JP2003172747A - 測定用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】測定用信号線とプローブとの間の接触抵抗を極
めて小さいものにできる測定用プローブを提供する。 【解決手段】測定対象Ａに接触する測定用接点８を備え
るプランジャ２と、該プランジャ２を測定対象側に弾性
付勢する弾性体５とを、スリーブ３の一端側に内装する
とともに、測定用信号線７の端部の外周部を、スリーブ
３の他端側開口部６の内周部に固定保持した状態で接触
させている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の特性測
定などを行うためその電子部品の端子などに接触させる
測定用プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）など、
端子ピッチが細かく、かつ使用周波数が比較的高い状態
で用いられる電子部品を対象として測定を行うための測
定用プローブとしては、その測定用プローブ長を極力短
く、かつ狭ピッチに配置する必要があるから、例えば、
図１７に示す構造のものが提案されている。

【０００３】この測定用プローブ１は、測定対象として
の被検体Ａの端子Ｂに対して点接触するプランジャ２Ａ
が円筒状のスリーブ３に軸方向で摺動自在に内装されて
いるとともに、スリーブ３の他端側にも、別のプランジ
ャ２Ｂが内装されており、両プランジャ２Ａ，２Ｂが互
いに反対方向に弾性付勢されるよう、両プランジャ２
Ａ，２Ｂ間にコイルスプリング５が介装されている。各
プランジャ２，４は、軸方向中間部位が細軸状になって
いる。また、スリーブ３の両端近くはそれぞれくびれた
状態に形成されていて、このくびれ部分９，１０がそれ
ぞれのプランジャ２Ａ，２Ｂの抜け止めとなっている。
前記別のプランジャ２Ｂには、測定用信号を入力するた
めの信号線７の端部を点接触させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このプロー
ブを介して測定用信号線と被検体とを接続する場合にお
いては、信号線を流れてきた測定信号（電流）が、測定
用信号線とプローブとの接触部で絞られるため、接触部
における抵抗値が大きくなる。

【０００５】さらに、測定信号が高周波である場合に
は、測定用信号線とプローブとの接触部において損失が
大きくなってしまうとともに、測定信号の流れが乱され
てしまう。これは、高周波の測定信号が表皮効果により
信号線の中央部付近には殆ど流れず、表皮近傍に集中し
て流れるようになるためである。その結果、例えばプロ
ーブが同軸線を構成する芯線部に用いた場合、測定信号
の流れが乱れることにより、線路インピーダンスの不整
合を生じてしまうという問題があった。

【０００６】また、高周波用途として用いられる同軸線
と、この測定用プローブとの接続を考えた場合、同軸線
の芯線は一般に鉄系の線材の表面に銅、銀メッキを施し
ているが、図１１に示すような接触の場合、芯線の中心
部材である鉄と測定用プローブの入力側のプランジャと
が接触するため、そこでの接触抵抗は高いものとなる。

【０００７】したがって、そのような高抵抗接触を避け
るため、従来では高価な銅系の芯線を用いたり、あるい
は信号線の接触端に別途銅−金めっきを施すなどの対応
をしていたため、コスト高を招くものとなっていた。

【０００８】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
であって、測定用信号線とプローブとの間の接触抵抗を
極めて小さいものにでき、測定信号の流れの乱れを小さ
いものにできる測定用プローブを提供することを、解決
しようとする課題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
測定用プローブは、測定対象に対して遠近方向に沿って
配置され、両端に開口部を有するスリーブと、測定対象
に接触する測定用接点を有し、外周部が前記スリーブの
一端側開口部の内周部に接触し、かつ前記スリーブに対
して軸方向で摺動自在に設けられたプランジャと、外周
部を前記スリーブの他端側開口部の内周部に固定保持し
た状態で接触させた測定用信号線とを備え、前記プラン
ジャを測定対象側に弾性付勢するように、前記スリーブ
に弾性体を内装していることを特徴構成とする。

【００１０】本発明の請求項１に係る構成によれば、測
定用信号線の端部の外周部を、スリーブの他端側の開口
部の内周部に固定保持した状態で接触させているから、
高周波の測定用信号を測定用信号線を通して伝送した場
合でも、信号経路が径方向であまり変動なく信号線の外
周表面からスリーブの内周部に経路が大きく変化するこ
となく伝えられることになり、測定用信号の測定用信号
線からスリーブへの伝達での減衰が抑制される。

