PT1036212E - Sistema para revestimento de apoios deslizantes em vacuo - Google Patents

Description

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DESCRIÇÃO “ SISTEMA DE REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO” A presente invenção diz respeito a um sistema para o revestimento de apoios deslizantes em vácuo.

Os apoios deslizantes - designados também por chumaceiras de casquilho -apresentam superfícies com uma curvatura côncava em cuja superfície interior assenta o veio é equipada com um sistema de camadas. 0 revestimento realiza-se em instalações de revestimento em vácuo.

Tais apoios deslizantes são utilizados, principalmente, para aguentar cargas elevadas na indústria de construção de máquinas e veículos.

As instalações de passagem para o revestimento de substratos em vácuo são conhecidas desde longa data. 2 .//

Os substratos podem apresentar dimensões, materiais e geometrias diferentes, podendo ser, por exemplo, tiras, peças ou substratos de vidro.

Ao longo de uma passagem, são aplicadas nestes substratos uma ou várias camadas.

Os substratos entram na respectiva instalação de passagem por meio de comportas.

Em função do sistema de camadas a aplicar, é realizado, normalmente, um tratamento prévio na respectiva câmara de vácuo, antes de ser aplicado, a seguir, numa ou várias câmaras de revestimento, o respectivo sistema de camadas.

Depois do revestimento, o substrato sai da instalação de passagem, novamente por meio de uma comporta.

Ao longo deste tipo de instalações de passagem de vácuo em vácuo, é aplicado todo o sistema de camadas.

Os substratos são movimentados quase constantemente através de toda a instalação.

Numa instalação de passagem deste tipo, destinada ao revestimento de 3 substratos planos, como, por exemplo, tiras ou placas de vidro colocadas em fila, também é conhecido o processo de aplicar várias camadas diferentes, no respeitante ao material e à espessura, usando processos diferentes de revestimento em vácuo. É conhecido o processo de aplicar, numa única passagem, duas camadas por pulverização e depois uma camada por evaporação. [Surface and Coatings Technology, 93(1997), pág. 51-57], A instalação de passagem é adequada para materiais em forma de tira que, mesmo sendo usados processos de revestimento diferentes, passa pela instalação com uma velocidade constante.

No entanto, apresenta a desvantagem de esta instalação e o processo nela realizado não serem adequados quando se pretende revestir substratos que apresentam parâmetros de geometria e de materiais de revestimento que requerem uma velocidade de transporte diferente e um regime de transporte diferenciado.

Também é conhecida uma instalação de passagem para o revestimento de pás de turbina (DE 195 37 092 C1).

Nessa instalação de passagem, são aplicadas às pás de turbina camadas resistentes a temperaturas elevadas. 4 A aplicação destas camadas realiza-se, a temperaturas elevadas, pelo processo de evaporação por feixes de electrões, em que as pás de turbina têm de ser aquecidas a temperaturas de cerca de 1000 0 C, antes de poderem receber o revestimento. O revestimento a estas temperaturas obriga à utilização de um número elevado de equipamentos que só se justifica para o revestimento de pás de turbina. O revestimento realiza-se num processo único.

Além disso, são conhecidos processos e instalações para o revestimento de apoios deslizantes.

Trata-se de instalações de carga compostas, geralmente, por uma câmara de vácuo.

Depois de um tratamento prévio, é nesta câmara de vácuo que se realiza a aplicação de uma camada de deslizamento final num apoio deslizante já revestido, usando para o efeito o processo de pulverização. A qualidade da camada de deslizamento aplicada é um dos factores dos quais depende o cumprimento dos requisitos a serem preenchidos pelos apoios deslizantes (DE 36 06 529 C2; AT 392 291 B). 5 v<

Uma desvantagem consiste em que, devido ao processo, a aplicação da camada de deslizamento pelo processo de pulverização requer uma introdução de energia muito elevada nos apoios deslizantes. A camada de deslizamento - que, em regra, contém um material de estanho - não pode ser aplicada a uma temperatura qualquer, devido ao estanho que funde a uma temperatura baixa.

Por isso, a aplicação de camadas de deslizamento de elevado valor requer que a energia provocada pelo processo seja reduzida para uma temperatura tolerável, por exemplo, pelo processo de arrefecimento a óleo.

