CN109202694B - 一种多层纳米纤维化学机械抛光垫 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其结构包括自动固定装置、连接块、通孔、固定栓、多层纳米纤维化抛光垫、防滑纹，自动固定装置安装在连接块内部，连接块后端与多层纳米纤维化抛光垫前端固定连接，通孔设于连接块中心，连接块侧面装有防滑纹，固定栓按照相同角度依次排列于连接块内部；自动固定装置由减震装置、传动控制装置、左固定装置、缓冲装置、驱动装置、左固定装置、卡位装置组成，该装置内部能够自动进行收缩固定，抛光垫就能够通过该装置快速固定于抛光机的转头上，同时该装置固定的程度更加稳定，也更容易进行拆卸，这样能够增加工作人员使用的便捷性。

Description

一种多层纳米纤维化学机械抛光垫

技术领域

本发明涉及抛光垫处理技术领域，具体地说是一种多层纳米纤维化学机械抛光垫。

背景技术

化学机械抛光为已经在许多不同工业中用以磨平基板表面的常规工艺。在半导体工业中，随着元件特征尺寸越来越小，抛光和磨平的均匀性已变得越来越重要。

目前多层纳米纤维化学机械抛光垫需要通过外部物体才能够将抛光垫固定在抛光机上，这样不仅增加工作人员的工作难度，同时抛光垫固定的不稳定，容易脱落，降低使用的便捷性。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种多层纳米纤维化学机械抛光垫。

本发明采用如下技术方案来实现：一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其结构包括自动固定装置、连接块、通孔、固定栓、多层纳米纤维化抛光垫、防滑纹，所述自动固定装置安装在连接块内部，所述连接块后端与多层纳米纤维化抛光垫前端固定连接，所述通孔设于连接块中心，所述连接块侧面装有防滑纹，所述固定栓按照相同角度依次排列于连接块内部；所述自动固定装置由减震装置、传动控制装置、左固定装置、缓冲装置、驱动装置、左固定装置、卡位装置组成；所述减震装置底部与左固定装置顶部垂直连接，所述左固定装置顶部左端连接到传动控制装置右端底部前侧，所述左固定装置底部与缓冲装置顶部贴合连接，所述驱动装置左端前侧与左固定装置右端后侧面相啮合，所述卡位装置顶端内部与左固定装置左端底侧活动连接。

作为优化，所述自动固定装置由底板、弹簧、L形固定架、固定室、活动架组成，所述底板顶部与活动架底部垂直连接，所述活动架顶端两侧与固定室内部采用过度配合，所述L形固定架顶端与固定室右端底部垂直连接，所述L形固定架左端内部与活动架中端侧面活动连接，所述弹簧一端连接到底板右端顶部，另一端固定于L形固定架底部，所述底板底部与左固定装置顶部贴合连接。

作为优化，所述传动控制装置由电机、传输带、传动杆、齿轮盘、传动带、齿轮、联动齿轮、综合拉力杆、转轮、第一短杆、第二转轮、第二短杆、综合拉力带、拉力轮组成，所述电机底端侧面通过传输带与传动杆底端侧面进行传动连接，所述传动杆顶端后侧面与齿轮盘底端前侧相啮合，所述传动带两端分别连接到齿轮盘与齿轮前端侧面，所述齿轮底侧与联动齿轮顶侧相啮合，所述第一短杆一端连接到转轮中心前侧，另一端固定于综合拉力杆右端后侧面，所述第二短杆一端连接到第二转轮中心前侧，另一端固定于综合拉力杆右端后侧面，所述综合拉力杆左端连接到联动齿轮外圈后侧面，所述转轮、第二转轮侧面通过综合拉力带与拉力轮前端侧面进行传动连接，所述拉力轮前端侧面与左固定装置顶部左端固定连接。

作为优化，所述左固定装置由左机械爪、顶架、右机械爪、连接弹簧、传动齿轮、横向传动带、平移固定架、内杆组成，所述左机械爪顶端与顶架底部左端固定连接，所述右机械爪顶端与顶架底部右端固定连接，所述连接弹簧两端分别连接到左机械爪与右机械爪中端内部，所述左机械爪与右机械爪内侧面与传动齿轮贴合，所述传动齿轮前端侧面通过横向传动带与拉力轮前端侧面进行传动连接，所述传动齿轮底侧与平移固定架顶侧相啮合，所述平移固定架内部与内杆侧面滑动连接。

