RU2013147496A - Коммутационный переключатель радиочастотных (rf) микроэлектромеханических систем (mems) и коммутационная переключающая матрица, содержащая коммутационные переключатели rf mems - Google Patents
Коммутационный переключатель радиочастотных (rf) микроэлектромеханических систем (mems) и коммутационная переключающая матрица, содержащая коммутационные переключатели rf mems Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013147496A RU2013147496A RU2013147496/07A RU2013147496A RU2013147496A RU 2013147496 A RU2013147496 A RU 2013147496A RU 2013147496/07 A RU2013147496/07 A RU 2013147496/07A RU 2013147496 A RU2013147496 A RU 2013147496A RU 2013147496 A RU2013147496 A RU 2013147496A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- transmission line
- mems
- switching
- switching element
- switch according
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/10—Auxiliary devices for switching or interrupting
- H01P1/15—Auxiliary devices for switching or interrupting by semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/10—Auxiliary devices for switching or interrupting
- H01P1/12—Auxiliary devices for switching or interrupting by mechanical chopper
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B5/00—Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/10—Auxiliary devices for switching or interrupting
- H01P1/12—Auxiliary devices for switching or interrupting by mechanical chopper
- H01P1/127—Strip line switches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P3/00—Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
- H01P3/003—Coplanar lines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/01—Switches
- B81B2201/012—Switches characterised by the shape
- B81B2201/018—Switches not provided for in B81B2201/014 - B81B2201/016
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/12—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage
- H01H1/14—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage by abutting
- H01H1/20—Bridging contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
- H01H2001/0063—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] having electrostatic latches, i.e. the activated position is kept by electrostatic forces other than the activation force
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
- H01H2001/0084—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] with perpendicular movement of the movable contact relative to the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
- H01H2059/0072—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics with stoppers or protrusions for maintaining a gap, reducing the contact area or for preventing stiction between the movable and the fixed electrode in the attracted position
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
1. Коммутационный переключатель (1) радиочастотных (RF) микроэлектромеханических систем (MEMS), содержащий первую передающую линию (10) и вторую передающую линию (11), которая пересекает первую передающую линию, причем первая передающая линия (10) содержит две отделенные друг от друга части (100, 101) передающей линии и переключающий элемент (12), который постоянно электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) передающей линии, причем вторая передающая линия (11) пересекает первую передающую линию (10) между двумя отделенными друг от друга частями (100, 101) передающей линии, при этом коммутационный переключатель (1) RF MEMS дополнительно содержит средства (121) приведения в движение для приведения в движение переключающего элемента (12) по меньшей мере, между первым положением, в котором переключающий элемент (12) электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) первой передающей линии (10), а первая (10) и вторая (11) передающие линии электрически разъединены, и вторым положением, в котором переключающий элемент (12) электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) первой передающей линии (10), а также электрически соединяет друг с другом две передающие линии (10, 11).2. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.1, в котором переключающий элемент (12) содержит гибкую мембрану (120a).3. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.2, в котором гибкая мембрана (120a) поддерживается по меньшей мере одной опорой (120b), и мембрана (120a) и по меньшей мере одна опора (120b) образуют часть первой передающей линии (10).4. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.3, в котором гибкая мембрана (120a) не закреплена и �
Claims (13)
1. Коммутационный переключатель (1) радиочастотных (RF) микроэлектромеханических систем (MEMS), содержащий первую передающую линию (10) и вторую передающую линию (11), которая пересекает первую передающую линию, причем первая передающая линия (10) содержит две отделенные друг от друга части (100, 101) передающей линии и переключающий элемент (12), который постоянно электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) передающей линии, причем вторая передающая линия (11) пересекает первую передающую линию (10) между двумя отделенными друг от друга частями (100, 101) передающей линии, при этом коммутационный переключатель (1) RF MEMS дополнительно содержит средства (121) приведения в движение для приведения в движение переключающего элемента (12) по меньшей мере, между первым положением, в котором переключающий элемент (12) электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) первой передающей линии (10), а первая (10) и вторая (11) передающие линии электрически разъединены, и вторым положением, в котором переключающий элемент (12) электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) первой передающей линии (10), а также электрически соединяет друг с другом две передающие линии (10, 11).
2. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.1, в котором переключающий элемент (12) содержит гибкую мембрану (120a).
3. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.2, в котором гибкая мембрана (120a) поддерживается по меньшей мере одной опорой (120b), и мембрана (120a) и по меньшей мере одна опора (120b) образуют часть первой передающей линии (10).
4. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.3, в котором гибкая мембрана (120a) не закреплена и может свободно сдвигаться относительно по меньшей мере одной опоры (120b) во время своего изгибного движения.
5. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-3, в котором переключающий элемент (12) закреплен на основании.
6. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.5, в котором переключающий элемент (12) закреплен на основании с обоих концов и образует мост.
7. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.5, в котором переключающий элемент (12) закреплен на основании только с одного конца и образует консольный переключающий элемент.
8. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором средства приведения в движение выполнены с возможностью изгибания переключающего элемента (12) вниз в нижнее принудительное состояние, соответствующее упомянутому второму положению.
9. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором средства приведения в движение выполнены с возможностью изгибания переключающего элемента (12) вверх в верхнее принудительное состояние, соответствующее упомянутому первому положению.
10. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором переключающий элемент (12) выполнен с возможностью обеспечения омического контакта со второй передающей линией (11).
11. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором переключающий элемент (12) выполнен с возможностью обеспечения емкостного соединения со второй передающей линией (11).
12. Переключающая матрица RF MEMS, содержащая несколько строчных передающих линий (RF-Ri) и несколько столбцовых передающих линий (RF-Cj), которые пересекают строчные передающие линии, содержащая в каждой точке коммутации коммутационный переключатель (SWij) RF MEMS по любому из пп. 1-11 формулы изобретения.
13. Использование переключающей матрицы RF MEMS по п.12 для маршрутизации RF сигналов.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP11160016.9 | 2011-03-28 | ||
EP11160016.9A EP2506282B1 (en) | 2011-03-28 | 2011-03-28 | RF MEMS crosspoint switch and crosspoint switch matrix comprising RF MEMS crosspoint switches |
PCT/EP2012/054864 WO2012130664A1 (en) | 2011-03-28 | 2012-03-20 | Rf mems crosspoint switch and crosspoint switch matrix comprising rf mems crosspoint switches |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013147496A true RU2013147496A (ru) | 2015-05-10 |
Family
ID=44680919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013147496/07A RU2013147496A (ru) | 2011-03-28 | 2012-03-20 | Коммутационный переключатель радиочастотных (rf) микроэлектромеханических систем (mems) и коммутационная переключающая матрица, содержащая коммутационные переключатели rf mems |
Country Status (18)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9048523B2 (ru) |
EP (1) | EP2506282B1 (ru) |
JP (1) | JP5774193B2 (ru) |
KR (1) | KR20140003474A (ru) |
CN (1) | CN103518248A (ru) |
AU (1) | AU2012234514A1 (ru) |
BR (1) | BR112013023017A2 (ru) |
CA (1) | CA2823973A1 (ru) |
ES (1) | ES2436644T3 (ru) |
HK (1) | HK1177323A1 (ru) |
HR (1) | HRP20130938T1 (ru) |
IL (1) | IL227548A0 (ru) |
MX (1) | MX2013011270A (ru) |
PL (1) | PL2506282T3 (ru) |
RU (1) | RU2013147496A (ru) |
