TW200406037A - Apparatus and method for inspecting and editing an electronic component mounting film carrier tape - Google Patents

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200406037 五、發明說明（l) -—---—~^_ 【發明所屬之技街領域】 係相關於對電子零件安裝用薄膜載體膠帶 (TAB (自黏性朦雄· τ Α .χ . t /帶· Tape Automated Bonding ) 、Tm (球形柵陣列膠帶·τ D t , ^ . 片尺寸包裝.η pe d Array) 、csp (晶 ^ ^ Chip Size Package )膠帶、ASIC (特殊鹿 用積-電路：Appli cat ion Specif ic Integrated " Circuit)膠帶、c〇F (薄膜覆晶接合：Chip 〇n Fum)、

^金屬（兩面）配線膠帶、多層配線用膠帶等）（以下， 單以:電子零件安裝用薄膜載體膠帶」稱之。），在貨物 運出前最終檢查内引腳的'不良後，在不良部位進行製品不 良打洞，切斷於預定長度的電子零件安裝用薄膜載體 膠帶的檢查編輯裝置和檢查編輯方法。 【先前技術】 隨著電子產業的進展，安裝iC (積體電路）、LS][

(大型積體電路）等的電子零件的印刷電路板的需要雖急 遽增加’但電子機器的小型化、輕量化和高功能化被期盼 著，以這些電子零件的安裝方法，在最近採用使用TAB (自黏性膠帶·· Tape Automated Bonding )、T-BGA (球 形栅陣列膠帶：Tape Ball Grid Array) 、CSP (晶片尺 寸包裝：Chip Size Package )膠帶、ASIC (特殊應用積 體電路：Application Specific Integrated Circuit) 膠帶、COF (薄膜覆晶接合·· Chip on Film) 、2金屬（兩 面）配線膠帶、多層配線用膠帶等的電子零件安裝用薄膜

第6頁 200406037 五、發明說明（2) 載體膠帶的安裝方式。特別是，在如個人電腦等使用* 細化、薄型化、液晶晝面的框緣面積的窄化被期盼、，精 顯示元件（LCD )的電子產業之中其重要性提升。、液晶 在此種電子零件安裝用薄膜載體膠帶，雖實施電 、 件安裝用薄膜載體膠帶的品質，但習知的靠人工以外零 查的目視檢查（透光檢查），電子方式的檢查配線圖幸檢· 斷路、短路和絕緣電阻等，就不良品實施藉由打洞 ^電 不良標記的方法。 &予 因而’在習知，如第8圖所示，對於電子檢查和外觀 檢查等的預定的檢查步驟結束的電子零件安裝用薄膜栽 膠帶，進行利用不良打洞裝置的不良打洞後（不良打洞步 _ 驟（參照第8圖的S102 ))，按照規定的長度和不良的加^ 工精度藉由切片基於預定長度切斷和接合電子零件安裝用 薄膜載體膠帶（編輯步驟（參照第8圖的S1 03 ))。然、 後，對此電子零件安裝用薄膜載體膠帶，藉由内引腳檢查 裝置’檢查内引腳曲度後（内引腳檢查步驟（參照第8目~ 的S104 ))，經過出貨檢查（參照第8圖的3105)後、，以 製成品出貨（參照第8圖的S106)。 然而’在前述一連串的步驟之中，現階段係個別進行 不良打洞步驟、編輯步驟、内引腳檢查步驟、出貨檢查步 — 驟的這些步驟，事實上連續有效率地進行是困難的，大^ 生產是不適合的，且價格變得昂貴。 因此’雖然想到使用讓不良打洞裝置和編輯裝置（切 -片器）合成一體的不良打洞編輯裝置，但即使如此，最少 、

第7頁 200406037 五、發明說明（3) 還疋需要2個作業昌 事欲、梦 這些 連 F栗員敢終還是無法有钕潦、也， 串的步驟。 “、石穷欢率進行 【發明内容】 鑒於這些現狀，本發明的目的係一 裝用薄膜載體膠帶的檢查編輯裝和杳、：子零件安 續地且有效率地進行内引腳檢查步驟方法，可連 輯步驟、*貨檢查步驟，且可減低 ^::步驟、編 a本發明係為達成前述習知技術的待 提出的發明，本發明的電子零件安炉 胺 和目的而 查編輯裝置特徵係具備捲出電子零的檢 的捲出裝置、★查從前述捲出裝置所供；==膠帶 用薄膜載體膠帶的内引腳的不良的内引件安裝 前述内引腳檢杳裝置的檢杳社I ^ 一裝置、基於 一衣直的檢查結果、前步驟的不 料，在被判斷為不良的不良工件的既定部 杳ί 同的不良打洞裝置、基於前述内引腳檢 查裝置的檢―果、前步驟的不良標記資料或該兩方面的 資料，於長度切斷和接合電子零件安裝㈣膜載體 膠帶的切片器以及捲取在前述切片器於預定的長度所切斷 和接合的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的捲取裝置。 又’本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢查編 輯方法特徵係具備從捲出裝置捲出電子安裝用薄膜載體膠 帶的捲出步驟、藉由内引腳檢查裝置檢查從前述檢出裝置 所送至的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的内引腳的不良的

第8頁 200406037 五、發明說明（4) 内引腳檢查步驟、基 前步驟的不良標記資 良的不良工件的預定 打洞的不良打洞步驟 料藉由切片器將電子 於預定的長度的切片 切片步驟所切斷和接 膜載體膠帶的捲取步 藉由如此構成， 正確地處理檢查内引 工件的既定部位施予 定的長度切斷和接合 步驟’處理效率遠為 本可降低。 又，本發明的特 查裝置的檢查結果、 資料，切除不良工件 藉由這樣的構成 件，藉由切片器，因 品的不良率降低。 又，在本發明， 裝用薄膜載體膠帶的 待機位置之間自由移 一方的捲出捲輪移向 於前述内 料或該兩 部位藉由 、基於從 零件安裝 步驟、以 合於預定 驟。 可以一連 腳的不良 不良打洞 電子零件 提升，且 徵係前述 月，J步驟的 而構成。, ’連續切 為可接合 前述捲出 進給方向 動的一對 處理位置 引腳檢查裝置的檢查結果、 方面的資料，在被判斷為不 不良打洞裝置施予製品不良 前述不良打洞步驟的不良資 用薄膜載體膠帶切斷和接合 及藉由捲取裝置捲取在前述 的長度的電子零件安裝用薄 串的步驟連續地、大量地且 的内引腳檢查步驟、在不良 的不良打洞步驟、以及在既 安裝用薄膜載體膠帶的切片 作業員可一人作業，生產成 切片器以基於前述内引腳檢 不良標記資料或該兩方面的 除不良部位出現的不良工 不良比率少的部分，所以製 襞置具備互相在電子零件安 和垂直方向、在處理位置和 捲出捲輪，其特徵在將其中 攸一方的捲出捲輪的電子 200406037 五、發明說明（5) ~ " ------------- ， 安裝用薄膜載體膠帶處理之間，將另一方的捲出捲輪卜 機位置，接著裝載應處理的電子零件安裝用薄膜載· 體膠帶而構成。 f由如此構成，將其中一方的捲出捲輪移動到處理位卜 置’攸一方的捲出捲輪的電子零件安裝用薄膜載體膠帶處卜 、1 將另 方的捲出捲輪移向待機位置，因為接著可 f載應處理的電子零件安裝用薄膜載體膠帶，所以可縮短· 父換電子零件安裝用薄膜載體膠帶時的檢查編輯裝置的停 止時間，進而提升處理效率。 i 又，、本發明的特徵係前述捲出裝置具備與前述捲出捲I❿ 輪各自成對的一對的間隔板捲取捲輪。 ,藉由如此構成，在捲出時於交換捲取間隔板的間隔板 捲輪時，亦可縮短檢查編輯裝置的停止時間，提升處理效 率。 又在本發明’刖述捲取裝置具備互相在電子零件安 裝用薄膜載體膠帶的進給方向和垂直方向、在處理位置和 待機位置之間自由移動的一對捲出捲輪，其特徵在將其中 一方的捲出捲輪移向處理位置，從一方的捲出捲輪的電子 零件安裝用薄膜載體膠帶處理之間，將另一方的捲出捲輪i 移向待機位置，接著裝載應處理的電子零件安裝用薄膜載# 體膠帶而構成。 藉由此種構成，移動一方的捲取捲輪至處理位置，在 藉由一方的捲取捲輪捲取處理完畢的電子零件安薄膜 載體膠帶之間，移動另一方的捲取捲輪至待機位^，接著