作为优化，所述缓冲装置由底座、第一交叉臂、缓冲杆、第二交叉臂、顶座组成，所述第一交叉臂底端与底座内部垂直连接，所述第一交叉臂顶部两端与第二交叉臂底部两端固定连接，所述缓冲杆两端分别连接到第一交叉臂顶部两端与第二交叉臂底部两端连接处，所述第二交叉臂顶端与顶座底端内部垂直连接。

作为优化，所述驱动装置由驱动电机、第二传输带、定位传动杆、被动齿轮、底部拉力带、底部齿轮盘组成，所述驱动电机左端侧面通过第二传输带与定位传动杆左端侧面进行传动连接，所述定位传动杆左端侧面与被动齿轮右侧相啮合，所述底部拉力带两端分别连接到被动齿轮与底部齿轮盘前端侧面，所述底部齿轮盘左端前侧与左固定装置右端后侧面相啮合。

作为优化，所述左固定装置由连接传动杆、导向齿轮盘、底部综合拉力带、固定架、螺栓、定位轮、拉力齿轮、左内杆、左平移固定架组成，所述连接传动杆左端后侧面与导向齿轮盘右端前侧相啮合，所述导向齿轮盘前端侧面通过底部综合拉力带与定位轮侧面、拉力齿轮前端侧面进行传动连接，所述定位轮后端与固定架左端内部垂直连接，所述螺栓左端贯穿固定架连接到定位轮后端内部，所述拉力齿轮顶侧与左平移固定架底侧相啮合，所述左平移固定架内部与左内杆侧面活动连接。

作为优化，所述卡位装置由右卡位爪、底架、拉力弹簧、左卡位爪组成，所述右卡位爪底端与底架顶部右端固定连接，所述底架顶部左端与左卡位爪底端固定连接，所述拉力弹簧两端分别连接到右卡位爪与左卡位爪中端内部，所述右卡位爪、左卡位爪顶端内侧与拉力齿轮底端贴合。

有益效果

本发明一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，在进行使用时，我们需要通过驱动电机产生驱动转矩通过第二传输带带动定位传动杆转动，从而带动被动齿轮转动，被动齿轮通过底部拉力带拉动底部齿轮盘转动，底部齿轮盘通过连接传动杆带动导向齿轮盘转动，导向齿轮盘通过底部综合拉力带拉动拉力齿轮转动，拉力齿轮能够控制左平移固定架往右移，电机产生驱动转矩通过传输带拉动传动杆转动，从而带动齿轮盘转动，齿轮盘通过传动带拉动齿轮转动，从而带动联动齿轮转动，联动齿轮通过综合拉力杆、第一短杆、第二短杆之间的传动拉动转轮与第二转轮转动，转轮与第二转轮通过综合拉力带拉动拉力轮转动，拉力轮通过横向传动带带动传动齿轮转动，传动齿轮能够控制平移固定架的左右移动，当平移固定架往左挤压，左平移固定架往右挤压时，该装置就能固定于抛光机的转头上，右卡位爪与左卡位爪通过拉力弹簧的拉力能够增加拉力齿轮转动需要的力，这样装置在进行工作时就不容易松开，减震装置能够降低左平移固定架受到的冲击力，传动控制装置能够为左固定装置提供动力，缓冲装置能够降低平移固定架受到的冲击力，驱动装置能够为左固定装置提供动力，卡位装置能够增加拉力齿轮转动的稳定形性。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该装置内部能够自动进行收缩固定，抛光垫就能够通过该装置快速固定于抛光机的转头上，同时该装置固定的程度更加稳定，也更容易进行拆卸，这样能够增加工作人员使用的便捷性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种多层纳米纤维化学机械抛光垫的结构示意图。