【００１１】本発明の請求項２に係る測定用プローブ
は、請求項１に記載の測定用プローブにおいて、前記測
定用信号線の端部を前記スリーブの他端側開口部に圧入
嵌合していることを特徴構成とする。

【００１２】本発明の請求項２に係る構成によれば、測
定用信号線を圧入嵌合することで、スリーブの内周部と
測定用信号線の外周部とが強く接触することになり、そ
の接触個所を通して測定用信号がスリーブ側に伝達され
ることになる。特に、測定用信号が高周波の場合、表皮
効果のため測定用信号線表面に集中して流れる測定用信
号が余り減衰することなく円滑にスリーブへ、ひいては
プランジャへ伝達される。

【００１３】本発明の請求項３に係る測定用プローブ
は、請求項２に記載の測定用プローブにおいて、前記ス
リーブにおける前記他端側開口部および該開口部近傍
に、前記スリーブの軸方向に沿って切り込みされた１つ
のスリットまたは周方向複数箇所に配置されるスリット
を形成していることを特徴とする。

【００１４】本発明の請求項３に係る構成によれば、ス
リットが形成されていることによって、測定用信号線が
圧入嵌合されるときにスリーブの他端側開口が拡径しや
すくなっているから、測定用信号線の圧入嵌合作業が簡
易に行えるとともに、測定用信号線とスリーブとの接触
が良好なものとなる。

【００１５】本発明の請求項４に係る測定用プローブ
は、請求項２または３に記載の測定用プローブにおい
て、前記スリーブにおける前記他端側開口部に径方向内
方に突出する少なくとも１つの突起を設けていることを
特徴とする。

【００１６】本発明の請求項４に係る構成によれば、他
端側開口部に圧入される測定用信号線は、突起が外周部
に強く接触する状態でスリーブに対して確実性高く接触
することになるから、測定用信号線からの測定用信号の
スリーブへの伝達が円滑なものとなる。

【００１７】本発明の請求項５に係る測定用プローブ
は、請求項４に記載の測定用プローブにおいて、前記突
起を、前記スリーブにおける前記他端側開口部の軸方向
で最も端に設けていることを特徴とする。

【００１８】本発明の請求項５に係る構成によれば、突
起がスリーブにおける他端側開口部の軸方向で最も端に
設けられていることにより、スリーブに対してはその軸
方向で最も端のところから測定用信号が伝達されること
になり、芯線として同軸構造を形成するように用いた場
合、スリーブと測定用信号線との接点におけるインピー
ダンス不整合を最小限に抑えることができる。

【００１９】本発明の請求項６に係る測定プローブは、
請求項２または３に記載の測定用プローブにおいて、前
記スリーブの開口端のうち前記測定用信号線が挿入され
る部分の開口径を筒状を成す中間部分の内径よりも小さ
く構成していることを特徴とする。

【００２０】本発明の請求項６に係る構成によれば、そ
の開口部に挿入される測定用信号線の外周の全周にわた
ってスリーブの開口端に接触できるようにできるととも
に、その開口端の端部のみを内径が小さくなるような簡
易な加工である絞り加工を行うことができる。

【００２１】本発明の請求項７に係る測定用プローブ
は、請求項２から６のいずれかに記載の測定用プローブ
において、前記測定用接点を、前記プランジャの先端部
に複数個設けていることを特徴とする。

【００２２】本発明の請求項７に係る構成によれば、複
数個設けた突起を通して測定用信号が測定対象物とプラ
ンジャとの間で信号伝達が行われることになり、単一の
突起を通して信号伝達する場合よりも、測定対象物とプ
ランジャとの間で信号が狭い箇所に集中することもない
ので、信号伝達におけるロスが少なくなる利点がある。

【００２３】本発明の請求項８に係る測定用プローブ
は、請求項７に記載の測定用プローブにおいて、前記各
測定用接点は、周方向に沿った仮想円上に配置している
ことを特徴とする。

【００２４】本発明の請求項８に係る構成によれば、高
周波測定時の測定電流の流れを乱すことなく測定対象に
供給することができるようになり、これにより測定電流
の損失を低減できる。

【００２５】本発明の請求項９に係る測定用プローブ
は、請求項１から８のいずれかに記載の測定用プローブ
において、前記スリーブにおける一端側の開口部の先端
側部分が、前記プランジャと接触することを特徴とす
る。