200406037 五、發明說明（6) ~~ 因，可裝上接合於應處理的電子零件安裝用薄膜載體膠帶 的刖導膠帶’所以可縮短交換電子零件安裝用薄膜載體膠 帶時的檢查編輯裝置的停止時間，提升處理效率。 。又，本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢查編 輯裝置’其特徵係在前述捲取裝置的下游侧，更具備進行 製品的最終檢查的出貨檢查裝置，且前述捲取裝置可轉動 於水平方向地構成於在檢查編輯裝置本體立設於鉛直方向 的轉動轴的周圍，藉由於水平方向18〇。轉動前述捲取裝 置於在檢查編輯裝置本體立設於鉛直方向的轉動軸的周 圍’將此捲取裝置作為捲出裝置使用，藉由前述捲取裝 置’捲出捲取結束的電子零件安裝用薄膜載體膠帶，進行 經由出貨檢查裝置的出貨檢查而構成。 。 又，本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢查編 輯方法，其特徵在前述捲取製程後，更具備藉由出貨檢查 裝置進行製品的最終檢查的出貨檢查製程，且 前述捲取裝置可水平方向轉動被構成於在檢查編輯裝置 本體立設於鉛直方向的轉動軸的周圍， 藉由水平方向轉動180。轉動前述捲取裝置於在檢查編 輯裝置本體立設於鉛直方向的轉動軸的周圍，將此捲取裝 置作為捲出裝置使用，藉由前述捲取裝置，捲出捲取結束 的電子零件安裝用薄膜載體膠帶，進行由出貨檢查裝置的 出貨檢查而構成。 藉由如此之構成，僅以水平方向180。轉動捲取裝置 於在檢查編輯裝置本體立設於鉛直方向的轉動軸的周圍，

200406037 五、發明說明（7) -—〜〜 將捲取裝置作為捲出裝置使用，對捲取完畢的電子 | 裝用薄膜載體膠帶，以一連串的製程可連續且大量地女 確地處理内引腳的不良的内引腳檢查製程、在不良工和正I 既定部位施予製品不良打洞的不良打洞製程、切‘ 2 S 3 電子零件安裝用薄膜載體膠帶於既定程度的切片製程$: 出貨檢查裝置的出貨檢查’處理效率極端提升且亦可以 業員一人進行，可減低花費。 又，在本發明，前述捲取裝置具備以前述轉動軸為中| 心在互相點對稱的位置的一對的捲取捲筒，其特徵為： 在藉由一方的捲取捲筒捲取處理完畢的電子零件安裝用I 薄膜載體膠帶之間，藉由另一方的捲取捲筒捲出電子零件 安裝用薄膜載體膠帶，進行由出貨檢查裝置的出貨檢查而 構成。 , 藉由此構成，藉由一方的捲取捲筒，於捲取時可進行 藉由一方的捲取捲筒檢查内引腳的不良的内引腳檢查製 程、在不良工件的既定部位施予不良打洞的不良打洞製程 和在既定的長度切斷且接合電子零件安裝用薄膜載體膠帶 的切片製程結束的電子零件安襞用薄膜載體膠帶之間，藉 由另一方的捲取捲筒捲出電子零件安裝用薄膜載體膠帶， 可進行由出貨檢查裝置的出貨檢查。因而，交換電子零件 t裝用溥膜載體膝帶的作業變得不需要，可縮短檢查編輯 裝置的停止時間且提升處理效率。 — 又’在本發明的特徵為前述捲取裝置具備前述捲取捲 筒和各自成一對的間隔板（spacer)捲出捲筒。

第12頁 200406037 五、發明說明（8) 藉由如此構成，在捲取之際於交換捲出間隔板的間隔 板捲筒之際亦可縮短檢查編輯裝置的停止時間和提升處理 效率。 又’本發明的特徵在前述捲取裝置和出貨檢查裝置的 出貨檢查部之間，具備在既定的長度切斷接合電子零件安 裝用薄膜載體膠帶的切片器。 藉由如此構成，在出貨檢查處理完畢的電子零件安 體膠帶的最終端，#由接合接著處理的電子零： 互心膠帶的引導膠帶，可省略在檢查編輯裝置 立搭裝者接者處理的雷早费生 載體膠帶，& H 女裝用缚膜輸送安裝用薄膜 戟篮膠f，而可提升作業效率。 置之間，纟既ί =為在别述捲出裝置和内引腳檢查裝 膠帶的切Γΐ 度㈣接合電子零件安裝用薄膜載體 -藉由如此構成，在一連毐田 膜載體膠帶的最終端，#由；合零件安裝 女裝用薄膜載體膠帶的引導膠帶，可理的電子零件 互搭裝著接著處理的電子零件 檢查編輯裝置 提升作業效率。 、缚骐载體膠帶，而可 又在本發明，於具備前述捲出穿 卜，★前製程，具備檢知形成於^和内引腳檢查裝 上的不良標記的不良檢知裝置，良膜輪送的絕緣膜 j於從前述的不良檢知裝置的不良n 件’不進行由内引腳檢查裝2，對判斷不良的

