前述放電容器管壁之内部，另一個 電極設置於前述放電容器外部。 11. 如申請專利範圍第10項之放電燈，其中設置於前述放電 容器外部之電極為網狀金屬。

   20