RU2007134310A - Рч мэмс-переключатель с гибкой и свободной мембраной переключателя - Google Patents
Рч мэмс-переключатель с гибкой и свободной мембраной переключателя Download PDFInfo
- Publication number
- RU2007134310A RU2007134310A RU2007134310/09A RU2007134310A RU2007134310A RU 2007134310 A RU2007134310 A RU 2007134310A RU 2007134310/09 A RU2007134310/09 A RU 2007134310/09A RU 2007134310 A RU2007134310 A RU 2007134310A RU 2007134310 A RU2007134310 A RU 2007134310A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- membrane
- mems switch
- switch according
- capacitive
- dielectric layer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B5/00—Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/01—Switches
- B81B2201/012—Switches characterised by the shape
- B81B2201/018—Switches not provided for in B81B2201/014 - B81B2201/016
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
- H01H2001/0063—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] having electrostatic latches, i.e. the activated position is kept by electrostatic forces other than the activation force
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
- Electrotherapy Devices (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Push-Button Switches (AREA)
- Burglar Alarm Systems (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
1. РЧ МЭМС-переключатель, содержащий микромеханическое переключающее устройство, выполненное с возможностью приведения в действие между двумя положениями: первым положением (отключенное состояние) и вторым положением (включенное состояние), и активирующее устройство, предназначенное для приведения переключающего устройства в соответствующее положение, отличающийся тем, что микромеханическое переключающее устройство содержит гибкую мембрану (6), свободно поддерживаемую опорным устройством (3) и выполненную с возможностью изгибаться под воздействием активирующего устройства (7) и свободно скользить относительно опорного устройства (3) во время своего перемещения изгиба. ! 2. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором при разомкнутом переключателе гибкая мембрана (6) находится в состоянии покоя в одном из двух, первом или втором положении, предпочтительно, - в первом положении (отключенное состояние). ! 3. РЧ МЭМС-переключатель по п.2, содержащий электростатическое устройство (4) для удержания мембраны (6) в состоянии покоя. ! 4. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором мембрана (6) представляет собой емкостной переключающий элемент. ! 5. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.4, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3). ! 6. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.5, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободн
Claims (25)
1. РЧ МЭМС-переключатель, содержащий микромеханическое переключающее устройство, выполненное с возможностью приведения в действие между двумя положениями: первым положением (отключенное состояние) и вторым положением (включенное состояние), и активирующее устройство, предназначенное для приведения переключающего устройства в соответствующее положение, отличающийся тем, что микромеханическое переключающее устройство содержит гибкую мембрану (6), свободно поддерживаемую опорным устройством (3) и выполненную с возможностью изгибаться под воздействием активирующего устройства (7) и свободно скользить относительно опорного устройства (3) во время своего перемещения изгиба.
2. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором при разомкнутом переключателе гибкая мембрана (6) находится в состоянии покоя в одном из двух, первом или втором положении, предпочтительно, - в первом положении (отключенное состояние).
3. РЧ МЭМС-переключатель по п.2, содержащий электростатическое устройство (4) для удержания мембраны (6) в состоянии покоя.
4. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором мембрана (6) представляет собой емкостной переключающий элемент.
5. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.4, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3).
6. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.5, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободно проходит переключающая мембрана (6), а мембрана (6) содержит на обоих концах два участка (6b) большего размера, предназначенные для закрепления мембраны (6) на опорных элементах (3), но не ограничивающие свободное скольжение мембраны (6) относительно опорных элементов (3) во время движения переключения мембраны.
7. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.5, содержащий третий металлический опорный элемент (4), расположенный между двумя металлическими опорными элементами (3) и используемый в качестве линии сигнала для РЧ сигнала, при этом между мембраной (6) и третьим металлическим опорным элементом (4) находится по меньшей мере один второй диэлектрический слой (5).
8. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.7, в котором второй диэлектрический слой (5) нанесен на третий металлический опорный элемент (4).
9. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.8, в котором мембрана (6) контактирует со вторым диэлектрическим слоем (5), когда мембрана (6) находится в состоянии покоя.
10. РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.1-9, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством.
11. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.5-9, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством, содержащим два электрода (7), предназначенные для отгибания мембраны от подложки (1), при этом эти два электрода (7) расположены на подложке (1) за пределами компланарного волновода.
12. РЧ МЭМС-переключатель по п.4, в котором при разомкнутом переключателе гибкая мембрана (6) находится в состоянии покоя в одном из двух, первом или втором положении, предпочтительно, - в первом положении (отключенное состояние).
13. РЧ МЭМС-переключатель по п.12, содержащий электростатическое устройство (4) для удержания мембраны (6) в состоянии покоя.
14. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.12, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3).
15. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.14, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободно проходит переключающая мембрана (6), а мембрана (6) содержит на обоих концах два участка (6b) большего размера, предназначенные для закрепления мембраны (6) на опорных элементах (3), но не ограничивающие свободное скольжение мембраны (6) относительно опорных элементов (3) во время движения переключения мембраны.
16. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.15, содержащий третий металлический опорный элемент (4), расположенный между двумя металлическими опорными элементами (3) и используемый в качестве линии сигнала для РЧ сигнала, при этом между мембраной (6) и третьим металлическим опорным элементом (4) находится по меньшей мере один второй диэлектрический слой (5).
17. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.16, в котором второй диэлектрический слой (5) нанесен на третий металлический опорный элемент (4).
18. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.17, в котором мембрана (6) контактирует со вторым диэлектрическим слоем (5), когда мембрана (6) находится в состоянии покоя.
19. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.13, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3).
20. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.19, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободно проходит переключающая мембрана (6), а мембрана (6) содержит на обоих концах два участка (6b) большего размера, предназначенные для закрепления мембраны (6) на опорных элементах (3), но не ограничивающие свободное скольжение мембраны (6) относительно опорных элементов (3) во время движения переключения мембраны.
21. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.20, содержащий третий металлический опорный элемент (4), расположенный между двумя металлическими опорными элементами (3) и используемый в качестве линии сигнала для РЧ сигнала, при этом между мембраной (6) и третьим металлическим опорным элементом (4) находится по меньшей мере один второй диэлектрический слой (5).
22. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.21, в котором второй диэлектрический слой (5) нанесен на третий металлический опорный элемент (4).
23. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.22, в котором мембрана (6) контактирует со вторым диэлектрическим слоем (5), когда мембрана (6) находится в состоянии покоя.
24. РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.12-23, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством.
25. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.14-23, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством, содержащим два электрода (7), предназначенные для отгибания мембраны от подложки (1), при этом эти два электрода (7) расположены на подложке (1) за пределами компланарного волновода.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP05370005A EP1705676B9 (en) | 2005-03-21 | 2005-03-21 | RF MEMS switch with a flexible and free switch membrane |
| EP05370005.0 | 2005-03-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007134310A true RU2007134310A (ru) | 2009-04-27 |
