JP2012088298A - 検査治具及び接触子 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な部品で、その内部のインダクタンスを改善し、導電接触を確実にすることができ、製作及び保守を容易に行なうことができる検査治具と接触子を提供する。
【解決手段】プリント配線板などの電気検査のための検査治具１において、電極部４０は電極４１を電極板４２の表面に配設されてなり、接触子１０は導電性の接触針１１、圧縮コイルばね１２、中継部材１３からなり、同軸に配置して使用される。接触針１１は先端１１１、突出部１１２、大径部１１３、中継部１１４を有し、中継部材１３は円筒の中継端１３１、案内部１３２、電極端１３３からなる。電極端１３３は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端１３３ａがあり、接触子保持体３０に保持されて初期荷重を有する。電極４１の径は接触子１０の径より小さい。それにより、簡易な部品で、その内部のインダクタンスを改善し、導電接触を確実にすることができ、製作及び保守を容易に行なうことができる検査治具と接触子が実現する。
【選択図】図２

Description

本発明は、プリント配線基板や電子部品等に備えられた電極端子に接触される接触子及び検査治具に関するものである。

プリント配線板の検査ついて、一般的な構成を図１で説明する。検査治具１は被検査プリント配線板と検査装置の間に配置されて、導電を確保し抵抗値などの電気特性が検査される。被検査プリント配線板の検査端子に導電接触する複数の接触子１０を保持する接触子保持体３０、この接触子保持体３０を着脱可能に支持して接触子１０と導電接触する電極を有する電極部４０はコネクタ４５を介して検査装置と接続されている。この接触子保持体３０と電極部４０を分離可能にする構成は製作と保守に有効である。

接触子の内部抵抗の直流抵抗とインダクタンス（交流抵抗特性）とを改善した先行技術として、特許文献１に垂直型コイルスプリングプローブがあり、図５にその第１の実施の形態を示している。当該プローブは、上側プローブピン１００、圧縮コイルスプリング４００、ガイド管３００、下側プローブピン２００からなり、ガイド管の内側に上側プローブピンを収容して内部抵抗を改善している。しかし、部品点数が４個となりコスト低減の余地はある。

特許文献２の図２、３、４に、接触ピン（文献２の符号１）、コイルばね（文献２の符号Ｓ）、受けピン（文献２の符号３）からなるテストヘッドの接触ピン部分の縦断面図と拡大図が表されている。部品点数を３個として特許文献１と同様に受けピンの内側に接触ピンを収容して内部抵抗が改善されている。しかし、部品が小さくなると受けピンの挿入孔（文献２の符号３４）の加工が容易でない。

特許文献３の図１に接触ピン（文献３の符号１００Ａ）と筒体（同２００Ａ）の部品点数２個からなる垂直スプリングプローブが記載されている。筒体の中間にスプリング（文献３の符号２３０Ａ）を形成して筒体の内側に接触ピンを収容して内部抵抗を改善している。しかし、接触抵抗の低減化のために円錐形状の接続キャップ（同２４０Ｂ）を筒体に追加しているがコスト高となる。接続キャップを使用しない場合、接触面積が大きくなり低荷重において接触圧の不足による接続不良の可能性がある。

特許文献４の図２には、棒状部材（文献４の符号２１）、コイルばね（文献４の符号２３）、接続端子（文献４の符号２４）からなる接触子が記載されている。部品点数を３個とし、接続端子の他端側が先細形状に形成されており、小さな電極にも接触をしている。しかし、先細形状は円錐でないので接触状態が定かでなく設計上の電極面積、荷重、加工の仕様などを規定するのが容易でない。
上記のように、検査治具１の電極部４０の電極と接触子１０との導電接触と、接触子１０の内部電気特性に各種の工夫がなされているが、それぞれに問題点を有している。

特開２００６−２０８３２９号公報 特許３３６９４９２号公報 特許４０３１００７号公報 特開２０１０−０７８４３２号公報

近年、プリント配線基板や電子部品の微細化と高密度化が進み、接触子の高品質で微細化（高単価化する）と検査点の増加とが相乗して、全体価格が騰貴し検査治具のコストが問題となっている。本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、製造容易として安価に製造できるだけでなく保守も容易であり、それと同時に、接触子と電極との導電接触を確実にするとともに、接触子の内部電気特性に関して低い直流抵抗と低いインダクタンス（交流抵抗特性）を保証できる、プリント配線板に通電する検査治具及び接触子を提供することを目的とする。

