NL8702157A - Stroombehandelingsstelsel. - Google Patents

Stroombehandelingsstelsel. Download PDF

Info

Publication number
NL8702157A
NL8702157A NL8702157A NL8702157A NL8702157A NL 8702157 A NL8702157 A NL 8702157A NL 8702157 A NL8702157 A NL 8702157A NL 8702157 A NL8702157 A NL 8702157A NL 8702157 A NL8702157 A NL 8702157A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
turntable
unit
disc
treatment
units
Prior art date
Application number
NL8702157A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Pioneer Electronic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP61213342A external-priority patent/JPH0641112B2/ja
Priority claimed from JP61213343A external-priority patent/JPH0694303B2/ja
Application filed by Pioneer Electronic Corp filed Critical Pioneer Electronic Corp
Publication of NL8702157A publication Critical patent/NL8702157A/nl

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B17/00Methods preventing fouling
    • B08B17/02Preventing deposition of fouling or of dust
    • B08B17/06Preventing deposition of fouling or of dust by giving articles subject to fouling a special shape or arrangement
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/0014Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form
    • G11B23/0021Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form discs
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/0057Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming

Description

* V.0. 9331
Stroombehandelingsstelsel.
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het uitvoeren van een bepaalde behandeling van schijfvormige voorwerpen in een schone ruimte, zoals schijven, welke moeten worden gebruikt voor video- of audioregistratie.
5 Optische registratie wordt op een grote schaal toegepast voor het registreren van video-, audio- en andere informatie, waarbij het registratiemedium de vorm heeft van schijven. Bij de optische registratiemethode wordt een fotolak als een bekleding op een glazen schijf aangebracht, welke laatste als 10 een substraat dient, teneinde daardoor een schijf te verschaffen, welke kan worden gebruikt voor het verkrijgen van een moederschijf. Licht uit een laserbundel, dat tot een zeer kleine vlek wordt gefocusseerd, laat men de op deze wijze op de glazen schijf gevormde laklaag treffen en wel overeenkom-15 stig video- of audio-informatie enz. Dit proces wordt als de bit-voor-bit methode van belichting gebruikt. De schijf wordt daarna ontwikkeld voor het verschaffen van een moederschijf, in het oppervlak waarvan putten zijn gevormd, waarvan de lengten en herhalingsperiode de geregistreerde informatie 20 voorstellen.
Voor een eenvoudige toelichting zal een glazen schijf, zoals boven beschreven, welke zich bevindt in de toestand voordat daarop een fotolakfilm is gevormd, hierna eenvoudig worden betiteld als een glazen schijf, terwijl een schijf, 25 waarop een fotolakfilm is gevormd, als een met een kunststof beklede schijf zal worden betiteld.
Bij een dergelijke methode is het nodig een aantal be-handelingsstappen uit te voeren om een met kunststof beklede schijf gereed te maken namelijk het wassen van de glazen 30 schijf, het bekleden van de schijf met een grondlaag (teneinde de mate van hechting van de fotolak aan het oppervlak van de schijf te verbeteren), het als een bekleding aanbrengen van de fotolaklaag, en het verhitten (namelijk een thermische behandeling). Tijdens deze behandelingsstappen is het essen-35 tieel dat alle stof wordt uitgesloten, en in verband hiermede 8/02157
A