SG (1) | SG193261A1 (ru) |
WO (1) | WO2012130664A1 (ru) |
ZA (1) | ZA201305325B (ru) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3000049B1 (fr) * | 2012-12-21 | 2016-01-15 | Thales Sa | Composant mems capacitif a ligne de transmission enterree |
JP5542231B1 (ja) * | 2013-04-09 | 2014-07-09 | 太陽誘電株式会社 | 多層回路基板 |
US9390877B2 (en) | 2013-12-19 | 2016-07-12 | Google Inc. | RF MEMS based large scale cross point electrical switch |
US9362608B1 (en) | 2014-12-03 | 2016-06-07 | General Electric Company | Multichannel relay assembly with in line MEMS switches |
CN108351448A (zh) | 2015-11-17 | 2018-07-31 | 柯尼卡美能达株式会社 | 光学反射膜及光学反射体 |
CN106159384B (zh) * | 2016-08-30 | 2018-10-12 | 南京理工大学 | 贯序旋转结构无阻塞rf-mems开关矩阵 |
EP3642151A1 (en) | 2017-06-19 | 2020-04-29 | Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy | Capacitive micro structure |
CN109950063B (zh) * | 2019-04-16 | 2024-06-14 | 苏州希美微纳系统有限公司 | 基于杠杆原理的双稳态rf mems接触式开关 |
CN110460323A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-15 | 深圳市迈铭科技有限公司 | 一种矩阵开关控制方法及其控制系统 |
CN112713374A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-27 | 北京无线电计量测试研究所 | 一种与同轴接头适配的共面波导 |
CN113035650B (zh) * | 2021-05-25 | 2021-09-07 | 深圳清华大学研究院 | 高可靠性的电容式rf mems开关 |
CN115377631B (zh) * | 2022-09-16 | 2023-11-03 | 北京邮电大学 | 一种射频mems开关 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5463233A (en) * | 1993-06-23 | 1995-10-31 | Alliedsignal Inc. | Micromachined thermal switch |
JPH11274805A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Ricoh Co Ltd | 高周波スイッチ並びに製造方法、及び集積化高周波スイッチアレイ |
EP1456699B1 (en) * | 2001-07-05 | 2008-12-31 | International Business Machines Corporation | Microsystem switches |
US6717496B2 (en) * | 2001-11-13 | 2004-04-06 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Electromagnetic energy controlled low actuation voltage microelectromechanical switch |
US20040050674A1 (en) * | 2002-09-14 | 2004-03-18 | Rubel Paul John | Mechanically bi-stable mems relay device |
US6984870B2 (en) * | 2002-10-18 | 2006-01-10 | M/A-Com, Inc. | High speed cross-point switch using SiGe HBT technology |
US6888420B2 (en) * | 2002-11-14 | 2005-05-03 | Hrl Laboratories, Llc | RF MEMS switch matrix |
JP4364565B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | 静電アクチュエーター,マイクロスイッチ,マイクロ光スイッチ,電子機器および静電アクチュエーターの製造方法 |
EP1705676B9 (en) | 2005-03-21 | 2010-08-11 | Delfmems | RF MEMS switch with a flexible and free switch membrane |
JP4498181B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2010-07-07 | 東京エレクトロン株式会社 | スイッチアレイ |
FR2930374B1 (fr) * | 2008-04-18 | 2011-08-26 | Thales Sa | Circulateur radiofrequence a base de mems. |
-
2011
- 2011-03-28 PL PL11160016T patent/PL2506282T3/pl unknown
- 2011-03-28 EP EP11160016.9A patent/EP2506282B1/en not_active Not-in-force
- 2011-03-28 ES ES11160016.9T patent/ES2436644T3/es active Active
-
2012
- 2012-03-20 RU RU2013147496/07A patent/RU2013147496A/ru not_active Application Discontinuation
- 2012-03-20 MX MX2013011270A patent/MX2013011270A/es not_active Application Discontinuation
- 2012-03-20 CA CA2823973A patent/CA2823973A1/en not_active Abandoned
- 2012-03-20 CN CN201280016575.1A patent/CN103518248A/zh active Pending
- 2012-03-20 AU AU2012234514A patent/AU2012234514A1/en not_active Abandoned
- 2012-03-20 BR BR112013023017A patent/BR112013023017A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2012-03-20 US US14/001,602 patent/US9048523B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-20 WO PCT/EP2012/054864 patent/WO2012130664A1/en active Application Filing
