TW200533907A - Apparatus and method for inspecting an inspection object - Google Patents
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Description
200533907
【發明所屬之技術領域】 本發明係關於物品之檢查裝置及方法,尤指一種專用 於晶圓檢查裝置和方法,能夠連續檢查置於盒組的數件受 檢物品’進而縮短檢查所耗費的時間。 -【先前技術】
傳統上,在製造半導體裝置的過程中,均會檢查生產 的半導體aa圓(以下簡稱晶圓)外觀,檢查裝置設有晶圓輸 送器,能夠從盒内不斷地供應受檢物品(也就是晶圓)至檢 查部分,承裝數個晶圓的晶圓盒,放在晶圓輸送器的盒子 放置台上,這些放在晶圓盒内的晶圓,將用機械手臂^ U丄再進行預定檢查’#著’再用機械手臂將晶圓放 回:=’檢查裝置的晶圓放置台,其結構至少能放上兩 個日日圓益,以便加強檢查工作的效率。 根據上述結構,檢查第一晶圓各 •张右曰m从门人 日f圓皿的所有晶0後,再將 有晶圓。 η ^曼、繼續檢查第二晶圓盒所放的所 檢查裝置採用 述。更具體而言, •鲁險查再放回。接著 運至檢查部分。 兩個晶圓盒時,晶 第一晶圓盒所放的 用機械取出下個晶 圓的移動流程如下所 所有晶圓,都會經過 圓盒所放的晶圓,並 =丄日日圓檢查是按照晶圓盒組逐 第-曰曰圓益的所有晶圓’都經 進:。換吕之, 第二晶圓盒的晶圓。因此得指 :U回後,才會取出 曰疋檢查待機(等待)時間,意
200533907 五、發明說明(2) 指針對第二晶圓盒的第一個晶圓,開始進行巨觀檢查 的時間。 一,而 日,專利申哨出版品第9 _丨8丨丨4 4號,公布了縮短 •受檢晶圓盒所需時間的方法。若根據上述出版品第9—、 18U 44號所述的方法,無法縮短檢查本身的時間。然 -若採用無人系統來進行供應與處理晶圓的工作,計i、☆丄 f理的呀間’就能提供操作員更換晶圓盒的資料。如: 來,就能縮短更換晶圓盒所費的時間。 如此一 【發明内容】 本發明的 置,該裝置由 數個裝著 輸送器, 品的機械臂; 控制部分 器裝入物品、 裝入放在 時’再裝入放 鲁私發明的另_ 括: 接連取出 後,讓原盒物 指定第一 實施角度之一,提供了檢查受檢物品的裝 下列項目所組成: " 數件受撿物品的盒子; 包括放置盒的放置台,裝卸各盒承裝 以及 7 ,控制檢查部分以檢查受檢物品、指示輸送 以及在檢查部分設定檢查項目; 第了放置盒的受檢物品,之後放置第二盒 在第二盒的受檢物品,並進行檢查。 實施角度,提供了檢查受檢物品的方法,包 放於盒組内數盒的幾件物品,完成預定檢查 品進行下一項檢查;以及 盒的首項檢查項目,於連續取出所放物品並
第6頁 200533907 五、發明說明(3) 進行檢查時,在時限内設定下一盒的第二項檢查項目;以 及 、 取出第一盒的最後一件物品,再繼續取出下一各 •的物品,檢查完最後一件物品後,從第一檢查項目二 第一檢查項目,再繼續檢查物品。 、 、 【實施方式】 參照隨附圖示進行 以下,就本發明的實施型態之一 說明。 圖一的概圖說明了檢查裝置的輸送器配 本發明的實施型態之-設置的晶圓目視檢杳裝置即疋松’.、、 輸送查裝置大致分為輸送、檢查與控制部分。 j Τί : 供應站/暫存站⑴與臂型輪送器(2)構 成檢查部分包括巨觀檢查單位(3)、碉準 檢杳單位(料兹目仏尤π /、/ 、 β周旱裔(4 )與顯微鏡 愧一早位u政觀檢查单位)(5)。控制 (Ό與顯示單位(8)。 · 刀㈧)連接輸入早•位 妒放ί =應站/暫存站⑴包括放置台⑴)與(⑺,至少 月匕放置兩個晶圓盒(9)和(1 」主乂 •檢物? 夠利用臂型運送器⑺,輸送與接收 f檢物扣’也就是半導體晶圓( 晶圓盒(9)盥(1(n夂处石壯丨r肘〇視為日日圓)(13)。 -圓盒(9)企裝二十五個(舉例)晶圓(13)。晶 晶圓各内么奸播 (14)與(15),能分別感測放在 此稽槽的晶圓,據此繪製分佈圖(maPPinS)。 貫轭型態中,透過晶圓盒承裝的晶圓數與收納晶 200533907
