KR980000766A - 연마패드 및 그를 갖는 연마장치 - Google Patents

연마패드 및 그를 갖는 연마장치 Download PDF

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Abstract

가요성 재료로 만들어진 연마패드는 제1주면, 제2주면, 및 다수의 구멍을 포함한다. 제1주면은 회전 가능한 피연마 부재에 의해 압박되어 연마제를 사용하여 압박된 피연마 주재의 피연마 표면을 연마한다. 제2주면은 회전 가능한 플래튼에 부착된다. 다수의 구멍은 제1 및 제2주면 사이에 뻗어 있으며 연마제 저장기로서 작용한다. 구멍은 제1주면에서보다는 제2주면에서 더 큰 개방영역을 갖는다. 연마장치가 또한 개시된다.

Description

연마패드 및 그를 갖는 연마장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예 1에 따른 연마장치의 구성을 도시하는 개략도.

Claims (8)

  1. 회전성 피연마 부재에 의해 압박되어 연마제를 사용하여 압박된 피연마부재의 피연마 표면을 연마하는 제1주면(110b), 회전성 플래튼에 부차된 제2주면(110a), 및 상기 제1 및 제2주면 사이에 뻗어 있으며, 연마제 저장기로서 작용하며, 상기 제1주면에서보다 상기 제2주면 상에서 더 큰 평면적을 차지하는 다수의 구멍(114)을 구비하는 것을 특징으로 하는 가요성 재료로 만들어진 연마패드.
  2. 제1항에 있어서, 소정의 단면적을 갖는 다수의 제1구멍(115)으로 형성되어 상기 제1주면을 형성하는 제1연마패드층(111), 제1구멍보다 큰 소정의 단면적을 갖는 다수의 제2구멍으로 형성되어 상기 제2주면을 형성하는 제2연마패드층(112)을 구비하며, 상기 구멍은 상기 제1 및 제2연마패드층을 밀착하여 서로 결합되는 제1및 제2구멍에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마패드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 연마패드는 상기 제1주면으로부터 상기 제2주면까지의 부분을 포함하는 한 개의 연마패드층을 구비하며, 상기구멍은 상기 연마패드층을 통해 뻗어서 형성되어 소정의 평면적비를 갖는 상기 제1 및 제2주면에서 개방되는 것을 특징으로 하는 연마패드.
  4. 제1항에 있어서, 구멍은 볼록한 종단면을 갖는 것을 특징으로 하는 연마패드.
  5. 제1항에 있어서, 구멍은 행렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 연마패드.
  6. 회전성 플래튼(14), 가요성 재료로 만들어지며 상기 플래튼에 부착되며, 연마패드 부재와 접촉하게 되는 제1주면(110b), 상기 연마패드와 접촉하게 되는 제2주면(110a) 및 연마제 저장기로서 작용하는 다수의구멍(114)을 갖는 연마패드(110), 회전하는 동안 피연마 부재를 지지하여 상기 회전하는 연마패드에 대해 피연마 부재를 압박하는 웨이퍼 지지대(144), 및 연마하는 동안 피연마 부재의 피연마 표면에 연마제(147)를 공급하는 연마제 공급부(146)을 구비하며, 상기 구멍은 상기 제1주면에서보다 상기 제2주면에서 더 큰 평면적을 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 구멍은 볼록한 종단면을 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 플래튼과 상기 연마패드 사이에 배치된 하층시트(142)를 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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