JP6254383B2 - ドレッシング装置及びそれを備えた化学的機械的研磨装置、それに用いるドレッサーディスク - Google Patents
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- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
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Description
CMP装置は、例えば、図16に示すように、上面に研磨パッド10を備えた研磨テーブル11と、半導体ウェハ等の基板を保持するトップリング12とを備えている。研磨パッド10、トップリング12をそれぞれ矢印の方向に回転させ、研磨パッド10上に研磨液を供給しながらトップリング12内に保持した基板を研磨パッド10に所定の圧力で押し付けることにより基板表面を研磨することができる。研磨液には、例えば、アルカリ溶液にシリカ等の微粒子を砥粒として懸濁したものを用いることができる。これにより、基板表面は、研磨パッドによる研磨だけでなく、研磨液のアルカリによる化学的研磨作用と、砥粒による機械的研磨作用とにより平坦化される。
ドレッシング装置13は、例えば、回転可能なホルダー部14と、ホルダー部に装着するドレッサーディスクとを備えている。ドレッサーディスクの底面はドレッシング面としてあり、ダイヤモンド粒子などが電着されている。ドレッシング面を回転させながら研磨パッド上に擦り付けることにより、研磨パッド10をドレッシングするとともに研磨パッド10に付着した砥粒や研磨屑などを取り除くことができる。
しかし、従来のドレッシング装置においては、例えば、図17(特許文献2の図4)に示されるように、ホルダー部14とドレッサーディスク15とを固定ねじや丸棒状のピンなどの固定具16で連結して、ホルダー部14の回転トルクをドレッサーディスク15に伝達するものであった。
このように固定ねじや丸棒状のピンなどの固定具16でドレッサーディスク15に回転トルクを伝達すると固定具16付近に局所的に応力が集中し、ドレッサーディスク15の回転が微妙に揺らぎ、水平回転を保てないことがあった。そのため、研磨パッド10との接触状況がミクロに変化し、研磨パッド10のドレッシングに影響を及ぼすことがあった。
また、前記接触面は、ドレッサーディスク側の接触面を凹溝に備え、ホルダー部側の接触面を凸条に備えることができ、また、前記接触面は、ディスク平面視において、ドレッサーディスクの回転中心に対して点対称に少なくとも一対形成することができる。
さらに、本発明の好ましい態様として、前記ドレッサーディスク側の接触面は、前記ドレッサーディスク平面視において、少なくとも半径方向内側と半径方向外側とに2つの端点を有し、前記ドレッサーディスクの回転中心から前記半径方向内側にある端点を通る直線を引いたときに、前記半径方向内側の端点と前記半径方向外側の端点とを結ぶ直線と一直線上になるように形成することができる。
前記凹凸状嵌合は、前記ドレッサーディスク平面視において、半円状乃至蒲鉾状に形成したり、楔形状に形成したりすることができる。
前記トルク伝達部は、前記ドレッサーディスク平面視において、半円状乃至蒲鉾状に形成したり、楔形状に形成したりすることができる。
ドレッシング装置1は、図1に示すように、CMP装置8に備えてあり、CMP装置8は半導体ウェハ等の基板を保持するトップリング9なども備えている。CMP装置8は、トップリング9、研磨パッド8bをそれぞれ矢印の方向に回転させ、研磨パッド8b上に研磨液を供給しながらトップリング9内に保持した基板を研磨パッド8bに所定の圧力で押し付けることにより基板表面を研磨することができる。研磨液には、例えば、アルカリ溶液にシリカ等の微粒子を砥粒として懸濁したものを用いることができる。これにより、基板表面は、研磨パッド8bによる研磨だけでなく、研磨液のアルカリによる化学的研磨作用と、砥粒による機械的研磨作用とにより平坦化することができる。
ホルダー部3の中心には円形状の開口部3aが形成してあり、ドレッサ駆動軸2に嵌め合せて連結できるようにしてある。ドレッサ駆動軸2に連結する方法は、これに限定されるものではなく、従来公知の連結方法を用いることができるが、例えば、球面軸受などを介して固定し、駆動軸2に対して傾動可能に連結することができる。
周壁部3cは、断面矩形状に形成し、その内側面は装着したドレッサーディスク4の外縁に沿うように形成してある。周壁部3cを設けることにより、ドレッサーディスク4の位置決めをし、回転時にドレッサーディスク4が遠心力によりずれることを防止できる。
トルク伝達部6は、互いに嵌り合う嵌合部5aと被嵌合部5bとで形成され、レッサ駆動軸2のトルクを、ホルダー部3からドレッサーディスク4に効率良く伝達することができる。被嵌合部5bは、凸状に形成することもでき、嵌合部5aに嵌り合うようにそれぞれ対応した凹凸状として形成することができる。嵌合部5a及び被嵌合部5bは、嵌合した際、略隙間なく嵌め合せできることが好ましく、また、周囲の各面は、略垂直な面とするのが好ましい。
トルク伝達部6を、平面視において、楔形状、長円状、長方形状などに形成した場合は、接触面7に対向する面も接触面7’にすることができ、どちら向きに回転しても対応できるドレッサーディスク4になる。
特に、図13に示すように、ドレッサーディスク4の回転中心及び接触面7の内側端点Iを通る直線上(つまりθ=0)になるように形成することが好ましい。図11又は図12に示すように、接触面7はディスク半径方向に対して斜めでもよいが、図13に示すよう接触面7がディスク半径方向になることにより、トルクの損失が減少し、トルクをドレッサーディスク4に確実に伝達できる。
