JP2002076077A

JP2002076077A - 検査装置

Info

Publication number: JP2002076077A
Application number: JP2000262281A
Authority: JP
Inventors: Akitoshi Kawai; 章利河井
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-08-31
Filing date: 2000-08-31
Publication date: 2002-03-15

Abstract

(57)【要約】【課題】ウェハ検査中に緊急な電源遮断が発生して制
御電源が遮断された場合でも、再立ち上げ時に安全確実
にウェハを回収できるウェハ検査装置を得る。【解決手段】ウェハ収納部１０と、フィーダアーム機
構２０やトリプルアーム機構３０などからなる搬送装置
と、ウェハ検査ステージ４０と制御装置８０とを有し、
収納部１０に収納されたウェハＷを搬送装置により順次
検査ステージ４０に搬送して検査し、検査終了後のウェ
ハを再び搬送装置により収納部１０に格納するウェハ検
査装置１において、制御装置８０には二つの不揮発性メ
モリを有し、制御装置は検査ステップが進行するごと
に、順次検査の進行状態を上記二つの不揮発性メモリに
交互に書き込んで記憶させるようにウェハ検査装置１を
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検物を検査する
検査装置に関し、例えば、被検物としての半導体ウェハ
を検査するのに用いることができる。

【０００２】

【従来の技術】ウェハ検査装置は、多数のフォトリソグ
ラフィ工程が繰り返して行われる半導体ウェハの製造過
程において、各工程の処理が適正に行われたか否かを工
程間で検査する検査装置であり、例えば、露光工程にお
けるフォーカス不良や回路パターンのあわせズレ、現像
・露光工程における膜ムラやエッチング過不足等を中間
検査し、不良工程の是正を図ることにより生産歩留まり
を向上させるための検査装置である。

【０００３】半導体ウェハは極めて微細な回路パターン
で構成されているため、検査担当者が直接ウェハに接触
することは許されない。このため、上記各工程とウェハ
検査装置との間の搬送には多数のウェハを収納するキャ
リアが用いられており、ウェハ検査装置では、検査装置
上に載置されたキャリアから順次未検査のウェハを検査
装置に設けられたウェハ搬送装置を用いて検査ステージ
に導入(ローディング)し、検査担当者が検査ステージ上
のウェハを検査した後には再び搬送装置を用いてキャリ
アに収納(アンローディング)して次段の製造工程に進む
ように装置が構成されている。

【０００４】ウェハ検査装置には、ウェハ検査のサイク
ルタイムを短縮して高スループットを実現するため、ロ
ーディング・アンローディングを効率的に行えるように
構成したものがある。これは、ウェハーを収納するキャ
リアから複数枚(例えば３枚)のウェハを検査装置内に導
入して検査ステージ近傍に待機させ、これを順番に検査
ステージ上に載置させて検査担当者が検査する。検査が
終了したウェハは検査ステージから待避させるととも
に、次のウェハを検査ステージ上に載置させ、検査担当
者が続けてこのウェハを検査する。ウェハ検査装置の制
御装置は、検査担当者が次のウェハを検査中に、検査終
了後のウェハを搬送装置によりアンロードしてキャリア
に収納させ、これと同時に未検査の新たなウェハをキャ
リアからロードして検査装置内に待機させる。従って、
検査ステージへのウェハのローディング・アンローディ
ングを効率的に行うことができ、これによりウェハ検査
のサイクルタイムを大幅に短縮して高スループットを実
現することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、落雷等に伴
う停電や検査室電源のブレーカダウン、あるいは検査装
置自身のブレーカダウン等によりウェハ検査装置の制御
装置に供給される電力が緊急遮断されることがある。従
来は、このような緊急遮断された状態から電力の供給が
復帰してウェハ検査装置が再立ち上げされると、制御装
置が制御作動を開始する。制御装置はまず、搬送装置に
おいてウェハの搬送を行う搬送アームに取り付けられた
ウェハ検出手段によりウェハの有無を検出し、次に検出
されたウェハの有無の情報に基づいて検査装置内のウェ
ハをキャリアに回収するよう搬送装置を制御し、あるい
は検出されたウェハの有無の情報からウェハの検査の状
況を推定してウェハ検査を続行させていた。

【０００６】ところが、上記のようにして検出されるウ
ェハの有無の情報は、あくまで検査装置内におけるウェ
ハの存在検出に他ならず、検出されるウェハがどの検査
ステップで停止したどのウェハであるのかを的確に判断
できるものではなかった。例えば、当該搬送アーム上に
検出されたウェハが未検査のウェハなのか検査が終了し
たウェハなのか、移動経路上にある搬送アームはどの方
向に移動中であったのか、当該搬送アーム上のウェハは
キャリアのどのスロットから取り出されたウェハであり
どのスロットに戻すべきなのか、等については不明もし
くは推定でしか判断できないという問題があった。

