TW200533907A

TW200533907A - Apparatus and method for inspecting an inspection object

Info

Publication number: TW200533907A
Application number: TW094108407A
Authority: TW
Inventors: Masahiko Yazawa
Original assignee: Olympus Corp
Priority date: 2004-03-23
Filing date: 2005-03-18
Publication date: 2005-10-16
Also published as: KR20060044613A; US20050232735A1; CN1673719A; JP2005274243A

Description

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【發明所屬之技術領域】本發明係關於物品之檢查裝置及方法，尤指一種專用於晶圓檢查裝置和方法，能夠連續檢查置於盒組的數件受檢物品’進而縮短檢查所耗費的時間。 -【先前技術】

傳統上，在製造半導體裝置的過程中，均會檢查生產的半導體aa圓（以下簡稱晶圓）外觀，檢查裝置設有晶圓輸送器，能夠從盒内不斷地供應受檢物品（也就是晶圓）至檢查部分，承裝數個晶圓的晶圓盒，放在晶圓輸送器的盒子放置台上，這些放在晶圓盒内的晶圓，將用機械手臂^ U丄再進行預定檢查’#著’再用機械手臂將晶圓放回：=’檢查裝置的晶圓放置台，其結構至少能放上兩個日日圓益，以便加強檢查工作的效率。根據上述結構，檢查第一晶圓各 •张右曰m从门人日f圓皿的所有晶0後，再將有晶圓。 η ^曼、繼續檢查第二晶圓盒所放的所檢查裝置採用述。更具體而言， •鲁險查再放回。接著運至檢查部分。兩個晶圓盒時，晶第一晶圓盒所放的用機械取出下個晶圓的移動流程如下所所有晶圓，都會經過圓盒所放的晶圓，並 =丄日日圓檢查是按照晶圓盒組逐第-曰曰圓益的所有晶圓’都經進：。換吕之，第二晶圓盒的晶圓。因此得指：U回後，才會取出曰疋檢查待機（等待）時間，意

200533907 五、發明說明（2) 指針對第二晶圓盒的第一個晶圓，開始進行巨觀檢查的時間。一，而日，專利申哨出版品第9 _丨8丨丨4 4號，公布了縮短 •受檢晶圓盒所需時間的方法。若根據上述出版品第9—、 18U 44號所述的方法，無法縮短檢查本身的時間。然 -若採用無人系統來進行供應與處理晶圓的工作，計i、☆丄 f理的呀間’就能提供操作員更換晶圓盒的資料。如：來，就能縮短更換晶圓盒所費的時間。如此一【發明内容】本發明的置，該裝置由數個裝著輸送器，品的機械臂；控制部分器裝入物品、裝入放在時’再裝入放鲁私發明的另_ 括：接連取出後，讓原盒物指定第一實施角度之一，提供了檢查受檢物品的裝下列項目所組成： " 數件受撿物品的盒子；包括放置盒的放置台，裝卸各盒承裝以及 7 ，控制檢查部分以檢查受檢物品、指示輸送以及在檢查部分設定檢查項目；第了放置盒的受檢物品，之後放置第二盒在第二盒的受檢物品，並進行檢查。實施角度，提供了檢查受檢物品的方法，包放於盒組内數盒的幾件物品，完成預定檢查品進行下一項檢查；以及盒的首項檢查項目，於連續取出所放物品並