1a支持アーム
2ドレッサ駆動軸
3ホルダー部
3a開口部
3b底面
3c周壁部
3dディスク収納部
4ドレッサーディスク
4aドレッシング面
5a嵌合部
5b被嵌合部
6トルク伝達部
7接触面
8CMP装置
8a研磨テーブル
8b研磨パッド
9トップリング
Claims (14)
- 研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置において、
研磨パッドに擦り付けるドレッシング面を有するドレッサーディスクと、
前記ドレッサーディスクを保持するホルダー部と、
前記ホルダー部に固定され、トルクを前記ドレッサーディスクに伝達するドレッサー駆動軸を有し、
前記ドレッサーディスクと前記ホルダー部とは、互いに装着され、かつ、前記ドレッサー駆動軸からのトルクを前記ドレッサーディスクに伝達するための接触面を有し、
前記接触面は、凹状側を周囲が閉鎖された凹溝状とした凹凸状嵌合により構成されてなり、前記ドレッサーディスク平面視において、少なくとも半径方向内側と半径方向外側とに2つの端点を有し、前記ドレッサーディスクの回転中心から前記半径方向内側にある端点を通る直線を引いたときに、前記半径方向内側の端点と前記半径方向外側の端点とを結ぶ直線となす角度が13°以下である、
ドレッシング装置。 - 前記ドレッサーディスクの上面は、凹凸状嵌合部分を除いて平面状に形成してあり、前記ドレッサーディスクを前記ホルダー部に装着した際、前記ドレッサーディスク及び前記ホルダー部が面状に接触する構成とした請求項1に記載のドレッシング装置。
- 前記接触面は、ドレッサーディスク側の接触面を凹溝に備え、ホルダー部側の接触面を凸条に備えた請求項1又は2に記載のドレッシング装置。
- 前記接触面は、ディスク平面視において、ドレッサーディスクの回転中心に対して点対称に少なくとも一対形成した請求項1〜3のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 前記ドレッサーディスク側の接触面は、前記ドレッサーディスク平面視において、少なくとも半径方向内側と半径方向外側とに2つの端点を有し、前記ドレッサーディスクの回転中心から前記半径方向内側にある端点を通る直線を引いたときに、前記半径方向内側の端点と前記半径方向外側の端点とを結ぶ直線と一直線上になる請求項1〜4のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 前記ホルダー部の外周部に、下方に突出する周壁部を有し、前記周壁部の前記ホルダー部半径方向内側にドレッサーディスクを収納できるディスク収納部を備えた請求項1〜5のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 前記接触面は、前記ドレッサーディスク平面視において、四角形状の前記凹凸状嵌合により構成されてなり、前記四角形状の凹凸状嵌合の前記ドレッサーディスク外縁側にある辺の幅は、前記凹凸状嵌合部の前記ドレッサーディスク内側にある辺から回転中心までの距離の1/2以下である請求項1〜6のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 前記接触面は、前記ドレッサーディスク平面視において、半径方向内側の端点と半径方向外側の端点を有し、前記半径方向内側の端点から前記半径方向外側の端点までの長さが、前記ドレッサーディスクの半径に対して0.4以上である請求項1〜7のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 前記凹凸状嵌合は、前記ドレッサーディスク平面視において、半円状乃至蒲鉾状に形成した請求項1〜8のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 前記凹凸状嵌合は、前記ドレッサーディスク平面視において、楔形状に形成した請求項1〜8のいずれかに記載のドレッシング装置。
- 請求項1〜10のいずれかに記載のドレッシング装置を備えた化学的機械的研磨装置。
- 研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置に用い、回転可能かつ上下動可能なドレッサー駆動軸に連結されたホルダー部に装着可能なドレッサーディスクにおいて、
ホルダー部に装着した際に、ホルダー部側の嵌合部に凹凸状嵌合する被嵌合部を有するトルク伝達部と、
トルク伝達部の周囲の一面として形成した平坦面状の接触面と、を備え、
前記接触面は、前記ドレッサーディスク平面視において、少なくとも半径方向内側と半径方向外側とに2つの端点を有し、前記ドレッサーディスクの回転中心から前記半径方向内側にある端点を通る直線を引いたときに、前記半径方向内側の端点と前記半径方向外側の端点とを結ぶ直線となす角度が13°以下であり、
前記嵌合部又は前記被嵌合部を周囲が閉鎖された凹状にして前記凹凸状嵌合できる、
ドレッサーディスク。 - 前記トルク伝達部は、前記ドレッサーディスク平面視において、半円状乃至蒲鉾状に形成した請求項12に記載のドレッサーディスク。
- 前記トルク伝達部は、前記ドレッサーディスク平面視において、楔形状に形成した請求項12に記載のドレッサーディスク。
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