【０００７】また、搬送アームに取り付けられるウェハ
検出手段は、一般にウェハの保持状態を高い精度で検出
可能なものが用いられるが、全く誤検出や故障なきこと
を保証することは難しく、さらに、例えば搬送アーム上
でウェハが傾いてしまったときや、搬送アーム上からウ
ェハが脱落しているときなどにおいては、ウェハ検出手
段がウェハを保持していないと認定し、制御装置は当該
搬送アーム位置にウェハが存在しないとの誤った判断に
基づいて制御するおそれがあるという課題があった。

【０００８】本発明は上記のような問題や課題に鑑みて
成されたものであり、制御装置への電力が遮断され、そ
の後再立ち上げされた場合であっても、ウェハ等の被検
物を適切に回収し、あるいは遮断直前の検査を誤りなく
続行することができるウェハ検査装置を提供することを
目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題の解決のため本
発明は、被検物を載置する載置部（４１、４２）と、前
記載置部に載置された被検物を検査する検査部（５０）
と、前記被検物が収納された収納部（１０）から前記被
検物を前記載置部に搬送し、前記検査部によって検査さ
れた前記被検物を前記収納部に収納する搬送装置（２
０、３０）と、外部から電力の供給を受け、予め設定さ
れた検査ステップに基づいて前記搬送装置の作動を制御
する制御装置（８０）と、前記制御装置により、前記検
査ステップの進行ごとに検査の進行状態を示すデータが
逐次更新して記憶される不揮発性メモリ（８６ａ、８６
ｂ）とを備える。

【００１０】また、前記不揮発性メモリは少なくとも２
基設けられ、前記制御装置は、前記進行状態を示すデー
タを前記少なくとも２基の不揮発性メモリに交互に記憶
させる構成としてもよい。

【００１１】また、前記制御装置は、前記電力の供給が
遮断された後に再投入された場合、前記不揮発性メモリ
に記憶されている前記電力が遮断される直前の前記進行
状態を示すデータを読み出し、読み出された前記データ
に基づいて前記検査ステップを続行させる構成としても
よい。

【００１２】また、前記制御装置は、前記電力の供給が
遮断された後に再投入された場合、前記不揮発性メモリ
に記憶されている前記電力が遮断される直前の前記進行
状態を示すデータを読み出し、読み出された前記データ
に基づいて、前記搬送装置を制御し、前記搬送装置によ
って搬送中の前記被検物を前記収納部に収納する構成と
してもよい。

【００１３】また、前記搬送装置は、複数の前記被検物
を搬送するための複数の搬送アーム（２１、３１ａ、３
１ｂ、３１ｃ）と、前記複数の搬送アームの位置を検出
するアーム位置検出手段（２７、２２、３３）と、前記
複数の搬送アームのそれぞれに設けられ、各搬送アーム
が前記被検物を保持しているか否かを検出する被検物検
査手段（２５、３５、４５）とを有し、前記制御装置
は、前記電力の供給が遮断された後に再投入された場
合、前記不揮発性メモリに記憶されている前記電力が遮
断される直前の前記進行状態を示すデータを読み出し、
読み出された前記データと、前記アーム位置検出手段に
よって検出される前記複数の搬送アームの位置および前
記被検物検出手段によって検出される前記各搬送アーム
の被検物の保持状態に基づいて、前記電力供給の遮断に
よって中断した前記検査ステップを続行させる構成とし
てもよい。

【００１４】また、前記搬送装置は、複数の前記被検物
を搬送するための複数の搬送アーム（２１、３１ａ、３
１ｂ、３１ｃ）と、前記複数の搬送アームの位置を検出
するアーム位置検出手段（２７、２２、３３）と、前記
複数の搬送アームのそれぞれに設けられ、各搬送アーム
が前記被検物を保持しているか否かを検出する被検物検
査手段（２５、３５、４５）とを有し、前記制御装置
は、前記電力の供給が遮断された後に再投入された場
合、前記不揮発性メモリに記憶されている前記電力が遮
断される直前の前記進行状態を示すデータを読み出し、
読み出された前記データと、前記アーム位置検出手段に
よって検出される前記複数の搬送アームの位置および前
記被検物検出手段によって検出される前記各搬送アーム
の被検物の保持状態に基づいて、前記搬送装置を制御
し、前記搬送装置によって搬送中の前記被検物を前記収
納部に収納する構成としてもよい。