本発明のうち第１の態様に係る検査治具は、プリンド配線板などの電子部品に備えられた検査端子に先端が接触される接触子、検査装置に接続する電極部を備えて、電極部は検査装置に接続されるコネクタ、そのコネクタから配線された電極を電極板の表面に中継部材と同軸に配設されてなり、接触子は導電性の接触針、コイルばね、中継部材からなり、接触針は先端、突出部、係止径部（大径部又は連結部）、中継部を有し、コイルばねは圧縮コイルばねからなり、中継部材は円筒の中継端、案内部、電極端からなり、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があり、中継部の外周にコイルばねと中継部材を直列に配置して接触子保持体に保持され、電極部に着脱可能に搭載され初期荷重を有し、電極の径は接触子の径より小さいものである。

本発明のうち第２の態様に係る接触子は、プリンド配線板などの電子部品に備えられた検査端子に先端が接触され、基端と検査装置に接続されている電極とを接触する接触子において、接触子は導電性の接触針、コイルばね、中継部材からなり、同軸に配置されて使用され、接触針は先端、当該先端に連続して軸状部分である突出部、径の大きい大径部、中継部からなり、コイルばねは大径部に当接する係止端とばね定数部からなり、中継部材は内径が中継部より大きい円筒であり、ばね定数部と当接する中継端と、当該中継端と連続して、中継部と摺動する案内部と、電極に接触する電極端からなり、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があり、電極と検査端子とに圧接されて導電接触するものである。

本発明のうち第３の態様に係る接触子は、プリンド配線板などの電子部品に備えられた検査端子に先端が接触され、基端と検査装置に接続されている電極とを接触する接触子において、接触子は導電性の接触針、コイルばね、中継部材からなり、同軸に配置されて使用され、接触針は先端と、当該先端に連続して軸状部分である突出部、連結部、中継部からなり、コイルばねは連結部の外周と連結されて接触針と１体になる係止端とばね定数部からなり、中継部材は内径が中継部より大きい円筒であり、ばね定数部と当接する中継端と、中継端と連続して、中継部と摺動する案内部と、電極に接触する電極端からなり、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があり、電極と検査端子とに圧接されて導電接触するものである。

本発明のうち第４の態様に係る接触子は、上述の接触子において、コイルばねは線材の断面が矩形の異形線の圧縮コイルばねである。

本発明のうち第５の態様に係る接触子は、導電性の接触針と、当該接触針に同軸に配置して使用される導電性の中継部材とを備え、接触針は、検査対象物電子部品の検査端子に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部より径の大きい大径部と、当該大径部より径の小さい中継部とを有しており、中継部材は、中継部より内径が大きい円筒体であり、一端が大径部に当接する中継端と、当該中継端と連続して圧縮コイルばねのばね定数部と、中継部と摺動する案内部と、検査装置に接触する電極端とを有し、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があるものである。

本発明のうち第６の態様に係る接触子は、導電性の接触針と、当該接触針に同軸に配置して使用される導電性の中継部材とを備え、接触針は、検査対象物電子部品の検査端子に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部と連続して連結部と中継部とを有しており、中継部材は、中継部より内径が大きい円筒体であり、一端が連結部の外周と連結されて接触針と一体となる中継端と、当該中継端と連続して圧縮コイルばねのばね定数部と、中継部と摺動する案内部と、検査装置に接触する電極端とを有し、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があるものである。
なお以上に述べた本発明の態様は、本発明を網羅したものとは限らず、さらに広い概念により本発明を把握し得ることを否定するものではない。

本発明のうち第１の態様に係るものに依れば、円筒部材の電極端の基端が中心近傍にあるので、小さな電極や、位置ずれのある場合にも確実に導電接触できる。これは、電極部の製作において、細径のエナメル線などのリード線を電極とする場合、位置ずれは発生するが電極孔に挿入と接着の作業が容易なクリアランスを確保できる小さな線径のリード線を使用することができることを意味する。
電極端が斜め角度の断面であるので、電流の流れが逆流することなく円錐端と同等の電気特性を有する。初期荷重を有するので接触子内部の導電接続を確保でき、多数の接触子を使用する場合、接続の信頼性を増す。案内板又は接触子保持体が外せるので、組立と保守も容易である。