Para esse efeito, entra e sai de cada suporte dos apoios deslizantes durante a aplicação da camada, um líquido de arrefecimento.

Nas instalações de carga este tipo de arrefecimento é possível sem problemas.

Mas se o revestimento dos apoios deslizantes se realizar numa instalação de revestimento executada como instalação de passagem, onde numa sequência de vácuos devem ser aplicadas várias camadas, usando para o efeito várias câmaras de vácuo separadas por comportas, o arrefecimento habitual por um líquido é bastante complicado.

Devido ao seu funcionamento tipo depósito, as instalações de carga têm a 6 desvantagem de a sua produtividade ser mais reduzida que a das instalações de passagem que funcionam continuamente ou quase continuamente. A produtividade mais reduzida das instalações de carga resulta do funcionamento descontínuo e da frequente entrada e saída de ar em grande parte da instalação.

Foi apresentado um processo para o fabrico de apoios deslizantes em que a camada de deslizamento é aplicada pelo processo de evaporação por feixes de electrões.

Este processo permite aplicar a camada de deslizamento em apoios deslizantes com uma velocidade mais elevada, comparada com a pulverização, reduzindo, simultaneamente, a introdução de energia nos apoios deslizantes (DE 195 14 836 A1).

No entanto, este processo ainda não foi aplicado na indústria, e actualmente não se conhece nenhuma instalação destinada à utilização deste processo em apoios deslizantes em que este processo possa ser aplicado em condições industriais. A presente invenção baseia-se no objectivo de criar um sistema para o revestimento de apoios deslizantes em vácuo que permita aplicar várias camadas de materiais diferentes e com espessuras diferentes, além de proporcionar uma produtividade elevada. O sistema deve permitir uma velocidade de passagem elevada e, ao mesmo tempo, custos reduzidos.

Deve garantir o cumprimento de parâmetros importantes do processo dentro de tolerâncias limite estreitas. A temperatura dos apoios deslizantes a revestir deve ser mantida constante durante o processo, dentro de limites estreitos. A instalação deve estar adequada para executar vários processos de vácuo necessários para o processo global.

De acordo com a invenção, o objectivo é atingido pelas características da reivindicação 1.

Outros modos de realização estão descritos nas reivindicações (2) a 17. 0 sistema executado como instalação de passagem está construído por forma a incluir várias câmaras de vácuo sucessivas, havendo em cada câmara de vácuo os meios necessários para o passo de processo que se pretende realizar dentro dela.

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Além disso, o sistema possui, antes ou depois das câmaras de vácuo, câmaras de comporta para a entrada e saída dos corpos de suporte.

Os corpos de suporte, que são temperáveis, destinam-se à recepção dos apoios deslizantes e podem ser movimentados sobre um transportador através de todo o sistema.

Das câmaras de vácuo com os seus meios em função do processo fazem parte pelo menos uma câmara de pre-tratamento com pelo menos um dispositivo de corrosão, uma primeira câmara de revestimento com pelo menos uma fonte de pulverização e uma segunda câmara de revestimento com pelo menos um dispositivo de evaporação por feixes de electrões. A câmara de vácuo com o dispositivo de evaporação por feixes de electrões é executada por forma a haver em ambos os lados da área de evaporação da câmara de revestimento uma área tampão.

Essencial para a invenção é a execução temperável do corpo de suporte ou a possibilidade de temperar os apoios deslizantes.

Para esse efeito, os corpos de suporte estão executados por forma a que os apoios deslizantes entrem com união mecânica efectiva na recepção dos corpos de suporte onde são fixados com uma força ajustável. 9 9

Devido à recepção com união mecânica efectiva e união aderente é conseguida uma boa transmissão térmica dos apoios deslizantes ao corpo de suporte.

Assim, fica garantido que o calor introduzido nos apoios deslizantes pelo processo seja desviado para o corpo de suporte sendo evitado um aquecimento demasiadamente elevado dos apoios deslizantes. É principalmente devido ao dimensionamento e à execução da parte dos corpos de suporte utilizada para a têmpera que não é apenas armazenado o calor introduzido, mas que a temperatura dos apoios deslizantes possa ser ajustada dentro de uma determinada gama.