【００２６】本発明の請求項９に係る構成によれば、ス
リーブの一端側の開口部の先端側部分がプランジャと接
触しているから、スリーブを通って伝達されてきた測定
用信号線からの信号がその接触箇所を通してプランジャ
に伝達されることになり、特に伝送路の表皮を流れやす
い高周波信号がスリーブからプランジャへ伝達され易い
ものとなっている。すなわち、測定対象に接触する測定
用接点を備えるプランジャが軸状体を構成するものとな
っているから、このプランジャが測定対象を測定する状
態のときには、スリーブの一端側の内周側とプランジャ
の外周部とが互いの間を通して信号伝達される際にその
信号伝達のロスを極力小さくできるものとなっている。

【００２７】本発明の請求項１０に係る測定用プローブ
は、請求項１から９のいずれかに記載の測定用プローブ
において、前記測定用信号線の前記スリーブに挿入され
る先端部分を先すぼまり形状に構成するとともに、前記
スリーブの開口端のうち前記測定用信号線が挿入される
部分の開口径を筒状を成す中間部分の内径よりも小さく
構成していることを特徴とする。

【００２８】本発明の請求項１０に係る構成によれば、
測定用信号線のスリーブに挿入される先端部分を先すぼ
まり状に構成しているから、スリーブの開口部に測定用
信号線を差し込みやすくなっているとともに、その開口
に測定用信号線を差し込んでいく際に測定用信号線にお
いてスリーブの開口部の内径よりも大となる箇所からそ
の測定用信号線がスリーブの開口部に接触することにな
って、その接触箇所を通して測定用信号線からスリーブ
へ測定用信号が円滑に伝達されることになる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。

【００３０】図１および図２は、本発明の一実施の形態
を示し、図１は、測定用信号線が接続されていない測定
用プローブを示す縦断面図、図２は、測定用信号線が接
続された測定用プローブと被検体とを示す縦断面図であ
る。なお、図１，図２において、コイルスプリングは、
理解しやすくするため斜視図状に表している。

【００３１】図２に示すように、測定用プローブ１は、
細長円筒状の導電体からなるスリーブ３の一端側の開口
部４に、弾性体としてのコイルスプリング５で飛び出し
側に弾性付勢された状態で導電体からなるプランジャ２
が軸方向に摺動自在に内装されているとともに、他端側
の開口部６に、測定用信号線７が圧入された構成となっ
ている。

【００３２】詳述すると、プランジャ２は、軸方向での
両端側部分にそれぞれ太軸部２ａ，２ｂを設け、軸方向
での中間部分に太軸部２ａ，２ｂより小径円柱部分を成
す細軸部２ｃを設けて構成されたものであって、その軸
方向一端側の外側に臨む端部には、測定対象Ａの端子Ｂ
に対して点接触するための円錐突起状の測定用接触部８
を形成している。なお、測定に際しては、プランジャ２
が出退する方向が測定対象Ａの端子Ｂに対して遠近方向
となるよう、スリーブ３はその軸方向が端子Ｂに対して
遠近方向に沿うように配置される。

【００３３】そして、スリーブ３の一端側の開口部４近
くには、プランジャ２が外へ抜け出ないように規制する
ためのくびれ部分９を形成している。このくびれ部分９
の内周は、図１および図２に示すように、プランジャ２
の太軸部２ａ，２ｂよりも内径側に入り込み細軸部２ｃ
の外周面と摺動可能に接触している。

【００３４】さらに、スリーブ３の他端側の開口部６近
くにもくびれ部分１０を形成しているのであって、スリ
ーブ３における両くびれ部分８，９間には、プランジャ
２を測定対象側に弾性付勢するためのコイルスプリング
５と、くびれ部分１０に当接してコイルスプリング５を
受けるための球１１とを内装している。

【００３５】一方、スリーブ３における他端側の開口部
８の内周部には、測定用信号線７が圧入嵌合されてい
る。

【００３６】測定用信号線７は、同軸ケーブルの芯線で
あって、鉄製の芯線の外周面に銅―銀メッキされたもの
である。この芯線の外周径は、スリーブ３の内周径より
もわずかに大に設定されている。したがって、この測定
用信号線７の端部７ａは、スリーブ３の開口部６を通し
てくびれ部分９に当接するところまで圧入されている。

