TW200406134A - Optoelectronic apparatus, its manufacturing method, and electronic machine - Google Patents

Description

(1) (1)200406134 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關在基板上具有機能元件的光電裝置及其 製造方法、電子機器。 【先前技術】 對應於各畫素而具備有機電激發光元件的有機電激發 光顯示裝置（以下，稱爲「有機EL裝置」）爲高亮度且自 發光，可直流低電壓驅動，高速回應，及利用固體有機膜 來發光，因此顯示性能佳，又，由於顯示裝置可薄型化、 輕量化、低消費電力化，因此可預期未來將是液晶顯示裝 置之後的顯示裝置。有機EL裝置的有機EL元件是藉由 薄膜電晶體（TFT)等的開關元件來控制供應給電極的電力。 【發明內容】 [發明所欲解決的課題] 但，在具備上述有機EL裝置等的開關元件之習知光 電裝置中會產生以下所述的問題。 光電裝置是以層疊複數個材料層來形成，具體而言， 是在基板上層疊開關元件及機能元件（有機EL元件）來形 成。 在此，若開關元件的上面具有例如1 # m程度的凹凸 差，則當開關元件的上層配置機能元件時，開關元件的凹 凸形狀會影響到配置於上層的機能元件，導致機能元件的 機能會降低。亦即，會因爲開關元件的凹凸形狀而造成機 -4- (2) (2)200406134 能元件（有機EL元件）也會形成凹凸，而導致發光効率或 亮度降低，影響顯示品質。特別是在有機EL元件的電極 ，發光層、或電洞注入層中形成凹凸的話，則發光効率及 亮度會明顯地降低。 雖可藉由在基板的面方向上錯開開關元件及機能元件 的位置，而來抑止開關元件的凹凸形狀對機能元件造成的 影響，但其設計的自由度會降低。 在日本特開昭5 9 - 1 0 4 1 7 0號公報中揭示有在玻璃基板 中埋入TFT的技術。若藉此技術，則雖可減少凹凸，同 時能實現裝置的小型化，但加工性低，且玻璃基板本身的 強度也會下降。 本發明是有鑑於上述情事而硏發者，其目的是在於提 供一種即使在例如開關元件或連接於該開關元件的配線的 上層配置有機EL元件等的機能元件時，照樣可以防止位 於下層的開關元件或配線的凹凸形狀影響到機能元件之光 電裝置及其製造方法、以及具備該光電裝置的電子機器。 [用以解決課題的手段] 爲了解決上述課題，本發明的光電裝置是在基板上具 有機能元件及可供應電力給該機能元件的電力導通部之光 電裝置，其特徵爲： 在設置於上述基板上的規定的材料層形成供以配置上 述電力導通部的凹部。 若利用本發明，則會因爲在設置於基板上的材料層中 形成凹部，在此凹部中配置電力導通部，所以一方面可維 (3) (3)200406134 持基板強度，另一方面能夠加工性良好地使電力導通部的 上面與材料層的上面形成平坦化h因此，即時在此電力導 通部的上層設置機能元件，照樣可防止因機能元件形成凹 凸而造成不良的情況發生。 在此情況中，上述電力導通部包含開關元件。並且， 上述開關元件是採用薄膜電晶體的構成。藉此，可使開關 元件的薄膜電晶體（TFT)的上面與材料層的上面形成平坦 化。此情況，開關元件並非只限於 TFT (Thin Film Transistor),例如亦可爲 MIM(Metal Insulator Metal)。 又，此情況中，上述電力導通部包含配線。亦即，連 接至薄膜電晶體的配線（例如給電線等）也會配置於凹部 ，因此可實現材料層上面的平坦化。 在本發明的光電裝置中，上述凹部是形成於設置在上 述基板上的絕緣層。藉此，電力導通部會被配置成埋入絕 緣層。並且，可在不受來自周圍的電氣影響下以所望的性 能來導通電力。 在本發明的光電裝置中，上述凹部是朝向上述基板側 而形成窄錐形狀。藉此，即使是在利用液滴噴出法來將液 體材料噴出至凹部内部時，所被噴出之液體材料的液滴還 是能夠在不擴展於水平方向下流傳至錐形狀的凹部内側壁 ，而圓滑地配置於凹部的底部側。又，由於凹部的邊緣部 會被設定成鈍角，因此即使在藉由旋轉塗佈法等來將別的 材料層配置於凹部（配置電力導通部）的上層時，還是能 夠實現平坦化。 在本發明的光電裝置中，形成有上述凹部的上述材料 -6 - ·3?·ΰ«·ό (4) (4)200406134 層的上面與配置於上述凹部的上述電力導通部的上面幾乎 連續。藉此，更可實現平坦化。 在本發明的光電裝置中，上述電力導通部與上述機能 元件的至少一部份會重疊。亦即，即使機能元件的形成位 置不依電力導通部而任意地設定，照樣不會導致機能元件 的機能降低，可擴大有關電力導通部的配置之設計的自由 度。又，由於可藉由使機能元件與電力導通部重疊來擴大 設定機能元件領域，因此當機能元件爲發光元件時，可擴 大發光面積。 在本發明的光電裝置中，上述機能元件爲有機電激發 光元件。藉此，可提供一種發光效率佳且亮度高的有機電 激發光裝置。 本發明之光電裝置的製造方法是具有在基板上設置機 能元件及可供應電力給該機能元件的電力導通部的過程之 光電裝置的製造方法，其特徵爲： 預先在設置於上述基板上的規定的材料層形成凹部， 在上述凹部設置上述電力導通部之後，設置上述機能元件 〇 若利用本發明，則會因爲預先在設置於基板上的規定 的材料層形成凹部，在此凹部設置電力導通部，所以可實 現電力導通部上面與材料層上面的平坦化。因此，在往後 的過程中設置機能元件時，不會在此機能元件產生凹凸， 所以機能元件可發揮所望的機能。 在此情況中，上述電力導通部包含開關元件。並且， 上述開關元件是採用薄膜電晶體的構成。藉此，可使開關 (5) (5)200406134 元件的薄膜電晶體（TFT)的上面與材料層的上面形成平坦 化。