【００１５】なお、本明細書でいう「検査の進行状態」
とは、収納部から被検物（例えばウェハ）を取り出して
載置部（例えばミクロ観察ステージ４１、マクロ観察ス
テージ４２）まで搬送し、検査終了後に収納部に被検物
を収納するまでの複数の検査ステップ（制御上のステッ
プあるいは一定の制御ブロック）からなる検査工程の全
部あるいは少なくとも一部において、被検物がどの検査
ステップ上にあるかという進行状態を意味する。その進
行状態は、特定の位置状態を示すものであってもよい
し、ある区間内の移動状態であってもよいし、その両方
であってもよい。また、被検物がどの収納部のどのスロ
ットからロードされたものかなどの情報を含ませてもよ
い。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態について説明する。本発明の実施形態に
係る検査装置の一例として、図２(ａ)および図２(ｂ)に
ウェハ外観検査装置の平面図（上面図）および正面図を
示し、図１にこの検査装置の制御構成をブロック図とし
て示している。ウェハ外観検査装置（以下検査装置とい
う）１は、テーブル状の本体に、電源装置５、ウェハ収
納部１０、フィーダアーム機構２０、トリプルアーム機
構３０、検査ステージ４０、顕微鏡ユニット５０、操作
装置７０、制御装置８０などを有して構成されている。
検査装置１を使用する検査担当者は、電源装置５のブレ
ーカ６をオンとした後、操作装置７０を用いて検査プロ
グラムをスタートさせることにより、収納部１０に配設
されたキャリア内のウェハをフィーダアーム機構２０、
トリプルアーム機構３０等を作動させて順次ステージ４
０に移動させ、顕微鏡ユニット５０を用いて外観検査を
行うことができるようになっている。顕微鏡ユニットの
側方（図では右側方）には検査中のウェハのデータや検
査情報等を表示するモニター（ＣＲＴディスプレー）９
０が取り付けられている。

【００１７】図示する検査装置１は、収納部１０に二つ
のキャリア（Ａキャリア１１及びＢキャリア１２）を載
置可能ないわゆる２キャリアタイプの検査装置である。
収納部１０には、それぞれのキャリアを独立して上下移
動可能な２基のエレベータ機構や、各キャリア内のウェ
ハの枚数及びそのスロット位置を検出するキャリアスロ
ット検出器１５などが設けられている。収納部１０はエ
レベータ上に載置されたキャリアを収納部１０内に収納
するときに、各キャリア内に係止保持されたウェハの枚
数及びそのスロット位置をキャリアスロット検出器によ
り検出し、その検出データを制御装置８０に出力する。
例えば、Ａキャリアのスロット番号１１から２５までウ
ェハが係止保持されているときに、ウェハデータとして
Ａ１１〜Ａ２５のデータを制御装置８０に出力する。

【００１８】フィーダアーム機構２０は、図２(ｂ)にお
けるIII-III断面図を図３に示すように装置内部に配設
されており、図中に二点鎖線で示すウェハＷをアーム上
に保持して搬送するフィーダアーム２１、フィーダアー
ム２１をＹ軸方向（前後方向）に移動自在に支持するＹ
軸ガイド２２、フィーダアーム２１をＹ軸方向に移動さ
せるＹ軸駆動ステッピングモータ及びＹ軸エンコーダ２
３、これ等のＹ軸部材２１〜２３を一体的にＸ軸方向
（左右方向）に移動自在に支持するＸ軸ガイド２６、Ｙ
軸部材をＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動ステッピングモ
ータ及びＸ軸エンコーダ２７などから構成されている。

【００１９】フィーダアーム２１の先端部上面にはウェ
ハＷを真空吸着する吸着パッド２１ａが配設されてお
り、図示しない真空配管系によりアーム２１上のウェハ
Ｗを吸着保持して移動させる。また、フィーダアーム２
１には後述するフィーダアーム検出器２５が取り付けら
れている。この検出器はフィーダアーム２１上にウェハ
Ｗが保持されているか否かを検出する検出器であり、例
えば、ウェハＷを真空吸着する真空配管系のライン圧を
圧力センサや圧力スイッチ等により検出してウェハＷが
吸着保持されているか否かを判断する検出手段や、ウェ
ハＷに向けて射出した光の反射光を光学的に検出するこ
とによりウェハＷが吸着保持されているか否かを判断す
る検出手段などを用いることができる。