第6頁 200533907 五、發明說明（3) 進行檢查時，在時限内設定下一盒的第二項檢查項目；以及、取出第一盒的最後一件物品，再繼續取出下一各 •的物品，檢查完最後一件物品後，從第一檢查項目二第一檢查項目，再繼續檢查物品。、、【實施方式】參照隨附圖示進行以下，就本發明的實施型態之一說明。圖一的概圖說明了檢查裝置的輸送器配本發明的實施型態之-設置的晶圓目視檢杳裝置即疋松’.、、輸送查裝置大致分為輸送、檢查與控制部分。 j Τί : 供應站/暫存站⑴與臂型輪送器(2)構成檢查部分包括巨觀檢查單位（3)、碉準檢杳單位（料兹目仏尤π /、/ 、 β周旱裔（4 )與顯微鏡愧一早位u政觀檢查单位）（5)。控制 (Ό與顯示單位（8)。 · 刀㈧）連接輸入早•位妒放ί =應站/暫存站⑴包括放置台⑴）與（⑺，至少月匕放置兩個晶圓盒（9)和（1 」主乂 •檢物？夠利用臂型運送器⑺，輸送與接收 f檢物扣’也就是半導體晶圓（晶圓盒（9)盥（1(n夂处石壯丨r肘〇視為日日圓）（13)。 -圓盒（9)企裝二十五個（舉例）晶圓（13)。晶晶圓各内么奸播（14)與（15)，能分別感測放在此稽槽的晶圓，據此繪製分佈圖（maPPinS)。貫轭型態中，透過晶圓盒承裝的晶圓數與收納晶 200533907

a的插槽關係，感測並製你八 / p. 氣作分佈圖以後，再存入抑制邱八 (6 )。受檢晶圓乃是按昭八丹评入徑制口p刀插槽内。文“、、刀佈圖的結果，置於晶圓盒原有臂型輸送器（2)由裝舎p曰圓人, Ά各用擄μ辟,1 a w虹 P日日固益（9 )與（1 〇 )内之晶圓（1 3 ) , , m &设描述）、數個機械臂和檢查用機械 1(17組成。檢查用機械臂（17)將晶圓（13)放於分，換言之，該機械臂採M ^ 一丨 (3)调準益（4)和盒用機械臂（16)之間移動晶圓。檢查用機械臂（17)將晶圓運送至巨觀檢查台後，巨檢查單元（3)開始進行巨觀檢杳。嘴里„ 丨J匕规檢笪。凋準态（4)進行調準，以便接下來的微觀檢查單元（5)進行微觀檢查。更具體而吕’調準器（4)按照晶圓（13)的定向平面來定位（或調準）、°除了定向平面以外’當然能採用晶圓上進行光學蝕刻法和切割處理用的對準標記來調準。控制部分（6)管·理前述的臂型輸送器（2)、巨觀檢查單元（3)、調準器（4)與顯微鏡檢查單元（5)。控制部谷（6一）負 ^進行裝入與檢查等一連串工作，並指示檢查條件。輸入單兀（7)包含控制面板與數個按鍵。輸入單元（7)設定了檢查條件（方法），並輸入檢查與裝入指示。顯示單元（8)包 •舍液晶顯示裝置’並顯示檢查狀態、條件與結果。圖二係按照一種實施型態，來說明晶圓目視檢查裝置中，晶圓輸送器的結構為何。臂型輸送器（2)由盒用機械臂（1 6 )和檢查用機械臂（1 7 )組成。盒用機械臂（16)具有延伸臂（21)。延伸臂（21)的末端

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銜接L型提取器（22)，具真空夾盤功能。提取器（22)插入曰曰圓盒（9)或（10) ’夾住晶圓（13)的背面。接著，提取哭 (22)從晶圓盒（9)或（10)取出晶圓（1 3)，運至檢查用機$ ’（17)之處。接下來，盒用機械臂（16)從檢查用機械臂處’取得受檢晶圓（1 3 )，將其裝入原本晶圓盒（9)或（丨〇 ) -的放入位置（插槽）。此情況之中，放置台（11)與（12)各具描繪分佈圖用的垂直移動功能。因此，當盒用機械臂（丨^ 裝卸晶圓時，放置台（11 )與（12)就能垂直移動至晶圓各 (9)與（10)的提取器（22)取出位置。欲取代上述配置時π，機械臂（21)可具備垂直移動功能。更具體而言，機械臂 (2 1 )在晶圓盒（9 )或（1 〇 )裝卸晶圓時，提取器（2 2 )可以在固定晶圓盒（9 )與（1 0 )的狀態下垂直移動。如果使用垂直移動的盒用機械臂（16)，提取器（22)的尖端設有繪圖感測器。提取器（22)就能垂直移動以完成分盒用機械臂·（16)還具備移動單元（23)，由威性馬達和馬達驅動的齒輪機制構成。移動單元（23)可將提取器（22) 移動至晶圓盒（9)或（10)的前方（取出位置），並且水平移動機械臂（21)至檢查用機械臂（17)的晶圓運送位置八。 j疑轉組件（2 4 )位在下列位置的中繼處。一是晶圓運送 =一疋巨觀檢查位置B(巨觀檢查單元），一是微觀檢放置調準器（4)的位置，能將晶圓（13)運送至顯 ^ t凡（5))。旋轉組件（24)具備旋轉功能與垂直移工月b。碇轉組件（24)還設有三個機械臂（25a)至（25c)。