a的插槽關係,感測並製你八 / p. 氣作分佈圖以後,再存入抑制邱八 (6 )。受檢晶圓乃是按昭八 丹评入徑制口p刀 插槽内。 文“、、刀佈圖的結果,置於晶圓盒原有 臂型輸送器(2)由裝舎p曰圓人, Ά各用擄μ辟,1 a w虹 P日日固益(9 )與(1 〇 )内之晶圓(1 3 ) , , m &设描述)、數個機械臂和檢查用機械 1(17組成。檢查用機械臂(17)將晶圓(13)放於 分,換言之,該機械臂採M ^ 一丨 (3)调準益(4)和盒用機械臂(16)之間移動晶圓。 檢查用機械臂(17)將晶圓運送至巨觀檢查台後,巨 檢查單元(3)開始進行巨觀檢杳。嘴里„ 丨J匕规檢笪。凋準态(4)進行調準,以 便接下來的微觀檢查單元(5)進行微觀檢查。更具體而 吕’調準器(4)按照晶圓(13)的定向平面來定位(或調 準)、°除了定向平面以外’當然能採用晶圓上進行光學蝕 刻法和切割處理用的對準標記來調準。 控制部分(6)管·理前述的臂型輸送器(2)、巨觀檢查單 元(3)、調準器(4)與顯微鏡檢查單元(5)。控制部谷(6一)負 ^進行裝入與檢查等一連串工作,並指示檢查條件。輸入 單兀(7)包含控制面板與數個按鍵。輸入單元(7)設定了檢 查條件(方法),並輸入檢查與裝入指示。顯示單元(8)包 •舍液晶顯示裝置’並顯示檢查狀態、條件與結果。 圖二係按照一種實施型態,來說明晶圓目視檢查裝置 中,晶圓輸送器的結構為何。臂型輸送器(2)由盒用機械 臂(1 6 )和檢查用機械臂(1 7 )組成。 盒用機械臂(16)具有延伸臂(21)。延伸臂(21)的末端
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銜接L型提取器(22),具真空夾盤功能。提取器(22)插入 曰曰圓盒(9)或(10) ’夾住晶圓(13)的背面。接著,提取哭 (22)從晶圓盒(9)或(10)取出晶圓(1 3),運至檢查用機$ ’(17)之處。接下來,盒用機械臂(16)從檢查用機械臂 處’取得受檢晶圓(1 3 ),將其裝入原本晶圓盒(9)或(丨〇 ) -的放入位置(插槽)。此情況之中,放置台(11)與(12)各具 描繪分佈圖用的垂直移動功能。因此,當盒用機械臂(丨^ 裝卸晶圓時,放置台(11 )與(12)就能垂直移動至晶圓各 (9)與(10)的提取器(22)取出位置。欲取代上述配置時π, 機械臂(21)可具備垂直移動功能。更具體而言,機械臂 (2 1 )在晶圓盒(9 )或(1 〇 )裝卸晶圓時,提取器(2 2 )可以在 固定晶圓盒(9 )與(1 0 )的狀態下垂直移動。 如果使用垂直移動的盒用機械臂(16),提取器(22)的 尖端設有繪圖感測器。提取器(22)就能垂直移動以完成分 盒用機械臂·(16)還具備移動單元(23),由威性馬達和 馬達驅動的齒輪機制構成。移動單元(23)可將提取器(22) 移動至晶圓盒(9)或(10)的前方(取出位置),並且水平移 動機械臂(21)至檢查用機械臂(17)的晶圓運送位置八。 j疑轉組件(2 4 )位在下列位置的中繼處。一是晶圓運送 =一疋巨觀檢查位置B(巨觀檢查單元),一是微觀檢 放置調準器(4)的位置,能將晶圓(13)運送至顯 ^ t凡(5))。旋轉組件(24)具備旋轉功能與垂直移 工月b。碇轉組件(24)還設有三個機械臂(25a)至(25c)。