此情況，開關元件並非只限於 TFT (Thin Transistor),例如亦可爲 MIM(Metal Insulator Metal)。又 ，此情況中，上述電力導通部包含配線。亦即，連接至薄 膜電晶體的配線（例如給電線等）也會配置於凹部，因此 可實現材料層上面的平坦化。 在本發明之光電裝置的製造方法中，在設置於上述基 板上的絕緣層形成上述凹部，在該凹部設置上述電力導通 部。藉此，電力導通部可在不受來自周圍的電氣影響下埋 入絕緣層。 在本發明之光電裝置的製造方法中，使上述凹部朝向 上述基板側而形成窄錐形狀。藉此，即使是在利用液滴噴 出法來將液體材料噴出至凹部内部時，所被噴出之液體材 料的液滴還是能夠在不擴展於水平方向下流傳至錐形狀的 凹部内側壁，而圓滑地配置於凹部的底部側。又，由於凹 部的邊緣部會被設定成鈍角，因此即使在藉由旋轉塗佈法 等來將別的材料層配置於凹部（配置電力導通部）的上層 時，還是能夠實現平坦化。 在本發明之光電裝置的製造方法中，以形成有上述凹 部的上述材料層的上面與配置於上述凹部的上述電力導通 部的上面能夠幾乎連續之方式來預先設定上述凹部的深度 ，根據上述設定來形成該凹部。藉此，更可實現平坦化。 又，本發明之光電裝置的製造方法是具有在基板上設 置機能元件及可供應電力給該機能元件的電力導通部的過 程之光電裝置的製造方法，其特徵爲： (6) (6)200406134 在上述基板上或設置於上述基板上的支持層上設置上 述電力導通部，在該電力導通部的周圍，以其上面與上述 電力導通部的上面能夠幾乎連續之方式來配置規定的材料 層之後，設置上述機能元件。 亦即，可在將電力導通部設置於基板或支持層上後， 以能夠實現平坦化的方式來將材料層配置於電力導通部的 周圍。 在本發明之光電裝置的製造方法中，藉由液滴噴出法 來設置上述機能元件及上述電力導通層的其中至少一方。 在藉由液滴噴出法來形成機能元件或電力導通部的情況下 ，可對應於少量多種生産，形成效率佳的製造。 又，本發明之電子機器的特徵是搭載有上述記載的光 電裝置。藉此，可提供一種具有良好的特性之電子機器。 在此’利用於上述液滴噴出法的液滴噴出裝置是包含 具備噴墨頭（液滴噴出頭）的噴墨裝置。噴墨裝置的噴墨 頭可利用噴墨法來定量地噴出液體材料，例如定量地斷續 噴出1〜3 00毫微克的液體材料。又，液滴噴出裝置亦可 爲分配器裝置。 就液滴噴出裝置的液滴噴出方式而言，可爲利用壓電 元件的體積變化來使液體材料噴出的壓力噴出方式，或者 藉由施加熱來急速地產生氣泡，而使液體材料噴出的方式 〇 在此’所謂液體材料是意指具有能夠從噴頭的噴嘴噴 出（滴下可能）的粘度之媒體。無論是水性或者油性，只 要具有能夠從噴嘴等噴出的流動性（粘度）即可，即使混 (7) (7)200406134 入固體物質，全體依然爲流動體。又，液體材料中所含的 材料，除了可加熱至熔點以上而溶解者以外，亦可爲溶媒 中作爲微1立子而攪拌者，且除了溶媒以外，亦可添加染料 或顔料等其他機能性材料。又，基板除了平面基板以外， 亦可爲曲面狀的基板。又，圖案形成面的硬度並非一定要 是較硬者，除了玻璃，塑膠，金屬以外，亦可爲薄膜、紙 '橡膠等具有可撓性者的表面。 【實施方式】 以下，一邊參照圖面一邊來說明本發明的光電裝置及 其製造方法。 圖1是表示在製造本發明的光電裝置時所使用的液滴 噴出裝置的槪略立體圖。又，圖2及圖3是表示設置於液滴 噴出裝置的液滴噴出頭。 在圖1中，液滴噴出裝置IJ是可在基板P的表面（規 定面）上配置液滴（墨滴）的成膜裝置，具備： 基台12 ;及 設置於基台12上，用以支撐基板P的台座ST ;及 介於基台12與台座ST之間，可移動支撐台座ST的 第1移動裝置1 4 ;及 可定量地對支撐於台座ST上的基板P噴出（滴下） 含光電裝置形成用材料的液滴之液滴噴出頭20 ;及 可移動支撐液體噴出頭20的第2移動裝置16。 又’包含液滴噴出頭2 0的液滴噴出動作或第1移動裝 置14及第2移動裝置16的移動動作之液滴噴出裝置IJ[的動 -10- (8) (8)200406134 作是藉由控制裝置CONT來控制。 第1移動裝置1 4是被設置於基台1 2上，沿著γ軸方向 而定位。第2移動裝置16是藉由支柱16A，16A來安裝於基 台12 ’亦即安裝於基台12的後部12A。第2移動裝置16的χ 軸方向是與第1移動裝置14的Y軸方向呈垂直的方向。在 此，Y軸方向是沿著基台12的前部12B與後部12A方向之 方向。相對的，X軸方向是沿著基台12的左右方向之方向 ’分別爲水平。並且，Z軸方向是垂直於X軸方向及γ 軸方向。 第1移動裝置1 4是例如由線性馬達所構成，具備導軌 4 0、4 0 ’及可沿著該導軌4 0而移動可能的滑塊4 2。此線性 馬達形式的第1移動裝置1 4的滑塊4 2可沿著導軌4 0而移動 於Y軸方向定位。 又，滑塊42具備：Z軸旋轉（0 z)用的馬達44。此馬達 4 4例如爲直接驅動馬達，馬達4 4的轉子是被固定於台座 5 T。藉此，在馬達4 4通電的情況下，轉子與台座s T會沿 著0 z方向而旋轉，使能夠指示台座s T (旋轉）。亦即，第 1移動裝置14可使台座ST移動於Y軸方向及方向。 台座ST是用以保持基板P，使定位於特定的位置者。 並且，台座ST具有吸著保持裝置50，藉此吸著保持裝置 5 0的作動，可經由台座S T的孔4 6 A來將基板P吸著保持 於台座S T上。 第2移動裝置1 6是由線性馬達所構成，具備：固定於 支柱16A，16A的樑16B，及支撐於該樑16B的導軌62A， 及可沿著導軌6 2 A而移動於X抽方向的滑塊6 0。