饱-而控制而構成。

第13頁 200406037 丨五、發明說明（9) 1 精由如此構成，例如，對在外觀檢查' 電性檢查等的 前製程被判斷為不良的工件，因為可省略檢查時花費時間 j速度較慢的内引腳檢查，所以整體而言，檢查編輯速度提 |升。 I 更且，本發明的特徵係前述不良檢知裝置為檢知在前 製程之中，將以絕緣膜貼在形成於不良膜輸送的絕緣膜上 的配送圖案的裏面的部分的配線圖案與絕緣膜一齊穿通切 除的切除孔的不良檢知裝置。 时 藉由如此構成，不良薄膜輸送的標記的沖孔不形成於 單邊持有内引腳的元件孔附近，因為形成於内面以絕緣膜 =貼上的配線圖案（包含内引腳和外引腳）的部分，所以 二了不良輸送的識別從被穿通的穿通片金屬屑粉不會產 受金屬屬粉=子安裝用薄膜載體膠帶的無塵室内不會 不良的t主幵< 產4木，在引腳間不會產生金屬屑粉附著絕緣 m 1 y生，性賴性變高-。 因而，因為、禾、 |!得正確且迅速的過光偵測器可檢知這種沖孔，所以可 等的前製程被判^ 結果’例如’對在外觀檢查和電檢查 間速度較慢的内咖不良的工件’因為可省略檢查需花時 度提升。 檢查，所以就整體而言，檢查編輯速 【實施方式】 以下，根據圖而 第1圖係本si w更詳細說明本發明的實施型態。 "的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢 200406037 五、發明說明（ίο) 查編辑裝置的第1實施例的正面圖，第2圖係第1圖的上視 圖，第3圖係說明本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶 的編輯檢查方法的概述圖。 如第1圖所述，1 〇係顯示本發明的電子零件安裝用薄 膜載體膠帶的檢查編輯裝置的整體（以下，單以「<檢杳編 輯裝置」稱之）。 _ 如第1圖所示’檢查編輯裝置1〇具備捲出裝置2〇、切 片器30、内引腳檢查裝置40，不良打洞裝置5〇、切片裝置 60、捲取裝置70和不良檢知裝置9〇。再者，92和94係浮動 滾筒。 ” 在捲出裝置20，例如，係TAB (自黏式膠帶）、丁一bgA (球形柵陣列膠帶）、CSP (晶片尺寸包裝）膠帶、asic (特殊應用積體電路）膠帶、COF (覆晶黏合）、2金屬 (兩面）配線膠帶和多層配線用膠帶等的型式的電子零件 安裝用薄膜載體，膠帶（以下，單以「TAB膠帶稱之」）， 捲取其製程結束的TAB膠帶T的捲出捲筒R1裝設於捲出驅動 軸2 2。因而’藉由未圖示的驅動馬達的驅動，捲出驅動軸 22旋轉，從捲出捲筒in拉出TAB膠帶τ，經由惰輪21，供給 至内引腳檢查裝置40 (參照第3圖的S1 )。 再者，S為裝入在TAB膠帶之間，TAB膠帶彼此之間接 觸而墨水附著於其他部分，且保護TAB膠帶使不受損傷的 間隔板。在間隔板捲取捲筒R2，捲取驅動軸23旋轉而被捲 取。 供給於此内引腳檢查裝置40的TAB膠帶，經由惰輪

第15頁 200406037 五、發明說明（11) 41，在通過 動輪44之間 進給被停止 輪42的反轉 在此狀 的上方的透 TAB膠帶丁。 引腳檢查裝 相機4 8而被 圖案檢查敘 用反射光的 此情況 的孔1的近竞 内引腳2的育 這些變位量 藉此， 控制裝置8 0 的正常的内 果，在判斷 的較長方向 )，輸往藉 置5 0 (參照 再者， 資料，例如

% ’從配置於内引腳檢查裝置4〇内的tab膠帶T 受 述 圖 光。再者，在本實施例，雖就利用透射光的 ’但本發明’完全不僅限於此，例如，在使 案檢查亦可用。 配設於内引腳檢查裝置4〇内的反張力輪42和驅 之時，暫時停止驅動輪44的驅動，TAB膠帶的 ’且繫合於TAB膠帶的扣鏈齒輪孔的反張力滾 ，正確決定TAB膠帶於既定的位置。

過光線照射裝置3 6所投射的透過光線被照射到 因而’透過TAB膠帶T的透過光線藉由配置於内 置40内的TAB膠帶的下方的稱為線感應器的CCD ，如第4圖所示，在CCD相機48，找尋丁 AB膠帶τ 卜的内引腳2的中心線位置Ml (找尋範圍j Ζ t端近旁的中心線位置M2 (找尋範圍2 )，藉由 ，檢查内引腳的彎曲（參.照第3圖的S4 )。曰 藉由CCD相機48所知道的内引腳的彎曲輪入於 ’與預先輸入控制裝置80内的ram等的 引腳彎曲量的臨界值比較。因而，此比較1吉 為不良的情況，不良部分（不良工件）^ ^册 的位置和寬度方向的位置的資料（位址資^ π 由打洞施予製品不良標記於TAB膠帶的纟、"狀 第3圖的S10 )。 —衣 藉由這CCD相機48攝影的（取入的）向？丨 ,^ w )内引腳的 ’如特開平6 — 2 7 3 1 2號公報和特開平7〜 200406037 五、發明說明（12) 1 1 0863號公報以A/D轉換器數位資料化，同時轉換成濃淡 晝像資料而得到邊界資料（edge data )，藉由此與預先 被記憶的良品的内引腳的邊界資料（edge data )(雙值 化資料）比較，檢查内引腳的不良。 但是，在本發明，絲毫不限定於這種處理，例如，藉 由各種計測法和圖案相關配合，可適用將取入的内引腳的 資料與主圖案比較等種種的處理。 因而，在此内引腳檢查裝置40，被檢查内引腳的不良 的TAB膠帶T，如第1圖和第2圖所示，經由惰輪51，被搬送 到不良打洞裝置50。 因此，在不良打洞裝置5 0，預先被輸入控制裝置8 〇的 RAM等的記憶體，例如，基於在外觀檢查和電檢查等的前 製程判斷為不良的工件的位置情報（參照第3圖的S9 )、 在上述内引腳檢查裝置40檢查的不良工件的位置資料（參 照第3圖的S1 0 )或該兩方的資料，在通過裝設於不良打洞 裝置50内的反張力滾輪52和驅動滾輪54之間時，驅動滾輪 54的驅動暫時被停止，TAB膠帶T的進給被停止，且藉由繫 合於TAB膠帶T的扣鏈齒輪孔的反張力滾輪52的反轉，TAB 膠帶被正確地位於既定的位置。 再者，在本實施例，因為使用浮動滾筒9 2和9 4，所以 在反張力滾輪5 2，即使不具備鏈條，反張力亦被負載。 因此，在此狀態，作動不良打洞裝置50，按照電子廠 商等的使用者的做法，在使用者指示的部位，藉由打洞最 終地施予製品不良表示（標記）於TAB膠帶T上（參照第3