第9頁 200533907 五、發明說明(6) 機械臂(25a)至(25c)銜接提取器(26a)至(26c),具有 分別夾住晶圓的真空夾緊功能。旋轉組件(2 4 ) —旦旋轉, 提取器(26a)至(26c)就會夾住晶圓(13)。如此一來,機械 臂(25a)至(25c)夾住的晶圓(13),將經過上述的晶圓運送 位置A、巨觀與微觀檢查位置b與c之後裝入。 * 上述的巨觀與顯微鏡檢查單元(3)與(5)逐一檢查晶圓 03)。盒用機械臂(16)裝入的晶圓(13),在運送至檢查用 機械臂(1 7)時,已經事先經過調準。此情況之中,相較於 利用,準器(4)對準,事先調準的精確度較低。事先調準 的晶圓(13),裝入巨觀檢查單元(3)以進行巨觀檢查,之 ,再用檢查用機械臂(丨7 )裝入調準器(4 )。接下來,調準 杰(4 )按照晶圓(丨3 )的定向平面,將其對準預定方向,再 :正晶圓(13)的定位誤差。然後,將調準過的晶圓(13), 、入顯微鏡檢查單元(5)的觀察位置,進行微觀檢查。 ΗΒ 下面將?照圖二A與三B的流程圖及圖四的時序圖,說 使二照實Ϊ型態進行檢查的晶圓裝入過程,·此情況之中, (9 ) ^ 盒來持續檢查。根據此種實施型態,晶圓盒 〇 U 0)此分別承裝二十五個晶圓(丨3)。 _站/m作員把晶圓盒(9)(第一放置盒)放在晶圓供 ^測曰圓子八r q、的放置台(1 1 )時,放置台(1 1 )的感測器會 .(是乂:固:(9)是否就位(步驟⑴。輸出偵測訊號 站%存=,(6) ’控制部分⑻再指示晶㈣ 示,利用@、通丨二製分佈圖。晶圓供應站/暫存站(1)按照指 之d裔(1 4 )製作分佈圖,並偵測晶圓盒(9 )的晶
200533907 五、發明說明(7) 之後’控制部分(6)發出訊 圓(13)承裝狀態(步驟S2 至控制部分(6 )。 控制部分(6 )掌控顯示單Γ (步糊。晶圓盒的二十五早個:=分佈圖的結澤 •七 個插槽,按照顯示法則呈翊山 〇 ’ 一併展示這些插槽承裝晶圓的狀態。在前述的展干: 二眼^承震的晶圓數以外,還能判斷3 曰曰固的插槽狀況。根據此種實施型態, ^ ㈣=圖;此情況可採用下列的順序進 ⑻盘(m务Λ,供應站/暫存站⑴偵測到晶圓盒 1八 後,京尤㊣隨即繪製分佈圖,|須等待二 部分⑻的指示。晶圓供應站/暫存站(ια :=控制 圖結果至控制部分(6)。 雨 置/、刀佈 放置σ(ιι)知照分佈圖的資料垂直移動,合 :曰圓13al,放於盒用機械 /取出的 操作員在裝置上確認晶圓 f ::(22)的裝入位置。 預設檢i方法,再指干n私、# /文虽後再利用輸入單元 各用機;B辟冉扣開始進行檢查(步驟S4)。 移動單元(23),將取出曰曰一固 背面再取出。運用 Τπ I;}! f ^ •13a2。此情況裝::ί广—,就是第二個晶圓 否存在,如果磉,"士么:二4 )隨時偵測下個晶圓(1 3 )是 訊號。如此佈圖的結果,將顯示錯誤 來檢查裝置的運作將暫停,包括裝入晶 200533907
的動作。 的提取器(22)所夾住的晶圓13al,運 至檢一用機械#的運达位置A(步驟S6)。 晶圓13al時’檢查用機械臂(17) σ 收 •圓1 % 1、富石亡> ^ u得動方疋轉組件(24),將晶 013al運至巨觀檢查單元(3)的杳 -(A)b夺,晶圓(13al)由提取 位置⑻。在檢查位置 巨觀檢查(步驟S7)。此情況i中6心;=觀檢查台以進行 匕回到圓盒(9)的前,。接著如同前例,從 日曰0益(9)取出下一個晶圓13日2, (17)的提取器(26b)。 