Assim, este tipo de execução dos corpos de suporte garante que a temperatura dos apoios deslizantes durante um processo de revestimento -pulverização ou evaporação - seja ajustada para um determinado valor e se mantenha constante dentro de limites estreitos.

Isto é, baseado em cálculos e ensaios, o tamanho, a forma e o tipo de material são usados para a têmpera.

Sobretudo quando se trata da aplicação de camadas que contêm metais com um ponto de fusão baixo, é absolutamente necessário observar uma gama de temperaturas de tolerâncias apertadas, a fim de poderem ser obtidas camadas com uma qualidade elevada. 10

Assim, para a aplicação de uma camada de deslizamemto AISn através do processo de evaporação por feixes de electrões, a temperatura dos apoios deslizantes deve situar-se entre os 140° C e os 160° C. A forma de execução temperável dos corpos de suporte contribui, de forma essencial, para a combinação dos vários processos de revestimento diferentes.

Enquanto os elementos de arrefecimento normalmente se destinam à dissipação de calor, aqui os corpos de suporte temperáveis permitem, por um lado, a absorção do calor durante a corrosão e o revestimento nas primeiras câmaras e, por outro, servir como tampão de calor na segunda câmara de revestimento, podendo transmitir o calor aos apoios deslizantes.

Assim, garantem que na segunda câmara de revestimento a temperatura dos apoios deslizantes seja mantida numa gama predefinida de tolerâncias estreitas.

Isto é importante quando se trata da aplicação de camadas compostas por metais com um ponto de fusão baixo, uma vez que daí depende a qualidade das camadas e, por conseguinte, de toda o apoio deslizante.

Assim, é o ajuste de várias temperaturas nos corpos de suporte que permite aplicar camadas de vários materiais, cada uma com uma qualidade 11 satisfatória.

Uma outra característica essencial da invenção é a existência de áreas tampão.

Cada processo de revestimento dispõe do seu próprio decurso temporal que não pode ser aplicado a um outro processo de revestimento.

Assim, cada processo de revestimento requer um movimento diferente dos apoios deslizantes através da fonte de revestimento.

Enquanto a corrosão e a pulverização se realizam de forma estacionária e descontínua, exigindo apenas um movimento gradual dos corpos de suporte, a evaporação por feixes de electrões requer um modo de serviço contínuo e, por isso, um movimento diferente, adaptado a esta parte do processo.

Este movimento pode ser uniforme ou não.

Além disso, também os tempos de permanência nas várias câmaras de revestimento são diferentes. É a existência das áreas tampão juntamente com um programa de controlo que permite a realização conjunta dos dois processos de revestimento diferentes - pulverização descontínua e evaporação contínua - na mesma 12 instalação e numa única passagem.

Assim, a existência de áreas tampão ou câmaras tampão constitui um elo de ligação importante para conseguir uma compensação entre os vários processos de movimentação e as áreas de pressão de trabalho totalmente diferentes destes dois processos, a fim de permitir uma passagem contínua dos elementos de deslizamento de atmosfera a atmosfera.

Assim, o sistema de acordo com a invenção permite, de forma surpreendente, revestir apoios deslizantes com várias camadas numa sequência de vácuos, usando processos diferentes, mas numa única passagem, sem intervalos na atmosfera, conseguindo uma produtividade elevada.

Outros tipos de execução favoráveis do sistema são constituídos, além da execução dos corpos de suporte, pelo facto de a parte temperável dos corpos de suporte ser de cobre.

Mas também podem ser utilizáveis todos os outros materiais que possuem uma boa condutibilidade térmica e uma elevada capacidade térmica específica. A disposição dos apoios deslizantes nos corpos de suporte pode ser lado a lado e em uma ou várias filas, na direcção de transporte ou formando um 13 ângulo recto com esta. A câmara de pre-tratamento dispõe, de preferência, de um sistema de entrada de gás, por forma a poderem ser realizados processos à base de plasma ou pre-tratamentos reactivos. O dispositivo de corrosão está equipado com um campo magnético, ou então pode haver fontes de plasma separados, por exemplo, cátodos ocos.