图2为本发明自动固定装置的结构示意图。

图3为本发明自动固定装置细化的结构示意图。

图4为本发明自动固定装置工作状态的结构示意图。

图中：自动固定装置1、连接块2、通孔3、固定栓4、多层纳米纤维化抛光垫5、防滑纹6、减震装置11、传动控制装置12、左固定装置13、缓冲装置14、驱动装置15、左固定装置16、卡位装置17、底板111、弹簧112、L形固定架113、固定室114、活动架115、电机121、传输带122、传动杆123、齿轮盘124、传动带125、齿轮126、联动齿轮127、综合拉力杆128、转轮129、第一短杆1210、第二转轮1211、第二短杆1212、综合拉力带1213、拉力轮1214、左机械爪131、顶架132、右机械爪133、连接弹簧134、传动齿轮135、横向传动带136、平移固定架137、内杆138、底座141、第一交叉臂142、缓冲杆143、第二交叉臂144、顶座145、驱动电机151、第二传输带152、定位传动杆153、被动齿轮154、底部拉力带155、底部齿轮盘156、连接传动杆161、导向齿轮盘162、底部综合拉力带163、固定架164、螺栓165、定位轮166、拉力齿轮167、左内杆168、左平移固定架169、右卡位爪171、底架172、拉力弹簧173、左卡位爪174。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4，本发明提供一种多层纳米纤维化学机械抛光垫技术方案：其结构包括自动固定装置1、连接块2、通孔3、固定栓4、多层纳米纤维化抛光垫5、防滑纹6，所述自动固定装置1安装在连接块2内部，所述连接块2后端与多层纳米纤维化抛光垫5前端固定连接，所述通孔3设于连接块2中心，所述连接块2侧面装有防滑纹6，所述固定栓4按照相同角度依次排列于连接块2内部；所述自动固定装置1由减震装置11、传动控制装置12、左固定装置13、缓冲装置14、驱动装置15、左固定装置16、卡位装置17组成；所述减震装置11底部与左固定装置16顶部垂直连接，所述左固定装置13顶部左端连接到传动控制装置12右端底部前侧，所述左固定装置13底部与缓冲装置14顶部贴合连接，所述驱动装置15左端前侧与左固定装置16右端后侧面相啮合，所述卡位装置17顶端内部与左固定装置16左端底侧活动连接，所述自动固定装置1由底板111、弹簧112、L形固定架113、固定室114、活动架115组成，所述底板111顶部与活动架115底部垂直连接，所述活动架115顶端两侧与固定室114内部采用过度配合，所述L形固定架113顶端与固定室114右端底部垂直连接，所述L形固定架113左端内部与活动架115中端侧面活动连接，所述弹簧112一端连接到底板111右端顶部，另一端固定于L形固定架113底部，所述底板111底部与左固定装置16顶部贴合连接，所述传动控制装置12由电机121、传输带122、传动杆123、齿轮盘124、传动带125、齿轮126、联动齿轮127、综合拉力杆128、转轮129、第一短杆1210、第二转轮1211、第二短杆1212、综合拉力带1213、拉力轮1214组成，所述电机121底端侧面通过传输带122与传动杆123底端侧面进行传动连接，所述传动杆123顶端后侧面与齿轮盘124底端前侧相啮合，所述传动带125两端分别连接到齿轮盘124与齿轮126前端侧面，所述齿轮126底侧与联动齿轮127顶侧相啮合，所述第一短杆1210一端连接到转轮129中心前侧，另一端固定于综合拉力杆128右端后侧面，所述第二短杆1212一端连接到第二转轮1211中心前侧，另一端固定于综合拉力杆128右端后侧面，所述综合拉力杆128左端连接到联动齿轮127外圈后侧面，所述转轮129、第二转轮1211侧面通过综合拉力带1213与拉力轮1214前端侧面进行传动连接，所述拉力轮1214前端侧面与左固定装置13顶部左端固定连接，所述左固定装置13由左机械爪131、顶架132、右机械爪133、连接弹簧134、传动齿轮135、横向传动带136、平移固定架137、内杆138组成，所述左机械爪131顶端与顶架132底部左端固定连接，所述右机械爪133顶端与顶架132底部右端固定连接，所述连接弹簧134两端分别连接到左机械爪131与右机械爪133中端内部，所述左机械爪131与右机械爪133内侧面与传动齿轮135贴合，所述传动齿轮135前端侧面通过横向传动带136与拉力轮1214前端侧面进行传动连接，所述传动齿轮135底侧与平移固定架137顶侧相啮合，所述平移固定架137内部与内杆138侧面滑动连接，所述缓冲装置14由底座141、第一交叉臂142、缓冲杆143、第二交叉臂144、顶座145组成，所述第一交叉臂142底端与底座141内部垂直连接，所述第一交叉臂142顶部两端与第二交叉臂144底部两端固定连接，所述缓冲杆143两端分别连接到第一交叉臂142顶部两端与第二交叉臂144底部两端连接处，所述第二交叉臂144顶端与顶座145底端内部垂直连接，所述驱动装置15由驱动电机151、第二传输带152、定位传动杆153、被动齿轮154、底部拉力带155、底部齿轮盘156组成，所述驱动电机151左端侧面通过第二传输带152与定位传动杆153左端侧面进行传动连接，所述定位传动杆153左端侧面与被动齿轮154右侧相啮合，所述底部拉力带155两端分别连接到被动齿轮154与底部齿轮盘156前端侧面，所述底部齿轮盘156左端前侧与左固定装置16右端后侧面相啮合，所述左固定装置16由连接传动杆161、导向齿轮盘162、底部综合拉力带163、固定架164、螺栓165、定位轮166、拉力齿轮167、左内杆168、左平移固定架169组成，所述连接传动杆161左端后侧面与导向齿轮盘162右端前侧相啮合，所述导向齿轮盘162前端侧面通过底部综合拉力带163与定位轮166侧面、拉力齿轮167前端侧面进行传动连接，所述定位轮166后端与固定架164左端内部垂直连接，所述螺栓165左端贯穿固定架164连接到定位轮166后端内部，所述拉力齿轮167顶侧与左平移固定架169底侧相啮合，所述左平移固定架169内部与左内杆168侧面活动连接，所述卡位装置17由右卡位爪171、底架172、拉力弹簧173、左卡位爪174组成，所述右卡位爪171底端与底架172顶部右端固定连接，所述底架172顶部左端与左卡位爪174底端固定连接，所述拉力弹簧173两端分别连接到右卡位爪171与左卡位爪174中端内部，所述右卡位爪171、左卡位爪174顶端内侧与拉力齿轮167底端贴合。