【００２０】トリプルアーム機構３０は、３本のアーム
３１ａ，３１ｂ，３１ｃを有するトリプルアーム３１、
このトリプルアーム３１を回転駆動する駆動機構３２及
び回転角度位置を検出するアーム角度検出器３３などを
有して構成されている。３本のアーム３１ａ，３１ｂ，
３１ｃそれぞれの先端部上面には、ウェハＷを真空吸着
する吸着パッドが配設されており、図示しない真空配管
系により各アーム上のウェハＷを吸着保持して所定の角
度位置に回転移動させる。各アームには上記フィーダア
ーム２１と同様にアームにウェハが保持されているか否
かを検出するトリプルアームウェハ検出器３５が設けら
れている。

【００２１】ステージ４０は、ミクロ観察ステージ４１
とマクロ観察ステージ４２とからなる。マクロ観察ステ
ージ４２はウェハＷ上の欠陥をマクロ的に観察するステ
ージであり、例えば、ウェハ上に斜めに光を投影しその
反射状態を目視または機械的に観察して異常判断を行う
ステージである。ミクロ観察ステージ４１は顕微鏡ユニ
ット５０を用いてウェハＷに形成中の回路をミクロ的に
観察するステージであり、ジョイスティックやキーボー
ド、スイッチ等からなる操作装置７０を操作することに
よりウェハをＸ−Ｙ方向に精密移動させ、あるいはＺ軸
周りに精密回転させて被検査回路を顕微鏡視野内に位置
決めすることができるように構成されている。

【００２２】なお、マクロ観察ステージ４２はトリプル
アーム３１の位置決め状態における手前側の静止位置
（図３における第３アーム３１ｃの位置）に配設され、
ミクロ観察ステージ４１はトリプルアーム３１の位置決
め状態における顕微鏡ユニット側の静止位置（図３にお
ける第２アーム３１ｂの位置）にステージが移動して、
トリプルアーム３１とミクロ観察ステージ４１間でウェ
ハＷを受け渡しするようになっている。また、両ステー
ジともにステージ内にウェハが保持されているか否かを
検出するステージウェハ検出器４５が設けられている。

【００２３】顕微鏡ユニット５０は、例えば、対物レン
ズの切替により10倍〜3000倍程度の一般観察が行える一
般観察モードと、9000倍程度までのコンフォーカル観察
が行えるコンフォーカルモードとをレバー切替で切り替
え可能に有しており、ミクロステージ４１を移動させて
低倍率で回路全体の欠陥を検査した後、高倍率に切り替
え、さらに必要に応じてコンフォーカル観察モードに切
り替えて微細な回路パターンの異常を検査することがで
きる。検査担当者は接眼レンズを通して顕微鏡観察でき
るほか、顕微鏡ユニットに取り付けられたCCDカメラの
撮影像をモニター９０に表示させ、あるいは検査装置の
ビデオ出力を利用して検査室外のモニターに表示させて
観察できるようになっている。

【００２４】制御装置８０は、予め設定された起動プロ
グラムに基づいて検査装置１全体のセットアップを行う
とともに、操作装置７０で選択された実行プログラム
や、検出されるウェハの格納キャリア等に基づいて検査
装置全体の作動制御を行う。図４(ａ)〜(f)はこのよう
に構成され立ち上げられた検査装置１における搬送装置
の一連の作用、すなわちキャリア上のウェハがどの様に
検査装置内にロードされ、検査終了後にどの様にアンロ
ードされるかの一例を示しており、以下この図を参照し
て説明する。なお、以下の説明ではＡキャリア１１にス
ロット番号１から順に４枚（ウェハ番号Ａ１〜Ａ４）以
上のウェハが係止保持されているものとし、スロット番
号の小さいウェハから順に検査を行う実行プログラムが
選択されているものとする。また、(ａ)〜(ｆ)の各図で
は各ウェハにつきウェハ番号のキャリア記号Ａを省略し
て表示している。

【００２５】まず、収納部１０はエレベータ上に載置さ
れたＡキャリア１１を収納部内に収納するとともにキャ
リアスロット検出器１５によりキャリア内に係止保持さ
れたウェハの枚数及びそのスロット位置を検出して制御
装置８０にスロットデータを出力する。制御装置８０は
Ａキャリア１１が載置されたエレベータを上下動させ
て、Ａ１ウェハの下部にフィーダアーム２１が侵入可能
な高さ位置に位置合わせする(ａ)。次にフィーダアーム
機構２０のステッピングモータ２３，２７を作動させて
フィーダアーム２１の先端部がＡ１ウェハの下面中央の
所定のピックアップ位置に来るように移動させ、Ａ１ウ
ェハを下面側から吸着保持して、Ａ１ウェハをＹ軸方向
に引き出す(ａ)。