滑塊6 0可 •11 - 200406134 Ο) 沿著導軌62A而移動於X軸方向定位，液滴噴出頭2〇是被 安裝於滑塊ό 0 〇 ’液滴噴出頭20具有作爲移動定位裝置的馬達62 , 64， 66，68。若馬達62作動，則液滴噴出頭20可沿著ζ軸上下 作動而定位。該Ζ軸是分別垂直於X軸與γ軸的方向丨上 下方向）。若馬達64作動，則液滴噴出頭20可沿著γ軸旋 轉的yS方向移動而定位。若馬達6 6作動，則液滴噴出頭2 〇 可沿著X軸旋轉的r方向移動而定位。若馬達6 8作動， 則液滴噴出頭20可沿著Z軸旋轉的α方向搖動而定位。亦 即，第2移動裝置16可使液滴噴出頭20移動於X軸方向及 Ζ軸方向，且可使此液滴噴出頭2 0移動於0 X方向、$ y 方向、0 ζ方向。 如此一來，圖1的液滴噴出頭2 0可在滑塊6 0直線移動 於Z軸方向而定位，藉此可沿著α、/3、7移動而定位， 液滴噴出頭2 0的液體材料噴出面2 0 Ρ可針對台座s Τ側的 基板Ρ正確地控制位置或姿勢。並且，在液滴噴出頭20的 液體材料噴出面20Ρ設有供以噴出液體材料的複數個噴嘴 〇 圖2是表示液滴噴出頭20的分解立體圖。如圖2所示， 液滴噴出頭20具備：具有噴嘴81的噴嘴板80，及具有振動 板85的壓力室基板90，及崁入該等噴嘴板80與振動板85的 框體88。液滴噴出頭20的主要部構造，如圖3之立體圖的 部份剖面圖所示，具備以噴嘴板80與振動板85來夾入壓力 室基板90的構造。在噴嘴板80中，在與壓力室基板90貼合 時，在對應於空穴（壓力室）91的位置形成有噴嘴80。在壓 -12- (10) (10)200406134 力室基板90中，藉由矽單結晶基板等的蝕刻，而分別設有 複數個可作爲壓力室機能的空穴9丨。空穴9丨彼此間是以側 壁92來分離。各空穴91是經由供給口 94來聯繫共通的流 路’亦即保留區93。振動板85是例如由熱氧化膜等所構成 。在振動板8 5中設有液體材料槽口 8 6，可從槽3 0經由導管 (流路）來供應任意的液滴。在相當於振動板85上的空穴91 的位置形成有壓電元件8 7。壓電元件8 7具備以上部電極及 下部電極（未圖示）來夾持PZT元件等壓電性陶瓷的結晶 之構造。壓電元件8 7可對應於控制裝置C Ο N T所供給的噴 出訊號來產生體積變化。 在由液滴噴出頭20噴出液體材料時，首先控制裝置 CONT會將用以噴出液滴的噴出訊號供應給液滴噴出頭20 。液滴會流入液滴噴出頭2 0的空穴9 1，在被供給噴出訊號 的液滴噴出頭2 0中，其壓電元件8 7會根據施加於該上部電 極與下部電極之間的電壓而產生體積變化。此體積變化會 使振動板8 5變形，使空穴9 1的體積變化。其結果，會從該 空穴9 1的噴嘴孔2 1 1來噴出液滴。在噴出液滴的空穴9 1中 ，因爲噴出而減少的液體材料會重新由後述的槽3 0來供給 〇 上述液滴噴出頭的構成雖是使壓電元件產生體積變化 而來噴出液滴，但亦可利用發熱體來對液體材料施加熱， 而藉由膨脹來噴出液滴。 回到圖1，設於基板P上的液體材料是藉由液體材料 調整裝置S來產生。 液體材料調整裝置S是具備： -13- (11) (11)200406134 度 温 料 材 液 的“ ο 3 槽 該 於 及容 ;收 30整 槽調 的以及 料用； 材，32 體30置 液槽裝 容於整 收裝調 可安度 温 之 用以攪拌收容於槽3 0的液體材料之攪拌裝置3 3。 又，温度調整裝置32是由加熱器所構成，將槽30内的 液體材料調整成任意的温度。温度調整裝置32·是藉由控制 裝置CONT來控制，槽30内的液體材料是藉由温度調整裝 置3 2來進行温度調整，而調整成所望的粘度。 又，槽30是經由 管路（流路）3 1來連接至液滴噴出頭 2 〇 ’自液滴噴出頭2 0噴出的液體材料的液滴會從槽3 0來經 由管路3 1而供給。又，流動於管路3 ：[的液體材料會藉由未 圖示的管路温度調整裝置來控制成規定的温度，調整粘度 。又’自液滴噴出頭20噴出的液滴温度是藉由設置於液滴 噴出頭20的温度調整裝置（未圖示）來控制，調整成所望 的粘度。 又’圖1中雖僅顯示出1個液滴噴出頭20及液體材料調 整裝置S ’但亦可於液滴噴出裝置u設置複數個液滴噴出 頭20及液體材料調整裝置S，分別由該等複數個液滴噴出 頭2 0來噴出異種或同種的液體材料的液滴。又，從該等複 數個液滴噴出頭20中的第1液滴噴出頭來對基板ρ噴出第 液體材料後，予以烘烤或乾燥，其次從第2液滴噴出頭來 將第2液體材料噴出至基板ρ後，予以烘烤或乾燥，以下 利用複數個液滴噴出頭來進行同樣的處理，而於基板Ρ上 層疊複數個材料層，形成多層圖案。 其次’說明有關利用上述液滴噴出裝置IJ來製造光 -14- (12) (12)200406134 電裝置的方法。以下，舉一製造光電裝置的有機電激發光 裝置（以下稱爲「有機EL裝置」）之方法來進行説明。又 ’ M T所示的程序及液體材料的材料構成並非只限於該一 例。 圖4、圖5是用以說明作爲有機EL裝置之有機EL顯 示器的一例槪略構成圖。圖4是表示電路圖。圖5是表示各 畫素71的平面構造，去除反射電極及有機EL元件後的狀 態擴大平面圖。 如圖4所示，有機EL顯示器70是在透明的基板上分 別配置有：複數條的掃描線（配線，電力導通部）1 3 1， 及延伸於與該等掃描線丨3 i交叉的方向之複數條的訊號線 (配線，電力導通部）1 3 2，以及與該等訊號線1 3 2並列延 伸之複數條的共通給電線（配線，電力導通部）1 3 3，並 且在掃描線1 3 1與訊號線1 3 2的各交點設有畫素（畫素領域 )71 ° 又，對訊號線132設有具備位移暫存器，位準位移器 ，視頻線，及類比開關之資料側驅動電路72。 另一方面，對掃描線131設有具備位移暫存器及位準 位移器之掃描側驅動電路73。