SU634699A3 - Способ изготовлени многослойной печатной платы - Google Patents

Способ изготовлени многослойной печатной платы

Info

Publication number
SU634699A3
SU634699A3 SU731953749A SU1953749A SU634699A3 SU 634699 A3 SU634699 A3 SU 634699A3 SU 731953749 A SU731953749 A SU 731953749A SU 1953749 A SU1953749 A SU 1953749A SU 634699 A3 SU634699 A3 SU 634699A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
group
chg
aliphatic
compound
photosensitive
Prior art date
Application number
SU731953749A
Other languages
English (en)
Inventor
Абдуль-Кадер Цахир Шейк
Рембольд Хейнц
Лозерт Эвальд
Original Assignee
Циба-Гейги Аг (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Циба-Гейги Аг (Фирма) filed Critical Циба-Гейги Аг (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU634699A3 publication Critical patent/SU634699A3/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0385Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable using epoxidised novolak resin
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/40Treatment after imagewise removal, e.g. baking
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4611Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
    • H05K3/4626Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0183Dielectric layers
    • H05K2201/0195Dielectric or adhesive layers comprising a plurality of layers, e.g. in a multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/05Patterning and lithography; Masks; Details of resist
    • H05K2203/0562Details of resist
    • H05K2203/0571Dual purpose resist, e.g. etch resist used as solder resist, solder resist used as plating resist
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017Etching of the substrate by chemical or physical means
    • H05K3/0023Etching of the substrate by chemical or physical means by exposure and development of a photosensitive insulating layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/061Etching masks
    • H05K3/064Photoresists
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S522/00Synthetic resins or natural rubbers -- part of the class 520 series
    • Y10S522/904Monomer or polymer contains initiating group

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Description

ОН
/0 (Г t г I 1
CHo-CH-CHH -В-СНг-СН-СН2 - -L-CH2 CH-tH2- V-B-CHz-CH-CHg , IL-Iw Ljfi)p
где,т- 0,1,2 или 3, h и P независи-гетероциклический остаток; L - светомо друг от друга - 1, 2 или 3 5чувствительна  группа, содержаща ,
В - алифатический, циклоалифатический,предпочтительно,халконовую группу или
аралифатический, ароматический илисоединение структурной формулы
ОН /о ff1 г CHg-CH-CH -j -L -CHg - -В -CHg-CHIIJrV 1
где m О, 1, 2 или 3;-h и «j, независимо друг от друга -1,2 или 3; В - алифатический, циклоалифатичедкий; аралифатический, ароматический
ок
CHgjf-ttHj-CH-CH j-j-B-CHg-CH-CHgl I-B-CH -CH-CH2 , /t IJm где m - 0,1, 2 или 3; n и ij незави мо друг от друга - 1, 2, или 3; В - алифатический, циклоалифатически ароматический, аралифатический или гетероциклический остаток, L - свето чувствительна  группа, содержаща , предпочтительно, халконовую группу, остатки К-а Омы водорода, которые могут быть частично заменены содержащими светочувствительную группу остатками или соединением структурной формулы O-ft ORОН Хч1 Г Xj. 1 X где т- О или целое число, предпочтительно , 1-10; X - водород или али фатическа  группа и В -глицидилова  группа или содержащий светочувствительную группу остаток, причем, по меньшей мере, один остаток В - глицидилова  группа, экспонированные участки фоторезистивного материала подвергают термической обработке с использованием отвердител  гор чего отверждени  дл  эпоксидных .. смол. в качестве подложки примен ют пр питанные эпоксидной смолой бумажные пленки или стеклоткань. Эти материа лы обладают хорошими электрическими и механическими свойствами. Эти фол гированные материалы  вл ютс  основой дл  изготовлени  печатных плат На фольгированную подложку нанос светочувствительный лак на основе
он
I
ff
CH2-J -в- Ch2-CH-CH2
он
он
или гетероциклический остаток;Ц -све15 точувствительна  группа, содержаща , предпочтительно, халконовую группу или соединение структурной формулы
о-к
0,
он
I
/
If..
-L-CH2-CH-CH2- -в-снг-сн-снг
nip 11/ -L-CH2-CH-CH2 Jffllo органического соединени  с эпоксидными группами и группами, отверлсдаемыми электромагнитным излучением. Покрытие светочувствительного лака экспонируют через прозрачный негатив с изображением печатных проводников платы. Экспонирование осуществл етс  солнечным светом, угольными дуговыми лампами или ксеноновыми лампами в течение нескольких секунд на рассто нии 5 - 10 см.. Далее экспонированные платы подвергаютс  обработке про вл ющей жидкостью , в качестве которой примен ют органический растворитель или смеси растворителей . После про влени  платы подвергаютс  травлению протравными жидкост ми, в качестве которых используют феррихлоридные и аммонийперсульфатные растворы. Травление производ т 40%-ным феррихлоридньзм раствором при 40°С в течение 5-7 мин., или 30%-ным аммонийперсульфатным раствором при 40°С в течение Ю 15 мин. При этом неэкспонированные участки фольги раствор ютс . Плата промываетс  водой, покрываетс  изол ционным лаком. Далее группа плат, соответствующа  схеме, прессуетс  в брикет, образу  микросхему. Фоточувствительный лак приготавливают на основе органического соединени  с эпоксидными группами и группами , отверждаемыми электромагнитным излучением, например, соответствующим общим структурным формулам: -- fr 1 I CHg-CH-CH -L -снг-сн -cHg - -в -снг-сн In
OR
ГГ 1 1 1
CH -L- СН2-СН-СНг--Б-СН2-СН-СН2 -В - 0%-СН Дн