【００２６】制御装置８０は、Ａ１ウェハを引き出した
フィーダアーム２１をＸ軸方向に移動させ、アーム２１
上に保持するＡ１ウェハをトリプルアーム機構３０の一
つのアーム、例えば第１アーム３１ａに受け渡させる
(ｂ)。このとき収納部１０では次の被検査ウェハＡ２ウ
ェハがエレベータにより待機位置に位置決めされる。

【００２７】制御装置８０は、Ａ１ウェハを受け取った
トリプルアーム３１を駆動機構３２を作動させて回転さ
せ、Ａ１ウェハをマクロ観察ステージ４２上に位置決め
する。ここで必要に応じて適宜マクロ観察が行われる。
このときフィーダアーム機構２０では、上記Ａ１ウェハ
と同様の作動制御が行われて第２枚目のウェハ、Ａ２ウ
ェハがＡキャリア１１の第２スロットから引き出され、
トリプルアーム機構３０の第２アーム３１ｂ上に吸着保
持されるとともに、収納部１０では第３枚目のウェハ、
Ａ３ウェハが待機位置に位置決めされる(ｃ)。

【００２８】マクロ観察が終了すると、例えば検査担当
者が操作する操作装置７０からの次ステップ進行信号に
基づいてトリプルアーム３１が回転駆動され、Ａ２ウェ
ハがマクロ観察ステージ４２上に、Ａ１ウェハは顕微鏡
ユニット５０直下に位置決めされる(ｄ)。このとき収納
部１０では第４枚目のウェハ、Ａ４ウェハが待機位置に
位置決めされる。

【００２９】マクロ観察ステージ４２においてＡ２ウェ
ハのマクロ検査が行われている間に、Ａ１ウェハはミク
ロ観察ステージ４１に受け渡され、予め設定された回路
位置に位置決めされる(ｅ)。検査担当者は顕微鏡ユニッ
ト５０及び操作装置７０を操作して逐次ミクロ観察ステ
ージ４１を移動させ、また適宜な観察倍率等に切り替え
てＡ１ウェハ上に形成された複数の微細回路を順次外観
検査する。そしてウェハ上の回路に異常が見出されたと
きには操作装置７０を用いて当該回路位置に異常マーク
を付与し、全回路の検査が終了したときには操作装置７
０を操作して次ステップ進行信号を制御装置８０に出力
させる。

【００３０】次ステップ進行信号を受けた制御装置８０
は、ミクロ観察ステージ４１を作動させてＡ１ウェハを
トリプルアーム３１の第１アーム３１ａに戻して吸着保
持させ(ｅ)、トリプルアーム３１を回転させてＡ２ウェ
ハをミクロ観察ステージ４１に、Ａ３ウェハをマクロ観
察ステージ４２に位置決めさせる(ｆ)。そして、Ａ２ウ
ェハ及びＡ３ウェハの検査中にＡ１ウェハをキャリアに
収納し、第４枚目のウェハ、Ａ４ウェハを引き出してト
リプルアーム機構３０の第１アーム３１ａに待機させる
(ｆ)→(ａ)→(ｂ)。

【００３１】なお、検査終了後のウェハの収納について
は、例えば図４(ｆ)に示すようにＢキャリア１２の同一
番号のスロット(Ｂ１)に収納させるパターンの他、取り
出したキャリアの元のスロット番号位置(Ａ１)に戻して
収納させるパターンや、正常ウェハは取り出したキャリ
アの元のスロット番号位置、異常が認められたウェハは
他のキャリアの同一番号スロットなどのように複数の収
納パターンが選択可能である。

【００３２】このように構成され制御される検査装置で
は、検査装置内に常時３枚のウェハが装置内に導入され
１枚のウェハが収納部で待機している。制御装置８０は
図４の(ａ)〜(ｆ)で示した一連の検査ステップにおい
て、各アーム上のウェハがどの検査段階にあるかを、ウ
ェハ番号と実行中のプログラムの検査ステップとで管理
している。例えば、図４(ａ)ではフィーダアーム２１が
Ａ１ウェハを引き出すためにＡキャリア１１に向けて移
動→Ａ１ウェハを吸着保持→Ａ１ウェハを保持してＹ軸
方向に移動→Ｙ基準位置に停止→トリプルアーム３１ａ
に向けてＸ軸方向移動…のように、実行プログラムの検
査ステップとウェハ番号とが一体で管理され、各アーム
の作動が制御されている。

