RU2003129800A - Полировальник и система полирования - Google Patents
Полировальник и система полирования Download PDFInfo
- Publication number
- RU2003129800A RU2003129800A RU2003129800/02A RU2003129800A RU2003129800A RU 2003129800 A RU2003129800 A RU 2003129800A RU 2003129800/02 A RU2003129800/02 A RU 2003129800/02A RU 2003129800 A RU2003129800 A RU 2003129800A RU 2003129800 A RU2003129800 A RU 2003129800A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- polishing
- polishing pad
- foam
- working surface
- polishing system
- Prior art date
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims 39
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims 11
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims 3
- 229920006327 polystyrene foam Polymers 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D13/00—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor
- B24D13/14—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by the front face
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L—DOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L11/00—Machines for cleaning floors, carpets, furniture, walls, or wall coverings
- A47L11/40—Parts or details of machines not provided for in groups A47L11/02 - A47L11/38, or not restricted to one of these groups, e.g. handles, arrangements of switches, skirts, buffers, levers
- A47L11/4036—Parts or details of the surface treating tools
- A47L11/4041—Roll shaped surface treating tools
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L—DOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L11/00—Machines for cleaning floors, carpets, furniture, walls, or wall coverings
- A47L11/02—Floor surfacing or polishing machines
- A47L11/10—Floor surfacing or polishing machines motor-driven
- A47L11/14—Floor surfacing or polishing machines motor-driven with rotating tools
- A47L11/16—Floor surfacing or polishing machines motor-driven with rotating tools the tools being disc brushes
- A47L11/164—Parts or details of the brushing tools
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Cleaning Implements For Floors, Carpets, Furniture, Walls, And The Like (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Claims (22)
1. Упругосжимаемый полировальник из пенопласта, который имеет первую и вторую противоположные основные рабочие поверхности, каждая из которых имеет множество размещенных с промежутками друг от друга выемок, имеющих общую форму полых усеченных конусов, разделенных усеченными конусами, причем все вершины усеченных конусов лежат в одной и той же плоскости и образуют рабочую поверхность.
2. Полировальник по п.1, отличающийся тем, что срезанные концы, образующие основания выемок, и вершины усеченных конусов, образующие часть рабочей поверхности, являются закругленными.
3. Полировальник по п.1, отличающийся тем, что пенопласт на первой рабочей поверхности отличается от пенопласта на второй рабочей поверхности.
4. Полировальник по п.3, отличающийся тем, что пенопласт на первой рабочей поверхности имеет сжимаемость, которая отличается от сжимаемости пенопласта на второй рабочей поверхности.
5. Полировальник по п.3, отличающийся тем, что образован при помощи соединения вместе двух слоев из пенопласта с использованием промежуточного слоя из каучукоподобного полимера.
6. Полировальник по п.5, отличающийся тем, что каучукоподобный промежуточный слой имеет множество расположенных с промежутками выемок.
7. Полировальник по п.1, отличающийся тем, что множество отверстий проходят через полировальник и соединяют первую и вторую рабочие поверхности.
8. Полировальник по п.7, отличающийся тем, что срезанные концы, образующие основания выемок, и вершины усеченных конусов, образующие часть рабочей поверхности, являются закругленными.
9. Система полирования, приспособленная для использования совместно с планетарным полировальным станком, которая содержит упруго сжимаемый полировальник из пенопласта по п.1 в виде круга и дополнительно содержит опорную подушку, с которой полировальник из пенопласта удерживается в контакте, причем одна его рабочая поверхность выступает выше опорной подушки, а вторая рабочая поверхность находится в контакте с опорной подушкой; и удерживающее средство, предназначенное для удержания одной поверхности полировальника в контакте, с возможностью освобождения, с опорной подушкой.
10. Система полирования по п.9, отличающийся тем, что срезанные концы, образующие основания выемок, и вершины усеченных конусов, образующие часть рабочей поверхности полировальника, являются закругленными.