並且，在各畫素領域7丨中設 有：經由掃描線1 3 1來將掃描訊號（電力）供應給閘極電 極之開關薄膜電晶體（開關元件，電力導通部）14 2，及 經由此開關薄膜電晶體142來保持自訊號線132所供給的畫 像訊號（電力）之保持電谷caP’及藉由保持電容cap來 予以保持的畫像訊號會被供應給閘極電極之電流薄膜電晶 體（開關元件，電力導通部）1 43 ’及經由此電流薄膜電 -15- (13) (13)200406134 晶體1 4 3來電性連接於共通給電線1 3 3時會自共通給電線 1 3 3流入驅動電流（電力）之畫素電極1 4 1，及夾持於該畫 素電極141與反射電極154之間的發光部140。 在如此的構成下，若掃描線1 3 1被驅動，而使開關薄 膜電晶體1 4 2形成ON狀態的話，則此刻的訊號線1 3 2的電 位（電力）會被保持於保持電容cap，按照該保持電容 cap的狀態來決定電流薄膜電晶體143的ON · OFF狀態。 然後，電流（電力）會經由電流薄膜電晶體1 4 3的通道來 從共通給電線1 3 3流入畫素電極1 4 1，且電流會通過發光部 140來流入反射電極154，藉此發光部140會按照該電流量 來發光。 在此，如圖5所示，各畫素7 1的平面構造是平面形狀 爲長方形的畫素電極141的四邊會藉由訊號線132，共通給 電線1 3 3，掃描線1 3 1及未圖示的其他畫素電極用的掃描線 來予以圍繞配置。 其次，參照圖6〜圖9來說明有機EL顯示器70中所具 備之有機EL元件（機能元件）的製造方法。並且，在圖 6〜圖9中，爲了使說明簡略化，而僅圖示單一的畫素71。 首先，準備一基板P。在此，就有機EL元件而言， 可由基板側來取出後述之發光層的發光（所謂背側顯示（ bottom emission)) ’或者由與基板呈相反的一側來取出 發光（所謂表側顯示（t 〇 p e m i s s i ο η ))。在由基板側來 取出發光時，基板材料可使用玻璃，石英，或樹脂等透明 或半透明者，尤其是以價格便宜的玻璃最適合。 又’亦可於基板上配置含顏色濾光片膜或螢光性物質 -16- (14) (14)200406134 的顏色變換膜，或者介電質反射膜，而使能夠控制發光顏 色。 又，由與‘基板呈相反的一側來取出發光時，基板可爲 不透明，此情況，可使用在氧化鋁等的陶瓷或不鏽鋼等的 金屬片上施以表面氧化等的絕緣處理之熱硬化性樹脂及熱 可塑性樹脂等。 就本例的基板而言，是使用由鈉玻璃等所構成的透明 基板P。又，可因應所需，以TEOS (四氯乙氧基矽烷） 或氧氣等作爲原料，藉由電漿CVD法來形成由厚度約200 〜5 00nm的氧化矽膜所構成的底層保護膜（未圖示）。 如鼠6(a)所示，在基板P設有絕緣層（規定的材料層 )1 〇 〇。絕緣層1 0 0是由氧化矽膜或氮化矽膜所構成，例如 藉由旋轉塗佈法來設於基板P上。又，利用光學微影成像 技術法來對絕緣層1 00的特定領域照射露光光之後，藉由 蝕刻處理來對此絕緣層100形成凹部120。就絕緣層100而 言，例如可藉由旋轉塗佈、浸泡塗佈等來塗佈使丙烯樹脂 、聚醯亞胺樹脂等的光阻劑溶解於溶媒者而形成，只要絕 緣層的形成用材料爲容易藉由蝕刻等來形成圖案者，任何 材料皆可。 在此，凹部120是以能夠朝圖中上方擴大的方式，亦 即以能夠朝基板P變窄的方式來形成錐形狀。藉此，凹部 1 2 0的邊緣部1 2 1會被設定成鈍角。又，凹部1 2 0亦可爲非 錐形狀，邊緣部1 2 1可設定成幾乎呈直角。 又，亦可在包含凹部120的絕緣層100表面形成顯示親 液性的領域及顯示撥液性的領域。形成親液性領域的親液 -17- (15) (15)200406134 化處理及形成撥液性領域的撥液化處理是例如藉由電漿處 理來進行。電漿處理過程具有：預熱過程’及使表面的特 定領域形成親液性的親液化過程’及形成撥液性的撥液化 過程，以及冷卻過程。具體而言，基板P會被加熱至規定 温度（例如7 0〜8 0度程度），其次進行親液化過程，亦即在 大氣環境中以氧氣作爲反應氣體的電漿處理（〇2電漿處理） 。接著，進行撥液化過程，亦即在大氣環境中以4氟甲烷 作爲反應氣體的電漿處理（CF4電漿處理），使加熱的基材 (加熱至電漿處理所需溫度）的基材冷卻至室温爲止，而 來賦予規定處親液性及換液性。 又，在與凹部120不同的位置形成有第2凹部122。 其次，如圖6(b)所示，透明基板P的温度會被設定成 約3 5 0 °C，在凹部1 2 0内部的下層保護膜的表面藉由電漿 CVD法來形成厚度約30〜70nm的半導體膜210 (由非晶質 矽膜所構成）。其次，對此半導體膜2 1 0進行雷射退火或 固相成長法等的結晶化過程，半導體膜2 1 0會會被結晶化 成多晶矽膜。就雷射退火法而言，是例如使用準分子雷射 ，射束的長度爲400mm的線射束，其輸出強度例如爲 2 0 0mJ/cm2。就線射束而言，是相當於其短方向的雷射強 度的峰値的90%的部份會重疊於各領域來掃描線射束。在 此，於往後的過程中，形成薄膜電晶體1 4 3的半導體膜2 1 〇 會被配置於絕緣層100的凹部120，藉此半導體膜210(薄膜 電晶體1 4 3 )與絕緣層1 0 0的上面大致會連續形成。 其次’如圖6(c)所示，對半導體膜21〇及絕緣層1〇〇的 表面，以TEOS或氧氣等作爲原料，藉由電漿CVD法來 -18- (16) (16)200406134 形成厚度約6 0〜1 5 0nm的閘極絕緣膜2 2 0 (由氧化矽膜或 氮化矽膜所構成）。又’半導體膜2 1 0雖是由圖5所示的電 流薄膜電晶體1 43的通道領域及源極 汲極領域所構成者 但於不同的剖面位置亦形成有由開關薄膜電晶體1 4 2的通 道領域及源極 汲極領域所構成的半導體膜。