第9頁 200533907 五、發明說明（6) 機械臂（25a)至（25c)銜接提取器（26a)至（26c)，具有分別夾住晶圓的真空夾緊功能。旋轉組件（2 4 ) —旦旋轉，提取器（26a)至（26c)就會夾住晶圓（13)。如此一來，機械臂（25a)至（25c)夾住的晶圓（13)，將經過上述的晶圓運送位置A、巨觀與微觀檢查位置b與c之後裝入。 * 上述的巨觀與顯微鏡檢查單元（3)與（5)逐一檢查晶圓 03)。盒用機械臂（16)裝入的晶圓（13)，在運送至檢查用機械臂（1 7)時，已經事先經過調準。此情況之中，相較於利用，準器（4)對準，事先調準的精確度較低。事先調準的晶圓（13)，裝入巨觀檢查單元（3)以進行巨觀檢查，之，再用檢查用機械臂（丨7 )裝入調準器（4 )。接下來，調準杰（4 )按照晶圓（丨3 )的定向平面，將其對準預定方向，再 :正晶圓（13)的定位誤差。然後，將調準過的晶圓（13)，、入顯微鏡檢查單元（5)的觀察位置，進行微觀檢查。 ΗΒ 下面將？照圖二A與三B的流程圖及圖四的時序圖，說使二照實Ϊ型態進行檢查的晶圓裝入過程，·此情況之中， (9 ) ^ 盒來持續檢查。根據此種實施型態，晶圓盒〇 U 0)此分別承裝二十五個晶圓（丨3)。 _站/m作員把晶圓盒（9)(第一放置盒）放在晶圓供 ^測曰圓子八r q、的放置台（1 1 )時，放置台（1 1 )的感測器會 .(是乂:固:(9)是否就位(步驟⑴。輸出偵測訊號站％存=，(6) ’控制部分⑻再指示晶㈣示，利用@、通丨二製分佈圖。晶圓供應站/暫存站（1)按照指之d裔（1 4 )製作分佈圖，並偵測晶圓盒（9 )的晶

200533907 五、發明說明（7) 之後’控制部分（6)發出訊圓（13)承裝狀態（步驟S2 至控制部分（6 )。控制部分（6 )掌控顯示單Γ (步糊。晶圓盒的二十五早個：=分佈圖的結澤 •七個插槽，按照顯示法則呈翊山〇 ’ 一併展示這些插槽承裝晶圓的狀態。在前述的展干: 二眼^承震的晶圓數以外，還能判斷3 曰曰固的插槽狀況。根據此種實施型態， ^ ㈣=圖；此情況可採用下列的順序進 ⑻盘（m务Λ，供應站/暫存站⑴偵測到晶圓盒 1八後，京尤㊣隨即繪製分佈圖，|須等待二部分⑻的指示。晶圓供應站/暫存站(ια :=控制圖結果至控制部分（6)。雨置/、刀佈放置σ(ιι)知照分佈圖的資料垂直移動，合 :曰圓13al，放於盒用機械 /取出的操作員在裝置上確認晶圓 f ::(22)的裝入位置。預設檢i方法，再指干n私、# /文虽後再利用輸入單元各用機；B辟冉扣開始進行檢查（步驟S4)。移動單元（23)，將取出曰曰一固背面再取出。運用 Τπ I；}! f ^ •13a2。此情況裝：：ί广—,就是第二個晶圓否存在，如果磉，"士么：二4 )隨時偵測下個晶圓(1 3 )是訊號。如此佈圖的結果，將顯示錯誤來檢查裝置的運作將暫停，包括裝入晶 200533907