第17頁 200406037 五、發明說明（13) ' 一 圖 S5 ) 〇 因此，在不良打洞裝置50施予製品不良表示（標記） 的TAB膠帶T，通過切片器6〇和惰輪62，供給至捲取裝置7〇 (參照第3圖的S7和S8 )。 如第1圖所示，供給於捲取裝置70的以8膠帶τ，在裝 設於捲取軸72的捲取滾輪R3，經由惰輪62，藉由由未圖~示 驅動馬達的驅動的捲取軸72旋轉，捲取TAB膠帶τ (參照 3圖的S8 )。 " 此時，從隔離捲出捲筒R4所抽出的間隔板s供給至捲 取捲筒3裝設於TAB膠帶T之間，TAB膠帶彼此之間接觸墨水 附著於別的部分，保護TAB膠帶免受損傷。 又，在此捲取裝置70，如第i圖和第2圖所示，此捲取 捲旖R3和隔離捲出捲筒R4以水平方向的框架74形成一對而 固定。因此’此框架7 4藉由未圖示的馬達和活塞汽缸機構 等的驅動機構沿著LM導引76，如第2圖所示，於TAB膠帶 T的進給方向和垂直方向，在處理位置a和待機位置b之間 自由移動。 又’在捲取裝置70 ’與此捲取捲筒R3和隔離捲出捲汽 R4同樣，為了與這些捲筒R3和R4形成對，在這些滾筒!^^^和 R4的下方’捲取捲f^R3和隔離捲出捲筒以水平方向的 框架7 4 ’形成一對而固定。因此，此框架7 4 ’沿著L Μ導引 76，如第2圖所示，於TAB膠帶Τ的進給方向和垂直方向， 在處理位置A和待機位置B之間自由移動。藉由這種構成， 移動一方的捲取捲筒R3和隔離捲出捲筒R4至處理位置a，

200406037 五、發明說明（14) 一 在藉由一方的捲取捲筒R3捲取處理完畢的TAB膠帶τ之間， 移動另一方的捲取捲筒R3，隔離捲出捲筒R4，至待機位置 Β，可裝設接合於接著應處理的TAB膠帶Τ的前導膠帶於捲 取捲筒R3’ 。又，在隔離捲出捲筒R4，，可裝設接著使用的 間隔板。再者，當然亦可逆向實行這些。

因此，可縮短交換TAB膠帶T時的檢查編輯裝置的停止 時間，處理效率提升。 T 又’藉由如此構成，在捲取時交換捲出間隔板的間隔 板檢出捲筒之時，亦可縮短檢查編輯裝置的停止時間，提 升處理效率。 再者，這些構造在捲出裝置20之中亦形成同樣的構 造0 ，亦即，如第1圖和第2圖所示，此捲出捲筒R1和間隔板 捲取捲筒R2以垂直方向的框架24形成一對而固定。因此， =框架24藉由未圖示的馬達、活塞汽缸機構等的驅動機 ’沿著LM導引26，如第2圖所示，於TAB膠帶τ的進給方 σ和垂直方向，在處理位置人和待機位置B之間自由移動。 二在捲出裝置20，與此捲出捲筒R1和間隔板捲取捲筒R2 二樣’為了與這些捲形成對，在這些捲筒以和以| 以右方（TAB膠帶的搬送方向下游處）以垂直方向的框架 4 ^成-對而固i因而，此框_’沿著lm導引26，如 m，於TAB膠帶了的進給方向和垂直方向，在處理 位置A和待機位置B之間自由移動。 藉由此構成’移動-方的捲出捲筒R1和間隔板捲取捲

第19頁 200406037 五、發明說明（15) =R2於處理位置A，在處理來自一方的捲出捲輪R1的TAB膠 ▼ T之間’移動另一方的捲出捲筒r丨，和間隔板捲取捲輪 R2於待機位置B，可裝設接著應處理的ΤΑβ膠帶τ。又，其 次可裝没作為捲取間隔板的前導膠帶於間隔板捲取捲筒 R2’ 。當然，可逆向實行這些。 因此’可縮短交換TAB膠帶時的檢查編輯裝置的停止 時間，處理效率得以提升。 又’藉由如此構成，在交換於捲出之際捲取間隔板的 間隔板捲取捲筒之時，亦可縮短檢查編輯裝置的停止時間 且處理效率得以提升》 且’預先輸入控制裝置8〇的RAM等的記憶體，例如， 基於外觀檢查和電檢查等的前製程被判斷為不良的工件的 位置=貝料（參照第3圖的S9)，在上述内引腳檢查裝置4〇 所檢查的不良工件的位置資才斗（參照第3圖的s j "或該兩 方的資料，為了形成-定的不良加工帛，或在連續產生不 良的情況’按照顧客的希望，有必要切除不 照 第3圖的S7 )。 :，議頁客的希望，如上所述在有必要切除不良 分的情況，糟由控制裝置80的㈣， 器 :下置：停乂ΤΑΒΠ?輸送，切片謂作動，切除ΤΑΜ =的既疋的不良部接合不良 Τ Β膠帶Τ的上游端於切斷的上游側的τα ! (參照第3圖的S7 )。 卜

又，如上所述在有必要於— 定的長度切斷TAB膠帶Τ的

200406037 五、發明說明（16) 長度的情況，#由控制裝置8G的控制，在切片器6G的 位置’停止TAB膠帶T的輸送，切片器6〇作動，例如，於 定的長度切斷在處理位置A被捲取捲筒R3捲取的ΤΑβ膠帶 (參照第3圖的S7 )。 因此，移動捲取捲筒R3於待機位置β，同時從待機位 置Β已經移動-方的捲取捲筒R3，至處理位置Α，切片 動，接合預先捲繞於此捲取捲筒尺3，的前導膠帶的後 被切斷的下游側的ΤΑΒ膠帶Τ的上游端（參照第3圖的s? )° 再者， 〜079788公 026857號公 〜1 026 1 8號 動和自動作 另一方 備在既定的 圖的S2 )。 在此切 出且一連串 移動另一方 捲出捲筒R1 第3圖的S2 )

此切片器沒被特別限定，例如可採用特開平〇6 報、特開平06 — 1 80493號公報、特公平〇6 一 報，特公平06 — 041 1 77號公報乃至於特公平〇7 公報等的習知的手動的切片器。又可採用 動的切片器。 面，捲出裝置20和内引腳檢查裝置4〇之間，具 長度切斷接合TAB膠帶T的切片器30 (參照第^

片器30，在位於處理位置A的捲出捲筒R1所捲 處理結束的TAB膠帶T的最終端，從待機位置β 的捲出捲筒R1，至處理位置A，捲繞於另一方的 ，接合接著處理的ΤAB膠帶T前導膠帶（參照 藉此，可省略交換裝設接著處理的ΤΑβ膠帶τ 作業效率獲得提升。Α去，+ +77 Η哭、q η π β ^ 丁仅阿促丌丹#，此切片态30可採用與切片器6〇

