TW200541037A - Lead frame manufacturing method - Google Patents

Description

200541037 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於引線框架之製造方法，更精確言之，本 發明係有關於藉由蝕刻一個被形成為伸長構件之工件而製 造引線框架的引線框架製造方法。 【先前技術】 引線框架製造方法被粗略地區分為經由模鍛的一組製造 引線框架方法，以及經由蝕刻之一組製造引線框架方法。

當經由模鍛製造引線框架時，使用一伸長構件構成的工 件。然後，經由在伸長工件中形成單一列之引線框架片而 製造引線框架，每一引線框架片包含一或更多之引線框架。 另一方面，當經由蝕刻製造引線框架時，有使用由伸長 構件構成之工件的情況，以及使用一大片板之情況。使用 伸長構件構成之工件的情況包含：藉由安排每一均包含一 或更多引線框架之引線框架片在伸長工件的單一列中而製 造引線框架之情況，以及藉由安排每一均包含一或更多引 線框架之引線框架片在伸長工件的多數列中而製造引線框 架之情況。在使用一片板為工件的情況中，藉由安排每一 均包含一或更多引線框架之引線框架片在片狀工件的多數 列中而製造引線框架。 在經由蝕刻製造引線框架的情況中，工件之表面首先以 光敏抗蝕劑加以塗層。其後，光敏抗蝕劑依據被形成在工 件上之引線圖案曝光與顯影，因而形成一抗蝕圖案，而將 被形成為每一均包含一或更多引線框架之引線框架片的部 6 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 200541037 份均被塗層。然後，使用抗蝕圖案為掩模以蝕刻工件。因 而，製造出引線框架片（或引線框架）（見 JP-A-53-106572、JP-A-2000-073186 及 JP-A-l：l-061442)° 在製造引線框架的方法之中，使用模鍛製造引線框架的 方法具有高速處理能力之優點，但亦具有自工件獲取之製 品數量為有限的問題，因為引線框架均經由以單一列形成 每一均包含一或更多引線框架的引線框架片而在工件中所 形成。

另一方面，使用蝕刻製造引線框架的方法具有自工件獲 取之製品數量為大的優點，因為製品可被以多數列表面安 裝，而以多數列表面安裝每一均包含一或更多引線框架的 引線框架片需要高度表面安裝精確性（或曝光精確性）。因 而，在利用蝕刻而以多數列表面安裝製品以製造引線框架 之情況中，一般而言，係應用使用片狀工件且形成供每一 工件片用的蝕刻圖案以製造引線框架之方法。 但是，在片狀工件中形成供皆包含一或更多引線框架之 引線框架片用的蝕刻圖案之情況中，必須留有工件的框架 狀周邊部位，以供運送工件之用。如此導致工件材料浪費 的問題，因為該種周邊部位會變成碎片區域。 藉由使用由一伸長構件所構成的工件，而非片狀工件， 而此伸長構件係被形成為寬廣至可讓每一均包含有一或更 多引線框架的引線框架片被配置成多數列，並藉由將此等 引線框架片配置成多數列，可避免此一問題。圖4顯示在 被形成為一伸長構件之工件5中，以多數列安排數個皆包 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 200541037 含有四引線框架之引線框架片6的方法。於此圖中，A部 份代表曝露區域’每一此區域被曝光一次。 但，在蝕刻圖案被如圖 4所示般形成在工件 5中之情 況，必須將互連之曝露區域A互相接近的裝設，使其儘可 能地預防發生碎片區域，或以高度定位精確性曝光該曝露 區域A，使其得以連續地裝設並使示於圖4中之寬度W減 至零。於此時，應預防曝露位置之位移與曝露區域的傾斜 (在圖中，部份B係一傾斜曝露區域之範例）。在由伸長構 Φ 件所構成之工件5中以多數列裝設數個皆包含一或更多引 線框架的引線框架片的方法，在製造效率上係有效的。但， 增加了曝光一次之曝露區域的尺寸。即使當曝露區域被些 微地傾斜時，也會發生大的誤差。需要高度技術準確性， 以準確地連接與曝光該曝露區域。進一步的，因為工件 5 之寬度值本身的變化與起伏，此一方法具有曝露位置之定 位精確性降低的問題。 【發明内容】