4· -2- vindt de behandeling geheel binnen een schone ruimte plaats. Bovendien zullen zelfs in het inwendige van een schone ruimte, zeer kleine stofdeeltjes, welke niet door de filter zijn verwijderd, in de atmosfeer blijven zweven. Teneinde te belet-5 ten, dat deze zeer kleine stofdeeltjes zich aan het oppervlak van de schijf hechten, wordt over de glazen schijf en de met een kunststof beklede schijf een luchtstroom geblazen wanneer de schijven worden behandeld. Het is evenwel in de praktijk gebleken, dat door alleen een dergelijke luchtstroom en wel 10 tengevolge van storingen, welke zich binnen de luchtstroom voordoen, geen voldoend hoge mate van stofuitsluiting kan worden verkregen.
Bovendien wordt bij de stand der techniek elk van de bovenbeschreven behandelingsstappen uitgevoerd door een af-15 zonderlijke behandelingseenheid, waarbij de schijven in het algemeen met de hand tussen deze behandelingseenheden na elke behandelingsstap worden overgedragen. Dientengevolge zijn de totale afmetingen van het stelsel groot en is de produktivi-teit gering.
20 De uitvinding beoogt de bovenbeschreven problemen van de stand der techniek te elimineren door te voorzien in een stroombehandelingsstelsel voor schijfvormige artikelen, waarbij een doeltreffende luchtstroom continu wordt onderhouden teneinde daardoor een voldoend hoge mate van stofuitsluiting 25 van de luchtstroom te onderhouden.
Een verder doel van de uitvinding is het verschaffen van een stroombehandelingsstelsel voor schijfvormige artikelen welk stelsel compact is en het mogelijk maakt, dat een grotere produktiviteit wordt bereikt.
30 Voor het verkrijgen van deze oogmerken omvat een stroom behandelingsstelsel volgens de uitvinding, voorzien van een aantal behandelingseenheden voor het uitvoeren van respectievelijk verschillende behandelingen bij schijfvormige artikelen, die door een draaitafel worden geroteerd, waarbij het 35 aantal behandelingseenheden door een enkel gestel wordt ondersteund, een draaitafeleenheid voorzien van de draaitafel en 8 /'0 2 1 5 7 4 * ft -3- een aandrijfbron om de draaitafel te roteren, geleidingsorga-nen, die op het gestel zijn gemonteerd om de draaitafeleen-heid tussen het aantal behandelingseenheden te geleiden, en aandrijforganen om de draaitafeleenheid tussen het aantal be-5 handelingseenheden te bewegen, met als kenmerk, dat de rota-tieaandrijving, welke op de draaitafel wordt uitgeoefend, wordt voortgezet wanneer de draaitafel tussen de behandelingseenheden wordt bewogen.
Een stroombehandelingsstelsel volgens de uitvinding is 10 verder daarin gekenmerkt, dat de behandelingseenheden op het gestel worden ondersteund door steunorganen, welke geen storingen in een luchtstroom veroorzaken, welke tijdens de behandeling in hoofdzaak horizontaal naar de schijfvormige artikelen wordt gericht.
15 De uitvinding zal onderstaand nader worden toegelicht onder verwijzing naar de tekening. Daarbij toont: fig. 1 een schuin aanzicht van een stroombehandelingsstelsel volgens de uitvinding, welk stelsel bestemd is om glazen schijven met een fotolak te bekleden; 20 fig. 2 en 3 respectievelijk een gedeeltelijke vertikale doorsnede en een gedeeltelijke doorsnede in bovenaanzicht van een specifieke configuratie van de inrichting volgens fig. 1; fig. 4 een dwarsdoorsnede van een bepaalde uitvoerings-25 vorm van een in de figuren 2 en 3 afgebeelde draaitafeleenheid? fig. 5 een bovenaanzicht ter illustratie van een constructie, waarbij twee stelsels volgens de uitvinding ter rechter en ter linker zijde van een bedienende persoon zijn opgesteld; 30 fig. 6 een tabel, waarin de relaties zijn aangegeven tussen uitgangssignalen, welke worden opgewekt door een stelsel positieaftastinrichtingen en overeenkomstige posities van een draaitafel; en fig. 7 een stroomdiagram van een reeks handelingen voor 35 het gereedmaken van met een kunststof beklede schijven.