200406037 五、發明說明（17) 同樣的構成。 如，：二觀ίϊ出裝置20和内引聊檢查裝置40之間，例 成於不良薄膜載體的絕綾镑艇」I %之，*備檢知形 置9。（參照第3圖的S3 )V、的不良標記的+良檢知裝 第3:的In基於來自此不良檢知裝置90的不良情報（參照 Γ ΛΙ ^f,J ^180 5 ^ ^ ^ ^ ^ (來昭以二糟由内引腳檢查裝置40的檢查控制而構成 (參照第3圖的S3和S5 )。 對判： = :如，在外觀檢查和電檢查等的前製程 ”、、良的工件’因為可省略經由檢查費時速度較慢 绝“引腳檢查裝置4〇的内引腳檢查，所以整體而言，檢杳 編輯速度提升。 一 j情況，不良檢知裝置90，如第5圖所示，希望是檢 、在則製私之中’將以.絕緣薄膜貼在形成於不良TAB膠帶τ 的絕緣薄膜上的配線圖案的裏面的部分部分的配線圖案與 絕緣，膜一齊穿通切除的切除孔4的不良檢知裝置。 藉由如此構成’不良薄膜載體的標記的穿孔4不形成 於外伸内引腳2的元件孔！近旁，如第5 ( a ) ( B )所示， 因為形成於以絕緣膜貼在裏面的配線圖案（包含内引腳2 ，1引腳3 )的部分’所以為了不良薄膜載體的識別從被 丁，的穿孔片不產生金屬粉屑。因而，製造電子零件安裝 用薄膜載體的無塵室内不受金屬粉屑污染，引腳間不易產 生金屬粉屑附著而導致的絕緣不良，可靠度提升。

第22頁 200406037 五、發明說明（18) ----* 而且’因為以透射光偵測器可檢知這樣的穿孔，所以 可得正確且迅速的檢& 查等的前製程判斷為不良的工件，因為可省略檢查費時速 度較慢的内引腳檢查，所以整體而言，檢查編輯速度提 升。 ，6圖係本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢 查編輯裝置的第2實施例的正視圖，第7圖係第6圖的上 圖。 此實施例的檢查編輯裝置1〇係與顯示於第1圖的檢查 編輯裝置1 0為基本上同樣的構成，在同一的構成部件賦予 相同的參照號碼，省略其詳細的說明。 在此實施例的檢查編輯裝置1〇，如第6圖和第7圖所 不’在捲出裝置20 ’捲出捲筒R1和間隔板捲取捲筒r 2以水 平方向的框架2 4形成一對而固定。因而，在這些捲筒^、 R 2的下方’捲出捲筒r 1和間隔板捲取捲筒R ^ ’以水平方白 的框架24’形成一對而固定。 " 因此，在此實施例，這些水平方向的框架2 4、2 4，固 定於檢查編輯裝置10的捲出裝置20的捲出裝置本體25，與 第1圖的實施例不同，在TAB膠帶Τ的進給方向和垂直方向、 不移動，通常不位於處理位置。藉此，如第1圖的實施。 例，不將捲筒往處理位置和待機位置移動，可進行待機捲 筒的準備和裝設，減低滾筒的準備和裝設的有關作業的、 本而構成。 >' 、、 又’此實施例的捲取裝置7 0具備錯直方向立設於檢杳

200406037

" — —一· ------------------ ~一 ' ------ — ί五、發明說明（19) 1 |編輯裝置10的檢查編輯裝置本體11的轉動轴71。

I ! 因此，如第6和第7圖所示，為了 一對間隔板捲出捲筒 i R3和捲取捲筒R3’位於以此轉動軸71為中心相互對稱的位 置點，捲取捲筒R3裝設於固定在轉動軸71的框架74a，同 時捲取捲筒R3’則個別裝設在固定於轉動軸71的框架 74a， 〇 同樣地，在這些捲取捲筒R3和捲取捲筒R3,上方，為 了 一對捲取捲筒R4和間隔板捲出捲筒R4’位於以此轉動軸 7 1為中心相互對稱的位置點，間隔板捲出捲筒r 4裝設於固 定在轉動軸71的框架74b，同時捲取捲筒R4，則個別裝設在 固定於轉動軸71的框架74b’ 。 更且，在此實施例的檢查編輯裝置1 〇，於捲取裝置7 〇 的下游側，更具備進行製品最終檢查的出貨檢查裝置 丨 100。 I 亦即，藉由通過内引腳檢查裝置40、不良打洞裝置50 I和切片器60既定的處理結束，被捲取於捲取裝置70的捲取丨 捲筒R3的TAB膠帶T，其次藉由進行製品的最終檢查的出貨 檢查裝置1 0 0，進行外觀等的出貨前的最終檢查。 具體而言，既定的處理結束，捲取TAB膠帶T至捲取裝 置70的捲取捲筒R3後，藉由控制裝置80的未圖示的馬達等| 的驅動機構，捲取裝置7〇如第7圖的箭頭所示，水平方向 18 0 轉動於鉛直方向立設於檢查編輯裝置本體11的轉動 軸71的周圍。 藉此，捲繞在捲取位置C的TAB膠帶T的捲取捲筒和

第24頁 200406037 I ..... .. i五、發明說明（20) ~ 形成空捲狀態的間隔板捲出捲筒R4移動到捲出位置D。 藉此，將捲取此TAB膠帶T的捲取捲筒R3作為捲出捲筒使 用，捲出TAB膠帶T，供給至出貨檢查裝置1〇〇。又，從捲 |取捲筒R3被捲出的間隔板S經由惰輪，藉由形成空捲狀維 I的間隔帶捲出捲筒R4而被捲取。 相反地，捲取裝置70如第7圖的箭頭所示，藉由水平 方向180°轉動於鉛直方向立設於檢查編輯裝置本體丨丨的 轉動軸71的周圍，在捲出位置D的形成空捲狀態的捲取捲 筒R3’和捲取間隔板S的間隔板捲出捲筒R4,移動到捲取位 置C。 藉此，從間隔板捲出捲筒R4,捲出間隔板S，同時在捲 取捲筒R3’ ，藉由通過内引腳檢查裝置4〇、不良打動裝置 50和切片器60，捲取既定的處理結束的TAb膠帶τ。、 又’在出貨檢查裝置1 0 〇，具備從立體顯微鏡所構成 的出貨檢查部102，供給於出貨檢查裝置100的ΤΑΒ膠帶丁藉 由此出貨檢查部102，進行外觀等的出貨前的最終檢查。曰 |具體而言，此最終檢查藉由立體顯微鏡和目視，藉由透 I光檢查和反射光檢查而進行。 因而，藉由此出貨檢查部丨02在出貨前的最終檢查結 束後，捲取到最終製品捲取装置丨丨0。亦即，供給至最: 製品捲取裝置11〇的TAB膠帶Τ在裝設於捲取軸112的捲取捲 丨筒R5 ’經由惰輪1H，藉由由未圖示的驅動馬達的驅動的 捲取軸112轉動，捲取TAB膠帶丁。 此時，從間隔板捲出捲筒R6拉出的間隔板s，經 200406037 丨五、發明說明（21) 1 丨· !輪11 6，裝設於供給到捲取捲筒R5的TAB膠帶T之間，TAB膠 丨帶彼此接觸而墨水附著於其它部分，TAB不損傷而受到保 I· 丨護。 ί ! l· 但是，在此實施例，作為最終檢查的出貨檢查是全部 |仏查或必定捲往R 5的檢查的情況。但是，出貨檢查是進行 「 丨對檢查製程實施品是否被正確檢查的抽樣檢查為主要目 |的’根據情況，亦即根據抽樣檢查的方法，不捲取到捲取 捲筒R5，可捲往捲取裝置的捲取捲筒R3。