的動作。的提取器(22)所夾住的晶圓13al，運至檢一用機械#的運达位置A(步驟S6)。晶圓13al時’檢查用機械臂（17) σ 收 •圓1 % 1、富石亡> ^ u得動方疋轉組件（24)，將晶 013al運至巨觀檢查單元（3)的杳 -(A)b夺，晶圓（13al)由提取位置⑻。在檢查位置巨觀檢查(步驟S7)。此情況i中6心；=觀檢查台以進行匕回到圓盒(9)的前，。接著如同前例，從日曰0益（9)取出下一個晶圓13日2， (17)的提取器(26b)。丹連至檢查用機械臂完成第一個晶圓（1 3al)的巨觀檢杳械臂（Η)將晶圓（13al)裝入％ m ^ 傻利用檢查用機办賢H1定卢# : 準為（步驟S8)。將晶圓13al ίϋΛ 上’用調準器⑷轉動顯微鏡檢杳單 =)，的方疋轉曰鏡台’如χ、γ與Θ鏡台。調準器⑷於此:二 •、測日日圓（1 3a 1 )的邊緣座標，進而偵測出定向平& 置二控：Χ、Υ與0鏡台，修正上述的定向平面位單二的Λ 的晶圓(13al) ’再移至顯微鏡檢查 f (步驟叫。在此同時，提取器（26b)夹住進圓丁錢檢 .⑴⑵’裝入巨觀檢查單元⑶進行巨觀檢Π :子皿用機械臂（16)將第二個晶圓（13a3)，至檢一用機械臂（1 7)的提取器（26c)(步驟S10)。檢查用機械臂（17)的提取器（26a) ’取回完成微觀檢

200533907 五、發明說明（9) 查的晶圓13al，然後轉動移至運送位置人（步驟S1丨）。晶圓 13al(完成微觀檢查）抵達運送位置a後，再由提取器（26a) 移至盒用機械臂（1 6 )的提取器（2 2 )。提取器（2 2 )將晶圓 13al送回晶圓盒（9)，再取出第四個晶圓14a4，運至檢查用機械臂（1 7)上空著的提取器（26a)(步驟S1 。之後，重上述的裝入與檢查工作。如此一來，晶圓（丨3 )就能按照分佈圖指定的順序，不斷地裝入檢查用機械臂（丨7)的運位置。曰步驟（S13)偵測了後續檢查的晶圓盒（1〇)(稍後放入的，圓盒），、是否已經放入放置台（12)。根據此種實施型 ^為了連續進行檢查，得指定放置晶圓盒（1 0 )以接著檢 :的時序，如圖四所示。更具體而言，此處可以指定任何 1、序:只要在取出晶圓盒（9)的最後一個晶圓（13)前，完女後績叉檢晶圓盒（1 0 )的分佈圖，以便檢查晶圓盒（丨㈠即 •I丄如果設定新的檢查方法，亦可指定同於上述的時序。，二驟（S13)，如果感測器（15)}貞測到晶圓盒（1〇)已經放 f in置。（1 2 )(疋/ YES )，此時將輸出偵測訊號至控制部分圓徂庙形成令斷訊號。控制部分（6)收到訊號時，將指示晶麵夺按=/-暫緣存站（1)繪製分佈圖。晶圓供應站/暫存站（1) 5曰圖。接著’曰曰曰圓供應站/暫存站⑴完成繪圖