依此，本發明被完成以解決這些問題。本發明之目的係 提供一藉由蝕刻製造引線框架之方法，其使用一由伸長構 件所構成之工件，且其不特別需要之蝕刻圖案的高度曝露 精確性以形成引線框架，並可減少在製造過程中產生之碎 片數量，且有效率地製造引線框架。 為達成本發明之前述目的，依據本發明，提供一引線框 架製造方法，包括： 在由一伸長構件所構成之工件上形成一個蝕刻圖案，此 8 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 200541037 蝕刻圖案包含一個用以形成至少一引線框架片的圖案，而 此引線框架片貝|J包含至少一引線框架；以及，一個用以形 成至少一連接部位的圖案，此連接部位係連接了互連在工 件之縱向方向上的引線框架片之邊緣； 藉由使用該蝕刻圖案作為一掩模，以蝕刻該工件，因而 形成一個伸長的引線框架本體，此引線框架本體包含經由 連接部位而互相連接的引線框架片：以及 自該伸長的引線框架本體分離出一個連接部件，藉以獲 Φ 致引線框架片，而該連接部件係被設置在連接部位與引線 框架片之間。 進一步，本發明之引線框架製造方法的特色在於：用以 在工件上以多數列裝設引線框架片的圖案，係被提供為用 以形成引線框架片之圖案；以及，引線框架片均自伸長的 引線框架本體所獲致，而在此引線框架本體中，引線框架 片係以多數列裝設。因此，可藉由以多數列裝設引線框架 片，有效率地製造引線框架。

此外，本發明之引線框架製造方法的特色在於：用以形 成至少一支撐件之圖案，係被提供為用以形成連接部位之 圖案，而該支撐件係連接於引線框架片的邊緣之間；以及， 藉由分離在支撐件與引線框架片之間的連接部件，自伸長 的引線框架本體獲致引線框架片。單一或多數之支撐件可 被設置在引線框架邊緣處。經由以此種變狹窄的方式形成 支撐件，並經由切割在支撐件與引線框架之間的連接部 件，支撐件可輕易地自引線框架分離。 9 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 200541037 此外，本發明之引線框架製造方法之特色在於：用以形 成連接工件之軌條部位的支撐桿並形成連接在引線框架片 之邊緣與支撐桿之間的支撐件之圖案，係被提供為用以形 成連接部位之圖案；以及，經由分離在支撐件與引線框架 之間的連接部件，自伸長的引線框架本體獲致引線框架 片。支撐桿與支撐件可以由此種變狹窄的方式形成，使得 在引線框架片之間的聯結部份亦可由此種變狹窄的方式形 成。其結果’經由輕易地切割在支樓件與引線框架片之間 ^ 的連接部件，支樓件可輕易地自引線框架片被分離。 依據本發明之引線框架製造方法，連接部位被設置在皆 包含一或更多引線框架的引線框架片邊緣之間。引線框架 片均被形成為被連續地設置在其之縱向方向上。其結果， 此連接部位以此方式作用，以降低蝕刻圖案藉以形成於工 件上的精確性要求。特別的，如此有助於在伸長的工件上

呈多數列地形成蝕刻圖案以裝設引線框架片之作業，而每 一引線框架片皆包含有一或多數的引線框架。本發明之引 線框架製造方法可適合於大量生產引線框架。 【實施方式】 以下將參照所附圖式詳細說明本發明之較佳具體例。 圖1顯示藉由本發明之引線框架製造方法形成伸長的引 線框架本體之狀態，其中使用一伸長工件1 0。於此，伸長 引線框架本體表示一群引線框架片1 2，其係在伸長工件1 0 的縱向方向上被互相連接。引線框架片1 2包含一引線框架 或數個被形成類似於一片狀之引線框架。 10 326\專利說明書(補件)\94·08\941138牝 200541037 本發明之引線框架製造方法的特色在於：引線框架片12 均呈多列被表面安裝在被形成為一伸長構件的工件 10 上，以及，在預定引線圖案被形成的伸長引線框架本體藉 由蝕刻工件1 0而形成之後，引線框架片1 2被個別地自伸 長引線框架本體處分離，以因而獲致一個引線框架片之製 品。