本発明のうち第２ないし第６の何れかの態様に係るものに依れば、接触針と中継部材が同軸に重合した構成で、容量結合し交流抵抗のリアクタンスが周波数に比例して小さくなり、高周波の接続に適合する。中継部材は円筒部材からなるので製作は容易であり、電極端は斜め断面であり、曲げられて中心近傍に基端が形成されているので、円筒と円錐端の両機能を有し高品質でコスト低減することができる。電極端は斜め断面であるので、基端をプレス等で曲げて中心近傍に容易に形成することが出来る。

本発明のうち第４、第５又は第６の態様に係るものに依れば、コイルばねの断面が矩形の異形線からなるので、コイルばねは円筒部材と同じ外径と内径にすることもでき体積比が高くなり、接触子の外径が明確になる。線厚が薄いと細巻が容易であり、線幅（圧縮方向）が大きいとばね定数は高くなり、細径の接触子として好都合である。円形線コイルばねと同じ内径で外径を細くできる。
本発明のうち第１、第３又は第６の態様に係るものに依れば、部品を接合して係止部を形成することで、接触針は棒状部材の両端を加工して形成できるので、コストが低減される。

本発明のうち第５又は第６の態様に係るものに依れば、接触子は２個の部品からなるのでコストが低減される。そして、信頼性も向上する。
本発明のうち第６の態様に係ものに依れば、接触子が１体化されているので、組立と保守が格段に容易なものとなる。
本発明のうち各々の態様に係るものの効果は、共通の手段として中継部材は円筒であり、電極部が斜め角度に切断されて、次に曲げられて最端部の基端が中心近傍に位置しているので、他の態様に係るものの効果になることがある。
本発明の目的、特徴、局面、及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。

図１は本発明の実施形態を示す検査治具の全体の構成を示す説明図。 図２は本発明の実施例１における検査治具の断面図。 図３Ａ〜図３Ｃは本発明の中継部材を拡大した説明図。 図４は本発明の実施例２における検査治具の断面図。 図５は従来発明の接触子の断面図。 図６は本発明の実施例３における接触子の断面図。

接触子１０と電極４１を確実に導電接触させる目的を、円筒部材を使用して製作容易に実現した。
以下、本発明の実施形態に係る検査治具１及び接触子１０について添付図面を参照しながら説明する。

本発明の接触子１０を使用する検査治具１は、図１に示すように、複数の接触子１０が接触子保持体３０に保持されて、電極板４２に着脱可能に装着されている。電極板４２には図２に示す電極４１が接触子１０の中継部材１３と同軸に配設されて支持体４３に固着されている。支持体４３はコネクタ４５と共に治具ベース板４６に固着されている。電極４１とコネクタ４５はリード線４４で配線されて電極部４０を形成している。検査治具１が検査装置に搭載されて、コネクタ４５を介して電気的に接続される。接触子１０の先端１１１が被検査プリント配線板の検査端子に圧接して電気特性を測定することができることになる。

図２を参照しつつ、内部の構成を説明する。接触子１０は接触針１１、コイルばね１２、中継部材１３を同軸に配置されている。導電性金属の接触針１１は先端１１１、突出部１１２、大径部１１３、中継部１１４からなる。
先端１１１は導電接触を確実にするために６０度の円錐となっている。突出部１１２は接触子保持体３０の案内板３１の案内孔３１１から伸縮可能に突出して被検査プリント配線板の検査端子との圧接を確保している。
大径部１１３は接触子保持体３０に保持されるために案内孔３１１より大きい径で軸方向に１ｍｍ程度の長さでコイルばね１２も係止している。なお、案内孔３１１は、本発明の「案内部」の一具体例に相当する。また、大径部１１３の上面が当接する案内孔３１１の下端縁部は、本発明の「係止部」の一具体例に相当する。

中継部１１４は外径がコイルばね１２、中継部材１３の内径より少し小さく、突出部１１２と反対方向に大径部１１３から延設して、コイルばね１２と中継部材１３の内側を同軸に案内している。圧接時、中継部材１３の電極端１３３と干渉しない長さで９０度の円錐の端末となっている。
材質はＳＫ４、表面処理は金めっきとしているが、先端形状と合わせて使用条件により各々を変更しても良い。