在进行使用时，我们需要通过驱动电机151产生驱动转矩通过第二传输带152带动定位传动杆153转动，从而带动被动齿轮154转动，被动齿轮154通过底部拉力带155拉动底部齿轮盘156转动，底部齿轮盘156通过连接传动杆161带动导向齿轮盘162转动，导向齿轮盘162通过底部综合拉力带163拉动拉力齿轮167转动，拉力齿轮167能够控制左平移固定架169往右移，电机121产生驱动转矩通过传输带122拉动传动杆123转动，从而带动齿轮盘124转动，齿轮盘124通过传动带125拉动齿轮126转动，从而带动联动齿轮127转动，联动齿轮127通过综合拉力杆128、第一短杆1210、第二短杆1212之间的传动拉动转轮129与第二转轮1211转动，转轮129与第二转轮1211通过综合拉力带1213拉动拉力轮1214转动，拉力轮1214通过横向传动带136带动传动齿轮135转动，传动齿轮135能够控制平移固定架137的左右移动，当平移固定架137往左挤压，左平移固定架169往右挤压时，该装置就能固定于抛光机的转头上，右卡位爪171与左卡位爪174通过拉力弹簧173的拉力能够增加拉力齿轮167转动需要的力，这样装置在进行工作时就不容易松开，减震装置11能够降低左平移固定架169受到的冲击力，传动控制装置12能够为左固定装置13提供动力，缓冲装置14能够降低平移固定架137受到的冲击力，驱动装置15能够为左固定装置16提供动力，卡位装置17能够增加拉力齿轮167转动的稳定形性。

本发明相对现有技术获得的技术进步是：该装置内部能够自动进行收缩固定，抛光垫就能够通过该装置快速固定于抛光机的转头上，同时该装置固定的程度更加稳定，也更容易进行拆卸，这样能够增加工作人员使用的便捷性。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其结构包括自动固定装置、连接块、通孔、固定栓、多层纳米纤维化抛光垫、防滑纹，其特征在于：

所述自动固定装置安装在连接块内部，所述连接块后端与多层纳米纤维化抛光垫前端固定连接，所述通孔设于连接块中心，所述连接块侧面装有防滑纹，所述固定栓按照相同角度依次排列于连接块内部；