Como fonte de pulverização da primeira câmara de revestimento podem ser usadas todas as fontes de pulverização conhecidas, com ou sem campo magnético.

Como dispositivos de evaporação por feixes de electrões também podem ser usadas todas as fontes de feixes de electrões conhecidas, de preferência, canhões axiais. A pequena cuba de evaporação pode ser executada como dispositivo de evaporação de uma ou várias pequenas cubas que é adaptada à geometria dos elementos de deslizamento a revestir, a fim de obter um revestimento homogéneo. O material de evaporação pode ser introduzido através do fundo da pequena cuba de evaporação, em forma de arame, granel ou barra.

Um dispositivo para temperar encontra-se, de forma favorável, à frente da câmara de comporta do lado da entrada.

Mas também pode ser montado em qualquer outro local do sistema ou fora deste. A têmpera também pode ser realizada em cada uma das câmaras de vácuo.

Apenas deve estar garantido que a temperatura dos apoios deslizantes no momento da aplicação da camada de deslizamento se situe dentro da gama predefinida. A têmpera pode ser realizada, de preferência, sob pressão atmosférica, por meios líquidos ou gasosos. A entrada e a saída do fluido realiza-se de forma conhecida.

Também é possível colocar os respectivos elementos de têmpera no local do processo no vácuo, a fim de conseguir a têmpera através da compressão ou do encosto destes elementos de têmpera. É principalmente favorável montar um dispositivo de têmpera adicional a seguir à estação de descarregamento, a fim de conseguir o arrefecimento dos corpos de suporte. 15

Todas as câmaras de vácuo podem ser evacuadas por bombas de vácuo.

Um sistema de comando e controlo garante que o processo se realiza sempre em função do respectivo revestimento. O sistema é descrito mais pormenorizadamente com a ajuda de um modo de realização. O respectivo desenho mostra um corte através do sistema de revestimento de elementos de deslizamento.

Dentro de uma câmara de têmpera (1) encontra-se um dispositivo de têmpera para corpos de suporte (2) nos quais os apoios deslizantes (3) estão fixados de modo a formarem uma união efectiva.

Os elementos de têmpera são pressionados contra os corpos de suporte (2).

Assim, os corpos de suporte (2) são temperados para 90° C. A seguir à câmara de têmpera (1) há uma câmara de comporta (5), passando por uma válvula de vácuo (4).

Todas as câmaras de vácuo estão separadas entre si por válvulas de vácuo 849. 16 C - .< ·' ' f A câmara de comporta (5) destina-se à entrada dos corpos de suporte (2) provenientes da atmosfera para o vácuo.

Os corpos de suporte (2) podem ser movimentados sobre um transportador (6), por forma a poderem percorrer o sistema. O accionamento encontra-se integrado em cada um dos corpos de suporte (2). À câmara de comporta (5) segue uma câmara de pre-tratamento (7).

Esta está equipada com um dispositivo de corrosão (8) com campo magnético, a fim de poder ser realizado o pre-tratamento dos apoios deslizantes (3) suportadas pelos corpos de deslizamento (2), por meio de um plasma intensivo.

Este plasma passa por um campo magnético dotado de uma forma especial que trabalha segundo o princípio de magnetrão. O dispositivo de corrosão (8) é executado de modo a que os corpos de suporte com os apoios deslizantes (3) e o transportador (6) se encontrem no potencial de terra. A seguir, os corpos de suporte (2) temperados são deslocados para o interior

de uma primeira câmara de revestimento (9).

Aqui encontra-se um magnetrão (10), a uma distância adequada à geometria dos apoios deslizantes (3), com um alvo de pulverização de NiCr.

Nesta primeira câmara de revestimento (9) é aplicada nos apoios deslizantes uma camada de NiCr, através do processo de pulverização. O movimento dos corpos de suporte (2) através desta câmara de revestimento (9) realiza-se de forma descontínua. A seguir, os corpos de suporte entram na segunda câmara de revestimento (11) onde permanecem, inicialmente, numa primeira área tampão (12).

Esta área tampão (12) destina-se à adaptação dos vários regimes de transporte na primeira e na segunda câmara de revestimento (11) e à adaptação às várias pressões de serviço.