【００３３】ところで、上記のような検査装置におい
て、制御装置８０が正常に稼働している間には、検査ス
テップとそのステップ上のウェハ番号が順次更新されて
管理されているため不明になることがない。しかし、例
えば落雷等により制御装置への電力供給が緊急遮断され
たときや、過電流保護がはたらいて電源装置５のブレー
カ６が電力供給を遮断したときなどにおいては、進行中
であった実行プログラムがリセットされてしまうため、
その後に電力供給が復帰して検査装置が再立ち上げされ
たときに、検査装置内に残存しているウェハがどのウェ
ハ番号のウェハであり、どの検査ステップ上にあったの
かを新たに呼び出した実行プログラム上で認識すること
ができない。

【００３４】例えば、再立ち上げ時における検査装置の
状態が図４(ｆ)に示した状況であるとき、従来の制御装
置は図中のＡ１ウェハが検査終了したウェハなのか、あ
るいは新たにトリプルアーム３１上にロードされたウェ
ハなのか、当該ウェハはどのキャリアのどのスロットか
ら引き出されたものなのか、などを認識することができ
ない。

【００３５】そこで、実施形態の制御装置８０には、検
査装置の可動状態を常に更新して記憶し、上記のような
緊急遮断後の再立ち上げにおいて遮断直前の状態を再生
できるリカバリ制御回路が設けられている(図１参照)。
リカバリ制御回路８５には第１メモリ８６ａ第２メモリ
８６ｂの２基の不揮発性メモリ（例えばフラッシュメモ
リやハードディスクなど）が搭載されている。

【００３６】リカバリ制御回路８５には制御装置８０に
おける検査プログラム実行ファイル８２から検査ステッ
プの進行状態が常に入力されており、リカバリ制御回路
８５は検査ステップが１段進行するごとに逐次ウェハの
検査の進行状態をメモリ上に更新記録する。ここで、メ
モリへの書き込みは第１メモリ８６ａ、第２メモリ８６
ｂの二つのメモリに対して交互に行い、いずれか一方の
メモリ（例えば第１メモリ８６ａ）に書き込み中は他方
のメモリ（例えば第２メモリ８６ｂ）に書き込み操作を
行わない。この書き込み操作は検査ステップが進行する
ごとに常に記録内容を更新するように行われる。

【００３７】このため上記のように記録された二つのメ
モリには、常にいずれか一方に最新の検査ステップの進
行状態が記録され、他方にはその一つ前の検査ステップ
の進行状態が記録されている。そして、このように記録
されるメモリはともに不揮発性メモリであるため、たと
え制御装置への電力供給が遮断され、さらに制御装置内
のバックアップ用電池が消耗していたとしても、書き込
まれた記憶内容が消えることがない。

【００３８】制御装置８０への電力供給が緊急遮断され
たときのように、正常な立ち下げ手順によらない遮断が
行われ、その後検査装置が再立ち上げされたときや、瞬
停（瞬間的な電圧降下）などにより実行プログラム中の
データが失われて検査装置の作動が停止したときに、リ
カバリ制御回路８５は、検査装置がどの様なウェハ検査
の進行状態で停止しているかを判断してモニター９０上
に表示する。

【００３９】上記判断にあたり、リカバリ制御回路８５
は、まず第１メモリ３６ａと第２メモリ３６ｂとに記録
されている検査の進行データを読み出し、最新のデータ
を選択する。ここで、選択した最新のデータが不完全な
データであるときや、一方のデータ内容が破壊されてい
るときには、完全な形で記録されている他のメモリ内の
データを選択する。但し、本実施例において他のメモリ
ーが記録する検査進行データは、破壊された最新の検査
進行データよりも１ステップ前の状態を記録しており、
このような場合には選択された検査進行データに１ステ
ップ分の遅れを加えた状態を最新データとして選択す
る。

【００４０】次に、フィーダアーム２１のＸ軸エンコー
ダ２７やＹ軸エンコーダ２３、トリプルアーム３１のア
ーム角度検出器３３、ステージ位置検出器４３などにお
いて検出され入力される各アームやステージの位置と、
上記選択したメモリーの検査進行データとを比較して、
どのウェハがどの検査ステップ上にあり、どの様な位置
で停止しているかを判断する。例えば、ウェハの検査の
進行状態は図４(ｆ)の状況にあり、トリプルアーム３１
ａ上のウェハはＡ１ウェハで検査が終了してＢキャリア
１２の第１スロットに格納される前の状態にあり、トリ
プルアーム３１ｂ上のＡ２ウェハはミクロ観察ステージ
４１への移行過程であり、トリプルアーム３１ｂ上のＡ
３ウェハはマクロ観察ステージ４５上にある、のように
判断する。