在圖1所示之工件 1 0縱向方向上配置有引線框架片的 伸長引線框架本體，係由下列方法獲得。即，首先，光敏 抗蝕薄膜被疊層在工件1 0之表面上。可選擇的，工件1 0 之表面用光敏抗蝕材料加以塗層。因而，工件1 0之表面被 光敏抗蝕劑所覆蓋。而後，光敏抗蝕劑被以預定圖案曝光 及顯影。結果，形成一抗蝕圖案，藉此圖案，欲利用蝕刻 而移除的部分被曝光。然後，經由使用抗蝕圖案作為一掩 模，以蝕刻工件1 0。 此一具體例之引線框架製造方法的特色在於：一蝕刻圖 案被形成在工件1 0之表面上，使其包含一個用以形成引線 框架片1 2的引線圖案和一個用以形成一連接部位1 4的圖 案，而此連接部位係將在工件1 0之縱向方向相連的引線框 架片1 2之邊緣予相互連接。 即，如示於圖 1，A部份係藉由執行一次曝光作業而將 被曝露之區域。此一曝露區域A包含用以形成引線框架片 1 2的引線圖案和用以形成連接部位1 4的圖案，而此連接 部位將引線框架片1 2之邊緣互相連接。 因而，具有用以形成引線框架片 1 2的引線圖案和用以 11 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846

200541037 形成連接部位 1 4 的圖案二者的蝕刻圖案，被形成在 1 0之表面上。然後，使用此一蝕刻圖案作為掩模以蝕 件1 0。結果，可獲致圖1所示之工件1 0縱向方向上 有引線框架片1 2的伸長引線框架本體。 圖2放大地顯示每一引線框架片1 2與連接部位1 4 態。連接部位1 4包括一支撐桿1 4 a，此支撐桿1 4 a連 著伸長引線框架本體之側緣部位而連續地形成在縱向 上的軌條部位1 6、1 6，且亦包括將支撐桿1 4 a連接至 Φ 引線框架片1 2之邊緣的支撐件1 4 b。在此一具體例中 長的引線框架本體係被形成為使得二支撐件1 4 b、1 4 b 接至每一引線框架片 1 2之邊緣，且使得每一引線框 1 2經由支撐件1 4 b而被支撐桿1 4 a懸吊且支撐在其縱 向中之邊緣上。在此一具體例中，二支撐件1 4 b被連 每一引線框架片1 2之邊緣；但是，供每一引線框架. 所用的支撐件1 4 b的數量並不侷限於此。 為自圖 1與 2所示之伸長引線框架本體獲致引線 片，將連接至引線框架片1 2之邊緣的支撐件1 4 b分離 長的引線框架本體上的引線框架片1 2，便已足夠。 分離連接部位1 4之方法，可採用藉由使用N C衝孔 沿著相連的引線框架片 1 2之外部位置以切割每一連 件之方法，而此等連接部件係被設置在支撐件1 4 b與 框架片 1 2之間，以及，藉由開縫衝孔衝出在支撐件 與引線框架片1 2之間的連接部件之方法。 藉由諸如使用 N C衝孔機與開縫衝孔的機械加工， 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 12 工件 刻工 配置 之組 接沿 方向 每一 ，伸 被連 架片 向方 接至 i 1 2 框架 於伸 機而 接部 引線 14b 以切 200541037 割支撐件1 4 b與引線框架片1 2之間的連接部件，以及，自 引線框架片1 2分離支撐件1 4 b，此等方法可藉由偵測在支 撐件1 4 b與引線框架片1 2之間的連接位置，完成自引線框 架片1 2準確分離支撐件1 4 b。 如示於圖2，一基準孔1 8被設置在每一支撐桿1 4 a中， 使得可經由使用感測器等準確地偵測在支撐件1 4 b與引線 框架1 2之間的連接部件。而且，一個用以運送與定位伸 長引線框架本體導孔2 0可被設置在每一軌條部位1 6上。

此一具體例之引線框架製造方法的特色亦在於：當蝕刻 圖案（即，抗蝕圖案）被形成在形成為一伸長構件的工件1 〇 上時，蝕刻圖案被設定成為包含用以形成引線框架片 12 的引線圖案和用以形成連接部位1 4的圖案，而該連接部位 則連接在工件1 〇之縱向方向中互連的引線框架片1 2 ;當 伸長的引線框架本體藉蝕刻工件1 0而形成時，在縱向方向 上互連的引線框架片1 2之邊緣經由連接部位1 4而互相連 接；以及，連接部位1 4在後處理過程中自引線框架片1 2 處被分離，因而獲致引線框架片製品。 因為在縱向方向上互連的引線框架片 1 2 經由均被形成 為狹窄的支撐件1 4 b而被支撐桿1 4 a所支撐，所以可藉由 在其邊界位置處將支撐件1 4 b分離於引線框架片1 2，輕易 獲致引線框架片12。 即使蝕刻圖案之間的聯結部份於蝕刻圖案被形成在工 件1 0上時些微地位移，仍可在其間之連接位置處自引線框 架片1 2分離出支撐件1 4 b，藉以獲致引線框架片，而此方 13 326\專利說明書(補件)\94-0S\941】3846 200541037 法可輕易地完成在支撐件1 4 b與引線框架片1 2之間的連接 部件之辨認，及經由使用NC衝孔機等而於該處切割連接部 件。即，即使當被形成在工件1 0上的蝕刻圖案發生些微位 移時，此具體例之引線框架製造方法仍可獲致引線框架片。