案内板３１には先端１１１を被検査プリント配線板の検査端子に案内し、大径部１１３を係止する案内孔３１１と、大径部１１３が軸方向に移動可能な径の案内貫通孔３１２を反対方向から加工し通孔されて係止の位置としている。コイルばね保持板３２にはコイルばね１２が伸縮可能な径のコイルばね保持孔３２１が案内貫通孔３１２と同軸に通孔されている。中継部材保持板３３には同様に中継部材保持孔３３１が通孔されている。
中継部材保持板３３をコイルばね保持板３２に重ねて整合して螺子止めし、次に案内板３１をコイルばね保持板３２に重ねて整合して螺子止めし絶縁性の接触子保持体３０を形成している。なお、コイルばね保持孔３２１及び中継部材保持孔３３１は、本発明の「筒状空洞部」の一具体例に相当する。

コイルばね１２はピアノ線などの導電性の金属の圧縮コイルばねで、内径は中継部１１４より少し大きく、大径部１１３に係止される係止端１２１、圧縮コイルばねのばね特性を有するばね定数部１２２からなる。両端の端末処理はクローズドエンドの無研磨としている。コイルばね１２は、接触針１１を付勢してコイルばね保持板３２に保持されている。コイルばね１２の表面処理は接触針１１と中継部材１３に導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。

電極４１は電極板４２に中継部材保持孔３３１と同軸の電極孔４１１にエナメル線などのリード線４４が挿入されて接着剤４１１ａで固定されて平面加工されている。図２において中継部材１３と電極４１とが同軸の中心近傍で導電接触している。電極４１の表面処理も導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。

電極４１の製作において、細径のリード線４４と電極孔４１１とのクリアランスを大きくすると挿入と接着は容易になるが電極４１の位置ずれは大きくなる。この製作法は製作に適正なクリアランスに相当する位置ずれが発生するが、電極４１として個別部品は要らず電極間隔を小さくできる。
電極間隔は電極孔４１１の径と絶縁間隔との和となる。接触子１０を垂直に保持すると電極孔４１１が最小の検査間隔を決めることになる。

接触子保持体３０に保持されて接触子１０は電極部４０に搭載されているので、コイルばね１２に付勢が掛けられて圧接の前に初期荷重を有する。これは、内部接触の大径部１１３、中継部１１４、係止端１２１、ばね定数部１２２、中継端１３１、案内部１３２、基端１３３ａ（図３Ａ参照）、電極４１が導電接触している状態にあり、多数の接触子１０の確実な導電接触を確保することができる。

本発明の中継部材１３について、図３Ａ〜図３Ｃを参照しつつ説明する。図３Ａは中継部材１３の正面図で円筒部材から形成されて、コイルばね１１を係止する中継端１３１、接触針１１の中継部１１４を内部に収容する案内部１３２、斜めに切断され中心に曲げられた電極端１３３、中心近傍で電極４１に接触する基端１３３ａからなる。図３Ｂはその側面図である。

図３Ｃは円筒部材が切断された側面図である。斜め角度ｃの−６０度で切断され、円筒部材を９０度回転し斜め角度ｄの６０度で切断し、円筒部材を１８０度回転し斜め角度ｄで切断した状態の図である。基端１３３ａが形成された状態となる。略正面図は図３Ａに近い。
次に基端１３３ａを中心に曲げる。円筒部材を図３Ｃの状態に固定する。方向ｅから凸型の当接工具を円筒部材の内面に当接する。そして、方向ｆから基端１３３ａには当接しない凹型の押圧工具を所定位置まで圧接し各工具を元に戻す。これで、円筒部材は図３Ｂの状態となり中継部材１３となる。

材質は基端１３３ａに接触圧が集中するので硬度が高いことが好ましく、加工性の良いベリリウム銅としている。表面処理は導電接触を確実にするため金めっきとしている。

圧接時、中継部材１３の案内部１３２と接触針１１の中継部１１４は摺動し案内するので導電接触し、対向面積が最大となり容量結合（交流結合）もするので接触抵抗とコイルばねのインダクタンス（交流抵抗特性）の影響が小さくなる。先端１１１から入った電気は抵抗（コイルばねを通ること）なく中継部材１３に流動し基端１３３ａに集中して電極４１と導電接触して検査装置に帰る。電極端１３３は斜めに切断されているので電気の流動に反転がなく流動し、基端１３３ａは中心近傍にあるので円錐端と同様に電極４１が小さく、位置ずれがあっても導電接触することができる。