所述自动固定装置由减震装置、传动控制装置、左固定装置、缓冲装置、驱动装置、左固定装置、卡位装置组成；

所述减震装置底部与左固定装置顶部垂直连接，所述左固定装置顶部左端连接到传动控制装置右端底部前侧，所述左固定装置底部与缓冲装置顶部贴合连接，所述驱动装置左端前侧与左固定装置右端后侧面相啮合，所述卡位装置顶端内部与左固定装置左端底侧活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述自动固定装置由底板、弹簧、L形固定架、固定室、活动架组成，所述底板顶部与活动架底部垂直连接，所述活动架顶端两侧与固定室内部采用过度配合，所述L形固定架顶端与固定室右端底部垂直连接，所述L形固定架左端内部与活动架中端侧面活动连接，所述弹簧一端连接到底板右端顶部，另一端固定于L形固定架底部，所述底板底部与左固定装置顶部贴合连接。

3.根据权利要求1所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述传动控制装置由电机、传输带、传动杆、齿轮盘、传动带、齿轮、联动齿轮、综合拉力杆、转轮、第一短杆、第二转轮、第二短杆、综合拉力带、拉力轮组成，所述电机底端侧面通过传输带与传动杆底端侧面进行传动连接，所述传动杆顶端后侧面与齿轮盘底端前侧相啮合，所述传动带两端分别连接到齿轮盘与齿轮前端侧面，所述齿轮底侧与联动齿轮顶侧相啮合，所述第一短杆一端连接到转轮中心前侧，另一端固定于综合拉力杆右端后侧面，所述第二短杆一端连接到第二转轮中心前侧，另一端固定于综合拉力杆右端后侧面，所述综合拉力杆左端连接到联动齿轮外圈后侧面，所述转轮、第二转轮侧面通过综合拉力带与拉力轮前端侧面进行传动连接，所述拉力轮前端侧面与左固定装置顶部左端固定连接。

4.根据权利要求1或3所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述左固定装置由左机械爪、顶架、右机械爪、连接弹簧、传动齿轮、横向传动带、平移固定架、内杆组成，所述左机械爪顶端与顶架底部左端固定连接，所述右机械爪顶端与顶架底部右端固定连接，所述连接弹簧两端分别连接到左机械爪与右机械爪中端内部，所述左机械爪与右机械爪内侧面与传动齿轮侧面贴合，所述传动齿轮前端侧面通过横向传动带与拉力轮前端侧面进行传动连接，所述传动齿轮底侧与平移固定架顶侧相啮合，所述平移固定架内部与内杆侧面滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述缓冲装置由底座、第一交叉臂、缓冲杆、第二交叉臂、顶座组成，所述第一交叉臂底端与底座内部垂直连接，所述第一交叉臂顶部两端与第二交叉臂底部两端固定连接，所述缓冲杆两端分别连接到第一交叉臂顶部两端与第二交叉臂底部两端连接处，所述第二交叉臂顶端与顶座底端内部垂直连接。

6.根据权利要求1所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述驱动装置由驱动电机、第二传输带、定位传动杆、被动齿轮、底部拉力带、底部齿轮盘组成，所述驱动电机左端侧面通过第二传输带与定位传动杆左端侧面进行传动连接，所述定位传动杆左端侧面与被动齿轮右侧相啮合，所述底部拉力带两端分别连接到被动齿轮与底部齿轮盘前端侧面，所述底部齿轮盘左端前侧与左固定装置右端后侧面相啮合。

7.根据权利要求1或2或6所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述左固定装置由连接传动杆、导向齿轮盘、底部综合拉力带、固定架、螺栓、定位轮、拉力齿轮、左内杆、左平移固定架组成，所述连接传动杆左端后侧面与导向齿轮盘右端前侧相啮合，所述导向齿轮盘前端侧面通过底部综合拉力带与定位轮侧面、拉力齿轮前端侧面进行传动连接，所述定位轮后端与固定架左端内部垂直连接，所述螺栓左端贯穿固定架连接到定位轮后端内部，所述拉力齿轮顶侧与左平移固定架底侧相啮合，所述左平移固定架内部与左内杆侧面活动连接。

8.根据权利要求1所述的一种多层纳米纤维化学机械抛光垫，其特征在于：所述卡位装置由右卡位爪、底架、拉力弹簧、左卡位爪组成，所述右卡位爪底端与底架顶部右端固定连接，所述底架顶部左端与左卡位爪底端固定连接，所述拉力弹簧两端分别连接到右卡位爪与左卡位爪中端内部，所述右卡位爪、左卡位爪顶端内侧与拉力齿轮底端贴合。

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