因而，即使在於工件 1 0 上形成蝕刻圖案時發生蝕刻圖 案些微位移的情況中，此具體例之引線框架製造方法仍可 藉由將每一引線框架片分別自伸長引線框架本體處分離， 而輕易地獲致引線框架製品。因而，此方法之優點在於·· 在當蝕刻圖案以多數列而被形成在工件1 0上時，不需要高 度準確性，而高度準確性在習知技術中是必需的。其結果， 當引線框架片以多數列而被形成在伸長工件 1 0上時所需 的精確程度可被降低。因而，引線框架片可藉由使用習知 設備而以多數列被形成。 雖然圖1中顯示安排引線框架片1 2為四列的範例，但 引線框架片1 2之列數並不侷限於此。引線框架片1 2可輕 易地以多數列安排，其數目可相等或多於五。而且，即使 在以單一列安排引線框架片的情況中，本發明之方法為有 效。進一步的，圖1亦顯示引線框架片1 2具有四引線框架 的範例；但，引線框架片1 2上的引線框架數量亦不侷限於 此。引線框架片1 2可具有之引線框架的數量係為一或相等 或多於五。 進一步的，即使在工件 1 0於其寬度方向中些微地起伏 的情況中，仍可藉由在工件1 0之寬度内形成連接部位1 4 與引線框架片1 2的蝕刻圖案，獲致預定的引線框架片12。 14 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846

200541037 圖3 ( a )至3 ( c )分別顯示支撐引線框架片1 2的連接部 1 4之組態之範例。圖3 ( a )顯示支撐件1 4 b被直接地連接 引線框架片1 2的側緣部位之範例。圖3 ( b)顯示脫出口 1 與1 4 d被設置在連接部位的二側上及引線框架片1 2上之 例。圖3 ( c )顯示相較於圖3 ( a )和 3 ( b )所示而言以變狹 方式形成支撐件1 4 b的範例。 因而，用以連接引線框架片1 2之支撐件1 4 b可具有 給定的形狀。依據其材料品質及其厚度，可妥適地設定 樓件14b之數量與支撐件14b之位置。 雖然此具體例係被組構成為讓支撐件1 4 b被連接至引 框架片在縱向方向上的邊緣，但連接部位1 4可被設置在 寬度方向互連的引線框架片1 2之間，使得引線框架片可 相懸吊且支撐。即，藉由將支撐件裝設在軌條部位1 6與 一引線框架片1 2的側緣之間，與軌條部位1 6互連的引 框架片1 2可適合於被軌條部位1 6所支撐。藉由將支撐 裝設在引線框架片1 2的側緣之間，被設置在寬度方向上 中間位置處的引線框架片1 2，可使得諸引線框架片經由 撐件而互相支撐與懸吊。類似於利用NC衝孔機等以分離 連接至引線框架片1 2之邊緣的支撐件 1 4 b的情況，利 N C衝孔機或開縫衝孔，亦可將被裝設在其之寬度方向上 支撐件分離出去。因而，可輕易獲致引線框架片。於此 況，一基準孔可被設置在每一軌條部位 1 6或每一支撐 中，使其可利用一感測器等以準確地偵測支撐件1 4 b與 線框架片1 2之間的連接部件。 326\專利說明書(補件)\94·08\94113846 15 位 至 4 c 範 窄 支 線 以 互 每 線 件 之 支 被 用 的 情 件 引 200541037 進一步的，雖然此一具體例係被組態使得支撐桿1 4 a與 支撐件1 4 b二者均被設置作為連接部位1 4，但此連接部位 1 4仍可僅設有連接在工件之縱向方向中互連的引線框架 片1 2之邊緣的支撐件1 4 b。於此情況，為預防支撐件1 4 b 由於引線框架片1 2之重量而彎折，較佳的，連接部位1 4 亦可具有用以連接在諸引線框架片1 2之間或引線框架片 1 2與互連在其之寬度方向中的軌條部位 1 6之間的支撐 件，使得此等引線框架片1 2或者引線框架片1 2與軌條部 Φ 位16在其之寬度方向中互相支撐與懸吊。

