TW200813437A - Electrical test probes with a contact element, methods of making and using the same - Google Patents

Description

200813437 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關可被用來測試積體電路及其他電子組合 件並連接設備中之次組合件的電氣測試探針。 【先前技術】 於測試期間，係將積體電路（1C )構裝以可移除之方 式安裝在插座中，而該插座又被安裝在通常被稱爲待測裝 置電路板或 DUT電路板之電路基板上。該等插座收納之 用以將待測裝置之每一個端點電連接至該 DUT電路板上 之個別電路路徑個別的電氣測試探針。該 DUT電路板，終 被電連接至電腦化之測試設備。 典型上，其他的電子組合件係測試於夾具（tixture ) 中，而在夾具中，係以機械方式安裝測試探針，或以真空 起動機構安裝測試探針，以便使測試探針與待測試的組合 件接合。該等夾具也被連接到電腦化之測試設備。 希望具有自測試設備至待測裝置之高整合性信號路徑 ，且使該信號路徑的整體電阻爲低且一致。上述原則也適 用於包括被收納在該測試插座中之測試探針的整體信號路 徑之每一個分段。 也可將電氣測試探針使用作爲兩個電子次組合件間之 互連機構。在操作上，電氣信號自探針尖端通過套筒（ barrel )而至另一探針尖端。測試探針通常被置放在用來 隔離兩個電子次組合件之外殼中。希望具有固定且可預測 -4 - 200813437 的阻抗、低的一致電阻、以及可通過 之頻率範圍。 在所有的情況中，希望具有自測 高整合性信號路徑，且使該信號路徑 致。上述原則也適用於其中包括測試 * 之每一個分段。因此，一直有對可靠 測試探針及其製作方法之需求。 【發明內容】 本發明揭示了電氣測試探針及其 例中，電氣測試探針包含：一套筒、 、以及一彈簧。該套筒具有一由一停 筒的第一末端處的開口所界定之接觸 地設置穿過該開口、該接觸元件、及 含一尖端及一停止突出部，且具有一 Φ 間。該接觸元件係配置在該接觸區中 之間。該彈簧係與該柱塞操作接合。 在一實施例中，一種電氣測試探 列步驟：將測試探針配置成與待測裝 信號自該測試探針的底部通過到該測 自該測試探針的尖端自底端接收回電 該套筒與該接觸區中的該柱塞之間。 下文中將以圖式及實施方式例示 特徵。 電氣測試探針的寬廣 試設備至待測裝置之 的整體電阻較低且一 探針的整體信號路徑 且低接觸電阻的電氣 製作方法。在一實施 一柱塞、一接觸元件 止接合部以及在該套 區。該柱塞係可滑動 該接觸區。該柱塞包 柱塞延伸部延伸於其 ，在該套筒與該柱塞 針之操作方法包含下 置實體接觸；使電氣 試探針之尖端；以及 氣信號。該信號通過 出前文所述及其他的 -5- 200813437 【實施方式】 本發明揭示具有低且一致的電阻之電氣測試探針’這 是因爲在接觸區中之接觸元件（例如，線圈式接觸元件） 、套筒、與柱塞之間有連續、緊密（例如，實體）的接觸 。當將此種測試探針使用作爲同軸環境中之信號載體（ carrier)時，信號總是轉移進/出在接觸區處之套同及柱 塞（亦即，在套筒與柱塞之間）’藉以獲得到可預測且可 重複的阻抗値。舉例來說，可將測試探針設置成與待測裝 置（DUT )有實體的接觸。電氣信號然後可自測試探針的 底部（例如，遠離 DUT的末端）通過，越過套筒而到接 觸區，再到接觸區處之柱塞，然後到測試探針的尖端，最 後進入受測試的裝置中。然後，可在測試探針的尖端處接 收來自待測裝置之返回電氣信號。該返回信號自該尖端經 過柱塞而進入接觸區中，在接觸區中，返回信號行進至套 管且返回到測試探針的相反末端。如同所注意到的，電氣 信號一貫地通過接觸區中的套筒與柱塞之間。 本設計也避免了信號的振鈴效應（ringing )及損耗。 並不受理論所限制，當與周圍的運動場所（ground tield ) 比較時，同軸互連組的阻抗値爲信號路徑的幾何形狀之結 果。