在圖6〜圖9 所示的製造過程中，由於兩種類的電晶體1 4 2、1 4 3會同時 作成，且以相同的程序來作成，因此在以下的説明中，有 關電晶體方面，僅針對電流薄膜電晶體1 4 3來進行説明’ 而省略開關薄膜電晶體1 42的説明。 其次，如圖7 (a)所示，由鋁，鉅，鉬，鈦，鎢等金屬 膜所構成的導電膜會在對凹部1 2 0藉由濺鍍法來形成之後 ，此導電膜會被形成圖案，形成閘極電極1 4 3 A。其次， 在此狀態下，植入高濃度的磷離子，在半導體膜2 1 0上形 成源極 汲極領域1 4 3 a、1 4 3 b (可對閘極電極1 4 3 A自我 整合）。並且，未被導入雜質的部份會形成通道領域143c 〇 其次，如圖7(b)所示，在形成層間絕緣層23 0之後， 形成接觸孔232及234’且於該等接觸孔232及234内埋入有 汲極電極2 3 6及源極電極2 3 8。在此，層間絕緣層2 3 0的上 面與絕緣層1 〇〇的上面是以幾乎連續的方式來形成（上面 形成一致）。並且’藉由第2凹部1 2 2的形成’在層間絕緣 層230中形成對應於此第2凹部122的位置之凹部122A。而 且，在此凹部122A形成有訊號線（配線）132。此亥!J，形 成有凹部1 2 2 A的層間絕緣層2 3 0的上面與設置於凹部1 2 2 A 的訊號線132的上面會幾乎呈連續。在此，於圖6(a)中， -19- (17) (17)200406134 在形成第2凹部1 2 2時，會以層間絕緣層2 3 0的上面與訊號 線1 3 2的上面能夠幾乎形成連續的方式來預設第2凹部1 2 2 的深度，然後形成第2凹部122。 又，於凹部120的層間絕緣層2 3 0上，以能夠連接至源 極電極23 8的方式來形成有未圖示的共通給電線（配線）。 此刻，在配置於凹部1 2 0的薄膜電晶體1 4 3中，汲極電極 2 3 6的上面或源極電極2 3 8的上面是幾乎與層間絕緣層2 3 0 的上面呈連續。而且，在形成凹部120時，會以該等汲極 電極23 6的上面或源極電極23 8的上面能夠與層間絕緣層 2 3 0的上面幾乎呈連續的方式來預設凹部120的深度或層間 絕緣層23 0的厚度。在圖7中雖未圖示，但實際上在絕緣層 上亦形成有掃描線。 亦即，以層間絕緣膜23 0的上面、薄膜電晶體143的汲 極電極23 6的上面、源極電極2 3 8的上面能夠幾乎彼此呈連 續的方式來形成（上面形成一致）。 又，如圖7(c)所示，形成有層間絕緣層2 3 0、及能夠 覆蓋各配線的上面之層間絕緣層240，並在對應於汲極電 極236的位置形成有接觸孔，且以能夠埋入該接觸孔内的 方式來形成有ITO膜，又，該ITO膜會被形成圖案，而 於訊號線、共通給電線及掃描線（未圖示）所圍繞的規定 位置形成有電性連接至源極 汲極領域1 43 a的畫素電極 1 4 1。畫素電極1 4 1是構成有機EL元件的一部份。在此， 訊號線及共通給電線，甚至夾在掃描線（未圖示）的部份會 如後述成爲有機EL元件的電洞注入層或發光層的形成場 所。 -20- (18) (18)200406134 又’由於層間絕緣層2 3 0的上面與薄膜電晶體143或訊 號線1 3 2的上面幾乎形成同一面，亦即形成平坦化，因此 形成於薄膜電晶體1 4 3上方的畫素電極1 4 1會形成平坦化。 又，上述過程中，例如亦可藉由液滴噴出裝置IJ來 形成絕緣層1〇〇及閘極絕緣膜220、或層間絕緣膜23 0。若 藉由液滴噴出裝置U的液滴噴出頭2 0來將含閘極絕緣膜 2 2 0或層間絕緣層2 3 0的形成材料的液滴噴出至基板p上， 則會因爲流動性高，所以會擴散於水平方向，但由於形成 有圍繞所被塗佈的位置的凹部1 2 0，因此可防止自液滴噴 出頭20噴出的液滴越過凹部120而擴散至外側，使能夠圓 滑地流入凹部1 2 0的内部。在此，由於凹部1 2 0具有朝基板 P側而變窄的錐形形狀，因此被噴出的液滴會傳遞至凹部 1 2 0的内側壁而圓滑地配置於底部側。 又，於形成訊號線1 3 2時，亦可利用液滴噴出裝置j j 。又，因爲在形成配線圖案的訊號線1 3 2時，自液滴噴出 頭20噴出的液滴（含訊號線形成用材料）是以能夠流入凹 部122A的方式來配置，因此可以所望的圖案精度來形成 配線圖案。 其次，如圖8 ( a )所示，以能夠圍繞上述形成場所之 方式來形成第1隔壁（無機隔件）1 5 0 A及第2隔壁（有機 隔件）1 5 0B。該等隔壁1 5 0 A及1 5 0B具有作爲間隔構件的 機能。第1隔壁1 50 A是例如由二氧化矽所形成。第2隔壁 (無機隔件）1 50B是以聚醯亞胺等的絕緣性有機材料來 形成。隔壁1 5 0 B的膜厚，例如設定成1〜2 // m。並且， 隔壁150A及150B最好是對液體材料（由液滴噴出頭2〇所 -21 - (19) (19)200406134 噴出的液體材料）具有非親和性。爲了使該等隔壁具有非 親和性，例如可採用藉由氟系化合物等來對隔壁的表面進 行表面處理之方法。在此，就氟系化合物而言，例如有 CF4，SF5 ’ CHF3等。就表面處理而言，例如有電漿處理 ，UV照射處理等。 又，根據如此的構成，在有機EL元件的正孔注入層 或發光層的形成場所，亦即在該等形成材料的塗佈位置及 其周圍的隔壁150B(150A)之間形成有充分高度的段差1 i i ο 其次，如圖8(b)所示’在使基板ρ的上面向上的狀態 下，藉由液滴噴出頭20來選擇性地將含正孔注入層形成用 材料的液體材料1 1 4 Α塗佈於被上述隔壁} 5 〇 (丨5 〇 a、i 5 〇 Β ) 所圍繞的位置’亦即隔壁1 50內。供以形成電洞注入層的 液體材料1 14A是藉由上述液體材料調整裝置s來產生， 包含電洞注入層形成用材料及溶媒。 就上述正孔注入層的形成材料而言，例如有：聚合物 先驅物爲聚四氫硫苯基苯之聚苯乙燒、1，彳4 — N’ N一一甲苯基胺基苯基）環乙院、三（8—經基D奎啉酉分 )銘、拜多龍（paytron)P、聚苯磺酸等。 