如前所述，依據此一具體例的引線框架製造方法，引線 框架片12均經由支撐桿14a與支撐件14b而互相連接。因 而，相較於使用大型片板而形成多數列的引線框架片 12 之情況，可減少當引線框架片被形成在伸長的引線框架本 體上時所產生的碎片數量。此外，當引線框架片1 2被表面 安裝在工件1 〇上時，藉由儘可能減少連接部位1 4被形成 的區域之寬度，可減少材料的浪費。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示本發明之引線框架製造方法之說明圖。 圖2係顯示引線框架片與連接部位之放大說明圖。 圖 3 ( a )至 3 ( c )分別為顯示連接部位之組態的其他範例 之說明圖。 圖4係顯示經由使用一由伸長構件所組成的工件而形成 引線框架圖案之相關方法之說明圖。 【主要元件符號說明】 16 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 200541037 5 工件 6 引線框架片 10 伸長工件 12 引線框架片 14 連接部位 14a 支撐桿 14b 支撐件 14c 脫出口 @ 14d脫出口 16 軌條部位 18 基準孔 20 導孔 A 曝露區域 B 傾斜曝露區域 W 寬度

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Claims (1)

1. 200541037 十、申請專利範圍： 1 . 一種引線框架之製造方法，包括： 在由一伸長構件所構成之工件上形成一個蝕刻圖案，此 蝕刻圖案包含一個用以形成至少一引線框架片的圖案，而 此引線框架片則包含至少一引線框架；以及，一個用以形 成至少一連接部位的圖案，此連接部位係連接了互連在工 件之縱向方向上的引線框架片之邊緣；

   藉由使用該蝕刻圖案作為一掩模，以蝕刻該工件，因而 形成一個伸長的引線框架本體，此引線框架本體包含經由 連接部位而互相連接的引線框架片；以及 自該伸長的引線框架本體分離出一個連接部件，藉以獲 致引線框架片，而該連接部件係被設置在連接部位與引線 框架片之間。 2. 如申請專利範圍第1項之引線框架之製造方法，其中： 一個用以在工件上以多數列裝設引線框架片的圖案，係 被提供作為用以形成引線框架片的圖案；以及 該引線框架片均自該伸長的引線框架本體處所獲致，而 其中該等引線框架片係以多數列被裝設。 3. 如申請專利範圍第1或2項之引線框架之製造方法， 其中： 一個用以形成至少一個支撐件的圖案，係被提供作為用 以形成連接部位的圖案，而該支撐件係連接於引線框架片 之邊緣之間；以及 藉由分離位在支撐件與引線框架片之間的連接部件，自 18 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 200541037 該伸 4. 其中 接在 被提 藉 伸長

   其中 架片 成連 個第 圖案 藉

   連接 6 · 架片 連接 第二 方向 撐件 長的引線框架本體處獲致引線框架片。 如申請專利範圍第1或2項之引線框架之製造方法， 個用以形成連接工件之軌條部位的支撐桿，並形成連 引線框架片之邊緣與支撐桿之間的支撐件的圖案，係 供作為用以形成連接部位的圖案；以及 由分離位在支撐件與引線框架之間的連接部件，自該 的引線框架本體處獲致引線框架片。 如申請專利範圍第1或2項之引線框架之製造方法， 個用以形成連接在互連於工件縱向方向上的引線框 邊緣之間的至少一個第一支撐件，並形成一個用以形 接在工件之軌條部位與引線框架片邊緣之間的至少一 二支撐件的圖案，係被提供作為用以形成連接部位的 ；以及 由分離位在第一及第二支撐件與引線框架片之間的 部件，自該伸長的引線框架本體處獲致引線框架片。 如申請專利範圍第2項之引線框架之製造方法，其中： 個用以形成連接在互連於工件縱向方向上的引線框 邊緣之間的至少一個第一支撐件、形成一個用以形成 在工件之執條部位與引線框架片邊緣之間的至少一個 支撐件的圖案，並形成連接在互連於垂直於工件縱向 的方向上的引線框架片的邊緣之間的至少一個第三支 的圖案，係被提供作為用以形成連接部位的圖案；以 326\專利說明書(補件)\94-08\94113846 19 200541037 及 藉由分離位在第一、第二及第三支撐 間的連接部件，自該伸長的引線框架本 片，而其中該等引線框架片係以多數列 件與引線框架片 體處獲致引線框 被裝設。

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