Claims (2)

11iniffl jtf где m- О, 1, 2 или 3;п ,р и cj, независимо друг от друга 1, 2, или 3; В - алифатический, циклоалифатически аралифатическиП, ароматический или гетероциклический остаток; L - свето чувствительна  группа, содержаща  халконовую группу; остаток R - атомы водорода, которые частично могут быть заменены содержащим светочувств тельную группу остатком. Формула изобретени  Способ изготовлени  многослойной печатной платы, включающий нанесение на металлизированную поверхность каждой платы фоторезистивного материала , последующее экспонирование его через прозрачное негативное изображеоI ff1 ch -GH-CHg-j -в -снг-сн-сн2 iLи
где W - О, 1, 2, или 3; П и р - неза-или гетероциклический остаток;L -свевисимо друг от друга -1,2 или 3; - 5точувствительна  группа, содержаща ,
В - алифатический, циклоалифатичес-предпочтительно,халконовую группу или
кий, аралифатический. ароматическийсоединение структурной формулы ( ГIf -L - CHg-CH -CHg - -в - СН2 -СНCHg-CH-CH |II . j« I
где т-0, 1, 2 или 3; П и cj независимо друг от друга -1,2 или 3; В - алифатический, циклоалифатический , аралифатический, ароматический
OR
|-1.-СН2-СН-СН2--В-СН2-СН-СН2 -В
где m - О, 1, 2 или 3; h и (}, независимо друг от друга - 1, 2 или 3; В-алифатический , циклоалифатический, аро- 55 матический, аралифатический или гетероциклический остаток, L - светочувствительна  группа, содержаща , предпочтительно , халконовую группу,а остатки .8 - атомы водорода, которые могут быть частично заменены содержащими светочувствительную группу остатками или соединением структурной формулы gj
О-R
или гетероциклический остаток; L-светочувствительна  группа, содержаща , предпочтительно,халконовую группу или соединение структурной формулы
0-R
CHg-CH-CHg 11 /0ч снг- -ъ-снг-сй-tHg JflJ, ние, соответствующее каждому слою конфигурации проводников, про вление органическим растворителем с удалением неэкспонированных участков фоторезистивного материала, обработку травильным раствором незащищенных фоторезистивным материалом участков металлизированной поверхности каждой платы и прессование пакета печатных плат, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  способа, в качестве фоторезистивного материала на металлизированную поверхность каждой платы нанос т фоточувствительный лак на основе органического соединени  с эпоксидными группами и группами, отверждаемыми электромагнитным излучением , например, соединение структурной формулы: H2-CH-CH2- -Б-СН2-СН-СН2 1 / СНН L-CH -CH-CHg Wgгде hi - О или целое число, предпочтительно , 1-10, X - водород или алифатическа  группа и R - глицидилова  группа или содержащий светочувствительную группу остаток, причем, по
76346998
меньшей мере, один остаток R -глици- Источники информации, прин тые
дилова  группа, экспонированные участ-во внимание при экспертизе: ки фоторезистивного материала под-1 ,and(jstrie-EEec-trik-EEectrorn1,is Jahrg.,
вергают термической обработке с1970, № 22, 562-566. использованием отвердител  гор чего
2. Патент США № 3606677,
отверждени  дл  эпоксидных смол.кл. 29-625, 29.01,71.
SU731953749A 1972-08-25 1973-08-23 Способ изготовлени многослойной печатной платы SU634699A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1265872A CH576739A5 (ru) 1972-08-25 1972-08-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU634699A3 true SU634699A3 (ru) 1978-11-25

Family

ID=4385183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU731953749A SU634699A3 (ru) 1972-08-25 1973-08-23 Способ изготовлени многослойной печатной платы