更且，在捲取裝置7〇和出貨檢查裝置1〇〇的出貨檢查 I |部102之間，具備於既定的長度切斷接合ΤΑβ膠帶τ的切片 馨 | 器 1 20 〇 ί I 在此切片器1 20，例如從在捲出位置D的捲出捲筒R3被 |捲出，於一連串的處理結束的ΤΑΒ膠帶Τ的最終端，從捲取 位置C移動另一方的捲出捲筒r3,到捲出位置^，而捲到另 —方的捲出捲筒R3’ ，接合接著處理的TAB膠帶Τ的前導膠 帶。 | 藉此’可省略移轉裝設接著處理的TAB膠帶T到出貨檢 i查裝置100的作業，作業效率提升。亦即，此切片器12〇可 I採用與切片器60同樣的構造。 | 藉由如此構成，只以水平方向180。轉動捲取裝置70 ^ |於鉛直方向立設於檢查編輯裝置本體丨丨的轉動軸71的四 i ^，將捲取裝置70作為捲出裝置使用，對捲取結束的TAB \， |膠帶T，以一連串的製程可連續地、大量地且正確地處理 |檢查内引腳的不良的内引腳檢查製程、在不良工件的既定丨

200406037 五、發明說明（22) 部位施予製品不 斷和接合電子零 出貨裝置的出貨 業員一人進行而 以上，雖係 限於此，例如， 用薄膜載體膠帶 的的範圍亦可有 以一連串的 明檢查内引腳的 定部位施予製品 切斷和接合電子 由出貨裝置的出 作業員一人進行 良打洞的 件安裝用 檢查，處 可降低成 說明本發 多條形成 等的情況 種種變更 製程可連 不良的内 不良打洞 零件安裝 貨檢查， 而可降低 良打洞製程、於既定的長度切 溥膜栽體膠帶的切片製程以及由 理效率可大幅提升，同時可以作 本〇 明較佳的實施例，但本發明並不 電f零件安裝部的電子零件安裝 了適用’在不跳脫本發明的目 〇 、’、貞地、大量地且正確地處理本發 引腳檢查製程、在不良工件的既 的=良打洞製程、於既定的長度 用’專膜載體膠帶的切片製程以及 處理效率可大幅提升，同時可以 成本。 又，在本發明，例如，連續地切除不良部位出現的不 良工件，藉由切片器，因為可接合不良比率少的部分，所 乂衣口口的不良率降低0

^ 又，在本發明，移動一方的捲出捲筒到處理位置，在 來自—方的捲出捲筒的電子零件安裝用薄膜載體膠帶處理 =間’移動另一方的捲出捲筒到待機位置，因為可裝設接 著應處理的電子零件安裝用薄膜載體膠帶，所以可縮短交 ^電子零件安裝用薄膜載體膠帶時的檢查編輯裝置的停土 日寸間’處理效率提升。 又，在本發明，於交換在捲出時交換捲取間隔板的間

200406037 五、發明說明（23) — i 隔板捲筒之時，亦可縮短檢查編輯裝置的停止 效率獲得提升。 I 又，在本發明，移動一方的捲取捲筒到處 |由一方的捲取捲筒捲取處理完畢的電子零件安 |體膠帶之間，移動另一方的捲取捲筒到待機位 ^設接合於接著應處理的電子零件安裝用薄膜 前導膠帶，所以可縮短交換電子零件安裝用薄 時的仏查編輯裝置的停止時間，處理效率獲得 5 又’在本發明，於交換在捲出時交換捲取 隔板捲筒之時，亦可縮短檢查編輯裝置的停止 效率獲得提升。 *又，在本發明，在一連串的處理結束的電 =薄膜載體膠帶的最終端，藉由接合接著處理 女裝用薄膜載體膠帶的前導膠帶，可省略轉移 的電子零件女裝用薄膜載體膠帶於檢查編輯 效率可獲得提升。 二制又，在本發明，例如，對在外觀檢查和電 剐‘程判斷為不良的工件，因為 的内引腳檢查，所以整體而言，檢查編輯= I认μ更且，在本發明，不良薄膜載體的標記的 所ai：伸内引腳的元件孔附近，因為形成於内面 、的配線圖案（包含内引腳和外引腳）的部 不良薄膜載體的識別從被打穿的穿通片金屬 因而，製造電子零件安裝用薄膜載體膠帶 時間，處理 · | 理位置，藉! 裝用薄膜載 置，因為可… 載體膠帶的 、 膜載體膠帶 提升。 間隔板的間 時間，處理· I 子零件安裝 的電子零件 裝设接著處 裝置’作業 性連接等的 時速度較慢 提升。 打洞不形成P 以絕緣薄膜 ; 分，所以為 h ! 粉屑不會產 丨 的無塵室内 丨 200406037 由本發明 設於檢查 捲出裝置 帶，以一 明檢查内 定部位施 切斷和接 由出貨裝. 作業員一 本發明， 内引腳檢 洞的不良 裝用薄膜 載體膠帶 用薄膜載 。因此， 必要，可 ，只水平 編輯裝置 使用，對 連串的製 引腳的不 予製品不 合電子零 置的出貨 人進行而 精由一方 查製程、 打洞製程 載體膠帶 之間，藉 體膠帶， 交換電子 縮短檢查 的污染，引腳間金屬粉屑附著而不易 性提高。 为屋生絶 為以透射光檢測器可檢知此種打洞，所以可 的檢出結果，例如，對在外觀檢查和 判斷為不良的工件，因為可省略檢查費時= 腳檢查，所以整體而言，檢查編輯速度提、 方向180 ° 本體的轉 捲取結束 程可連續 良的内引 良打洞的 件安裝用 檢查’處 可降低成 的捲取捲 在不良工 和於既定 的切片製 由另一方 可進行由 零件安裝 編輯裝置 五、發明說明（24) 不受金屬粉屑 ί緣不良，信賴 而且，因 |得正確且迅速 查等的前製程 度較慢的内引 丨升。 j 更且，若 丨於錯直方向立 |捲取裝置作為 i用薄膜載體膠 ί |確地處理本發 I不良工件的既 |於既定的長度 丨切片製程以及 丨升，同時可以 ； 又’若由 ί引腳的不良的 j予製品不良打 |合電子零件安 |件安裝用薄膜 I電子零件安裝 出貨檢查製程 的作業變得不 轉動捲取裝置 動軸的周圍，將 的電子零件安裝 地、大量地且正 腳檢查製程、在 不良打洞製程、 薄膜载體膠帶的 理效率可大幅提 本0 筒，捲取檢查内 件的既定部位施 的長度切斷和接 程結束的電子零 的捲取捲筒捲出 出貨檢查裝置的 用薄膜載體膠帶 的停止時間，達 200406037 五、發明說明（25) 到提升處理效率等的幾個顯著且特有的作用效果’為一極 優良的發明。 第30頁 200406037 丨圖式簡單說明 第1圖係本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢 查編輯裝置的正視圖； 第2圖係第1圖的上視圖； 第3圖係說明本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶 |的編輯檢查方法的概略圖； 第4圖係說明本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶 的編輯檢查方法的内引腳檢查的概略圖； 1 第5圖係說明使用於本發明的電子零件安裝用薄膜載 體膠帶的編輯檢查方法的TAB膠帶T的前製程的不良標記的 概略圖； 第6圖係本發明的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的檢 查編輯裝置的第2實施例的正視圖； 第7圖係第6圖的上視圖；以及 第8圖係說明習知的電子零件安裝用薄膜載體膠帶的 |編輯檢查方法的概略圖。 j - I【圖號簡單說明】 -i i 元 件 孔 2 内 引 腳 11 檢 查 編 輯 裝 置 12 檢 查 編 輯 裝 置 本體 25 捲 出 裝 置 26 惰 輪 27 驅 動 轴 28 驅 動 軸 29 框 架 27 導 引 31 切 片 器 37 透 射 光 昭 i 射 裝 置 43 内 引 腳 檢 查 裝置 44 惰 輪 ! 45 反 張 力 滚 輪 45 驅 動 滾 輪