丹連至檢查用機械臂 完成第一個晶圓(1 3al)的巨觀檢杳 械臂(Η)將晶圓(13al)裝入% m ^ 傻利用檢查用機 办賢H1定卢# : 準為(步驟S8)。將晶圓13al ίϋΛ 上’用調準器⑷轉動顯微鏡檢杳單 =),的方疋轉曰鏡台’如χ、γ與Θ鏡台。調準器⑷於此:二 •、測日日圓(1 3a 1 )的邊緣座標,進而偵測出定向平& 置二 控:Χ、Υ與0鏡台,修正上述的定向平面位 單二的Λ 的晶圓(13al) ’再移至顯微鏡檢查 f (步驟叫。在此同時,提取器(26b)夹住進圓丁錢檢 .⑴⑵’裝入巨觀檢查單元⑶進行巨觀檢Π :子皿用機械臂(16)將第二個晶圓(13a3), 至檢一用機械臂(1 7)的提取器(26c)(步驟S10)。 檢查用機械臂(17)的提取器(26a) ’取回完成微觀檢
200533907 五、發明說明(9) 查的晶圓13al,然後轉動移至運送位置人(步驟S1丨)。晶圓 13al(完成微觀檢查)抵達運送位置a後,再由提取器(26a) 移至盒用機械臂(1 6 )的提取器(2 2 )。提取器(2 2 )將晶圓 13al送回晶圓盒(9),再取出第四個晶圓14a4,運至檢查 用機械臂(1 7)上空著的提取器(26a)(步驟S1 。之後,重 上述的裝入與檢查工作。如此一來,晶圓(丨3 )就能按照 分佈圖指定的順序,不斷地裝入檢查用機械臂(丨7)的運 位置。 曰步驟(S13)偵測了後續檢查的晶圓盒(1〇)(稍後放入的 ,圓盒),、是否已經放入放置台(12)。根據此種實施型 ^為了連續進行檢查,得指定放置晶圓盒(1 0 )以接著檢 :的時序,如圖四所示。更具體而言,此處可以指定任何 1、序:只要在取出晶圓盒(9)的最後一個晶圓(13)前,完 女後績叉檢晶圓盒(1 0 )的分佈圖,以便檢查晶圓盒(丨㈠即 •I丄如果設定新的檢查方法,亦可指定同於上述的時序。 ,二驟(S13),如果感測器(15)}貞測到晶圓盒(1〇)已經放 f in置。(1 2 )(疋/ YES ),此時將輸出偵測訊號至控制部分 圓徂庙形成令斷訊號。控制部分(6)收到訊號時,將指示晶 麵夺按=/-暫緣存站(1)繪製分佈圖。晶圓供應站/暫存站(1) 5曰圖。接著’曰曰曰圓供應站/暫存站⑴完成繪圖
•況資訊(V驟:早4)位(6)關於晶圓盒〇〇 W 就設定晶圓盒(10)承裝晶圓的相關檢查項目,也 疋别入早70(7)採用的方法(步驟S15)。如果此情況之中
第13頁 200533907 五、發明說明(10) 所檢查的晶圓,具有相同的批號和規格時,檢查將繼_下 去。設定檢查方法後’放置台(12)往上移動。接著\ 2圓 盒(10)移動以取出第一個晶圓(13bl),然後待機(步驟 S16)。 提取器(2 2 )從晶圓盒(9 )取出最後一個晶圓(j 3 a 2 5 ), •顯示單兀(8 )接著顯示晶圓盒裝入完成預報(步驟s丨7 )。晶 圓(13a25)從傳送位置(A)移到巨觀檢查位置(B)時,受檢 曰曰圓(1 3 a 2 3 )則放回晶圓盒(9 )。此情況之中,應判斷下一 個的晶圓盒(1 0 ),是否放入放置台(丨2 ),直到在取出最後 一個晶圓(1 3 a 2 5 )後,顯示前述的裝入完成預報為止(步驟 S18)。因此,晶圓盒(1〇)若未定位(否/ N〇),晶圓盒(9)的 最後一個晶圓(1 3 a 2 5 )歸位後,檢查即會停止。 倘若在步驟(S 18)中,判定晶圓盒(10)已經就位 (是/YES) ’晶圓供應站/暫存站1就解除晶圓盒(1〇)在步驟 (S1 6 )的待機狀態(步驟s丨9 )。控制部分(6 )指示晶圓供應 站/暫存站(1) ’將前一晶圓·盒(9)的最後一個晶圓(13a25) 放回’再從接著受檢的晶圓盒(丨〇 )之中,取出第一個晶圓 (#13bl)。盒用機械臂(16)取出晶圓丨儿丨,再用檢查用機械 臂(17)的提取器(26b)夾緊固定(步驟S2〇)。此時,提取器 • 26a)/夾住的晶圓(13a25)進行巨觀檢查,提取器(26c)夾 住的晶圓(13a24)則進行微觀檢查。完成上述檢查後,檢 查用機械臂(1 7 )轉動。控制部分(6 )從晶圓盒(9 )的設定檢 查方法’切換至晶圓盒(1 〇)設定的方法,進行後續的巨觀 檢查(步驟S21 ) °之後,對晶圓1 3bl進行巨觀檢查(步驟