當此幾何形狀具有一致性時，阻抗也具有一致性。當 信號路徑幾何形狀隨著柱塞被起動而改變時，阻抗沿著測 試探針的長度而改變。 在許多測試探針設計中，當信號在套筒與柱塞之間轉 -6- 200813437 移時，在套筒的主要分段之下有主要信號路徑，且在 的“終端”之下有輔助路徑。信號之向下通過該“糸 分段的部分將被反射回到接觸區的主要信號路徑。在 應用中，該反射將會使真實的信號失真，且有時會產 常被稱爲殘段效應（stub effect )之諧振狀況。然而 同在本設計中，如果信號路徑總是會在套筒之接近尖 末端處通過接觸區，則將不會有任何的殘段分段，且 會有因反射而造成的信號失真。 本發明所揭示者爲具有可預測、可重複的阻抗之 測試探針，這是因爲電氣信號自測試探針至套筒的移 每一次探針循環時是接近（或更明確地說，是在）同 。測試探針可具有自套筒的外部端經由套筒的開口而 到接觸區（例如，具有固定直徑的接觸區）之一部分 照第 1圖，測試探針2包含一接收柱塞4，該接收 4可滑動地設置經過套筒8之與轉移柱塞1 6相反的末 且具有一彈簧1 4設置於接收柱塞4與轉移柱塞1 6之 請注意，術語彈簧打算包括彈簧以及像彈簧之機構， 該接收柱塞能夠行進入該套筒中，而同時在該柱塞上 ’以使該柱塞回到其原來的位置。 接收柱塞4包含設置在柱塞延伸部24的第一末 之尖端6。包括實質爲固定的直徑之柱塞延伸部24自 6經由套筒8的接觸區12而延伸到停止突出部20。 止突出部20之與柱塞延伸部24相反的一側，柱塞^ 自停止突出部2 0延伸到第二突出部2 8。彈簧1 4經由 套筒 S端,， 筒頻 生通 ，如 端的 將不 電氣 動在 一點 延伸 。參 柱塞 端， 間。 其讓 施力 端處 尖端 在停 15 26 套筒 -7- 200813437 8而延伸到轉移柱塞1 6。 第 2及 3圖分別例舉測試探針的其他實施例之局 部側視圖及局部剖面視圖。此測試探針52包含一接收柱 塞54，該接收柱塞54具有一設置在柱塞延伸部60的第一 末端處之尖端56。柱塞延伸部60可包括自尖端56至停止 突出部70之實質爲固定的直徑。套筒5 8包含用來限制接 觸區62之停止接合部68及第二接合部72。可以是輥軋皺 褶等等的這些接合部充分減少套筒在該接合部處的直徑， 以防止停止突出部70進入接觸區62，並使接觸元件1 0保 持在接觸區62之內。該等接合部最好是具有大於柱塞延 伸部60的直徑之直徑，以防止套筒58與柱塞延伸部分60 之間在接合部68，72之任一接合部處的實體及/或電氣連 通。 接觸兀件1 〇係在接觸區6 2之內。在此設Η十中’接收 柱塞54自尖端至單一停止突出部70的直徑是固定的。在 接觸區62中之柱塞延伸部60的附近爲提供套筒58與柱 塞延伸部分60間之一致的電氣接點之接觸元件。 於使用測試探針2，52期間，接收柱塞4，54的尖端 6，56接觸待測裝置，致動柱塞4，54離開該待測裝置， 而朝向該套筒的相反末端，例如，朝向轉移柱塞1 6。接收 柱塞4，54的此移動致使柱塞延伸部24，60的一部分通 過接觸區12，62、接觸元件10、經過停止接合部1 8，72 ，且進入選擇性的套筒部分3 0中。當柱塞延伸部分2 4移 動離開該待測裝置時，第二突出部2 8，7 0朝向轉移柱塞 -8- 200813437 16前進，而壓縮了彈簧14。同時，電氣信號（自該測 探針的底部）經由轉移柱塞1 6而被傳送到該測試探針 尖端’且將電氣信號自該測試探針的尖端接收回到轉移 塞16。這些電氣信號在套筒8，58與接收柱塞4，54( 如’柱塞延伸部24，60 )之間於位在開口 40處的接觸 12，62中通過。 當尖6 ’ 5 6接合該待測裝置時，電氣信號通過尖 6，56、以及柱塞延伸部24，60。當該信號進入套筒8 58時，該信號自柱塞延伸部24，60經由接觸元件1〇而 動到套筒8，5 8。該信號然後沿著套筒8，5 8而傳送到 收器（未顯示出）。