【００３７】これにより、測定用信号線７は、スリーブ
３の開口部６の端縁箇所６ａからスリーブ３の内周面に
接触しているとともに、その端縁箇所からくびれ部分９
にまでのスリーブ３の内周面の全域で電気抵抗の小さい
メッキ箇所で接触している。このため、測定用信号線７
を流れる測定用信号が高周波電流であっても、該測定用
信号線７の表面から大きく流れる向きを変更することな
く、スリーブ３へ伝達されるので、ロスもきわめて小さ
いとともに、芯線として同軸構造を形成するように用い
た場合、スリーブと測定用信号線との接点におけるイン
ピーダンス整合も良好なものとなっている。なお、図２
において、矢印で示されるＫは、表皮効果により測定経
路の表皮部分を流れる高周波電流のイメージを示してい
る。

【００３８】次に、上記実施の形態１とは別の実施の形
態２について図３，図４に基づいて説明する。なお、実
施形態１と同様の構造については、説明を省略するとと
もに、同一符号を付す。

【００３９】図４に示すように、スリーブ３における測
定用信号線７が圧入される側の開口部６には、周方向で
均等に４箇所に位置する状態で軸方向にスリット１２が
切り込み形成されている。

【００４０】そして、そのスリット１２間には、ポンチ
加工等によりスリーブ３の内周面で中心側に突出する突
起１３を形成している。

【００４１】このスリット１２を設けていることによ
り、スリット１２で分離状態となっている部分が径方向
に幾分撓む弾性変形を可能とし、通常のスリーブ３の内
周面よりも中心側に突出した突起１３によって、圧入さ
れた測定用信号線６の外周との接触力が高められるよう
になっているので、圧入される測定用信号線６の太さに
ばらつきがあっても、そのばらつき分を許容して確実性
高く測定用信号線６の外周面とスリーブ３の内周面とが
接触できるものとなっている。

【００４２】次に、実施の形態３について、図５及び図
６に基づいて説明する。なお、実施形態１と同様の構造
については、説明を省略するとともに、同一符号を付
す。

【００４３】図６に示すように、スリーブ３における測
定用信号線７が圧入される側の開口部６には、周方向で
均等に４箇所に位置する状態で軸方向にスリット１２が
切り込み形成されている。

【００４４】そして、そのスリット１２間で、かつ開口
部８の端縁部には、ポンチ加工等によりスリット１２の
内周面で中心側に突出する突起１４を形成している。

【００４５】このスリット１２を設けていることによ
り、スリット１２で分離状態となっている部分が径方向
に幾分撓む弾性変形を可能とし、通常のスリーブ３の内
周面よりも中心側に突出した突起１４によって、圧入さ
れた測定用信号線６の外周との接触力が高められるよう
になっているので、圧入される測定用信号線６の太さに
ばらつきがあっても、そのばらつき分を許容して確実性
高く測定用信号線６の外周面とスリーブ３の内周面とが
接触できるものとなっている。また、突起１４は、スリ
ーブ３の開口部８の最も端に設けられていることによ
り、この端部箇所から確実性高くスリーブ３内周面と測
定用信号線６とが接触し、測定電流はこの端部からスリ
ーブ３に流れることになり、芯線として同軸構造を形成
するように用いた場合、スリーブと測定用信号線との接
点におけるインピーダンス不整合を極力抑えることが可
能となっている。

【００４６】なお、図５には、測定用プローブ１を同軸
線路に組み込んだ場合を示しており、１５は、同軸ケー
ブルＣの絶縁体を示し、１６は、測定用プローブ１の外
径に合わせて５０Ω線路を構成するための絶縁物を示
し、１７は、測定用プローブ１の外形に合わせて５０Ω
系の同軸線の先端部を示している。

【００４７】実施の形態２，３の変形例としては、例え
ば、スリット１２がなく、突起１３，１４を設けるもの
でも良いとともに、突起１３，１４に代えて、測定用信
号線６が圧入されるスリーブ３の内周にスプライン状の
凹凸溝を形成しても良い。

【００４８】次に、実施の形態４について、図７および
図８に基づいて説明する。なお、実施形態３と同様の構
造については、説明を省略するとともに、同一符号を付
す。

【００４９】図７および図８に示すように、測定対象Ａ
の端子Ｂに接触するプランジャ２の先端部には、４箇所
に分離された測定用接点８が設けられている。

【００５０】この各測定用接点８は、プランジャ２の中
心軸周りにそれぞれの接点が位置するように、仮想円周
上に周方向で４箇所に均等配置されたものであって、そ
れぞれは、プランジャ２の先端部に三角錐状に形成した
ものを配置している。