又’就溶媒而言，可使用異丙醇、N 一甲基卩比略院酮 、1，3 -二甲基咪唑酮等的極性溶媒。 若上述含電洞注入層形成用材料、及溶媒的液體材料 1 1 4 A藉由液滴噴出頭2 0而噴出至基板ρ，則雖會因爲流 動性高而擴散於水平方向，但由於形成有隔壁丨5〇 (圍繞 所被塗佈的位置）’因此可防止形成材料114A越過隔壁 -22- (20) 200406134 15 〇而擴散至外側。 其次，如圖8(c)所示，可藉由加熱或光照射來使液體 材料1 1 4 A的溶媒蒸發，而於畫素電極1 4 1上形成固形的電 洞注入層140A。或者，在大氣環境下或氮氣環境下加熱 規定温度及時間（例如20 (TC、10分鐘）。或者，在配置於 比大氣壓還要低的壓力環境下（真空環境下）去除溶媒。 其次，如圖9(a)所示，在使基板P的上面朝上的狀態 下’藉由液滴噴出頭20來使含發光層形成用材料及溶媒的 液體材料1 1 4 B選擇性地塗佈於隔壁1 5 0内的電洞注入層 1 40A。 就發光層的形成材料而言，最好是例如使用含：共軛 系高分子有機化合物的先驅物，及供以使所取得之發光層 的發光特性變化的螢光色素者。 共軛系高分子有機化合物的先驅物是在與螢光色素等 一起從液滴墳出頭20噴出形成於薄膜之後，例如下式（j )所示，藉由加熱硬化來產生成爲共軛系高分子有機電激 發光層的發光層，例如爲先驅物的毓鹽時，藉由加熱處理 來使毓基脫離，形成共軛系高分子有機化合物。 【化1】 150〇CX4hr

七環境

加熱 —--^ (21) (21) 200406134 如此的共軛系高分子有機化合物爲固體且具有強螢光 ，可形成均質的固體超薄膜。並且，與ITO電極的密著性 亦高。而且，如此之化合物的先驅物硬化後會形成強固的 共軛系高分子膜，所以在加熱硬化前可將先驅物溶液調整 成適用於後述之利用液滴噴出頭的製膜法的所期望黏度， 而能夠以簡便且短時間來進行最適條件的膜形成。 就如此的先驅物而言，例如最好爲PPV (聚（對苯乙 烯））或其衍生物的先驅物。PPV或其衍生物的先驅物可 溶於水或有機溶媒，且因爲可聚合物化，所以光學性地取 得高品質的薄膜。又，PPV具有強螢光，且因爲雙重結合 的7Γ電子在聚合物鏈上亦爲非極在化的導電性高分子，所 以可取得高性能的有機電激發光元件。 就如此之PPV或PPV衍生物的先驅物而言，例如有 化學式（Π )所示之PPV(聚（對苯乙烯））先驅物、MO-PPV( 聚（2，5-二甲氧基-1，4-苯乙烯））先驅物、CN-PPV(聚（2， 5 -雙己氧基-1，4 -伸苯基- (1-胺基乙烯）））先驅物、MEH-PPV(聚[2-甲氧基- 5-(2 ’ -乙基己氧基）]-對苯乙烯）先驅物 等。 -24- (22)200406134 【化2

H13〇6〇 cn

H3C〇

MO—PPV

(Π) PPV或PPV衍生物的先驅物，如前述可溶於水 藉由成膜後的加熱來高分子化而形成層。上述 先驅物的含量，最好對組成物全體而言，爲〇 · 〇 1〜 Owt%，更理想爲〇 · 1〜5 · Owt%。若先驅體的添加量 ，則形成共軛系高分子膜時會不夠充分，若過多，則 物的黏度會變高，有可能會無法適用於噴墨法來進行 度的圖案形成。 又’就發光層的形成材料而言，最好是含至少一 ，可 PPV 10 . 過少 組成 筒精 種的 -25- (23) (23)200406134 螢光色素。藉此，可使發光層的發光特性變化，例如可有 效提高發光層的發光效率，或者用以改變光吸收極大波長 (發光色）。螢光色素並非單單是作爲發光層材料用，亦 可具有作爲發光機能的色素材料用。例如，可將共轭系高 分子有機化合物上的載流子再結合下所產生的激發子 (excition)的能量予以幾乎移至螢光色素分子上。此情況 ，因爲發光會只由螢光量子效率高的螢光色素分子來引起 ’所以發光層的電流量子效率也會增加。因此，在發光層 的形成材料中添加螢光色素的同時，發光層的發光光譜亦 爲螢光分子，所以亦可有效作爲改變發光色的手段。 在此’所謂的電流量子效率是供以根據發光機能來考 察發光性能的尺度，亦即根據以下所示的式子來加以定義 〇 77 E =所被放出之光子的能量/輸入電氣能量 又’可藉由光吸收極大波長的變換（利用螢光色素的 摻雜）來使紅，藍，綠等3原色發光，其結果可取得全彩 顯示體。 又’藉由螢光色素的摻雜來大幅度地提高電激發光元 件的發光效率。 就螢光色素而言，在形成紅色的發色光的發光層時， 最好是使用具有紅色發光色的若丹明或若丹明衍生物。由 於該等的螢光色素爲低分子，因此可溶於水溶液，且與 P P V相容性佳，容易形成均一且安定的發光層。如此的螢 光色素，具體而言，例如有若丹明B，若丹明B基底，若 丹明6G ’若丹明1 0 1高氯酸鹽等，或者予以混合兩種以上 -26- (24) (24)200406134 者。 又1 ’在形成綠色的發色光的發光層時，最好是使用具 有綠色發光色的喹吖啶酮及其衍生物。該等的螢光色素與 上述紅色螢光色素同樣的，由於爲低分子，因此可溶於水 溶液，且與PPV相容性佳，容易形成發光層。 又，在形成藍色的發色光的發光層時，最好是使用具 有藍色發光色的二苯乙烯基聯苯基及其衍生物。該等的螢 光色素與上述紅色螢光色素同樣的，由於爲低分子，因此 可溶於水·醇混合溶液，且與P P V相容性佳，容易形成 發光層。 又，就具有藍色發光色的其他螢光色素而言，例如可 爲香豆素及其衍生物。該等的螢光色素與上述紅色螢光色 素同樣的，由於爲低分子，因此可溶於水溶液，且與PPV 相容性佳，容易形成發光層。