| RU2433499C2 RU2433499C2 (ru) | 2011-11-10 |
Family
ID=34942756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007134310/07A RU2433499C2 (ru) | 2005-03-21 | 2006-03-07 | Радиочастотный микроэлектромеханический переключатель (рч мэмс-переключатель) с гибкой и свободной мембраной переключателя |
Country Status (19)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7834722B2 (ru) |
| EP (1) | EP1705676B9 (ru) |
| JP (1) | JP4637234B2 (ru) |
| KR (1) | KR101230284B1 (ru) |
| CN (1) | CN101147223B (ru) |
| AT (1) | ATE376704T1 (ru) |
| AU (1) | AU2006226642B2 (ru) |
| BR (1) | BRPI0611549A2 (ru) |
| CA (1) | CA2602187C (ru) |
| DE (1) | DE602005003008T2 (ru) |
| DK (1) | DK1705676T3 (ru) |
| ES (1) | ES2296116T3 (ru) |
| IL (1) | IL185992A (ru) |
| MX (1) | MX2007011641A (ru) |
| PT (1) | PT1705676E (ru) |
| RU (1) | RU2433499C2 (ru) |
| UA (1) | UA94039C2 (ru) |
| WO (1) | WO2006099945A1 (ru) |
| ZA (1) | ZA200707988B (ru) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7627812B2 (en) | 2005-10-27 | 2009-12-01 | Microsoft Corporation | Variable formatting of cells |
| US8461948B2 (en) * | 2007-09-25 | 2013-06-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Electronic ohmic shunt RF MEMS switch and method of manufacture |
| DE102009006421A1 (de) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH | Bedieneinrichtung für ein Elektrogerät |
| DK2230679T3 (da) | 2009-03-20 | 2012-07-30 | Delfmems | MEMS-struktur med en fleksibel membran og forbedrede elektriske påvirkningsmidler |
| US8354899B2 (en) * | 2009-09-23 | 2013-01-15 | General Electric Company | Switch structure and method |
| CN102074771A (zh) * | 2011-01-06 | 2011-05-25 | 东南大学 | 一种微固支梁式射频开关 |
| PL2506282T3 (pl) | 2011-03-28 | 2014-02-28 | Delfmems | Przełącznik krzyżowy RF MEMS i matryca przełączników krzyżowych zawierająca przełączniki krzyżowe RF MEMS |
| US9641174B2 (en) * | 2011-04-11 | 2017-05-02 | The Regents Of The University Of California | Use of micro-structured plate for controlling capacitance of mechanical capacitor switches |
| US9085454B2 (en) * | 2011-07-05 | 2015-07-21 | Duality Reality Energy, LLC | Reduced stiffness micro-mechanical structure |
| WO2013112608A1 (en) | 2012-01-23 | 2013-08-01 | The Regents Of The University Of Michigan | Photoconductive device with plasmonic electrodes |
| EP2969912A4 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-09 | Wispry Inc | DEVICES AND METHODS FOR CONTROLLING AND SEPARATING ACTUATOR PLATES |
| FR3006808B1 (fr) * | 2013-06-06 | 2015-05-29 | St Microelectronics Rousset | Dispositif de commutation integre electriquement activable |
| US9859079B2 (en) | 2013-08-06 | 2018-01-02 | The Regents Of The University Of Michigan | Reconfigurable device for terahertz (THz) and infrared (IR) filtering and modulation |
| RU2527942C1 (ru) * | 2013-11-05 | 2014-09-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Научно-Производственное Предприятие "Технология" | Способ изготовления электростатического силового мэмс ключа |
| CN103762123A (zh) * | 2014-01-21 | 2014-04-30 | 西安电子科技大学 | 一种静电驱动双稳态rfmems开关 |
| EP3038126A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-29 | DelfMEMS SAS | MEMS structure with thick movable membrane |
| EP3038125A1 (en) | 2014-12-22 | 2016-06-29 | DelfMEMS SAS | Mems structure with multilayer membrane |
| FR3031098A1 (fr) * | 2014-12-26 | 2016-07-01 | Delfmems | Dispositif microelectromecanique ou nanoelectromecanique comportant une membrane mobile en translation et une electrode d'actionnement isolee de la membrane par une couche dielectrique |
| FR3031096A1 (fr) * | 2014-12-26 | 2016-07-01 | Delfmems | Dispositif microelectromecanique ou nanoelectromecanique comportant une membrane qui est mobile en translation et est profilee pour reduire les courts-circuits et la formation d'arcs electriques |