【００５１】なお、この実施の形態では、４個の測定用
接点を示したが、測定用接点の数としては、２個、３
個、あるいは５個以上のものに構成しても良い。

【００５２】このように、プランジャ２の先端に複数の
測定用接点８を突起状に形成して備えることにより、測
定対象Ａの端子Ｂに対する接点箇所の数が複数得られ、
接触抵抗が抑制されるとともに、例え一つの測定用接点
８が接触不良を起こしても、他の測定用接点８による端
子Ｂへの接触があるから、単一の測定用接点８のみ有す
るものよりも接触信頼性が向上する。

【００５３】さらに、これら複数の測定用接点８をプラ
ンジャ２の中心軸周りに配置することによって、高周波
信号の測定電流の流れを乱すことなく、測定対象Ａの端
子Ｂに測定用信号を供給することができるようになり、
これにより、測定用電流の損失を低減することが可能と
なった。

【００５４】なお、この実施の形態４の変形例として、
図示しないが、プランジャ２の測定対象Ａの端子Ｂに対
向する先端面に周方向に円を描くようにつながった突条
を設け、この突条が軸方向の断面形状が尖鋭な接触端と
なるものに構成しても良い。

【００５５】次に、実施の形態５について図９、図１０
に基づいて説明する。なお、実施形態４と同様の構造に
ついては、説明を省略するとともに、同一符号を付す。

【００５６】図９および図１０に示すように、プランジ
ャ２が出退自在にスリーブ３の一端側に設けられている
とともに、測定用接点８を備えるプランジャ２の先端側
の太軸部２ａに対して、スリーブ３の一端側の端部部分
３ａは先すぼまり状に形成されている。さらに、図９
（ａ）に示すように、その端部部分３ａには、軸方向に
沿った複数（図では２本）のスリット１８を形成してい
る。これにより、端部部分３ａは径方向に弾性的に幾分
撓み変形可能となっている。なお、スリーブ３におい
て、測定用信号線７が圧入される側にのみくびれ部分１
０を形成してあり、プランジャ２が出退自在に設けられ
ている側にはくびれ部分はない。

【００５７】そして、プランジャ２の先端の太軸部２ａ
から細軸部２ｃへ至る間の部分は、徐々に細くなるテー
パ部２ｄとなっている。また、この実施の形態５の場
合、太軸部２ａの外径はスリーブ３の最大外径と略同じ
に設定しているのに対して、スリーブ３の端部部分３ａ
の開口部４における外径寸法は、太軸部２ａの外径より
小さく細軸部２ｃの外径より大きいものとなっている。

【００５８】したがって、測定のため、プランジャ２の
先端が端子Ｂに当接することでそのプランジャ２がコイ
ルスプリング５の付勢力に抗してスリーブ３内に入って
いく際に、スリーブ３の端部部分３ａがプランジャ２の
テーパ部２ｄに接触し、その端部部分３ａの開口部４が
弾性的に幾分拡径されテーパ部２ｄの形状に追従してテ
ーパ部２ｄ外周面に圧着状態で当接することになる。

【００５９】このため、高周波の測定用信号の電流は、
スリーブ３を通って、その端部部分３ａでプランジャ２
のテーパ部２ｄに流れ、プランジャ２の太軸部２ａの外
周表皮を流れて端子Ｂへ伝送されることになる。

【００６０】これにより、スリーブ３からプランジャ２
への測定用信号の導体部を流れる面積の変化を極力抑制
することにより、高周波電流に対する抵抗値の増加を抑
制できる。また、プランジャ２の先端の太軸部２ａの外
径と、スリーブ３の外径とがほぼ同じになっていること
により、測定用プローブ１を芯線として同軸構造を形成
するように用いた場合、スリーブと測定用信号線との接
点におけるインピーダンスの変化を極力抑制することが
できる。

【００６１】なお、図９および図１０に示される実施の
形態５の場合、測定用信号線７は、実施の形態３で示す
ように構成したスリーブ３の開口部６側に圧入されてい
る。

【００６２】次に、実施の形態６について、図１１及び
図１２に基づいて説明する。なお、実施形態１と同様の
構造については、説明を省略するとともに、同一符号を
付す。

【００６３】図１１および図１２に示すように、スリー
ブ３における測定用信号線７が圧入される側の開口部６
は、プランジャ２や球１１を軸方向で規制するくびれ部
分９，１０と同様に、内径側に絞り込み加工している。