因爲柱塞延伸部24，60的直徑實 上是固定的，且因爲該柱塞延伸部總是接觸套筒8，5 8 同一點（亦即，接觸元件1 〇 )，所以信號總是被轉移到 觸區12，62中之套筒。因此，電氣測試探針2，52的 抗是可預測且可重複的。然而，在依賴偏置彈簧及獨特 柱塞之設計中，信號至套筒的轉移點並非一固定點。因 ，其阻抗係不可預測且不可重複的。此外，例如測試探 5 2的電阻減小且可重複的，其平均電阻爲小於或等於 毫歐姆（mOhm )。 接觸元件1〇係設置在柱塞延伸部24，60的接觸 12，62中，而連續且實體地接觸接觸區12，62，以便 生自柱塞延伸部2 4 ’ 6 0經由接觸元件1 〇而至套筒8， 的電氣路徑。該實體接觸最好是足以致能所想要的電氣 通，而同時使摩擦最小化。接觸元件1 〇以及柱塞延伸 試 的 柱 例 區 端 j 移 接 質 的 接 阻 的 此 針 20 區 產 58 連 部 -9- 200813437 24，60的直徑實質上係固定的，使得阻抗不會因一個信號 轉移與另一個信號轉接間之直徑的改變（例如，如果柱塞 延伸部24，60爲圓錐形的）而改變。接觸元件1〇可以是 貝體且可滑動地接觸柱塞延伸部24，6 0之單體元件（例 如’環、墊圈等等）或線圈式元件等等。 可由一材料構成該接觸元件，該材料諸如爲一良導體 (例如’具有大於或等於柱塞延伸部24，6〇的導電係數 之導電係數），具有充分的彈性度，且可耐受該測試探針 將被使用於其中的條件。可能的材料包括用於柱塞延伸部 及/或套筒的那些材料，例如，形式爲諸如導線（諸如不 鏽鋼導線、琴用鋼絲（music wire )等等）之鈹（Be )、 銅（Cu)、鎳（Ni)等等的材料、以及包含上述材料之至 少其中一材料的組合、含鐵的材料（諸如鋼、不鏽鋼等等 )、黃銅、以及超合金。也或者可以用諸如金（Au )、鈀 (Pd) '站（Co)等等的材料、以及包含上述材料之至少 其中一材料的組合來覆蓋這些接觸元件。例如，該接觸元 件可包含線圈式鍍金之鈹銅（BeCu)導線、鍍金之不鏽鋼 導線、或線圈式鍍鈀鈷（PdCo )之鈹銅（BeCu )導線。 可使用各種技術（例如’線圈繞線機或模鍛（stamping ) 等等）來形成諸如該線圈接觸元件。 在第 4 - 1 1圖中例舉線圈式接觸元件1 〇之各種的 代表性設計。第 5、7、9、及 n圖例舉可被配置在接 觸區1 2 ’ 62中之柱塞延伸部24，60附近之代表性線圈式 接觸元件。這些元件被設計成較小直徑部分3 6中之構成 -10- 200813437 柱塞延伸部分接觸部分3 2的接觸柱塞延伸部24，6 0，而 完全直徑部分38構成套筒接觸部分38。如同比較第4 及 6圖與第 8及10圖時可看出：該柱塞延伸部接觸 部分可接觸柱塞延伸部之在較小直徑部分3 6中之部分的 整個周圍附近之柱塞延伸部（第 8及10圖）、或該柱 塞延伸部之一部分（第 4及 6圖）。接觸元件10包含 一致能與柱塞延伸部24，6 0的實體且可滑動接合及與接 觸區12，62中之套筒8，58的實體接合之設計（見第1 • 3 圖）。 線圈式接觸元件1 〇可包含各種類型的終端線圈配置 (例如，線圈的末端可包含具有係開放、封閉、錐形、摺 入、及/或彎入之正方形末端、圓形末端等等的終端線圈 及/或其他線圈的全匝、半匝、及四分之一匝）。同樣地 ，可使用提供接觸區12，62中之柱塞4與套筒8，5 8間 之電氣連通的接觸元件及探針幾何形狀之其他配置。同樣 地，該線圈式接觸元件具有足以獲致柱塞與套筒間之所想 要的電氣接觸的匝數。一般而言，該匝數係小於或等於約 1 〇，以便使該元件之尺寸最小化，雖然更多的匝數也是可 能及想像的。更明確地說’該線圈式接觸元件可包含小於 或等於約 7匝。 爲了使接觸元件1 0保持在套筒8 ’ 5 8中之所想要的 位置中，唇部（lip )、皺褶（例如，輥軋皺褶68 (第 2 • 3圖））、或其他縮減的套筒直徑開口 40係設置在接 觸元件1 〇的其中一側，而同時停止接合部1 8，7 2係設置 -11 - 200813437 在接觸元件1 〇的另一側上。