11. Система полирования по п.9, отличающаяся тем, что опорная подушка имеет форму чашки, в которой удерживается часть полировальника, причем указанная чашка снабжена удерживающим средством, которое взаимодействует с выемками на периферии полировальника, для того, чтобы предотвратить вращение полировальника относительно чашки.
12. Система полирования по п.11, отличающаяся тем, что на основании чашки предусмотрено неглубокое утолщение, которое входит в контакт с рабочей поверхностью полировальника из пенопласта, которая лежит в чашке.
13. Система полирования по п.11, отличающийся тем, что приспособлена для крепления на планетарном полировальном станке.
14. Система полирования по п.11, отличающаяся тем, что пенопласт на первой рабочей поверхности полировальника имеет сжимаемость, которая отличается от сжимаемости пенопласта на второй рабочей поверхности полировальника.
15. Система полирования по п.11, отличающаяся тем, что полировальник образован при помощи соединения вместе двух слоев из пенопласта с использованием промежуточного слоя из каучукоподобного полимера.
16. Система полирования по п.11, отличающаяся тем, что чашка имеет множество вентиляционных отверстий.
17. Система полирования по п.9, отличающаяся тем, что опорная подушка имеет форму опорной пластины, имеющей осевой удлиняющий стержень; причем полировальник имеет расположенное по оси отверстие, в которое может входить удлиняющий стержень, а также имеет смежную зону большего диаметра, чем диаметр указанного стержня, на каждой поверхности полировальника; при этом система содержит удерживающее средство, которое соединено, с возможностью отсоединения, с концом указанного стержня, для того, чтобы удерживать одну поверхность полировальника в контакте с опорной пластиной.
18. Система полирования по п.17, отличающаяся тем, что опорная подушка имеет несколько выступов, которые проникают в материал полировальника для предотвращения вращения полировальника относительно опорной подушки.
19. Система полирования по п.17, отличающаяся тем, что приспособлена для крепления на планетарном полировальном станке.
20. Система полирования по п.17, отличающаяся тем, что пенопласт на первой рабочей поверхности полировальника имеет сжимаемость, которая отличается от сжимаемости пенопласта на второй рабочей поверхности полировальника.
21. Система полирования по п.17, отличающаяся тем, что полировальник образован при помощи соединения вместе двух слоев из пенопласта с использованием промежуточного слоя из каучукоподобного полимера.
22. Система полирования по п.17, отличающаяся тем, что удерживающее средство представляет собой резьбовую деталь, которая взаимодействует с резьбой на удлиняющем стержне опорной пластины.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/826,343 | 2001-04-04 | ||
US09/826,343 US6523215B2 (en) | 2001-04-04 | 2001-04-04 | Polishing pad and system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2003129800A true RU2003129800A (ru) | 2005-04-10 |
RU2253560C1 RU2253560C1 (ru) | 2005-06-10 |
Family
ID=25246291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2003129800/02A RU2253560C1 (ru) | 2001-04-04 | 2002-03-28 | Полировальник и система полирования |
Country Status (21)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6523215B2 (ru) |
JP (2) | JP4202764B2 (ru) |
KR (1) | KR100571689B1 (ru) |
CN (1) | CN100563934C (ru) |
AT (1) | AT500571B1 (ru) |
AU (1) | AU2002306908B2 (ru) |
BE (1) | BE1014743A3 (ru) |
BR (1) | BR0208567B1 (ru) |
CA (1) | CA2441383C (ru) |
DE (1) | DE10296621B4 (ru) |
ES (1) | ES2251281B2 (ru) |
FR (1) | FR2823145B1 (ru) |
