RU98104458A

RU98104458A - Способ просушивания кремния

Info

Publication number: RU98104458A
Application number: RU98104458/28A
Authority: RU
Inventors: Шелленбергер Вильхельм; Херрманнсдерфер Дитер
Original assignee: Иктоп Энтвиклунгс ГмбХ
Priority date: 1995-08-23
Filing date: 1996-08-09
Publication date: 2000-01-10

Claims

1. Способ просушивания поверхности подложки (1), включающий погружение подложки в жидкую ванну (2); продувку над поверхностью жидкой ванны газа, который может растворяться в жидкости и который понижает поверхностное натяжение жидкости, будучи растворен в ней; разделение подложки (1) и жидкости (2) с такой скоростью, что разница в поверхностном натяжении между жидкостью, имеющей первую концентрацию растворенного газа рядом с поверхностью подложки и жидкостью с более низкой концентрацией растворенного газа на удалении от поверхности подложки, обеспечивает просушивание подложки в процессе разделения, отличающийся тем, что жидкость в жидкой ванне (2) содержит водный раствор HF (3), а газ содержит смесь O₂/O₃.

2. Способ просушивания поверхности подложки (1), включающий погружение подложки в жидкую ванну (2); отделение подложки от жидкой ванны (2), отличающийся тем, что жидкость в жидкой ванне (2) содержит водный раствор HF (3), поверхность подложки является гидрофобной при отделении от жидкой ванны, причем поверхность подложки отделяют от ванны со скоростью, позволяющей жидкости ванны стекать с гидрофобной поверхности подложки так, чтобы получить сухую подложку; и газ, который содержит смесь O₂/O₃, образующую гидрофильную поверхность подложки, направляют на поверхность подложки (1) после отделения подложки (1) от жидкой ванны.

3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что относительная скорость отделения подложки (1) от поверхности водного раствора HF (3) составляет от приблизительно 0,1 см/сек до приблизительно 20 см/сек.

4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что относительная скорость отделения подложки (1) от поверхности водного раствора HF (3) составляет от приблизительно 0,5 см/сек до приблизительно 3,0 см/сек.

5. Способ по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что жидкость в жидкой ванне (2) содержит водный раствор HF (3) с концентрацией от приблизительно 0,001% до приблизительно 50%.

6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что концентрация HF в водном растворе составляет от приблизительно 0,01% до приблизительно 0,1%.

7. Способ по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что подложка содержит кремний.

8. Способ по любому из пп. 1-6, отличающийся тем, что подложка содержит керамический материал или стеклянный материал.

9. Способ по любому из пп. 1-6, отличающийся тем, что подложка содержит пластмассовый материал.

10. Способ по любому из пп. 1-6, отличающийся тем, что подложка содержит металлический материал.

11. Способ по любому из пп. 1-6, отличающийся тем, что подложка образует лазерный диск.

12. Способ по любому из пп. 1-11, отличающийся тем, что подложку (1) и жидкую ванну (3) разделяют путем извлечения подложки из жидкой ванны.

13. Способ по любому из пп. 1-11, отличающийся тем, что подложку (1) и жидкую ванну разделяют путем слива жидкости из ванны (2).

14. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что жидкая ванна (3) содержит по меньшей мере одну добавку, выбранную из группы, включающей в себя кислоты, органические кислоты, поверхностно-активные вещества и твердые добавки.

15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что указанной по меньшей мере одной добавкой является кислота, выбранная из группы, включающей в себя HCl, H₃PO₄, H₂SO₄, HClO, HClO₂, HClP₃, HClO₄.

16. Способ по п. 14, отличающийся тем, что указанный водный раствор содержит смесь кислот, выбранных из группы, включающей в себя HCl/H₂PO₄, H₃PO₄/HCl, H₃PO₄/H₂SO₄ и H₃PO₄/HCl/H₂SO₄.

17. Способ по любому из пп. 14-16, отличающийся тем, что указанную кислоту добавляют до концентрации, достигающей 50 вес.%.

18. Способ по п. 14, отличающийся тем, что указанная по меньшей мере одна добавка является органической кислотой, выбранной из группы, включающей в себя муравьиную кислоту, уксусную кислоту и лимонную кислоту.

19. Способ по п. 18, отличающийся тем, что указанную органическую кислоту добавляют до концентрации, достигающей приблизительно 80 вес.%.

20. Способ по п. 14, отличающийся тем, что указанное поверхностно-активное вещество добавляют до концентрации, достигающей приблизительно 5 вес. %.

21. Способ по п. 14, отличающийся тем, что указанной твердой добавкой является NH₄F.

22. Способ по п. 14, отличающийся тем, что указанную твердую добавку добавляют до концентрации, достигающей приблизительно 50 вес.%.

23. Способ по любому из пп. 1-22, отличающийся тем, что способ осуществляют при температуре 0 - 100^oC.

24. Способ по п. 23, отличающийся тем, что способ осуществляют при температуре 20 - 50^oC.

25. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что содержание O₃ в газовой смеси O₂/O₃ составляет от 0,1 - 0,5 г на литр газовой смеси O₂/O₃.