Country Status (15)

Country Link
US (1) US3956043A (ru)
JP (1) JPS5513437B2 (ru)
AU (1) AU524785B2 (ru)
BE (1) BE804003A (ru)
CA (1) CA1007098A (ru)
CH (1) CH576739A5 (ru)
DD (1) DD105906A5 (ru)
DE (1) DE2342407C3 (ru)
FR (1) FR2197301B1 (ru)
GB (2) GB1446321A (ru)
IL (1) IL42978A (ru)
NL (1) NL170485C (ru)
SE (1) SE403879B (ru)
SU (1) SU634699A3 (ru)
ZA (1) ZA735831B (ru)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4181807A (en) * 1974-11-30 1980-01-01 Ciba-Geigy Corporation Polymerizable esters derived from a glycidyl ether of a phenolic unsaturated ketone
US4179577A (en) * 1974-11-30 1979-12-18 Ciba-Geigy Corporation Polymerisable esters derived from a phenolic unsaturated ketone
JPS5337120B2 (ru) * 1974-12-20 1978-10-06
CH613556A5 (en) * 1975-03-05 1979-09-28 Bbc Brown Boveri & Cie Process for photolithographic patterning of resistor tracks in hybrid circuits
GB1512814A (en) * 1975-08-13 1978-06-01 Ciba Geigy Ag Epoxide resins
US4217168A (en) * 1977-09-16 1980-08-12 Data Recording Instruments Limited Magnetic core formed from laminations
CA1119447A (en) * 1978-09-06 1982-03-09 John P. Vikesland Positive-acting photoresist composition containing a crosslinked urethane resin, a cured epoxy resin and a photosensitizer
US4247616A (en) * 1979-07-27 1981-01-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Positive-acting photoresist composition
US4502957A (en) * 1981-11-24 1985-03-05 Ciba-Geigy Corporation Process for purifying organic solutions
DE3214807C1 (en) * 1982-04-21 1983-10-06 Siemens Ag Process for producing etched printed circuit boards
EP0099856B1 (de) * 1982-06-24 1987-11-11 Ciba-Geigy Ag Photopolymerisierbares Beschichtungsmittel, photopolymerisierbares Material und seine Verwendung
US4552815A (en) * 1982-10-01 1985-11-12 Ciba Geigy Corporation Prestressing elements coated with plastic material and process for making them
DE3479810D1 (en) * 1983-08-24 1989-10-26 Ciba Geigy Ag Method of producing prepregs and composite materials reinforced therewith
DE3412992A1 (de) * 1984-04-06 1985-10-24 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Durch strahlung polymerisierbares gemisch und verfahren zum aufbringen von markierungen auf eine loetstopresistschicht
FR2566418A1 (fr) * 1984-06-22 1985-12-27 Ebauchesfabrik Eta Ag Procede d'assemblage de pieces par collage
ATE37889T1 (de) * 1984-06-29 1988-10-15 Siemens Ag Thermostabiles, durch bestrahlung vernetzbares polymersystem auf der basis von bisphenolen und epichlorhydrin sowie verfahren zu seiner verwendung.
US4828961A (en) * 1986-07-02 1989-05-09 W. R. Grace & Co.-Conn. Imaging process for forming ceramic electronic circuits
ATE91062T1 (de) * 1987-03-09 1993-07-15 Siemens Nixdorf Inf Syst Aufbautechnik fuer mehrlagige verdrahtungen.
JP2530718B2 (ja) * 1989-06-13 1996-09-04 東レ株式会社 配電基盤用ポリエステルフィルム
US5074035A (en) * 1989-07-19 1991-12-24 Excello Circuits Method of making thin film laminate printed circuit
US5928839A (en) * 1992-05-15 1999-07-27 Morton International, Inc. Method of forming a multilayer printed circuit board and product thereof
TW290583B (ru) * 1993-10-14 1996-11-11 Alpha Metals Ltd
JP2775585B2 (ja) * 1994-03-25 1998-07-16 日本メクトロン株式会社 両面配線基板の製造法
US5693691A (en) * 1995-08-21 1997-12-02 Brewer Science, Inc. Thermosetting anti-reflective coatings compositions
US8580672B2 (en) 2011-10-25 2013-11-12 Globalfoundries Inc. Methods of forming bump structures that include a protection layer
CN114340160A (zh) * 2021-12-17 2022-04-12 鹤山市中富兴业电路有限公司 喷锡字符设计工艺