- 2012-03-20 KR KR1020137018651A patent/KR20140003474A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-03-20 JP JP2014501532A patent/JP5774193B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-20 SG SG2013065966A patent/SG193261A1/en unknown
-
2013
- 2013-04-02 HK HK13104036.3A patent/HK1177323A1/xx not_active IP Right Cessation
- 2013-07-15 ZA ZA2013/05325A patent/ZA201305325B/en unknown
- 2013-07-18 IL IL227548A patent/IL227548A0/en unknown
- 2013-10-07 HR HRP20130938AT patent/HRP20130938T1/hr unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2506282B1 (en) | 2013-09-11 |
KR20140003474A (ko) | 2014-01-09 |
ZA201305325B (en) | 2014-12-23 |
JP5774193B2 (ja) | 2015-09-09 |
WO2012130664A1 (en) | 2012-10-04 |
SG193261A1 (en) | 2013-10-30 |
HRP20130938T1 (hr) | 2013-11-08 |
BR112013023017A2 (pt) | 2018-07-03 |
JP2014512643A (ja) | 2014-05-22 |
EP2506282A1 (en) | 2012-10-03 |
CA2823973A1 (en) | 2012-10-04 |
US20140009244A1 (en) | 2014-01-09 |
AU2012234514A1 (en) | 2013-07-25 |
MX2013011270A (es) | 2013-10-17 |
ES2436644T3 (es) | 2014-01-03 |
HK1177323A1 (en) | 2013-08-16 |
PL2506282T3 (pl) | 2014-02-28 |
IL227548A0 (en) | 2013-09-30 |
CN103518248A (zh) | 2014-01-15 |
US9048523B2 (en) | 2015-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2013147496A (ru) | Коммутационный переключатель радиочастотных (rf) микроэлектромеханических систем (mems) и коммутационная переключающая матрица, содержащая коммутационные переключатели rf mems | |
RU2007134310A (ru) | Рч мэмс-переключатель с гибкой и свободной мембраной переключателя | |
RU2011139816A (ru) | Мэмс (mems)-структура с гибкой мембраной и усовершенствованный электрический активационный механизм | |
DE602005001718D1 (de) | Tastschalter | |
US9072194B2 (en) | Cable management device | |
DE112005001286A5 (de) | Gasisolierte Schaltanlage mit ein Sichtfenster zur optischen Erfassung die Schaltstellung der Schaltkontakten | |
FI20115394L (fi) | Mikrosähkömekaaninen kytkinkokoonpano ja menetelmä mikrosähkömekaanisen kytkinkokoonpanon valmistamiseksi | |
ATE361968T1 (de) | Allzweckreiniger ohne organischen lösungsmittel | |
WO2013114110A3 (en) | Portable computer keyboard assembly | |
WO2009060513A1 (ja) | 開閉器 | |
ES2524520R1 (es) | Dispositivo de bisagra para la unión articulada de un capó al chasis de un vehículo. | |
DE602006015019D1 (de) | MEMS Schalter und Herstellungsverfahren | |
DE602006000135D1 (de) | Mikroelektromechanischer Schalter und Verfahren zu dessen Herstellung | |
CN104464839A (zh) | 二维纳米柔性运动平台 | |
WO2007022500B1 (en) | Microelectromechanical switches having mechanically active components which are electrically isolated from components of the switch used for the transmission of signals | |
RU2012117115A (ru) | Механизм переключения для распределительного устройста с элегазовой изоляцией | |
JP2007035641A (ja) | Rfmemsスイッチ | |
ATE535004T1 (de) | Unterbrecherschalter mit wechselbarem betriebsmechanismus und aufgehängter mobilkontaktbaugruppe | |
UA107588C2 (uk) | Перемикач навантаження для ступеневого перемикача | |
DE50113839D1 (de) | Mechanischer schaltkontakt | |
CL2008003682A1 (es) | Dispositivo de maniobra con acumulación de energía eléctrica para interruptores o conmutadores de desconexión, que envía señal de retroalimentación. | |
FR2947220B1 (fr) | Planche de bord moussee comportant un interrupteur recouvert par une membrane souple ; procede de fabrication | |
IT201900024469A1 (it) | Dispositivo microelettromeccanico di specchio ad attuazione piezoelettrica, con struttura migliorata | |
CN102306583A (zh) | 三维多方向敏感的微型压力开关 | |
DE502004008089D1 (de) | Lastumschalter für einen stufenschalter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20150323 |