【００４１】次いで、フィーダアームウェハ検出器２５
やトリプルアームウェハ検出器３５、ステージウェハ検
出器４５などにおいて検出され入力されるデータから各
ウェハが各アーム上に確かに吸着保持されているか否か
を確認する。例えば、上記Ａ１〜Ａ３ウェハは各トリプ
ルアーム３１ａ，３１ｂ，３１ｃ上に吸着保持されてい
ると確認する。

【００４２】リカバリ制御回路８５は、以上のようにし
て再生した検査装置のウェハ検査進行状態をモニタ９０
に表示するとともに、リカバリ作動選択を表示させ、検
査担当者の選択を促す。例えば、検査装置内に搬入され
ているウェハを元のキャリアまたは別のキャリアに自動
収納する「片づけ」選択や、中断したウェハ検査を続行
する「継続」選択等を表示させ、検査担当者に選択する
ように促す。また、アーム上に保持されているべきウェ
ハが検出されないときには、そのアーム位置とウェハ番
号を特定してウェハが脱落している旨のアラーム表示を
行い、当該ウェハを回収するように促す。

【００４３】リカバリ回路８５は、上記のようにして再
生したウェハ検査の進行状態と検査担当者が選択したリ
カバリ作動選択情報とを制御装置８０に出力し、制御装
置８０はこれ等の情報に基づいてフィーダアーム機構２
０やトリプルアーム機構３０などを作動させて、検査装
置内に搬送されたウェハを指定キャリアのスロットに収
納させ、あるいは、電力遮断等により中断したウェハ検
査を遮断前の状態に復帰させて続行させる。

【００４４】従って、以上のように構成されたウェハ検
査装置では、検査装置の稼働中に検査担当者が意図しな
い緊急な電力遮断等が発生した場合であっても、電力が
復帰して検査装置が再立ち上げされたときに、電力遮断
により停止したウェハ検査の進行状態を正確に再生させ
ることができ、これにより安全確実に検査装置内のウェ
ハを回収し、あるいは、中断した検査をそのまま継続し
て行うことができる。

【００４５】なお、上記実施例においては、二つの不揮
発性メモリに対して、検査ステップが１ステップ進行す
るごとに交互に記録する方法を例示したが、本発明はこ
のような記録形態に限らず、時間的に異なるタイミング
で交互に記録するものであればよい。例えば、上記実施
例と同様の構成において、同一の検査ステップを異なる
タイミングで（時間的に重なることなく）二つの不揮発
性メモリにそれぞれ記録するものであっても良い。この
場合には、リカバリ制御回路においてウェハ検査状態を
再生するに当たって、いずれのメモリを選択しても最新
の検査ステップであり、一方の記録内容が破壊されてい
る場合に、他のメモリ内容が最新であるか１ステップ前
の検査状態であるかを判断する必要がない。

【００４６】以上のように本実施形態によれば、検査の
進行状態を示すデータが、不揮発性の第１メモリ、第２
メモリに書き込まれるので、制御装置への電力供給が遮
断されても、その記憶内容が失われることがなく、電力
が再投入されたときに、遮断前の検査の進行状態を認識
することができる。これにより、半導体ウェハ被検物を
適切に回収し、あるいは遮断された検査を無駄なく続行
することが可能となる。

【００４７】また、本実施形態によれば、２基の不揮発
性メモリを有し、検査の進行状態を示すデータを交互に
記憶するので、電力の供給の遮断時に一方のメモリに記
憶中であった場合でも、他方のメモリに記憶された直前
のデータは、電力遮断の影響を受けることなく保存され
ている。したがって、データ保持の安全性及び確実性を
向上させることができる。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、検査の進
行状態を示すデータが不揮発性メモリに書き込まれるの
で、制御装置への電力供給が遮断されても、その記憶内
容が失われることがなく、電力が再投入されたときに、
遮断前の検査の進行状態を認識することができる。これ
により、被検物を適切に回収し、あるいは遮断された検
査を無駄なく続行することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態による制御装置を含む制御回
路のブロック図である。