第14頁 200533907 五、發明說明(11) S22)。 元成晶圓(1 3 a 2 5 )的微觀檢查後,控制部分(6 )從晶圓 盒(9 )設定的檢查方法,切換至晶圓盒(丨〇 )設定的方法, 進行後續的微觀檢查(步驟S23)。然後,晶圓(1 3bl )進行 微觀檢查(步驟S24)。之後,晶圓盒(1〇)承裝的晶圓 乂 1 3 )’按照分佈圖指定的順序,接連裝入盒用機械臂,然 後重複巨觀與微觀檢查,直到從晶圓盒(丨〇 )取出最後一個 晶圓(1 3b25)為止。 一时晶圓d3a25)回到晶圓盒(9)時,控制部分(6)指示顯 丨不單兀(8)呈現資訊,表示受檢物品已經從晶圓盒(9)移到 晶圓盒(1〇)(步驟S25)。當然,除了上述顯示資訊外,亦 可使用蜂鳴聲。操作員按照顯示資訊,從放置台(1 1 )取出 晶圓盒(9),如果檢查仍在進行,則放入承裝後續受檢晶 如上所述,第二晶y盒(10)承裝的第一晶圓(13bl ), 將在檢查70第一晶圓盒(9)承裝的最後一個晶圓(i3a25)·後 J著巧。之後取出檢查過的晶圓盒,換上未受檢的晶圓 盒,檢查據此得以持續進行。 敵換=it顯示了此種實施型態巾,晶圓目視檢查裝置的 $機械臂裝人與進行檢查的時間。機械f(25a)w25c) 一 個晶圓’一邊接連夾住三個晶圓〇3)。比方說, aa 將曰曰圓(13)裝入晶圓盒(9)與(1〇)時,機械臂(25b)接連夾 二兩個晶圓盒之中相隔三號的晶圓,就是晶圓⑴a2) 圓(3a5)、晶圓(13a8) 晶圓(13a23)、晶圓(13bl)
第15頁 200533907 五、發明說明(12) 晶圓(1 3b4 )....... 相反地,如果按照傳統方法完成每個晶圓盒的檢查, 移到下個晶圓盒進行檢查時,就會發生圖五B所示的情 況。更具體而言,機械臂(25a)夾住的晶圓(13a25),放入 晶圓盒(9)之後,其他的機械臂(25b)與(25c),才能取得 -晶圓(1 3 )。根據傳統的檢查方法,移至下個晶圓盒u 〇 )進 行檢查時,前一晶圓盒(9)的晶圓(13a23)、(13a24)與 (13a25) ’就由機械臂(25a)至(25c)放回。接著,取出下 個晶圓盒(10)的晶圓(13bl),由提取器(26a)夾住。再取 出曰曰圓(13b2)與(13b3),以上述的相同方法,進行裝入與 檢查工作。 從上面 的一輪檢查 施型態係關 以’晶圓目 並依序檢查 置的晶圓數 此種方法深 根據此 響寺,不同於 晶圓歸位。 入檢查裝置 費的待機時 數目,減少 術,此種實施型態 能大幅降低。本實 目視檢查裝置。所 三個晶圓放入裝置 三種,或是k入裝 少幅度更多;所以 晶圓盒以檢查晶圓 晶圓盒的最後一個 仍能繼續將晶圓裝 等待晶圓歸位所耗 果增加受檢晶圓的 的敘述可見,相較於傳統技 時間(三個晶圓的檢查時間) 於進行兩種檢查項目的晶圓 視檢查襄置的配置,採用將 的方式。如果檢查項目不止 目增加’各種檢查時間的減 具效率。 種實施型態,連續放入數個 傳統的情況,無須等待前一 即使檢查條件(方法)不同, 以進行檢查。因此,可省下 間’進而有效進行檢查。如 工作時間所獲得的效率更多