| EP3302224B1 (en) | 2015-05-27 | 2020-10-14 | The Regents of The University of California | Terahertz endoscopy through laser-driven terahertz sources and detectors |
| CN108291846B (zh) * | 2015-12-07 | 2020-08-04 | 尼尔斯·奥格·尤尔·艾勒森 | 测压仪 |
| KR200480523Y1 (ko) | 2015-12-31 | 2016-06-29 | 한지흠 | 펄스모양 회전축을 구비한 중풍 손 물리치료 기구 |
| KR200481233Y1 (ko) | 2015-12-31 | 2016-09-01 | 한지흠 | 마비된 중풍 손가락의 관절과 근육 물리치료용 운동기구 |
| CN105680132B (zh) * | 2016-03-16 | 2018-06-29 | 西安电子科技大学 | 一种太赫兹波阻抗易调谐空气共面波导结构及其制备方法 |
| FR3051784B1 (fr) * | 2016-05-24 | 2018-05-25 | Airmems | Membrane mems a ligne de transmission integree |
| RU169456U1 (ru) * | 2016-07-06 | 2017-03-21 | Общество с ограниченной ответственностью "Базовые технологии" | Трехбитный РЧ МЭМС варактор |
| WO2018195429A1 (en) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | The Regents Of The University Of California | Systems and methods for high frequency nanoscopy |
| EP3635752B1 (en) | 2017-06-01 | 2023-12-27 | The Regents of The University of California | Metallo-graphene nanocomposites and methods for using metallo-graphene nanocomposites for electromagnetic energy conversion |
| JP7176108B2 (ja) * | 2018-10-16 | 2022-11-21 | フラウンホファー ゲセルシャフト ツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー．ファオ． | アクチュエータとしての曲げ変換器、センサとしての曲げ変換器、曲げ変換器システム |
| RU2705564C1 (ru) * | 2018-12-20 | 2019-11-08 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) | Интегральный микроэлектромеханический переключатель |
| RU2705792C1 (ru) * | 2018-12-26 | 2019-11-12 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) | Интегральный микроэлектромеханический переключатель |
| CN110212805B (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-25 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种改善翘曲程度的mems结构 |
| EP4038366A4 (en) | 2019-10-01 | 2024-03-06 | Univ California | METHOD FOR IDENTIFYING CHEMICAL AND STRUCTURAL VARIATIONS BY TERAHERTZ SPECTROSCOPY IN THE TIME DOMAIN |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6717496B2 (en) * | 2001-11-13 | 2004-04-06 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Electromagnetic energy controlled low actuation voltage microelectromechanical switch |
| US20040050674A1 (en) * | 2002-09-14 | 2004-03-18 | Rubel Paul John | Mechanically bi-stable mems relay device |
| KR100513723B1 (ko) * | 2002-11-18 | 2005-09-08 | 삼성전자주식회사 | Ｍｅｍｓ스위치 |
| JP4066928B2 (ja) * | 2002-12-12 | 2008-03-26 | 株式会社村田製作所 | Ｒｆｍｅｍｓスイッチ |
| JP2004319215A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Murata Mfg Co Ltd | 静電駆動素子 |
| US6882256B1 (en) * | 2003-06-20 | 2005-04-19 | Northrop Grumman Corporation | Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch |
| JP4364565B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | 静電アクチュエーター，マイクロスイッチ，マイクロ光スイッチ，電子機器および静電アクチュエーターの製造方法 |
| FR2858459B1 (fr) * | 2003-08-01 | 2006-03-10 | Commissariat Energie Atomique | Commutateur micro-mecanique bistable, methode d'actionnement et procede de realisation correspondant |
| US20070188846A1 (en) * | 2003-09-03 | 2007-08-16 | Slicker James M | MEMS switch with bistable element having straight beam components |
| US7348870B2 (en) * | 2005-01-05 | 2008-03-25 | International Business Machines Corporation | Structure and method of fabricating a hinge type MEMS switch |
-
2005
- 2005-03-21 DK DK05370005T patent/DK1705676T3/da active
- 2005-03-21 PT PT05370005T patent/PT1705676E/pt unknown
- 2005-03-21 ES ES05370005T patent/ES2296116T3/es active Active
- 2005-03-21 DE DE602005003008T patent/DE602005003008T2/de active Active
- 2005-03-21 EP EP05370005A patent/EP1705676B9/en not_active Not-in-force
- 2005-03-21 AT AT05370005T patent/ATE376704T1/de active
-
2006
- 2006-03-07 RU RU2007134310/07A patent/RU2433499C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2006-03-07 MX MX2007011641A patent/MX2007011641A/es unknown