如此的螢光色素，具體而言 ，例如有香豆素，香豆素-1，香豆素-6，香豆素-7，香豆 素120，香豆素138，香豆素152，香豆素153，香豆素311 ，香豆素314，香豆素334，香豆素337，香豆素343等。 又，就具有其他的藍色發光色的螢光色素而言，例如 有四苯基丁二烯（TPB)或TPB衍生物。該等的螢光色素 與上述紅色螢光色素同樣的，由於爲低分子，因此可溶於 水溶液，且與PPV相容性佳，容易形成發光層。 就以上的螢光色素而言，各顏色可只使用一種，或者 混合兩種以上。 又，有關該等的螢光色素，最好是針對上述共軛系高 分子有機化合物的先驅物固型部份添加1·〇〜5.0wt%。若 -27· (25) (25)200406134 螢光色素的添加量過多，則發光層的耐候性及耐久性的維 持不易，‘另一方面，若螢光色素的添加量過少，則會無法 充分取得像上述那樣加諸螢光色素所產生的效果。 又，有關上述先驅物及螢光色素，最好是以溶解或分 散於極性溶媒者來作爲液體材料，而從液滴噴出頭2 0來噴 出此液體材料。由於極性溶媒可使上述先驅物及螢光色素 等容易地溶解或均一地分散，因此可防止發光層形成材料 中的固型部份附著或阻塞於液滴噴出頭20的噴嘴孔。 就如此的極性溶媒而言，具體而言，例如有：水、甲 醇、乙醇等具有與水相容性的醇、N，N -二甲基甲醯胺 (DMF)、N -甲基吡咯烷酮（NMP)、二甲基咪唑啉（DMI)、二 甲基亞諷（DMSO)等有機溶媒或無機溶媒，或者亦可適當 地將該等的溶媒混合兩種以上。 此外，在上述形成材料中最好添加溼潤劑。藉此，可 有效防止形成材料乾燥·凝固於液滴噴出頭2 0的噴嘴孔。 就溼潤劑而言，例如有甘油，二甘醇等的多元醇，或者予 以混合兩種以上者。並且，此溼潤劑的添加量，最好是對 形成材料的全體量而言，添加5〜2 0 wt %左右。 另外，亦可添加其他的添加劑，被膜安定化材料，例 如可使用安定劑，黏度調整劑，老化防止劑，pH調整劑 ，防腐劑，樹脂乳膠，平坦劑等。 若從液滴噴出頭20來噴出含如此發光層形成用材料的 液體材料1 1 4 B ，則液體材料i丨4 b會被塗佈於隔壁1 5 〇內 的正孔注入層140A上。 在此，利用液體材料Π 4 B的噴出之發光層的形成， -28- (26) (26)200406134 是藉由使紅色的發光色發光之發光層的形成材料，使綠色 的發光色發光之發光層的形成材料，及使藍色的發光色發 光之發光層的形成材料，分別噴出塗佈於所對應的畫素7 i 來進行。並且，對應於各色的畫素7〗是以能夠形成規則性 的配置之方式來事先決定。 如此一來，若噴出塗佈含各色的發光層形成用材料的 液體材料1 1 4 B ’則會藉由使液體材料1 1 4 B中的溶媒蒸發 ，如圖9(a)所示，在正孔注入層140A上形成固形的發光 層140B’錯此來取得由正孔注入層i4〇A與發光層140B所 構成的發光部1 4 0。在此，有關含發光層形成用材料的液 體材料1 1 4 B中的溶媒蒸發方面，雖可因應所需，進行加 熱或減壓等的處理，但因爲發光層形成用材料通常乾燥性 良好且具速乾性，所以不必特別進行如此的處理，因此可 藉由依次噴出塗佈各色的發光層形成材料來依此塗佈順序 形成各色的發光層140B。 然後，如圖9 ( c )所示，在透明基板p的表面全體形 成條紋狀的反射電極1 5 4。如此來製成有機e L元件2 0 0。 並且，在本實施形態中’有機EL元件200是包含晝素電 極141、電洞注入層140A、發光層140B及反射電極154者。 在如此之有機E L元件的製造方法中，由於形成電洞 注入層140A或發光層140B之有機EL元件的構成要件的 薄膜是利用液滴噴出裝置來製造，因此電洞注入層 140A或發光層140B的形成用材料（液體材料）的損失少 ，電洞注入層140A或發光層140B可較便宜且安定地形成 -29- (27) (27)200406134 如圖9(c)所示，被形成之薄膜電晶體143與有機EL元 件2 0 0的一部份雖會重疊於基板P表面的法線方向，但只 要從和基板P呈相反的一側取出來自發光層的光，亦即形 成所謂表側顯示構造，即使薄膜電晶體1 43與有機EL元 件重疊，照樣不會有問題。換言之，由於薄膜電晶體與有 機EL元件重疊也無妨，因此可擴大其設計的自由度。又 ，就背側顯示構造而言，雖必須在隔壁1 5 0的下方配置薄 膜電晶體，而使薄膜電晶體與有機EL元件不會重疊，但 在表側顯示構造中則不必在隔壁1 5 0的下方配置薄膜電晶 體，不僅可以縮小隔壁1 5 0的形成領域，而且還能夠擴大 有機EL元件的形成領域，因此可擴大發光面積。 如以上所述，在設置於基板P上的絕緣層1 〇〇中形成 凹部120，在此凹部120配置薄膜電晶體143，藉此可使薄 膜電晶體143的上面與絕緣層100的上面形成平坦化。因此 ，在該薄膜電晶體143的上層設置有機EL元件時，可防 止因有機EL元件200形成凹凸而導致顯示品質降低的不 良情況發生。 又，上述實施形態中，雖是在基板P上設置絕緣層 1 00後，根據光學微影成像技術法來形成凹部1 20，在此凹 部120内設置薄膜電晶體143，但亦可於基板P上或設置於 基板P上的規定材料層（支持層）上形成薄膜電晶體143後 ，以能夠和該薄膜電晶體1 43的上面幾乎呈面一致的方式 來將絕緣層配置於薄膜電晶體1 43的周圍。在此，於配置 絕緣層時，可有效利用能夠將液體材料配置於任意場所的 液滴噴出法。 - 30· (28) (28)200406134 在上述實施形態中，雖是藉由使用液滴噴出裝置IJ 的液滴噴出法來使液體材料成膜，但並非只限於液滴噴出 法，亦可使用例如旋轉塗佈法等其他的塗佈方法。 又’液體材料的產生過程或成膜過程亦可於大氣環境 下進行，或者在氮氣等惰性氣體的環境下進行。