【００６４】これによって、その開口部６においては、
スリーブ３で絞り加工していない部分よりも内径が小さ
なものとなっており、開口部６の内径が測定用信号線７
の外径よりも小となっている。

【００６５】したがって、測定用信号線７を開口部６に
挿入していく際には、その開口部６を弾性変形するよう
に拡径しながら圧入することになり、測定用信号線７は
くびれ部分１０に到達するところまで挿入される。

【００６６】その挿入状態では、開口部６が測定用信号
線７に弾性的に圧接することになり、その圧接箇所を通
して、測定用信号線７から測定用信号がスリーブ３に伝
達されることになる。

【００６７】そして、測定用信号線７とスリーブ３とは
周方向で全周にわたって接触するから、信号の伝達の乱
れが生じにくいものとなっている。

【００６８】実施の形態７として、図１３及び図１４に
示す。実施の形態６に示す測定用プローブ１では、球１
１の軸方向での位置規制をするくびれ部分１０が備えら
れているのに対して、実施の形態７の測定用プローブ１
では、このくびれ部分１０がないものである。また、こ
の実施の形態７の測定用プローブ１の測定用信号線７を
挿入する開口部６は、実施の形態６と同様の絞り込み加
工が施されている。

【００６９】したがって、この実施の形態７では、開口
部６を通してスリーブ３に圧入された測定用信号線７の
先端面によって球１１の位置規制が行われるとともに、
測定用信号線７がそのように挿入状態となっていること
によって、開口部６が測定用信号線７に弾性的に圧接す
ることになり、その圧接箇所を通して、測定用信号線７
から測定用信号がスリーブ３に伝達されることになる。

【００７０】そして、測定用信号線７とスリーブ３とは
周方向で全周にわたって接触するから、信号の伝達の乱
れが生じにくいものとなっている。

【００７１】次に、実施の形態８について、図１５に基
づいて説明する。なお、実施形態１と同様の構造につい
ては、説明を省略するとともに、同一符号を付す。

【００７２】図１５（ａ），（ｂ）に示すように、測定
用信号線７の外径寸法Ｌｂに対して、スリーブ３の内径
寸法Ｌａは、小さく設定している。そして、測定用信号
線７の先端７ａは、円錐状の先すぼまり形状に構成して
いる。

【００７３】したがって、測定用プローブ１のスリーブ
３にこの測定用信号線７を挿入する際には、測定用信号
線７の先端７ａが先すぼまりであるから挿入し易くなっ
ているとともに、その先端７ａのテーパーにより、スリ
ーブ３の開口部６近傍を拡径変形させながら挿入してい
くことになる。そして、測定用信号線７がスリーブ３に
挿入された状態では、図１５（ｂ）に示すように、スリ
ーブ３が内周全周にわたり測定用信号線７に圧着した状
態となっている。これによって、その圧着箇所を通し
て、測定用信号線７から測定用信号がスリーブ３に伝達
されることになる。

【００７４】次に、実施の形態９について、図１６に基
づいて説明する。なお、実施形態８と同様の構造につい
ては、説明を省略するとともに、同一符号を付す。

【００７５】図１６に示すように、スリーブ３の開口部
６は内径側に縮径するように絞り込み加工しており、そ
の開口部６の開口箇所の内径寸法Ｌａは、測定用信号線
７の外径Ｌｂよりも小さく設定している。そして、測定
用信号線７の先端７ａは、円錐状の先すぼまり形状に構
成している。

【００７６】したがって、測定用プローブ１のスリーブ
３にこの測定用信号線７を挿入する際には、測定用信号
線７の先端７ａが先すぼまりであるから挿入し易くなっ
ているとともに、その先端７ａのテーパーにより、スリ
ーブ３の絞り加工された開口部６を拡径変形させながら
挿入していくことになる。そして、測定用信号線７がス
リーブ３に挿入された状態では、スリーブ３が内周全周
にわたり測定用信号線７に圧着した状態となっている。
これによって、その圧着箇所を通して、測定用信号線７
から測定用信号がスリーブ３に伝達されることになる。

【００７７】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、測定用信
号線の端部の外周部を、スリーブの他端側の開口部の内
周部に固定保持した状態で接触させているから、高周波
の測定用信号を測定用信号線を通して伝送した場合で
も、信号経路が径方向であまり変動なく信号線の外周表
面からスリーブの内周部に経路が大きく変化することな
く伝えられることになり、電流の集中や接触抵抗の増加
を抑制でき、したがって、測定用信号の測定用信号線か
らスリーブへの伝達での減衰が抑制され、精度良く測定
できる。また、測定用信号線の外周などに接触抵抗を抑
制する銅−金メッキなどの特別な表面処理をしなくても
良いので安価に構成できる。