200533907 五、發明說明(13) 此種實施 行;然而,本 與微觀檢查之 光學顯微鏡與 疵用的邊緣檢 -以便從第十五 此種實施 明不限於此種 板、液晶基板 此種實施型態 有差異。比方 定優先順序。 此外,控制部 圓若分散於採 檢晶圓的數目 的晶圓後更換 從本發明 可變更順序以 可以縮短整個 型恶中,巨觀與微觀檢查均於檢查部分進 發明不限於此種實施型態而已。可採行巨觀 任一種,進行微觀檢查時,受檢物品可採用 電子顯微鏡放大。此外,可安排檢查邊緣瑕 查展置。亦可设定單一晶圓盒的檢查方法, 個晶圓起切換檢查條件。 型態的受檢物品為半導體晶圓;然而,本發 實施型態而已。只要盒能夠收納,玻璃基 與遮蔽基板等各類基板都可以使用。 中’先放置(第一)與後放置(第二)盒的時間 說,同時放置兩盒時,必須事先在放置台決 如此一來,就能順利裝入晶圓、毫無阻礙。 分若能辦到,可以同時繪製分佈圖。受檢晶 用同一檢查方法的數個晶圓盒,事先設定受 ,放置口上的晶圓盒’將在檢查完指定數目 。這樣就能持續不斷地檢查。 · 來看’接連檢查置於數盒内的受檢物品時, 減少運送盒子的時間。因此,這樣就能提供 檢查時間的檢查裝置。
第17頁 200533907 圖式簡單說明 【圖式簡單說明】 本發明的詳細說明請配合實施例之圖式必能充分了解 本發明的動作原理。 圖一係本發明物品檢查裝置承裝器的構造解釋圖。 “圖二係本發明物品檢查裝置檢查晶圓結構的說明圖。 .圖三A、三B係本發明物品檢查裝置中晶圓輸送的流程圖。 圖四A至圖四C係本發明物品檢查裝置中晶圓輸送的時間控 制圖。 圖五A係本發明物品檢查裝置中晶圓輸送、檢查的說明 圖。 圖五B係習用檢查裝置中晶圓輸送、檢查的說明圖。
說 lgu # 符 件 元 要 主 rL 2 3 4 5 6
πυ 11 1X 明】 .晶圓供應站/暫存站 臂型運送器 巨觀檢查單元 調準器 .微觀檢查單元 控制部份 晶圓盒 .顯示單元 晶圓盒 .晶圓盒 .放置台
第18頁 200533907 圖式簡單說明 12 .....................••放置台 13 .......................半導體晶圓 14 ............... ......••感測器 1 5.......................感測器 Ί6.....................••盒用機械臂 17.....................·.檢查用機械臂 21 .....................••延伸臂 22 .......................L型提取器 23 .....................••移動單元 24 .....................••旋轉組件 ❶25a...............·……·機械臂 25b................... ···.機械臂 25c...................……機械臂 26a................……·提取器 26b……............. ···· 提取器 26c.......··...........……提取器 A............· · ............••晶圓運送位置 B........................••巨觀檢查位置 C............· · ............••微觀檢查位置 _1 .....................••步驟S1 S2.....................· ·步驟S2 * S3.....................· ·步驟S3 54 .....................· ·步驟S4 55 .....................··步驟 S5