又，液體 材料調整裝置S之液體材料的產生過程或液滴噴出裝置U 的成膜過程最好是在無麈室內維持粒子及化學性的乾淨度 之環境下來進行。 在上述實施形態中，雖是針對將本發明的製造方法適 用於製造有機EL裝置時的例子來進行説明，但並非只限 於此，例如亦可適用於液晶裝置等的其他光電裝置。亦即 ，本發明的製造方法亦可適用於製造一在基板上設有開關 元件（TFT)的構成之裝置。 本發明的有機EL裝置（光電裝置）是適用於具備顯示 部的各種電子機器。以下，針對具備本發明的光電裝置之 電子機器的適用例來進行説明。 圖10是表示行動電話之一例的立體圖。在圖10中，元 件符號1 〇 〇 〇是表示行動電話本體，元件符號1 〇 〇 1是表示使 用上述有機EL顯示裝置的顯示部。 圖Π是表示手錶型電子機器之一例的立體圖。在圖n 中，元件符號1 1 0 0是表示手錶本體，元件符號1 1 〇 1是表示 使用上述有機EL顯示裝置的顯示部。 圖1 2是表示打字機、個人電腦的攜帶型資訊處理裝置 之一例的立體圖。在圖12中，元件符號1 200是表示資訊處 理裝置，元件符號1 202是表示鍵盤等的輸入部，元件符號 -31 - (29) (29)200406134 1 204是表示資訊處理裝置本體，元件符號12〇6是表示使用 上述有機EL顯示裝置的顯示部。 由於圖1 0〜圖1 2所示的電子機器具備上述實施形態的 有機E L顯示裝置，因此可實現一種具備顯示品質佳且畫 面明亮的有機EL顯示部之電子機器。 除了上述的例子以外，其他例如有：液晶電視機，景 觀器型或監視器直視型的攝影機，衛星導航裝置，呼叫器 ，電子記事本，計算機，打字機，工作站，電視電話， P 〇 s終端機，電子紙，及具備觸控板的機器等。本發明的 光電裝置可適用於該等電子機器的顯示部。 〔發明的効果〕 如以上所述，藉由在設置於基板上的材料層中形成凹 部，而於此凹部中配置電力導通部的情況下，可使電力導 通部的上面與材料層的上面平坦化。因此，在此電力導通 部的上層設置機能元件時，可防止機能元件形成凹凸而導 致性能降低的不良情況發生。 【圖式簡單說明】 圖1是表示本發明之光電裝置的製造方法中所使用的 液滴噴出裝置之一實施形態的槪略立體圖。 圖2是用以說明液滴噴出頭。 圖3是用以說明液滴噴出頭。 圖4是表示光電裝置之有機EL裝置的電路圖。 圖5是用以說明對應於光電裝置之有機EL裝置的一 -32- (30) 200406134 畫素的一部份。 圖6是用以說明光電裝置之有機EL裝置 之一竇施形態。_ 圖7是用以說明光電裝置之有機EL裝置 之一實.施形態。 圖8是用以說明光電裝置之有機EL裝置 之一實施形態。 圖9是用以說明光電裝置之有機EL裝置 之一實施形態。 圖10是表示搭載有本發明的光電裝置之電 圖11是表示搭載有本發明的光電裝置之電 圖12是表示搭載有本發明的光電裝置之電 〔符號之說明〕 7 0 :有機電激發光裝置（光電裝置） 100 :絕緣層（材料層） 1 2 0 :凹部 1 2 2 :第2凹部（凹部） 1 3 2 :訊號線（配線、電力導通部） 1 3 3 :共通給電線（配線、電力導通部） 1 4 3 :薄膜電晶體（開關元件、電力導通部 200:有機EL元件（發光元件、機能元件 2 3 0 ·層間絕緣層（材料層） IJ :液滴噴出裝置 P :基板 的製造方法 的製造方法 的製造方法 的製造方法 子機器。 子機器。 子機器。 -33-

Claims (1)

1. (1) (1)200406134 拾、申請專利範圍 1 · 一種光電裝置，係於基板上具有機能元件及可供應 電力給該機能元件的電力導通部之光電裝置，其特徵爲： 在設置於上述基板上的規定的材料層形成供以配置上 述電力導通部的凹部。 2 .如申請專利範圍第1項之光電裝置，其中上述凹部 係形成於設置在上述基板上的絕緣層。 3·如申請專利範圍第1或2項之光電裝置，其中上述凹 部係朝向上述基板側而形成窄錐形狀。 4 .如申請專利範圍第1或2項之光電裝置，其中形成有 上述凹部的上述材料層的上面與配置於上述凹部的上述電 力導通部的上面幾乎連續。 5 .如申請專利範圍第1或2項之光電裝置，其中上述電 力導通部與上述機能元件的至少一部份會重疊。 6.如申請專利範圍第1或2項之光電裝置，其中上述機 能元件爲有機電激發光元件。 7 . —種光電裝置的製造方法，係具有在基板上設置機 能元件及可供應電力給該機能元件的電力導通部的過程之 光電裝置的製造方法，其特徵爲： 預先在設置於上述基板上的規定的材料層形成凹部， 在上述凹部設置上述電力導通部之後，設置上述機能元件 〇 8 ·如申請專利範圍第7項之光電裝置的製造方法，其 中在設置於上述基板上的絕緣層形成上述凹部’在該凹部 設置上述電力導通部。 -34- (2) (2)200406134 9 ·如申請專利範圍第7或8項之光電裝置的製造方法， 其中使上述凹部朝向上述基板側而形成窄錐形狀。 I 〇 ‘如申請專利範圍第7或8項之光電裝置的製造方法 ’其中以形成有上述凹部的上述材料層的上面與配置於上 述凹部的上述電力導通部的上面能夠幾乎連續之方式來預 先設定上述凹部的深度，根據上述設定來形成該凹部。 II · 一種光電裝置的製造方法，係具有在基板上設置 機能元件及可供應電力給該機能元件的電力導通部的過程 之光電裝置的製造方法，其特徵爲： 在上述基板上或設置於上述基板上的支持層上設置上 述電力導通部，在該電力導通部的周圍，以其上面與上述 電力導通部的上面能夠幾乎連續之方式來配置規定的材料 層之後，設置上述機能元件。 12·如申請專利範圍第7或11項之光電裝置的製造方法 ，其中藉由液滴噴出法來設置上述機能元件及上述電力導 通層的其中至少一方。 13.—種電子機器’其特徵係搭載申請專利範圍第1〜 6工旨的其中任一項所記載之光電裝置。 -35-