接收柱塞4，5 4具有分 置在停止接合部1 8，72之相反於接觸元件1 0的一側 止突出部20，70。在完全延伸的位置中（亦即，當接 塞4，54係處於其完全延伸的位置時），停止突出物 70可接合停止接合部18，72，因而避免接收柱塞4 進一步延伸出套筒8，58外。 停止突出部20，70的第二側可接合致動彈簧1 4 Β 者可將柱塞部分26設置在停止突出部20與第二突出ΐ 之間。在諸如第 1圖所示之後一實施例中，處於完 伸之柱塞位置的第二突出部2 8可在其中一側上接合 接合部42，且彈簧14係在第二側上。突出部28，70 此）可包含選擇性地自該第二側延伸出以收容彈簧1 4 致能易使用之探針（facile probe )組合件之錨形物 22。亦可採用諸如設置在第二側上之孔的其他對準設 其中該孔可收容該彈簧之一末端。 • 適當的套筒材料包括可耐受該測試探針將被使用 中的狀況之任何導電且導熱的材料。套筒的可能材料 銅、黃銅、鎳、含鐵的材料等等、以及包含上述材料 少其中一材料的組合，例如，鋼、不鏽鋼、以及超合 可使用諸如拔管法（tube drawing )、深拉法（ drawing )、及/或自動車床法等的各種技術來形成套谓 適當的柱塞材料包括具有足以耐受柱塞上之力的 且可耐受測試探針操作條件之任何材料。可能的柱塞 包括含鐵的材料、鈹、銅、鉑、鈷、及鈀等等、以及 別設 之停 收柱 20， ，54 ，或 訊28 全延 第二 (因 ，並 元件 計， 於其 包括 之至 金。 deep !。 強度 材料 包含 -12- 200813437 上述材料之至少其中一材料的組合，例如，尖端上有鈀-鈷塗層之鋼柱塞延伸部。可使用諸如機械加工（例如，車 床加工）或_模等的各種技術來形成該等柱塞。 任何前述之壓縮彈簧的適當材料可包含可施加偏置力 且可耐受測試探針將被使用於其中的狀況之任何材料。該 彈簧的適當材料之例子包括諸如（但不限於）不鏽鋼導線 及/或琴用鋼絲等的材料以及包含上述材料之至少其中一 材料的組合等的具有較高抗拉強度之材料。可使用各種技 術（例如，線圏捲繞機等等）來形成該等彈簧。 或者’測試探針之組件（例如，套筒、柱塞、尖端、 接觸兀件、及/或彈簧）可包含在其表面的全部或一部分 上之導電材料塗層。某些可用的塗層材料包括金、銀、鉛 、钯、銘、及鎳等等，以及包含上述材料之至少其中一材 料的組合。 下面的例子只是舉例，且想要進一步例舉本發明之探 針’而非限制本發明之範圍。 例子 針對不同的測試探針設計而測試電阻及電阻的可再生 性。 樣本1爲第12圖所例舉之測試探針。包含接收柱 塞54之此探針，包含設置在柱塞延伸部60的第一末端之 尖端56 °包含固定直徑的柱塞延伸部60自尖端56延伸到 f争止突出部7 0。在停止突出部70之與柱塞延伸部60相反 -13- 200813437 的一側上設有一收容彈簧1 4之對準元件。彈簧1 4延伸通 過套筒58。此測試探針具有〇·68毫米的直徑、 毫米的長度、以及具有一輥軋皺褶42的鍍金鎳-銀套筒。 該停止突出部（也被稱爲柱塞）是鍍金的硬化鈹銅（BeCu )，具有 〇 . 4 1毫米的直徑、自該套筒延伸出的 2 · 6毫 米延伸部分、以及行進入該套筒內的 2.54 mm。彈簧14 是鍍金的不鏽鋼彈簧，而該停止突出部（也被稱爲柱塞） 是鍍金的硬化鈹銅（BeCu)。 第 2及 3圖所例舉之樣本 2包含與樣本 1相 同的材料及整體尺寸。接觸區具有 〇·39毫米的長度，且 接觸元件10是 7匝的鍍金之鈹銅（BeCu)彈簧。 測試樣本1及 2的電阻於許多週期的期間。第1 3 及 14圖例舉針對樣本 1的結果，而第 15及 1 6圖 例舉針對樣本 2的結果。如同由這些圖可清楚看出：樣 本 1具有 24·4毫歐姆（mOhm)的平均接觸電阻，而 樣本 2具有 17毫歐姆（mOhm )的平均接觸電阻；有 大於 25%的電阻縮減（實際上是 30%的電阻縮減）。 此外，當針對一致性而測試樣本1的 50個測試探針時 ，獲得到了高達 80毫歐姆（mOhm )的電阻範圍（具有 17·6毫歐姆之標準差的24·4毫歐姆）（見第 14圖） 。