組立、保守の手順を図１、２を参照して説明する。コイルばね保持板３２に中継部材保持板３３を整合して重ねて螺子止めする。そして接着剤４１１aによるリード線４４の固定も含めて組立完了した電極部４０の電極板４２に整合して螺子で固定する。先ず基端１３３ａを前方に向けて、中継部材１３の全体をコイルばね保持孔３２１に挿入する。次に、コイルばね１２を挿入する。最後に接触針１１の中継部１１４を前方に挿入する。そして、案内板３１を整合して重ねて螺子でコイルばね保持板３２に固定する。これで組立は完了する。

不良の接触子１０の交換は、案内板３１を取り外して接触針１１、コイルばね１２、中継部材１３を取り出し、良品に交換する。電極部４１に不具合のある場合は、検査治具１を９０度に設置して接触子保持体３０を取り外し中継部材保持板３３を上側にして、先端１１１を少し浮かして設置して修正処置する。各板を整合する場合、図には示していないが、複数の位置合わせピンと位置合わせ孔を整合すると機械的な位置が決まる構成になっている。接触子１０の挿入された接触子保持体３０を単体で取り扱う場合、中継部材１３を下側にすると全ての接触子１０が落下するので注意を要するが、作業は容易である。

図４を参照しつつ説明する。接触針１１ａは０．１ｍｍから０．２ｍｍの棒状部材から形成されて同じ外径で突出部１１１、連結部１１５，中継部１１４が棒状部材の外周にある。コイルばね１２ａは線材の断面が矩形の異形線のコイルばね１２ａとなっている。材質はベリリウム銅としている。
コイルばね１２ａの内径は棒状部材より少し大きく、両端の端面処理はオープンループの研磨で軸方向と直角の断面になっている。
大径部１１３の位置に該当する位置にある連結部１１５にコイルばね１２ａの係止端１２１を挿入し溶接等で接合されることにより、係止端１２１が接触子保持体３０に係止される機能を果たしている。ばね定数部１２２は荷重を受けると中継部１１４に案内されて伸縮しばね荷重を発生させている。なお、案内孔３１１は、本発明の「案内部」の一具体例に相当する。また、係止端１２１が当接する案内孔３１１の下端縁部は、本発明の「係止部」の一具体例に相当する。

線材が軸方向の幅より直角方向の厚さが小さい図４の様な異形線のコイルばね１２ａは細巻きが容易でばね荷重特性は円形線と比較して高いので細径の接触子に好都合である。接触針１１ａは両端の端面加工だけで加工が簡素となる。

図６を参照しつつ説明する。接触針１１aは実施例２と同じである。中継部材１３ｂは、内径が接触針１１ａより少し大きい導電性の円筒部材であって、連続して中継端１３１ｂ、ばね定数部１２２ｂ、案内部１３２ｂ、電極端１３３、基端１３３ａからなる。ばね定数部１２２ｂは円筒部材の中間に連続して形成されている。電極端１３３は実施例１と同様の加工で基端１３３ａを形成している。中継端１３１ｂは接触針１０ａの連結部１１５の位置に溶接などで接合されて、実施例２と同様に接触子保持体３０に係止されて保持される。本実施例では、接触針１１ａと中継部材１３ｂとを接合するので１体化した接触子１０ｂとなっている。

中継部材１３ｂの製造方法は、異形線のコイルばね１２ａと中継部材１３（図４参照）との接合も可能であるが、円筒部材からの切削、エッチング又は電鋳（電鋳プローブに関し、先行技術：特開２０１０−２８１６０７参照）による形成などで一体に製造することが好ましい。材質はベリリウム銅、銅又はニッケル等の金属が好ましい。表面処理は金めっきとしている。連結部１１５との接合は、円筒であるので圧着（カシメ加工）が簡易であり好ましい。
接触子１０ｂの部品の構成が接触針１１ａと中継部材１３ｂの２個となり、コスト低減する。そして、電気接続の信頼性も向上する。一体の接触子１０ｂとなっているので、保守において、案内板３１を取り外すと、不良の接触子１０ｂの交換が容易にできる。また組立も同様に容易になる。

実施例３では、接触子保持体３０との係止を連結部１１５に中継端１３１ｂを接合して実現したが、実施例１の突出部１１１より径の大きい大径部１１３を有する接触針１１を使用しても良い。図示しないが、図２において、コイルばね１２と中継部材１３とを圧縮コイルばねの機能を有する中継部材１３ｂ（図６参照）に置き換えたものである。
また中継端１３１ｂをクロースドエンド（円筒）としたがオープンエンドでも良い。