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3278305A (en) * 1963-07-12 1966-10-11 Gevaert Photo Prod Nv Photochemical cross-linking of polymers
DE1447016C3 (de) * 1963-10-25 1973-11-15 Kalle Ag, 6202 Wiesbaden-Biebrich Vorsensibilisierte Druckplatte
US3410824A (en) * 1965-03-19 1968-11-12 Ralph B. Atkinson Light sensitive resin from a dihydroxy chalcone and an epoxy prepolymer
US3418295A (en) * 1965-04-27 1968-12-24 Du Pont Polymers and their preparation
DE1572062C3 (de) * 1966-01-07 1974-11-07 Kalle Ag, 6202 Wiesbaden-Biebrich Lichtempfindliche Kopierschicht
DE1572060C3 (de) * 1966-01-07 1974-10-24 Kalle Ag, 6202 Wiesbaden-Biebrich Lichtempfindliche Kopierschicht
DE1618729A1 (de) * 1966-03-10 1972-03-30 North American Aviation Inc Verfahren zur Herstellung eines photopolymerisierbaren Epoxydharzes
NL6809002A (ru) * 1967-07-06 1969-01-08
FR2041471A5 (en) * 1969-04-25 1971-01-29 Cii Multi-layer circuits with thermosetting - dielectric
DE1937508C3 (de) * 1969-07-23 1974-01-10 Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen Verfahren zur Herstellung eines mit elektrischen Leitungsbahnen und/oder elektrischen Durchkontaktierungen versehenen Isolierstoffträgers
DE2059425A1 (de) 1970-12-02 1972-06-22 Siemens Ag Partieller Aufbau von gedruckten Mehrlagenschaltungen
US3776729A (en) * 1971-02-22 1973-12-04 Ibm Photosensitive dielectric composition and process of using the same
US3876432A (en) * 1972-09-11 1975-04-08 Sun Chemical Corp Fatty ester modified epoxy resin photopolymerizable compositions
JPS51447A (ja) * 1974-06-21 1976-01-06 Janome Sewing Machine Co Ltd Hitoharinuisochikakudokiko

Also Published As

Publication number Publication date
AU524785B2 (en) 1982-10-07
AU5932073A (en) 1975-02-20
ZA735831B (en) 1974-10-30
DE2342407C3 (de) 1981-10-29
GB1446321A (en) 1976-08-18
FR2197301A1 (ru) 1974-03-22
GB1446322A (en) 1976-08-18
BE804003A (fr) 1974-02-25
NL170485C (nl) 1982-11-01
CH576739A5 (ru) 1976-06-15
DE2342407B2 (de) 1978-11-23
IL42978A0 (en) 1973-11-28
JPS5513437B2 (ru) 1980-04-09
CA1007098A (en) 1977-03-22
NL170485B (nl) 1982-06-01
DD105906A5 (ru) 1974-05-12
IL42978A (en) 1976-05-31
NL7311716A (ru) 1974-02-27
US3956043A (en) 1976-05-11
DE2342407A1 (de) 1974-03-07
SE403879B (sv) 1978-09-04
FR2197301B1 (ru) 1978-12-29
JPS4959971A (ru) 1974-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU634699A3 (ru) Способ изготовлени многослойной печатной платы
US3989610A (en) Photosensitive epoxy-acrylate resin compositions
US4280888A (en) Screen printable, UV curable opaque legend ink composition
JPS6126624A (ja) 熱安定性ポリマー及びこれを使用した多層配線の製法
CA1057763A (en) Polymerisable esters
US3752669A (en) Method of producing positive images from epoxy compositions and compositions therefor
TWI221945B (en) A process for preparing a relief pattern
JPS645691B2 (ru)
US3883352A (en) Process for forming a photocured solder resist
WO1992004396A1 (en) Photogenerated conducting organic polymers
EP0480365B1 (en) Production of solder masked electric circuit boards
GB2299585A (en) Coating compositions
JPS61296353A (ja) 熱安定性の構造化された層の製造方法
JPS59100433A (ja) 難燃型感光性樹脂組成物
JP3034090B2 (ja) パターン形成方法
JPH04116557A (ja) 感光性樹脂組成物のパターン形成方法
JPH02261862A (ja) 光重合性樹脂組成物
US3520687A (en) Etching of silicon dioxide by photosensitive solutions
KR880002416A (ko) 인쇄 회로 기판의 제조방법
JP2868984B2 (ja) 回路用基板
EP0469973A1 (en) Method for forming relief patterns
SE445647B (sv) Sett att utbilda ett monster av lodmetall pa ett skikt av en elektriskt ledande metall
JP2637400B2 (ja) 有機溶媒可溶性のレリーフパターン形成用感光性ポリイミド組成物
JPH0527423A (ja) 感光性エレメントおよび回路の製造法
KR860000070B1 (ko) 광 또는 방사선 감응성 중합체조성물