樣本 2 (使用3個測試探針）的結果顯示實質上較佳 的一致性（具有3.5毫歐姆之標準差的1 7毫歐姆）；在 一致性上有接近5倍的改善。 在本探針設計中，因爲電氣信號並不向下行進到彈賛 -14- 200813437 ，而是自柱塞行進到接近套筒開口的套筒處’所以電阻減 少。舉例來說，已證明可達到的電阻是小於或等於5〇 毫歐姆，尤其是小於或等於3 5毫歐姆’更尤其是小於 或等於25毫歐姆，甚至更尤其是小於或等於2〇毫歐 姆。除了這些優點之外，該測試探針的設計也可製造出更 小且更緊實的探針。 本發明所揭示的範圍具有內含性及結合性（例如’“ 高達約 2 5 v ο 1 % (體積百分率）”，或更明確地說，約 5 vol%至約 20 V〇l%包含了端點以及“約5 v〇1%至約 2 0 vol%，，範圍的所有中間値等等）。“結合”包含混合品 、混合物、合金、及反應產物等等。此外，術語“第一” 及“第二”等等在本發明中並非表示任何順序、數量、或 重要性，而是被用來區分各元件，且術語“一”（“a”及 “an”）在本發明中並非表示對數量的限制，而是表示存在 有至少一所提及的項目。配合一數量而使用的修飾語“約 ”包含了狀態値，且具有上下文所指定的意義（例如，包 括與對特定數量的量測相關聯之錯誤程度）。在本說明書 的用法中，英文字尾 “（s)”將包括該字尾所修飾的術語 之單數及複數，因而包括一或多個該術語（例如， colorant(s)包括一或多個著色劑）。在整份說明書中提 及“一個實施例”、“另一實施例”、或“一實施例”等的 詞語時，意指參照該實施例而述及的一特定成分（例如， 特徵、結構、及（或）特性）被包括在本說明書中述及的 至少一實施例，且可以或可以不出現在其他實施例中。此 -15- 200813437 外，我們當了解’在各實施例中，可以任何適當的方式結 合所述之該等成分。 雖然已照一較佳實施例而說明了本發明，但是熟悉此 項技術者當可了解：可在不脫離本發明的範圍下，可作出 各種改變，且可針對本發明的成分作出等效成分的替換。 此外，可在不脫離本發明的範圍下，作出許多修改，以便 對本發明的揭示作出特定情況或材料上之改作。因此，本 發明將不受限於以用來實施本發明而設想最佳模式之方式 揭示的特定實施例，而是本發明將包含在最後的申請專利 範圍的範圍內之所有實施例。 【圖式簡單說明】 請參閱代表性而非限制性之各圖式，其中相同的代號 表示類似的元件。 第 1圖是電氣測試探針的實施例之側視示意局部視 圖。 第 2圖是電氣測試探針的另一實施例之局部、切除 側視圖。 第 3圖是第 2圖之測試探針的局部剖面視圖。 第 4圖是接觸元件的代表性實施例之前視圖。 第 5圖是第 4圖之接觸元件的側視圖。 第 6圖是接觸元件的另一代表性實施例的前視圖。 第 7圖是第 6圖之接觸元件的側視圖。 第 8圖是接觸元件的又一代表性實施例之前視圖。 -16- 200813437 第 9圖是第 8圖之接觸元件之側視圖。 第 1 〇圖是接觸元件的另一代表性實施例之前視圖 〇 第 11圖是第 1 〇圖之接觸元件之側視圖。 第 1 2圖是在例1中針對電阻而測試之沒有接觸元 件的測試探針之剖面視圖。 第 1 3圖是第 1 2圖所例舉類型之測試探針的平均 電阻對週期之圖形表示。 第 14圖是針對5 0個第 12圖所示類型之測試探 針的實際電阻對週期之圖形表示。 第 1 5圖是針對第 2及 3圖所示類型之測試探針 的平均電阻對週期之圖形表示。 第16圖是針對 3個第 2及 3圖所示類型之測 試探針的實際電阻對週期之圖形表示。 【主要元件符號說明】 2,52 :測試探針 4,54 :接收柱塞 8,58 :套筒 1 4 :彈簧 24,60 :柱塞延伸部 6,56 :尖端 12,62 :接觸區 20,70 :停止突出部 -17- 200813437 26 :柱塞部分 2 8 :第二突出部 1 8，6 8 :停止接合部 42,72 :第二接合部 10 :接觸元件 3 0 :套筒部分 40 :開口 . 3 6 :縮減的直徑部分 3 2 :柱塞延伸部接觸部分 3 8 :完全直徑部分 22 :錨形物元件