【００７８】請求項２に係る発明によれば、測定用信号
線を圧入嵌合することで、スリーブの内周部と測定用信
号線の外周部とが強く接触することになり、その接触個
所を通して測定用信号がスリーブ側に伝達されることに
なる。特に、測定用信号が高周波の場合、表皮効果のた
め測定用信号線表面に集中して流れる測定用信号が余り
減衰することなく円滑にスリーブへ、ひいてはプランジ
ャへ伝達され、精度の良い測定ができる。

【００７９】請求項３に係る発明によれば、スリットが
形成されていることによって、測定用信号線が圧入嵌合
されるときにスリーブの他端側開口が拡径しやすくなっ
ているから、測定用信号線の圧入嵌合作業が簡易に行え
るとともに、測定用信号線とスリーブとの接触が良好な
ものとなる。

【００８０】請求項４に係る発明によれば、他端側開口
部に圧入される測定用信号線は、突起が外周部に強く接
触する状態でスリーブに対して確実性高く接触すること
になるから、測定用信号線からの測定用信号のスリーブ
への伝達が円滑なものとなる。

【００８１】請求項５に係る発明によれば、突起がスリ
ーブにおける他端側開口部の軸方向で最も端に設けられ
ていることにより、スリーブに対してはその軸方向で最
も端のところから測定用信号が伝達されることになり、
芯線として同軸構造を形成するように用いた場合、スリ
ーブと測定用信号線との接点におけるインピーダンス不
整合を最小限に抑えることができる。

【００８２】請求項６に係る発明によれば、その開口部
に挿入される測定用信号線の外周の全周にわたってスリ
ーブの開口端に接触できるようにできるとともに、その
開口端の端部のみを内径が小さくなるような簡易な加工
である絞り加工を行うことができ、測定用信号のスリー
ブへの伝達が円滑なものとなる。

【００８３】請求項７に係る発明によれば、複数個設け
た突起を通して測定用信号が測定対象物とプランジャと
の間で信号伝達が行われることになり、単一の突起を通
して信号伝達する場合よりも、測定対象物とプランジャ
との間で信号が狭い箇所に集中することもないので、信
号伝達におけるロスが少なくなる利点がある。

【００８４】請求項８に係る発明によれば、高周波測定
時の測定電流の流れを乱すことなく測定対象に供給する
ことができるようになり、これにより測定電流の損失を
低減できる。

【００８５】請求項９に係る発明によれば、スリーブの
一端側の開口部の先端側部分がプランジャと接触してい
るから、スリーブを通って伝達されてきた測定用信号線
からの信号がその接触箇所を通してプランジャに伝達さ
れることになり、特に伝送路の表皮を流れやすい高周波
信号がスリーブからプランジャへ伝達され易いものとな
っている。すなわち、測定対象に接触する測定用接点を
備えるプランジャが軸状体を構成するものとなっている
から、このプランジャが測定対象を測定する状態のとき
には、スリーブの一端側の内周側とプランジャの外周部
とが互いの間を通して信号伝達される際にその信号伝達
のロスを極力小さくできるものとなっている。

【００８６】請求項１０に係る発明によれば、測定用信
号線のスリーブに挿入される先端部分を先すぼまり状に
構成しているから、スリーブの開口部に測定用信号線を
差し込みやすくなっているとともに、その開口に測定用
信号線を差し込んでいく際に測定用信号線においてスリ
ーブの開口部の内径よりも大となる箇所からその測定用
信号線がスリーブの開口部に接触することになって、そ
の接触箇所を通して測定用信号線からスリーブへ測定用
信号が円滑に伝達されることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１に係る測定用プローブ
を示す断面図