【図２】本発明の実施形態によるウェハ検査装置の一例
として示す、ウェハ外観検査装置の外観図である。この
うち(ａ)図は上面図を、(ｂ)図は正面図を示す。

【図３】上記図２中にIII-III矢視で示す部分断面図で
あり、上記検査装置における搬送装置の構成を示す説明
図である。

【図４】上記ウェハ外観検査装置における搬送装置の作
用を示す説明図である。

【符号の説明】

１ウェハ検査装置１０収納部２０フィーダアーム機構２１フィーダアーム２３Ｙ軸エンコーダ２５フィーダアームウェハ検出器２７Ｘ軸エンコーダ３０トリプルアーム機構３１トリプルアーム３１ａ,３１ｂ,３１ｃトリプルアーム３１を構成する
アーム３３アーム角度検出器３５トリプルアームウェハ検出手段４０検査ステージ４１ミクロ観察ステージ４２マクロ観察ステージ５０顕微鏡ユニット７０操作装置８０制御装置８５リカバリ制御回路８６ａ，８６ｂ第１メモリ，第２メモリ９０モニタ

フロントページの続きＦターム(参考） 2G051 AA51 AB02 AC02 CA03 CA04 CA11 CB01 DA01 DA03 DA06 DA07 EA14 FA10 4M106 AA01 CA38 DG01 DG05 DJ21 DJ24 5F031 CA02 DA01 FA01 FA07 FA12 GA08 GA47 GA48 GA50 HA53 JA01 JA02 JA06 JA10 JA14 JA22 JA23 JA32 JA43 JA47 KA06 KA08 LA09 MA33 PA02 PA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検物を載置する載置部と、前記載置部に載置された被検物を検査する検査部と、前記被検物の収納部から被検物を前記載置部に搬送し、
前記検査部によって検査された被検物を前記収納部に収
納する搬送装置と、予め設定された検査ステップに基づいて前記搬送装置の
作動を制御する制御装置と、前記検査ステップの進行ごとに検査の進行状態を示すデ
ータを逐次更新して記憶する不揮発性メモリとを備えた
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】請求項１に記載の検査装置であって、前記不揮発性メモリは少なくとも２基設けられ、前記制
御装置は、前記進行状態を示すデータを前記少なくとも
２基の不揮発性メモリに交互に記憶させることを特徴と
する検査装置。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載の検査装
置であって、前記制御装置は、電力の供給が遮断された後に再投入さ
れた場合、前記不揮発性メモリに記憶されている前記電
力が遮断される直前の前記進行状態を示すデータを読み
出し、読み出された前記データに基づいて前記検査ステ
ップを続行させることを特徴とする検査装置。
【請求項４】請求項１または請求項２に記載の検査装
置であって、前記制御装置は、電力の供給が遮断された後に再投入さ
れた場合、前記不揮発性メモリに記憶されている前記電
力が遮断される直前の前記進行状態を示すデータを読み
出し、読み出された前記データに基づいて、前記搬送装
置を制御し、前記搬送装置によって搬送中の前記被検物
を前記収納部に収納することを特徴とする検査装置。
【請求項５】請求項１または請求項２に記載の検査装
置であって、前記搬送装置は、複数の前記被検物を搬送するための複
数の搬送アームと、前記複数の搬送アームの位置を検出
するアーム位置検出手段と、前記複数の搬送アームのそ
れぞれに設けられ、各搬送アームが前記被検物を保持し
ているか否かを検出する被検物検査手段とを有し、前記制御装置は、電力の供給が遮断された後に再投入さ
れた場合、前記不揮発性メモリに記憶されている前記電
力が遮断される直前の前記進行状態を示すデータを読み
出し、読み出された前記データと、前記アーム位置検出
手段によって検出される前記複数の搬送アームの位置お
よび前記被検物検出手段によって検出される前記各搬送
アームの被検物の保持状態に基づいて、前記電力供給の
遮断によって中断した前記検査ステップを続行させるこ
とを特徴とする検査装置。
【請求項６】請求項１または請求項２に記載の検査装
置であって、前記搬送装置は、複数の前記被検物を搬送するための複
数の搬送アームと、前記複数の搬送アームの位置を検出
するアーム位置検出手段と、前記複数の搬送アームのそ
れぞれに設けられ、各搬送アームが前記被検物を保持し
ているか否かを検出する被検物検査手段とを有し、前記制御装置は、電力の供給が遮断された後に再投入さ
れた場合、前記不揮発性メモリに記憶されている前記電
力が遮断される直前の前記進行状態を示すデータを読み
出し、読み出された前記データと、前記アーム位置検出
手段によって検出される前記複数の搬送アームの位置お
よび前記被検物検出手段によって検出される前記各搬送
アームの被検物の保持状態に基づいて、前記搬送装置を
制御し、前記搬送装置によって搬送中の前記被検物を前
記収納部に収納することを特徴とする検査装置。