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Claims (1)

1. 200813437 十、申請專利範圍 1. 一種電氣測試探針，包含： 一套筒，該套筒包含由該套筒的第一末端處的開口和 第一停止接合部所界定之接觸區； 一可滑動地設置通過該開口及該接觸區之柱塞，該柱 塞包含一尖端及一停止突出部，具有一柱塞延伸部延伸於 其間，其中該停止突出部係設置在第一停止接合部之與該 開口相反的一側上； 接觸元件，係設置在該接觸區中且在該套筒與該柱塞 之間，其中該柱塞係可滑動地設置通過該接觸元件，且與 該接觸元件實體接觸；以及 一彈簧，係與該柱塞操作接合。 2 ·如申請專利範圍第 1項之探針，其中： 該接觸區係進一步由第二接合部來予以界定，其中該 第二接合部係設置在接近該套筒的第一末端處； 其中該接觸元件係設置在該套筒與該柱塞延伸部之間 〇 3 ·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，其 中該接觸元件爲一線圈式元件，該線圈式元件包含由該線 圈式兀件的縮減直徑部分所形成之柱塞延伸部接觸部分。 4·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，其 中該接觸元件係設置成與該套筒及該探針有連續的實體接 觸。 5 ·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，其 -19· 200813437 中該柱塞進一步包含設置在該停止突出部與第二突出部之 間的連接器，其中該套筒進一步包含一第二接合部，且其 中該第二突出部係設置在該第二接合部與該第一接合部相 反之一側上。 6 ·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，進 一步包含延伸通過該套筒之與該開口相反的末端之轉移柱 塞。 7·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，進 一步包含小於或等於約 5 0毫歐姆之電阻。 8 .如申請專利範圍第7項之探針，其中該電阻係小 於或等於約 2 5毫歐姆。 9 ·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，其 中該接觸元件進一步包含導電材料之塗層。 1 〇 ·如申請專利範圍第9項之探針，其中該導電材料 係選自包含金、銀、鉑、鈀、鈷、鎳、以及包含上述導電 材料中之至少一導電材料的組合之群組中。 1 1 ·如申請專利範圍第 1 〇項之探針，其中該導電 材料係選自包含鈾、鈀、鈷、以及包含上述導電材料中之 $少一導電材料的組合之群組中。 1 2·如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，其 中該接觸元件進一步包含小於或等於約1 0匝。 1 3.如申請專利範圍第1及2項中任一項之探針，其 中該接觸元件爲所設置的導電、線圈式接觸元件。 1 4· 一種電氣測試探針之操作方法，包含下列步驟： -20- 200813437 將測試探針設置成與待測裝置實體接觸，其中該測試 探針包含= 一套筒，該套筒包含由停止接合部和在該套筒的 第一末端處的開口所界定之接觸區； 一柱塞，係可滑動地設置通過該開口及該接觸區 ，該柱塞包含一尖端及一停止突出部，且具有一柱塞延伸 部延伸於其間，其中該停止突出部係設置在該停止接合部 之與該開口相反的一側上；及 一接觸元件，係設置在該接觸區中且在該套筒與 該柱塞之間，其中該柱塞係可滑動地設置通過該接觸元件 9 使電氣信號自該尖端經由該柱塞而傳送到該套筒；以 及 重複使該電氣信號自該尖端經由該柱塞而傳送到該套 筒，其中該電氣信號自該柱塞傳送到該接觸區中之該套筒