JP4808794B2 - 半導体検査装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態の導電性接触子を示す断面図であり、図2は同導電性接触子の一部を示す拡大断面図である。
上部プランジャ13の先端部aの表面はNiからなるため、外部電極と接触して通電される部分に、外部電極の主成分であるはんだに含まれる錫との合金は形成されにくい。かかる合金が形成されないことから、該先端部aへの錫の密着力は非常に弱く、一旦付着しても剥がれ落ちやすい。このため、先端部aへの錫の堆積を抑制することができ、表面に錫の酸化被膜が拡大形成されることを抑制できる。その結果、検査回数が増加しても安定した接触抵抗値を維持することができる。
半導体検査装置は、複数の導電性接触子10と、これら複数の導電性接触子10を保持した保持部材31と、保持部材31を取り付けた検査回路基板32と、保持部材31に保持された複数の導電性接触子10に向けて半導体装置51を荷重するための押しゴマ41とを有している。
11 筒体
12 圧縮バネ
13 上部プランジャ
14 下部プランジャ
20 母材
31 保持部材
32 検査回路基板
33 ランド
41 押しゴマ
42 吸入口
43 給気口
51 半導体装置
52 外部電極
71 Auメッキ層
81 多層メッキ層
82 Niメッキ層
a 先端部
b ベース部
Claims (7)
- 半導体装置の外部電極に接触させるコンタクトピンを筒体内に出退自在に設けた導電性接触子と、
複数の前記導電性接触子を保持した保持部材と、
前記保持部材に保持された複数の前記導電性接触子に向けて前記半導体装置を荷重するための押しゴマと、
前記コンタクトピンの接触によって前記外部電極から発生する電極屑を除去する除去手段とを備え、
前記コンタクトピンは、前記筒体に摺接し前記外部電極に接触しないベース部と前記外部電極に接触する先端部とからなり、前記ベース部は少なくとも表層が貴金属で形成されており、前記先端部は少なくとも表層が前記ベース部とは異なる金属または金属合金で形成されており、
前記保持部材は、前記先端部と前記外部電極との接続空間を形成する段部を周縁に有しており、一定方向を向いた複数の前記導電性接触子を前記先端部を突出させた状態で保持しており、
前記除去手段として、前記電極屑を吸い込むための吸入口と、前記電極屑を吹き飛ばすための給気口とが、前記半導体装置の4辺に対応する位置で前記接続空間に配置されている
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 前記吸入口と前記給気口とが前記接続空間に位置するように、吸入路と給気路とが前記押しゴマに設けられており、
前記吸入路に対して吸入装置が接続されており、前記給気路に対して給気装置が接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体検査装置。 - 前記ベース部の前記貴金属はAu、Pt、Agの内から選ばれる少なくとも一つであり、前記先端部の前記金属または金属合金はNi、Co、Cdの内から選ばれる少なくとも一つである
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体検査装置。 - 前記ベース部の前記貴金属はAu、Pt、Agの内から選ばれる少なくとも一つであり、前記先端部の前記金属または金属合金はSnに対する溶解速度がPbよりも遅い金属または金属合金から選ばれる少なくとも一つである
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体検査装置。 - 前記ベース部の表層がメッキ層である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体検査装置。 - 前記ベース部および前記先端部の双方の表層がメッキ層である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体検査装置。 - 前記ベース部および前記先端部の少なくとも一方は全体が同一材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体検査装置。
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