•況資訊(V驟:早4)位(6)關於晶圓盒〇〇 W 就設定晶圓盒（10)承裝晶圓的相關檢查項目，也疋别入早70(7)採用的方法（步驟S15)。如果此情況之中

第13頁 200533907 五、發明說明（10) 所檢查的晶圓，具有相同的批號和規格時，檢查將繼_下去。設定檢查方法後’放置台（12)往上移動。接著\ 2圓盒（10)移動以取出第一個晶圓（13bl)，然後待機（步驟 S16)。提取器（2 2 )從晶圓盒（9 )取出最後一個晶圓（j 3 a 2 5 )， •顯示單兀（8 )接著顯示晶圓盒裝入完成預報（步驟s丨7 )。晶圓（13a25)從傳送位置（A)移到巨觀檢查位置（B)時，受檢曰曰圓（1 3 a 2 3 )則放回晶圓盒（9 )。此情況之中，應判斷下一個的晶圓盒（1 0 )，是否放入放置台（丨2 )，直到在取出最後一個晶圓（1 3 a 2 5 )後，顯示前述的裝入完成預報為止（步驟 S18)。因此，晶圓盒（1〇)若未定位（否/ N〇)，晶圓盒（9)的最後一個晶圓（1 3 a 2 5 )歸位後，檢查即會停止。倘若在步驟（S 18)中，判定晶圓盒（10)已經就位 (是/YES) ’晶圓供應站/暫存站1就解除晶圓盒（1〇)在步驟 (S1 6 )的待機狀態（步驟s丨9 )。控制部分（6 )指示晶圓供應站/暫存站（1) ’將前一晶圓·盒（9)的最後一個晶圓（13a25) 放回’再從接著受檢的晶圓盒（丨〇 )之中，取出第一個晶圓 (#13bl)。盒用機械臂（16)取出晶圓丨儿丨，再用檢查用機械臂（17)的提取器（26b)夾緊固定（步驟S2〇)。此時，提取器 • 26a)/夾住的晶圓（13a25)進行巨觀檢查，提取器（26c)夾住的晶圓（13a24)則進行微觀檢查。完成上述檢查後，檢查用機械臂（1 7 )轉動。控制部分（6 )從晶圓盒（9 )的設定檢查方法’切換至晶圓盒（1 〇)設定的方法，進行後續的巨觀檢查（步驟S21 ) °之後，對晶圓1 3bl進行巨觀檢查（步驟

第14頁 200533907 五、發明說明（11) S22)。元成晶圓（1 3 a 2 5 )的微觀檢查後，控制部分（6 )從晶圓盒（9 )設定的檢查方法，切換至晶圓盒（丨〇 )設定的方法，進行後續的微觀檢查（步驟S23)。然後，晶圓（1 3bl )進行微觀檢查（步驟S24)。之後，晶圓盒（1〇)承裝的晶圓乂 1 3 )’按照分佈圖指定的順序，接連裝入盒用機械臂，然後重複巨觀與微觀檢查，直到從晶圓盒（丨〇 )取出最後一個晶圓（1 3b25)為止。一时晶圓d3a25)回到晶圓盒（9)時，控制部分（6)指示顯丨不單兀（8)呈現資訊，表示受檢物品已經從晶圓盒（9)移到晶圓盒（1〇)(步驟S25)。當然，除了上述顯示資訊外，亦可使用蜂鳴聲。操作員按照顯示資訊，從放置台（1 1 )取出晶圓盒（9)，如果檢查仍在進行，則放入承裝後續受檢晶如上所述，第二晶y盒（10)承裝的第一晶圓（13bl )，將在檢查70第一晶圓盒（9)承裝的最後一個晶圓（i3a25)·後 J著巧。之後取出檢查過的晶圓盒，換上未受檢的晶圓盒，檢查據此得以持續進行。敵換=it顯示了此種實施型態巾，晶圓目視檢查裝置的 $機械臂裝人與進行檢查的時間。機械f(25a)w25c) 一個晶圓’一邊接連夾住三個晶圓〇3)。比方說， aa 將曰曰圓（13)裝入晶圓盒（9)與（1〇)時，機械臂（25b)接連夾二兩個晶圓盒之中相隔三號的晶圓，就是晶圓⑴a2) 圓（3a5)、晶圓（13a8) 晶圓（13a23)、晶圓（13bl)