- 2006-03-07 CN CN2006800092844A patent/CN101147223B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-07 US US11/886,684 patent/US7834722B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-07 WO PCT/EP2006/002076 patent/WO2006099945A1/en not_active Application Discontinuation
- 2006-03-07 BR BRPI0611549-7A patent/BRPI0611549A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2006-03-07 KR KR1020077021560A patent/KR101230284B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-03-07 CA CA2602187A patent/CA2602187C/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-07 AU AU2006226642A patent/AU2006226642B2/en not_active Ceased
- 2006-03-07 JP JP2008502274A patent/JP4637234B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-03 UA UAA200710442A patent/UA94039C2/ru unknown
-
2007
- 2007-09-17 IL IL185992A patent/IL185992A/en not_active IP Right Cessation
- 2007-09-17 ZA ZA200707988A patent/ZA200707988B/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008533690A (ja) | 2008-08-21 |
| DE602005003008D1 (de) | 2007-12-06 |
| DK1705676T3 (da) | 2008-02-18 |
| ATE376704T1 (de) | 2007-11-15 |
| ES2296116T3 (es) | 2008-04-16 |
| AU2006226642A1 (en) | 2006-09-28 |
| EP1705676B1 (en) | 2007-10-24 |
| US20080237024A1 (en) | 2008-10-02 |
| WO2006099945A1 (en) | 2006-09-28 |
| CA2602187A1 (en) | 2006-09-28 |
| PT1705676E (pt) | 2008-02-07 |
| EP1705676B9 (en) | 2010-08-11 |
| JP4637234B2 (ja) | 2011-02-23 |
| MX2007011641A (es) | 2008-01-18 |
| IL185992A (en) | 2011-08-31 |
| DE602005003008T2 (de) | 2008-08-14 |
| CN101147223A (zh) | 2008-03-19 |
| KR20080004467A (ko) | 2008-01-09 |
| UA94039C2 (en) | 2011-04-11 |
| EP1705676A1 (en) | 2006-09-27 |
| KR101230284B1 (ko) | 2013-02-06 |
| ZA200707988B (en) | 2008-06-25 |
| CN101147223B (zh) | 2010-09-08 |
| RU2433499C2 (ru) | 2011-11-10 |
| AU2006226642B2 (en) | 2010-11-11 |
| US7834722B2 (en) | 2010-11-16 |
| CA2602187C (en) | 2014-05-06 |
| BRPI0611549A2 (pt) | 2010-09-21 |
| IL185992A0 (en) | 2008-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2007134310A (ru) | Рч мэмс-переключатель с гибкой и свободной мембраной переключателя | |
| RU2013147496A (ru) | Коммутационный переключатель радиочастотных (rf) микроэлектромеханических систем (mems) и коммутационная переключающая матрица, содержащая коммутационные переключатели rf mems | |
| US6917268B2 (en) | Lateral microelectromechanical system switch | |
| DE60225484D1 (de) | Membranakivierter mikroelektromechanischer schalter | |
| KR950034324A (ko) | 스위치 어샘블리 | |
| EP2012166A3 (en) | Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function | |
| DE60302756T2 (de) | HF MEMS Schalter | |
| DE602006000135D1 (de) | Mikroelektromechanischer Schalter und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| SE0101183D0 (sv) | Micro electromechanical switches | |
| MY136286A (en) | Bump style mems switch | |
| KR20020042422A (ko) | 다위치 마이크로 전자기계식 스위치 | |
| ATE314226T1 (de) | Elektrische schalteinrichtung | |
| US20090273873A1 (en) | Device for detecting the three states of a circuit breaker | |
| ATE389563T1 (de) | Betätigungsvorrichtung für eine elektrische betriebene signalanlage | |
| ATE456147T1 (de) | Erdungsschalter | |
| JP2009016161A (ja) | スイッチ及びこれを用いた無線端末 | |
| ATE398829T1 (de) | Schalteinrichtung für elektrische hausinstallationen | |
| ATE413843T1 (de) | Applikator für anastomose | |
| WO2002077696A3 (en) | Apparatus and method for sensing switching positions of mems optical switch | |
| ES2336472T3 (es) | Unidad de conmutacion con sensor de proximidad. | |
| WO2006122917A3 (de) | Schaltbare steckdose | |
| NL2003681C2 (en) | Micro electromechanical switch and method of manufacturing such a micro electromechanical switch. | |
| KR20050052734A (ko) | Ｒｆ ｍｅｍｓ 스위치 및 그 제조 방법 | |
| TH93391B (th) | สวิตช์ | |
| TW201246683A (en) | RF MEMS crosspoint switch and crosspoint switch matrix comprising RF MEMS crosspoint switches |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150308 |