【図２】 本発明の実施の形態１に係る測定を行ってい
る状態の測定用プローブを示す断面図

【図３】 本発明の実施の形態２に係る測定用プローブ
を示す断面図

【図４】 本発明の実施の形態２に係る測定用プローブ
を示す斜視図

【図５】 本発明の実施の形態３に係る測定用プローブ
を示す断面図

【図６】 本発明の実施の形態３に係る測定用プローブ
を示す斜視図

【図７】 本発明の実施の形態４に係る測定用プローブ
を示す断面図

【図８】 本発明の実施の形態４に係る測定用プローブ
のプランジャの先端部分を示す斜視図

【図９】 本発明の実施の形態５に係る測定用プローブ
を示す断面図

【図１０】 本発明の実施の形態５に係る測定用プロー
ブを示す斜視図（ａ）、およびスリーブ内へ入り込むプ
ランジャと、そのプランジャの入り込みによりスリーブ
端部が拡径する様子とをそれぞれ示す断面図（ｂ），
（ｃ）

【図１１】 本発明の実施の形態６に係る測定用プロー
ブを示す斜視図

【図１２】 本発明の実施の形態６に係る測定用プロー
ブを示す断面図

【図１３】 本発明の実施の形態７に係る測定用プロー
ブを示す斜視図

【図１４】 本発明の実施の形態７に係る測定用プロー
ブを示す断面図

【図１５】 本発明の実施の形態８に係る測定用プロー
ブを示す断面図であって、測定用信号線を挿入する前
（ａ）と、挿入した状態（ｂ）とを示す

【図１６】 本発明の実施の形態９に係る測定用プロー
ブの要部を示す拡大断面図

【図１７】 従来の測定用プローブを示す断面図

【符号の説明】

１ 測定用プローブ ２ プランジャ ３ スリーブ ５ コイルスプリング（弾性体） ６ 開口部 ７ 測定用信号線 ８ 測定用接触部 １２ スリット Ａ 測定対象

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AG03 AG12 AH05 AH07 2G011 AA09 AB01 AB03 AC02 AC14 AC32

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象に対して遠近方向に沿って配置
   され、両端に開口部を有するスリーブと、測定対象に接
   触する測定用接点を有し、外周部が前記スリーブの一端
   側開口部の内周部に接触し、かつ前記スリーブに対して
   軸方向で摺動自在に設けられたプランジャと、外周部を
   前記スリーブの他端側開口部の内周部に固定保持した状
   態で接触させた測定用信号線とを備え、 前記プランジャを測定対象側に弾性付勢するように、前
   記スリーブに弾性体を内装している、ことを特徴とする
   測定用プローブ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の測定用プローブにおい
   て、 前記測定用信号線の端部を前記スリーブの他端側開口部
   に圧入嵌合している、ことを特徴とする測定用プロー
   ブ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の測定用プローブにおい
   て、 前記スリーブにおける前記他端側開口部および該開口部
   近傍に、前記スリーブの軸方向に沿って切り込みされた
   １つのスリットまたは周方向複数箇所に配置されるスリ
   ットを形成している、ことを特徴とする測定用プロー
   ブ。
4. 【請求項４】 請求項２または３に記載の測定用プロー
   ブにおいて、 前記スリーブにおける前記他端側開口部に径方向内方に
   突出する少なくとも１つの突起を設けている、ことを特
   徴とする測定用プローブ。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の測定用プローブにおい
   て、 前記突起を、前記スリーブにおける前記他端側開口部の
   軸方向で最も端に設けている、ことを特徴とする測定用
   プローブ。
6. 【請求項６】 請求項２または３に記載の測定用プロー
   ブにおいて、 前記スリーブの開口端のうち前記測定用信号線が挿入さ
   れる部分の開口径を筒状を成す中間部分の内径よりも小
   さく構成していることを特徴とする測定用プローブ。
7. 【請求項７】 請求項２から６のいずれかに記載の測定
   用プローブにおいて、 前記測定用接点を、前記プランジャの先端部に複数個設
   けている、ことを特徴とする測定用プローブ。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の測定用プローブにおい
   て、 前記各測定用接点は、周方向に沿った仮想円上に配置し
   ている、ことを特徴とする測定用プローブ。
9. 【請求項９】 請求項１から８のいずれかに記載の測定
   用プローブにおいて、 前記スリーブにおける一端側の開口部の先端側部分が、
   前記プランジャと接触することを特徴とする測定用プロ
   ーブ。
10. 【請求項１０】 請求項１から９のいずれかに記載の測
    定用プローブにおいて、 前記測定用信号線の前記スリーブに挿入される先端部分
    を先すぼまり形状に構成するとともに、前記スリーブの
    開口端のうち前記測定用信号線が挿入される部分の開口
    径を筒状を成す中間部分の内径よりも小さく構成してい
    ることを特徴とする測定用プローブ。