第15頁 200533907 五、發明說明（12) 晶圓（1 3b4 )....... 相反地，如果按照傳統方法完成每個晶圓盒的檢查，移到下個晶圓盒進行檢查時，就會發生圖五B所示的情況。更具體而言，機械臂（25a)夾住的晶圓（13a25)，放入晶圓盒（9)之後，其他的機械臂（25b)與（25c)，才能取得 -晶圓（1 3 )。根據傳統的檢查方法，移至下個晶圓盒u 〇 )進行檢查時，前一晶圓盒（9)的晶圓（13a23)、（13a24)與 (13a25) ’就由機械臂（25a)至（25c)放回。接著，取出下個晶圓盒（10)的晶圓（13bl)，由提取器（26a)夾住。再取出曰曰圓（13b2)與（13b3)，以上述的相同方法，進行裝入與檢查工作。從上面的一輪檢查施型態係關以’晶圓目並依序檢查置的晶圓數此種方法深根據此響寺，不同於晶圓歸位。入檢查裝置費的待機時數目，減少術，此種實施型態能大幅降低。本實目視檢查裝置。所三個晶圓放入裝置三種，或是k入裝少幅度更多；所以晶圓盒以檢查晶圓晶圓盒的最後一個仍能繼續將晶圓裝等待晶圓歸位所耗果增加受檢晶圓的的敘述可見，相較於傳統技時間（三個晶圓的檢查時間）於進行兩種檢查項目的晶圓視檢查襄置的配置，採用將的方式。如果檢查項目不止目增加’各種檢查時間的減具效率。種實施型態，連續放入數個傳統的情況，無須等待前一即使檢查條件（方法）不同，以進行檢查。因此，可省下間’進而有效進行檢查。如工作時間所獲得的效率更多

200533907 五、發明說明（13) 此種實施行；然而，本與微觀檢查之光學顯微鏡與疵用的邊緣檢 -以便從第十五此種實施明不限於此種板、液晶基板此種實施型態有差異。比方定優先順序。此外，控制部圓若分散於採檢晶圓的數目的晶圓後更換從本發明可變更順序以可以縮短整個型恶中，巨觀與微觀檢查均於檢查部分進發明不限於此種實施型態而已。可採行巨觀任一種，進行微觀檢查時，受檢物品可採用電子顯微鏡放大。此外，可安排檢查邊緣瑕查展置。亦可设定單一晶圓盒的檢查方法，個晶圓起切換檢查條件。型態的受檢物品為半導體晶圓；然而，本發實施型態而已。只要盒能夠收納，玻璃基與遮蔽基板等各類基板都可以使用。中’先放置（第一）與後放置（第二）盒的時間說，同時放置兩盒時，必須事先在放置台決如此一來，就能順利裝入晶圓、毫無阻礙。分若能辦到，可以同時繪製分佈圖。受檢晶用同一檢查方法的數個晶圓盒，事先設定受，放置口上的晶圓盒’將在檢查完指定數目。這樣就能持續不斷地檢查。 · 來看’接連檢查置於數盒内的受檢物品時，減少運送盒子的時間。因此，這樣就能提供檢查時間的檢查裝置。

第17頁 200533907 圖式簡單說明【圖式簡單說明】本發明的詳細說明請配合實施例之圖式必能充分了解本發明的動作原理。圖一係本發明物品檢查裝置承裝器的構造解釋圖。 “圖二係本發明物品檢查裝置檢查晶圓結構的說明圖。 .圖三A、三B係本發明物品檢查裝置中晶圓輸送的流程圖。圖四A至圖四C係本發明物品檢查裝置中晶圓輸送的時間控制圖。圖五A係本發明物品檢查裝置中晶圓輸送、檢查的說明圖。圖五B係習用檢查裝置中晶圓輸送、檢查的說明圖。