GB (1) | GB2389516B (ru) |
HK (1) | HK1070019A1 (ru) |
MX (1) | MXPA03009088A (ru) |
NZ (1) | NZ528154A (ru) |
RU (1) | RU2253560C1 (ru) |
SE (1) | SE527121C2 (ru) |
TW (1) | TW541225B (ru) |
WO (1) | WO2002081149A1 (ru) |
ZA (1) | ZA200307176B (ru) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6523215B2 (en) * | 2001-04-04 | 2003-02-25 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Polishing pad and system |
US7014550B2 (en) * | 2001-09-14 | 2006-03-21 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Sanding system |
US7401374B2 (en) * | 2002-04-26 | 2008-07-22 | Zynon Technologies, Llc | Article for cleaning optical fibers |
CN1327344C (zh) * | 2003-08-19 | 2007-07-18 | 英特尔公司 | 无交流电源时保存和恢复工作状态的基本输入/输出系统 |
US7814613B1 (en) | 2003-10-23 | 2010-10-19 | R.E. Whittaker Company, Inc. | Rollers and disks for carpet cleaning |
US7354334B1 (en) * | 2004-05-07 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | Reducing polishing pad deformation |
US20070214592A1 (en) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Boler Lewyn B | Pad, system and method for polishing, buffing, compounding and glazing |
ATE498593T1 (de) * | 2006-12-14 | 2011-03-15 | Dsm Ip Assets Bv | Strahlungshärtbare d1363 bt-grundierbeschichtung für optische fasern |
US8897039B2 (en) * | 2007-06-12 | 2014-11-25 | Bcd Semiconductor Manufacturing Limited | Method and system for pulse frequency modulated switching mode power supplies |
US8197306B2 (en) * | 2008-10-31 | 2012-06-12 | Araca, Inc. | Method and device for the injection of CMP slurry |
US8845395B2 (en) | 2008-10-31 | 2014-09-30 | Araca Inc. | Method and device for the injection of CMP slurry |
FR2943240B1 (fr) * | 2009-03-17 | 2011-04-01 | Pascal Ratel | Necessaire pour le polissage d'une prothese dentaire |
US8045348B2 (en) | 2009-04-09 | 2011-10-25 | Bcd Semiconductor Manufacturing Limited | Switching mode power supply controller with high voltage startup circuits |
US20110097977A1 (en) * | 2009-08-07 | 2011-04-28 | Abrasive Technology, Inc. | Multiple-sided cmp pad conditioning disk |
WO2011142764A1 (en) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | Araca, Inc. | Method for cmp using pad in a bottle |
DE102010029792A1 (de) * | 2010-06-08 | 2011-12-08 | Robert Bosch Gmbh | Schleifwerkzeug für ein Schleifgerät mit Drehoszillationsantrieb |
US8429782B2 (en) | 2011-03-16 | 2013-04-30 | Timothy M. Russo | Polishing system, sub-system and pads |
US20120302148A1 (en) | 2011-05-23 | 2012-11-29 | Rajeev Bajaj | Polishing pad with homogeneous body having discrete protrusions thereon |
US9108291B2 (en) * | 2011-09-22 | 2015-08-18 | Dow Global Technologies Llc | Method of forming structured-open-network polishing pads |
US9067298B2 (en) | 2011-11-29 | 2015-06-30 | Nexplanar Corporation | Polishing pad with grooved foundation layer and polishing surface layer |
US9067297B2 (en) | 2011-11-29 | 2015-06-30 | Nexplanar Corporation | Polishing pad with foundation layer and polishing surface layer |
MX2014014206A (es) | 2012-05-22 | 2015-06-04 | Owens Corning Intellectual Cap | Producto de espuma laminada y metodos para preparar productos de espuma laminada. |
US9597769B2 (en) | 2012-06-04 | 2017-03-21 | Nexplanar Corporation | Polishing pad with polishing surface layer having an aperture or opening above a transparent foundation layer |
JP6254383B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2017-12-27 | 株式会社荏原製作所 | ドレッシング装置及びそれを備えた化学的機械的研磨装置、それに用いるドレッサーディスク |
US9798093B2 (en) * | 2014-07-11 | 2017-10-24 | Zynon Technologies, Llc | Article for cleaning optical fibers |