その他の実施例として、実施例２では、接触針１１ａと異形線のコイルばね１２ａとを接合したが、円形線のコイルばね１２と接合しても良い。各部品の製作が容易である。

係止端１２１を縮径しておくと接触針１１ａに挿入時に大径部１１３ａを握着するので接合が容易になる。

本発明の特定の実施形態についての上述の説明は、例示を目的として提示したものである。それらは、網羅的であったり、記載した形態そのままに本発明を制限したりすることを意図したものではない。数多くの変形や変更が、上述の記載内容に照らして可能であることは当業者に自明である。

本出願は、２０１０年９月２１日に日本国に本出願人により出願された特願２０１０−２１０６８２号に基づくものであり、その全内容は参照により本出願に組み込まれる。

本発明の接触子は、プリント配線基板、ＩＣパッケージ、ＩＣ等の電子部品に備えられた検査端子に導電接触させる通電治具と通電装置全般に用いることができる。

１・・・・検査治具
１０，１０ａ，１０ｂ・接触子
１１，１１ａ・・接触針
１１１・・先端
１１２・・突出部
１１３・・大径部（係止径部）
１１４・・中継部
１１５・・連結部（係止径部）
１２，１２ａ・・コイルばね
１２１・・係止端
１２２，１２２ｂ・ばね定数部
１３，１３ｂ・・中継部材
１３１，１３１ｂ・中継端
１３２，１３２ｂ・案内部
１３３・・電極端
１３３ａ・基端（最端部）
３０・・・接触子保持体
３１・・・案内板
３２・・・コイルばね保持板
３３・・・中継部材保持板
４０・・・電極部
４１・・・電極

Claims (7)

1. 電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、
   導電性の接触針と、コイルばねと、導電性の中継部材とを備え、
   前記接触針は、検査対象電子部品の検査部位に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部に続き当該突出部よりも径の大きい軸状部分である大径部と、当該大径部に続き当該大径部よりも径の小さい軸状部分である中継部とを有しており、
   前記コイルばねは、前記中継部の外周に配置され、一端部が前記大径部の前記中継部側の面に当接し、
   前記中継部材は、前記中継部の外周に配置され、当該中継部に摺動可能に案内される円筒であり、一端部が前記コイルばねの他端部に当接し、他端部が斜め角度に切断されており、さらに切断されて成る部分が曲げられて、最端部が中心近傍に位置する接触子。
2. 電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、
   導電性の接触針と、コイルばねと、導電性の中継部材とを備え、
   前記接触針は、検査対象電子部品の検査部位に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部に続く軸状部分である連結部と、当該連結部に続く軸状部分である中継部とを有しており、
   前記コイルばねは、前記中継部の外周に配置され、一端部が前記連結部に連結されており、
   前記中継部材は、前記中継部の外周に配置され、当該中継部に摺動可能に案内される円筒であり、一端部が前記コイルばねの他端部に当接し、他端部が斜め角度に切断されており、さらに切断されて成る部分が曲げられて、最端部が中心近傍に位置する接触子。
3. 前記コイルばねは、線材の断面が矩形の異形線の圧縮コイルばねである、請求項１又は２に記載の接触子。
4. 前記コイルばねの前記他端部は、前記中継部材の前記一端部と連結されている、請求項３に記載の接触子。
5. 前記コイルばねと、前記中継部材とは、円筒状に一体的に形成されたものである、請求項４に記載の接触子。
6. 電子部品の検査に用いられる検査治具であって、
   請求項１ないし５の何れかに記載の接触子と、当該接触子を保持する接触子保持体と、当該接触子保持体に連結された電極部とを備え、
   前記接触子保持体は、前記先端が露出するように前記接触針を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、前記大径部の前記突出部側の面に当接するか、又は前記連結部に連結する前記コイルばねの前記一端部に当接することにより、前記先端の所定以上の突出を係止する係止部と、前記コイルばね及び前記中継部材を収納する筒状空洞部と、を含み、
   前記電極部は、前記接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板と、当該電極板を貫通するように当該電極板に固定され、一端面が前記中継部材の前記最端部に当接することにより、当該中継部材に電気的に接続されるとともに、前記コイルばねを付勢する軸状の導電性の電極と、を備える検査治具。
7. 前記電極板には、前記筒状空洞部と同径かつ同軸の貫通孔が形成されており、前記電極は前記接触子の最大径よりも径が小さく、当該貫通孔に挿入され、かつ接着剤により当該貫通孔に固定されている、請求項６に記載の検査治具。

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