說 lgu # 符件元要主 rL 2 3 4 5 6

πυ 11 1X 明】 .晶圓供應站/暫存站臂型運送器巨觀檢查單元調準器 .微觀檢查單元控制部份晶圓盒 .顯示單元晶圓盒 .晶圓盒 .放置台

第18頁 200533907 圖式簡單說明 12 .....................••放置台 13 .......................半導體晶圓 14 ............... ......••感測器 1 5.......................感測器 Ί6.....................••盒用機械臂 17.....................·.檢查用機械臂 21 .....................••延伸臂 22 .......................L型提取器 23 .....................••移動單元 24 .....................••旋轉組件 ❶25a...............·……·機械臂 25b................... ···.機械臂 25c...................……機械臂 26a................……·提取器 26b……............. ···· 提取器 26c.......··...........……提取器 A............· · ............••晶圓運送位置 B........................••巨觀檢查位置 C............· · ............••微觀檢查位置 _1 .....................••步驟S1 S2.....................· ·步驟S2 * S3.....................· ·步驟S3 54 .....................· ·步驟S4 55 .....................··步驟 S5

第19頁 200533907 圖式簡單說明 S 6.....................··步驟 S6 57 .....................· ·步驟S7 58 .....................· ·步驟S8 59 .....................· ·步驟S9 •S10.....................· ·步驟S10 511 .....................· ·步驟 S11 512 .....................…步驟S12 513 .....................…步驟S13 514 .....................…步驟S14 515 .....................…步驟S15 ❶S16.....................••步驟S16 517 .....................…步驟S17 518 .....................· ·步驟 S18 519 .....................…步驟S19 520 .....................…步驟S20 S2卜··..................…步驟S21 522 .....................…步驟S22 523 .....................…步驟S23 524 .....................…步驟S24 ._25.....................…步驟S25 _匪第20頁

Claims

200533907 申請專利範圍一種物品之檢查裝置，其係由下列元件所組成·· 幾個收納數件受檢物品的盒子； :輸送器：内含放置盒子的放置台，以及物品的臂型輸送器；及又檢 ::部f ··能控制檢查部分以檢查受檢物品、指示輸 t為袭入物品、在檢查部分設定檢查項目；一檢查物品承受器：放入承裝受檢物品的第一盒，接放二盒以後，裝入第二盒承裝的受檢物品並進行檢查。 •月1如申凊專利範圍第1項所述之物品檢查裝置，其中 f =輸送器具備檢查用機械臂，内含數個機械臂以夾住文檢物品，並運用檢查部分的旋轉機制，將受檢物品裝入° 3 ·種=申請專利範圍第2項所i之物品檢查裝置，其中益表裝的受檢物品接連裝入並受檢時，檢查用機械 #的所有機械臂，將連續夾住裝入受檢物品。 |· 一種如申請專利範圍第1項所述之物品檢查裝置，其中檢查部分包括：一巨觀檢查單元，能對受檢物品進行巨觀目視檢查；以及 "頁彳放鏡觀察單元，接收在巨觀檢查單元完成檢查的受檢

第21頁 200533907 六、申請專利範圍物品，再進行微觀目視檢查。 5. 一種如申ί專利範圍第1項所述之物品檢查裝置，其中 .臂型輸达益包括檢查用機械臂及盒用機械臂，盒用機械臂負責將受檢物品裝卸至盒子。 6 ·種如申咕專利範圍第1項所述之物品檢查裝置，其中放置了 λ有感測器’負責偵測並針對放置台所放盒内的數個受檢物品製作分佈圖。 1 一種物品之檢查方法，其係包括：，盒組所含的數盒之中，連續取出預定處理的物时，元成預定檢查後，讓原本盒内的待處理物品，進行後續檢查；及 »又疋第益的第一檢查項目，之後在順利取出待處理物品進行檢查時，於時限内定下一盒的第二檢；以及取出第一盒的最後一你必^ , 品，檢查完最後-件it:’再從第二盒取出待處理物 •二檢查項目，再繼續檢;檢查項目切換至第做量待處理物品。

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