Enquanto os corpos de suporte (2) são deslocados descontinuamente através do magnetrão 10, o movimento dos corpos de suporte (2) através da área de revestimento (13) da segunda câmara de revestimento (11) é contínuo.

Na área tampão (12) encontram-se vários corpos de suporte (2). 18 <7 -

Um programa de comando do transporte garante que a fila descontínua dos corpos de suporte (2) seja transformada numa fila de corpos de suporte (2) sem intervalos e que o funcionamento do dispositivo de evaporação possa realizar-se de forma contínua, o que significa que várias filas de corpos de transporte (2) sejam movimentadas lado a lado passando esta área através do dispositivo de evaporação. A seguir, por meio da área tampão (18), a fila de corpos de transporte (2) sem intervalos é transformada novamente numa fila de corpos de transporte (2) com um movimento descontínuo, capaz de passar pelas comportas.

Na área de revestimento (13) encontra-se um dispositivo de evaporação por feixes de electrões.

Este é constituído por um canhão de electrões axial (14) cujo feixe de electrões (15) é dirigido, de forma conhecida, para um produto de evaporação (17) que se encontra numa pequena cuba de evaporação (16), passando através de um campo magnético.

Como produto de evaporação (17) é utilizada uma liga de AISn que em forma de uma barra pode ser conduzida através do fundo da pequena cuba de evaporação (16), saindo de um depósito (17).

Enquanto os apoios deslizantes (3) são movimentadas através do dispositivo

19 C^£ * de evaporação por feixes de electrões, é aplicada nos apoios deslizantes (3) uma segunda camada - uma camada de deslizamento.

Através da área tampão (18) descrita e uma outra câmara de comporta (19), os corpos de suporte (2) saem do sistema, sendo os apoios deslizantes (3) retirados dos corpos de suporte (2) na zona da saída (20). LISBOA, 5 de SETEMBRO de 2001

Claims (17)

1 REIVINDICAÇÕES 1. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, com pelo menos uma camada intermédia e pelo menos uma camada de deslizamento, constituído por uma fila de câmaras de vácuo sucessivas, separadas por válvulas de vácuo ou níveis de pressão, servindo pelo menos uma das câmaras de vácuo como câmara de comporta para a entrada dos apoios deslizantes nâo revestidos para o vácuo e/ou a saída do vácuo dos apoios deslizantes revestidos, em que pelo menos uma outra câmara de vácuo se destina ao pre-tratamento dos apoios deslizantes não revestidos através de um processo de plasma e em que pelo menos uma das câmaras de vácuo se destina à aplicação da camada intermédia e da camada de deslizamento, com bombas de vácuo ligadas às câmaras de vácuo, unidades de alimentação eléctrica e unidades de comando para a realização dos processos de revestimento, bem como meios para o transporte de vários apoios deslizantes sobre um transportador que passa através do sistema, caracterizado por - os apoios deslizantes (3) serem fixados em corpos de suporte (2), com união mecânica efectiva, - estes corpos de suporte (2) serem temperáveis,

2 os apoios deslizantes (3) poderem ser pressionados para dentro do corpo de suporte com uma força ajustável, estarem dispostas, sucessivamente e na direcção de transporte, pelo menos a câmara de comporta (5), uma câmara de pre-tratamento (7), uma primeira câmara de revestimento (9), uma segunda câmara de revestimento (11) e uma câmara de comporta (19), a unidade de comando ser executada por forma a que os corpos de suporte (2) possam ser movimentados com uma velocidade de transporte adaptável ao processo parcial a decorrer em cada uma das câmaras de vácuo, haver na câmara de pre-tratamento (7) um dispositivo de corrosão (8) para a corrosão estacionária dos apoios deslizantes (3) à base de plasma, assistido por um campo magnético, haver na primeira câmara de revestimento (9), por baixo dos apoios deslizantes (3), uma fonte de pulverização de magnetrão (10), onde é pulverizado pelo menos um alvo, a uma distância adequada à geometria dos apoios deslizantes (3), haver na segunda câmara de revestimento (11) um dispositivo de evaporação por feixes de electrões com uma pequena cuba de evaporação (16), a uma distância adequada à geometria dos apoios deslizantes (3), haver à frente e atrás da área onde os apoios deslizantes (3) sâo revestidos por evaporação por feixes de electrões, áreas tampão (12; 18).

2. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com a reivindicação 1, caracterizado por num corpo de suporte (2) existirem vários apoios deslizantes (3) sucessivos, formando pelo menos uma fila sem intervalos, por forma a que os vértices formem uma linha.

3. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com as reivindicações 1 e 2, caracterizado por as filas dos apoios deslizantes (3) estarem dispostas num corpo de suporte (2) transversal ou longitudinalmente em relação à direcção de transporte.

4. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com as reivindicações de 1 a 3, caracterizado por o corpo de suporte (2) ser composto de duas partes sendo uma das partes do corpo de suporte (2) executada para o accionamento e para a ligação ao transportador (6) e a outra parte do corpo de suporte (2) para a recepção dos apoios deslizantes (3) e a têmpera. 4

5. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com as reivindicações de 1 a 3, caracterizado por uma parte do corpo de suporte (2) ser executada para a têmpera, o accionamento e a ligação ao transportador (6) e a outra parte do corpo de suporte (2) para a recepção dos apoios deslizantes (3).

6. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com a reivindicação 5, caracterizado por a parte do corpo de suporte (2) destinada à recepção dos apoios deslizantes (3) ser ligada ao corpo de suporte (2) por forma a poder ser substituído.

7. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com as reivindicações de 1 a 6, caracterizado por a parte do corpo de suporte (2) que se destina à têmpera ser constituída por um material com boa condutibilidade térmica e elevada capacidade térmica específica, de preferência, cobre. 5

8. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com a reivindicação 1, caracterizado por o dispositivo de evaporação por feixes de electrões ser constituído por uma pequena cuba de evaporação (16) e um canhão de electrões axial (14) ao lado desta.

9. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com a reivindicação 8, caracterizado por a pequena cuba de evaporação (16) possuir no fundo uma abertura para a alimentação com o produto de evaporação (17).

10. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 9, caracterizado por as áreas tampão ((12); (18)) se encontrarem dentro da segunda câmara de revestimento (11).

11. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 9, caracterizado por cada área tampão ((12); (18)) se encontrar numa câmara de vácuo em separado.

12. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 11, caracterizado por existir antes da câmara de comporta (5) uma câmara de têmpera (1) ou uma estação de têmpera, que se destinam à têmpera dos corpos de suporte (2).

13. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 12, caracterizado por haver um dispositivo para o regresso dos corpos de suporte (2), desde a câmara de comporta que se encontra do lado da saída (19) até à câmara de comporta que se encontra do lado da entrada (5).

14. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 13, caracterizado por as câmaras de vácuo estarem dispostas uma a seguir à outra, formando uma linha, e os corpos de suporte (2) serem transportados linearmente desde a câmara de comporta do lado da entrada até à câmara de comporta do lado da saída (5; 19).

15. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 13, caracterizado por as câmaras de vácuo estarem dispostas uma a seguir à outra, formando um círculo e haver apenas uma câmara de vácuo para a entrada e saída dos corpos de suporte (2).

16. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com a reivindicação 1, caracterizado por o dispositivo de corrosão ser construído por forma a que os corpos de suporte (2) com os apoios deslizantes (3) se encontrarem no potencial de terra e o campo magnético ser executado como um túnel tipo magnetrão. 8

17. SISTEMA PARA REVESTIMENTO DE APOIOS DESLIZANTES EM VÁCUO, de harmonia com pelo menos uma das reivindicações de 1 a 16, caracterizado por o dispositivo de corrosão (8) possuir peças fixas, arqueadas e electricamente ligadas ao potencial de terra que juntamente com os elementos de deslizamento (3) fixados nos corpos de suporte suportadas pelos corpos de deslizamento (2), formam uma área circularmente fechada que limita a descarga de plasma, bem como um contra-eléctrodo arrefecido por água, com um potencial positivo e ligado à terra, que na parte de trás possui um dispositivo que produz um campo magnético, do tipo de um magnetrão. LISBOA, 5 de SETEMBRO de 2001