US9682461B2 (en) * | 2014-10-03 | 2017-06-20 | Showroom Polishing Systems Llc. | Sloped polishing pad with hybrid cloth and foam surface |
KR101647717B1 (ko) * | 2016-04-23 | 2016-08-11 | (주)라코텍 | 랩핑용 연마휠 및 그 제조 방법 |
EP3272456B1 (en) * | 2016-07-21 | 2019-03-13 | Delamare Sovra | A method for manufacturing in series optical grade polishing tools |
US9925637B2 (en) * | 2016-08-04 | 2018-03-27 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Tapered poromeric polishing pad |
CN107471090A (zh) * | 2017-09-30 | 2017-12-15 | 德清晶生光电科技有限公司 | 具有散热结构的游星轮 |
CN109202694B (zh) * | 2018-09-27 | 2020-07-24 | 江西龙正科技发展有限公司 | 一种多层纳米纤维化学机械抛光垫 |
CN113183008B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-11-25 | 安徽禾臣新材料有限公司 | 一种多孔聚氨酯抛光垫及其抛光垫凹部成型方法 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1777915A (en) * | 1927-08-03 | 1930-10-07 | Douglas Richard | Polisher |
US2319873A (en) * | 1941-10-13 | 1943-05-25 | William W Linz | Resilient body |
DE811671C (de) | 1950-04-12 | 1951-08-23 | Kurt R Dipl-Ing Scherer | Polierwerkzeug |
US3008168A (en) | 1958-12-08 | 1961-11-14 | Doyle Thomas | Abrasive polishing wheel |
US3317944A (en) * | 1965-12-15 | 1967-05-09 | Maurice A Napier | Multi-purpose sponge brush |
US3707012A (en) * | 1968-11-18 | 1972-12-26 | Levoy Inc S | Disposable scrub brush |
US3703739A (en) * | 1971-03-02 | 1972-11-28 | Beatrice Foods Co | Multiple layer surface working pads |
US3990124A (en) * | 1973-07-26 | 1976-11-09 | Mackay Joseph H Jun | Replaceable buffing pad assembly |
JPS55139845A (en) * | 1979-04-18 | 1980-11-01 | Hitachi Ltd | Motor ice shaver |
US4403367A (en) * | 1981-08-17 | 1983-09-13 | Miliken Research Corporation | Yarn pad |
JPS59114871A (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-03 | Toshiba Corp | シヨツトキ−ゲ−ト型GaAs電界効果トランジスタの製造方法 |
US4502174A (en) * | 1982-12-23 | 1985-03-05 | Land Industries | Polishing pad |
JPH0288348A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電動ポリッシャー |
US5396737B1 (en) | 1989-01-18 | 1997-12-23 | Minnesota Mining & Mfg | Compound glazing or polishing pad |
US5185964A (en) * | 1989-01-18 | 1993-02-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Compounding, glazing or polishing pad |
US4962562A (en) | 1989-01-18 | 1990-10-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Compounding, glazing or polishing pad |
US5007128B1 (en) | 1989-01-18 | 1993-12-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Compounding,glazing or polishing pad |
JPH0325588A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-04 | Nec Corp | 電子回路モジュール |
JPH0372482U (ru) * | 1989-11-21 | 1991-07-22 | ||
JPH0417742A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-22 | Toyota Motor Corp | 過給希薄燃焼ガソリン内燃機関の空燃比制御装置 |
JPH0715732Y2 (ja) * | 1990-05-25 | 1995-04-12 | ミネソタ マイニング アンド マニユフアクチユアリング カンパニー | 研磨用ディスクホルダ組立体 |
JPH05294211A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Giichi Wada | 自動車の車体表面磨き具 |
US5311634A (en) * | 1993-02-03 | 1994-05-17 | Nicholas Andros | Sponge cleaning pad |
JPH08228983A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-09-10 | Yoshie Shimada | 摺擦具 |
US5461750A (en) * | 1995-02-02 | 1995-10-31 | Kaiser; Richard A. | Double curved backing plate with cushioned support for rotary buffing pads |
AU7480896A (en) | 1995-12-04 | 1997-06-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article back up pad with foam layer |
US5822826A (en) * | 1996-05-15 | 1998-10-20 | Parker; Merilyn Stevens Mitchell | Decorating paint applying device |
JPH1014840A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-20 | Dekusutaa Pacific Kk | 清掃用布体 |