第19頁 200533907 圖式簡單說明 S 6.....................··步驟 S6 57 .....................· ·步驟S7 58 .....................· ·步驟S8 59 .....................· ·步驟S9 •S10.....................· ·步驟S10 511 .....................· ·步驟 S11 512 .....................…步驟S12 513 .....................…步驟S13 514 .....................…步驟S14 515 .....................…步驟S15 ❶S16.....................••步驟S16 517 .....................…步驟S17 518 .....................· ·步驟 S18 519 .....................…步驟S19 520 .....................…步驟S20 S2卜··..................…步驟S21 522 .....................…步驟S22 523 .....................…步驟S23 524 .....................…步驟S24 ._25.....................…步驟S25 _匪 第20頁
Claims (1)
- 200533907 申請專利範圍 一種物品之檢查裝置,其係由下列元件所組成·· 幾個收納數件受檢物品的盒子; :輸送器:内含放置盒子的放置台,以及 物品的臂型輸送器;及 又檢 ::部f ··能控制檢查部分以檢查受檢物品、指示輸 t為袭入物品、在檢查部分設定檢查項目; 一檢查物品承受器:放入承裝受檢物品的第一盒,接 放二盒以後,裝入第二盒承裝的受檢物品並進 行檢查。 •月1如申凊專利範圍第1項所述之物品檢查裝置,其中 f =輸送器具備檢查用機械臂,内含數個機械臂以夾住 文檢物品,並運用檢查部分的旋轉機制,將受檢物品裝 入° 3 ·種=申請專利範圍第2項所i之物品檢查裝置,其中 益表裝的受檢物品接連裝入並受檢時,檢查用機械 #的所有機械臂,將連續夾住裝入受檢物品。 |· 一種如申請專利範圍第1項所述之物品檢查裝置,其中 檢查部分包括: 一巨觀檢查單元,能對受檢物品進行巨觀目視檢查;以 及 "頁彳放鏡觀察單元,接收在巨觀檢查單元完成檢查的受檢第21頁 200533907 六、申請專利範圍 物品,再進行微觀目視檢查。 5. 一種如申ί專利範圍第1項所述之物品檢查裝置,其中 .臂型輸达益包括檢查用機械臂及盒用機械臂,盒用機械 臂負責將受檢物品裝卸至盒子。 6 ·種如申咕專利範圍第1項所述之物品檢查裝置,其中 放置了 λ有感測器’負責偵測並針對放置台所放盒内的 數個受檢物品製作分佈圖。 1 一種物品之檢查方法,其係包括: ,盒組所含的數盒之中,連續取出預定處理的物 时,元成預定檢查後,讓原本盒内的待處理物品,進行 後續檢查;及 »又疋第益的第一檢查項目,之後在順利取出待處理物 品進行檢查時,於時限内定下一盒的第二檢 ; 以及 取出第一盒的最後一你必^ , 品,檢查完最後-件it:’再從第二盒取出待處理物 •二檢查項目,再繼續檢;檢查項目切換至第 做量待處理物品。第22頁
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