第31頁 200406037 圖式簡單說明 49 CCD相機 53 不良打洞裝置 i 54 惰輪 55 反張力滚輪 | - 55 驅動滾輪 61 切片器 丨 - 63 惰輪 71 捲取裝置 i 72 轉動軸 73 捲取轴 * · 74 惰輪 75 框架 丨 南 74a 框架 77 導引 79 惰輪 81 控制裝置 91 不良檢知裝置 100 出貨檢查裝置 1 I 102 出貨檢查部 110 最終製品捲取裝置 • 112 捲取轴 114 惰輪 116 惰輪 120 切片器 A 處理位置 B 待機位置 ! C 捲取位置 D 捲出位置 | ! Mi 中心線位置 M2 中心線位置 R 捲筒 R1、 R1， 捲出捲筒 | ! R2、R2’ 間隔板捲取捲筒 R3、 R3, 捲取捲筒 I I R4 、 R4’ 間隔板捲出捲请 R5 捲取捲筒 | R6 捲出捲筒 S 間隔板 T TAB膠帶 β

第32頁

Claims (1)

1. 200406037 六、申請專利範圍 〜~ 〜—— ---------------- 六、申請專利範圍： 零件安裝用薄膜載體膠帶的檢逢 其特徵係具備： 電子零件女裝用薄膜載體膠帶的揭 前述捲出裝置所發送的電子零科 載f膠：的内引腳的不良的内引腳檢查裝 土於前述内引腳檢查裝置的檢查社果、 良標記資料或該兩方的資料，在^ A认： 不良打洞的不良打洞裝置 述内引腳檢查裝置的檢查結果、 ΐ ϊ Ϊ二枓或該兩方的資料，於既定的長 裝用薄膜載體膠帶的切片器 二片器於既定的長度所切斷 如;、請=載體膠帶的捲取裝置。 體膠帶的檢查編輯裝/Λ載;1電=零件与 内引腳檢查裝置的檢查結果中：ί刀“ 或該兩方的資料，切除 别衣釭的不 如_請專利範圍第ht2 ^工件而構成。 膜載體膠帶的檢杳^ 、斤s己載的電子零V 互相在電子零置：其中前购 直方向，自由移動在卢潯獏载體膠帶的進每 捲出捲筒； 处理裝置和待機狀態之 移動-方的捲出捲筒到處理位置，在處理 1· 2· 3· 編輯裝置， 出裝置； 安裝用薄膜 置； 前製程的不 良工件的既 f 前製程的不 度切斷和接 :以及 和接合的電 ‘裝用薄膜载 「系基於前述 &標記資料 L安裝用薄 裝置具備 方向和垂 間的一對

   第33頁 從一方的

   200406037 六、申請專利範圍 捲出捲筒 的捲出捲 安裝用薄 4 · 如申請專 體膠帶的 與前述捲 5 · 如申請專 體膠帶的 在電子零 向，自由 捲筒； 來的電 筒到待 ^載體 利範圍 檢查編 出捲筒 利範圍 檢查編 件安裝 移動在 移動一 出捲筒捲 動另一方 處理的電 成。 如申請專 體膠帶的 側，更具 同時前 於檢查編 藉由水 檢查編輯 為捲出裝 子零件安裝用膠帶之間，移動另一方 機位置，裝設接著應處理的電子零件 膠帶而構成。 第3項所記載的電子零件安裝用薄膜載 輯裝置，其中前述捲出裝置具備個別 形成對的一對間隔板捲取捲筒。 第1項所記載的電子零件安裝用薄膜载 輯裝置，其中前述捲出裝置具備互相 用溥膜載體膠帶的進給方向和垂直方 處理裝置和待機狀態之間的一對捲出 方的捲出捲筒到處理位置，在藉由一方的捲 取處理完畢的電子零件安裝用膠帶之間，移 $ 2出，筒到待機位置，裝設接合於接著應 零件安裝用薄膜載體膠帶的前導膠帶而構 2 ^圍第1項所記載的電子零件安裝用薄膜載 ^ ί編輯裝置，其中在前述捲取裝置的下游 '行製品的最終檢查的出貨檢查裝置， r^ 我置可水平方向轉動於鉛直方向立設 、耳衣置本體的轉動軸的周圍而構成； ^ £ ^180轉動前述捲取裝置於鉛直立設於 ^ 體的轉動軸的周圍，將此捲取裝置作 ^ ’错由前述捲取裝置，捲出捲取結束 200406037 六、申請專利範圍 ------------------------------------------ 的電子零件安裝用薄膜載體膠帶， 置的出貨檢查而構成。 進仃由出貨檢查裝 7. 如申請專利範圍第6項所記載的電子跫 體膠帶的檢查編輯裝置，其中前述捲取/置且用借薄膜載 ;轉動轴為中心在互相點對稱的位置的1的=; 在藉由一方的捲出捲筒捲取處理完 裝用膠帶之間’藉由另-方的捲取捲筒：ΠΓ:安 :裝：薄膜載體膠帶，進行由出貨檢查 查而構成。 衣且W出烏檢 8· 如申請專利範圍第5至7項之中任何一項所記 φ 零件安裝用薄膜載體膠帶的檢查編輯裝置，並中 捲取裝置具備個別與前述捲取捲筒形成二二^ 隔板捲出捲筒。 野的間 9· 如申請專利範圍第6或7項所記載的電子零件安 膜載體膠帶的檢查編輯裝置，其中在前述捲取^ ， 出貨檢查裝置的出貨檢查部之間，具備於既定的'二口 切斷且接合電子零件安裝用薄膜載體膠帶的切 10·如申請專利範圍第1項所記載的電子零件安裝用薄腹。 _ 體膠帶的檢查編輯裝置，其中在前述捲出裝置和、载 腳檢查裝置之間，具備於既定的長度切斷且接人 零件安裝用薄膜載體膠帶的切片器。 °电千 11 ·如申請專利範圍第1項所記載的電子零件安穿用一、 體膠帶的檢查編輯裝置，其中前述捲出裝置I内%丨