US5806135A (en) * | 1996-09-12 | 1998-09-15 | Earle; John R. | Apparatus for removing dust from an object |
US6523215B2 (en) * | 2001-04-04 | 2003-02-25 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Polishing pad and system |
-
2001
- 2001-04-04 US US09/826,343 patent/US6523215B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-03-15 US US10/099,166 patent/US6807705B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-19 TW TW091105217A patent/TW541225B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 JP JP2002579171A patent/JP4202764B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 AU AU2002306908A patent/AU2002306908B2/en not_active Ceased
- 2002-03-28 NZ NZ528154A patent/NZ528154A/en not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 CN CNB028079213A patent/CN100563934C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 RU RU2003129800/02A patent/RU2253560C1/ru not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 CA CA002441383A patent/CA2441383C/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 WO PCT/US2002/009466 patent/WO2002081149A1/en active IP Right Grant
- 2002-03-28 AT AT0906602A patent/AT500571B1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 MX MXPA03009088A patent/MXPA03009088A/es active IP Right Grant
- 2002-03-28 KR KR1020037012968A patent/KR100571689B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 BR BRPI0208567-4A patent/BR0208567B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 ES ES200350062A patent/ES2251281B2/es not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 DE DE10296621T patent/DE10296621B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 GB GB0323505A patent/GB2389516B/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-29 FR FR0204104A patent/FR2823145B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-04 BE BE2002/0241A patent/BE1014743A3/fr active
-
2003
- 2003-09-12 ZA ZA200307176A patent/ZA200307176B/en unknown
- 2003-10-02 SE SE0302605A patent/SE527121C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-02-24 HK HK05101545.3A patent/HK1070019A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-07-16 JP JP2008185114A patent/JP4955619B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2003129800A (ru) | Полировальник и система полирования | |
KR100307330B1 (ko) | 연마패드 | |
AU2002306908A1 (en) | Polishing pad and system | |
AU2003212732B2 (en) | Device in a circular, disk-shaped element intended for cleaning purposes | |
US20170361423A1 (en) | Polishing or grinding pad assembly | |
KR980000766A (ko) | 연마패드 및 그를 갖는 연마장치 | |
US4114225A (en) | Brush-like mounting device | |
WO2003061904B1 (en) | Chemical mechanical polishing apparatus and method having a retaining ring with a contoured surface for slurry distribution | |
CA2178436A1 (en) | Device for washing vehicles | |
GB2033214A (en) | Mounting Floor Polishing Brushes and Pads | |
JP2002085308A (ja) | 床面洗浄機用ブラシ装置 | |
CN218337923U (zh) | 磨手机玻璃打花毛刷盘 | |
KR102199135B1 (ko) | 기판 연마용 캐리어 및 이를 포함하는 기판 연마 장치 | |
CN220344159U (zh) | 一种便于清洁的防滑垫 | |
CN211511364U (zh) | 一种杯垫 | |
JPH09276196A (ja) | 清掃具 | |
CN108286582B (zh) | 吸收震动用复原防震装置 | |
KR950002233Y1 (ko) | Tv 브라운관 연마용 패드 (pad) | |
TWI241648B (en) | Workpiece periphery cleaning system | |
JP2002059352A (ja) | 研磨シュー | |
RU96102970A (ru) | Шлифовальный круг | |
KR960018855A (ko) | 모니터용 스탠드 | |
RU95112824A (ru) | Шабер для очистки валов бумагоделательной машины | |
RU97103836A (ru) | Подпятник для машин с вертикально-вращающимся в любую сторону валом |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150329 |