   第35頁 200406037 六、申請專利範圍 檢查裝置 薄膜載體 基於來 的不良工 制而構成 1 2 ·如申請專 載體膠帶 在前製程 貼在形成 内面部分 13· —種電子 其特徵係 從捲出 製程； 藉由内 電子零件 腳檢查製 基於前 良標記資 斷為不良 不良打洞 之間， 的絕緣 自不良件，以 〇 利範圍 的檢查 之中， 於不良 的配線 零件安 具備： 裝置捲 在前製 膜上的 檢知裝 不進行 程之中， 不良標記 置的不良 由内引腳 第11項 編輯裝 檢知與絕緣膜 薄膜載 圖案的 裝用薄 所記載的 置，其中 體的絕緣 切除孔的 膜載體膠 具備檢知形成於不良 的不良檢知裝置； 資料，對判斷為不良 檢查裝置的檢查而2 1子零件安裝用薄膜 满述不良檢知裝置侍、 齊穿通切除以絕緣膜 薄膜上的配線圖案的 不良檢知裝置。 帶的檢查編輯方法， 出電子零件安裝用薄膜載體膠帶捲出 弓丨腳檢查裝置 安裝用薄膜載 程； 述内引腳檢查 料或該兩方的 的不良工件的 製程； 檢查從前 體膠帶的 製程的檢 資料，藉 既定部位 述捲出裝置所送出的 内引腳的不良的内引 查結果，前製程的不 由不良打洞裝置在判 施予製品不良打洞的 暴於從前述不良打洞製程 K q W衣杜个…个艮賁料，藉由切r册m i ^長度切斷和接合電子零件安裝用薄膜載 膠T的切片製程；以及

   200406037 六、申請專利範圍 —-------------------------—-----------_ ^由捲：裝置捲取在前述切片製程於 程。 文衣用涛臈載體膠帶的捲取製 申請士利範圍第13項所記載的電子零件 載體膠帶的檢查編輯方法，其 ^溽膜 或該兩方的資料，㈣不：工不良標記資料 15. ^申請專利範圍第13或14項所記载的電子 溥膜載體膠帶的檢杳編輯方 々牛女羞用 備互相在電子零件；載= =置具 對ί::筒移動在處理裝置和待機狀態之間的- 捲出捲筒到處理位置，在處理從-方的 的捲出棬筒到待機：置，J用膠帶之間，移動另-方 *裝用薄膜載體;：：構ί設接著應處理的電子零件 1 6 ·如申請專利範圍第丨5 載體膠帶的檢查編輯二己載的電子零件安裝用薄膜 別與前述捲出捲筒，其中前述捲出裝置具備個 1 7.如申請專利範圍第^所的一對的間隔板捲取捲筒。 載體膠帶Μ > 4 、所圮載的電子零件安裝用薄膜 戰體膠Τ的檢查編輯方法， 相在電子零件安梦用镇，、中則述捲出衣置〃備互 方向，自由移動戴體膠帶的進給方向和垂直 出捲筒； 地扁置和待機狀態之間的一對捲

   200406037 六、申請專利範圍 移動一 出捲筒捲 動另一方 處理的電 成。 1 8 ·如申請專 載體膠帶 游側，更 同時前 於檢查編 藉由水 檢查編輯 為捲出裝 的電子零 置的出貨 1 9 ·如申請專 載體膠帶 前述轉動 捲筒； 在藉由 裝用膠帶 安裝用薄 查而構成 2 0 ·如申請專 利範圍第1 3 的檢查編輯 具備進行製 述捲取裝置 輯裝置本體 平方向180 ° 裝置本體的 置使用，藉 件安裝用薄 檢查而構成 利範圍第1 8 的檢查編輯 軸為中心在 ♦ ”出捲筒到處理位置，在藉由一方的捲 a 凡畢的電子零件安裝用膠帶之間，移 ;’ ί筒到待機位置，裝設接合於接著應 ^件安裝用薄膜載體膠帶的前導膠帶而構 項所記載的電子零件安裝用薄膜 方法，其中在前述捲取裝置的下 品的最終檢查的出貨檢查裝置， 可水平方向轉動於鉛直方向立設 的轉動軸的周圍而構成； 轉動前述捲取裝置於鉛直立設於 轉動軸的周圍，將此捲取裝置作 由前述捲取裝置，捲出捲取結束 膜載體膠帶，進行由出貨檢查裝 項所記載的電子零件安裝用薄膜 方法’其中前述捲取裝置具備以 互相點對稱的位置的一對的捲取 一方的捲出捲筒捲取處理完畢的電子零件安 之間，藉由另一方的捲取捲筒捲出電子零件 膜載體膠帶，進行由出貨檢查裂置的出貨檢 〇 利範圍第1 7至1 9項之中任何一項所|己載的電

   200406037 ——_____ 六、申請專利範圍 ---------------------〜一-一一 --------------------〜 ! 哀用薄膜載體膠帶的檢查編輯方法# I 置具備個別與前述捲取捲筒形成二:前 ! 間隔板捲出捲筒。 成對的一對的 丨21. 利範圍第18或19項所記载的電子跫p ! 溥膑载體膠帶的檢查編輯方法，並中為乂ν牛女裝用 I和出貨檢查裝置的出貨檢查部之間，且：$捲取裝置 i度切斷且接合電子零件安襄用體：：既定的長 器。 野肤戰肢膠帶的切片 ,22.如申請專利範圍第13或14項所記 薄膜載體膠帶的檢查編輯方 ^子零件安裝用 和内引腳檢查裝置之間，具備於既捲出裝置 合電子零件安裝用薄膜載體膠帶的Μ:又切斷且接 23.如申請專利範圍第13或14所記載的電：。 膜載體膠帶的檢查編輯方法， 子零件安裝用薄 弓丨腳檢查裝置之間，在前述捲出震置和内 不良薄膜載體的絕緣膜上的不良具備檢知形成於 置； 示§己的不良檢知裝 基於來自不良檢知裝置的不良資 的不良工件，以不進行由内引腳檢杳+ ^對判斷為不良 制而構成。 1衣置的檢查而控 24·如申請專利範圍第23項所記載的 載體膠帶的檢查編輯方法，其中前、，、零件安装用薄膜 在前製程之中，檢知與絕緣膜—g =不良檢知裝置係 貼在形成於不良薄膜載體的絕緣=通切除以絕緣膜 '、上的配線圖案的

   第39頁 200406037 六、申請專利範圍 内面部分的配線圖案的切除孔的不良檢知裝置 1H11