Thans zal een uitvoeringsvorm volgens de uitvinding on- 8702157 * -4- der verwijzing naar de tekening worden beschreven. Fig. 1 toont een schuin aanzicht van de uitvoeringsvorm, welke bestaat uit een stroombehandelingsstelsel voor het gereedmaken van schijven, welke moeten worden gebruikt als moederschij-5 ven, en wel door op de glazen schijven een fotolaklaag te vormen. Met 1 is een eenheid aangegeven, welke als een "natte trap" dient en welke bestemd is voor het uitvoeren van behandelingsstappen, bestaande uit het wassen van de glazen schijven, de grondlaagverwerking, en het bekleden met een 10 fotolak. Het stelsel omvat voorts een eenheid 2 welke een on-derzoektrap vormt, waarin de glazen schijven worden onderzocht op defecten, de met een kunststof beklede schijven op defecten worden onderzocht ,en de filmdikte van de met een kunststof beklede schijven wordt gemeten. Met 3 is een eenheid aan-15 gegeven, welke als een verwarmingstrap dient teneinde een voorverwarming uit te voeren. Het stroombehandelingsstelsel, dat op deze wijze uit de eenheden 1 tot 3 is opgebouwd, is ondergebracht in een schone ruimte. Met dit stroombehandelingsstelsel worden de handelingen van het wassen en het met 20 een grondlaag behandelen van de glazen schijven, het inspecteren van de glazen schijven, het bekleden van de schijven met een fotolak, de thermische behandeling, het onderzoeken van de met een kunststoflaag beklede schijven op defecten en het onderzoeken van de filmdikte van de met een kunststof-25 laag beklede schijven, automatisch als een continue reeks handelingen uitgevoerd.
De bewerkte en gewassen glazen schijven (niet weergegeven in de tekening) worden tijdelijk opgeslagen in een natte opslagkamer 4 waarin ultrasoon wassen enz. wordt uitgevoerd 30 om de schijven in optimale toestand te houden. Vervolgens wordt elke schijf automatisch, met een in hoofdzaak horizontale oriëntatie naar de eenheid 1 getransporteerd, waarin in de bovenbeschreven reeks handelingen plaats vindt en de schijf steeds in een horizontale positie wordt gehouden.
35 Aan het eind van deze reeks handelingen wordt de schijf uit 8702157 -5- de eenheid 3 getransporteerd. Aan de linker zijde van de inrichting ten opzichte van de richting van de behandelings-stroom uit de eenheid 1 naar de eenheid 3 bevindt zich een reinigingsbank 5. Een luchtstroom wordt uit de reinigingsbank 5 5 in een in hoofdzaak horizontale richting naar de glazen schijf, welke de bovenbeschreven reeks behandelingen ondergaat gericht. Dientengevolge wordt belet, dat zeer kleine deeltjes stof enz., welke niet door filteren zijn verwijderd en in de atmosfeer zweven, zich aan het oppervlak van de gla-10 zen schijf hechten. De bedienende persoon van de inrichting bevindt zich stroomafwaarts ten opzichte van de eenheden 1 tot 3 in de luchtstroom vanuit de reinigingsbank 5.
De bepaalde uitvoering van de eenheden 1 tot 3 zal worden beschreven onder verwijzing naar de figuren 2 tot 4.
15 Een glazen schijf 6 wordt door een draaitafel 7 met een in hoofdzaak horizontale oriëntatie ondersteund. De draaitafel 7,een motor8,welke als een aandrijfbron dient en een band 9, welke de rotatiekracht uit de motor 8 naar de draaitafel 7 overdraagt, vormen een draaitafeleenheid 10. De draaitafeleen-20 heid 10 is gemonteerd op een paar geleidingsrails 12a en 12b, welke evenwijdig aan elkaar zijn en zich uitstrekken tussen de eenheden 1 tot 3 en op een bovenvlak van een gestel 11 zijn gemonteerd. De draaitafeleenheid 10 kan tussen de eenheden 1 tot 3 worden bewogen door middel van een (in de tekening niet 25 weergegeven) achterste leger. Een van schroefdraad voorziene as 13 is roteerbaar aan het bovenvlak van het gestel 11, evenwijdig aan de geleidingsrails 12a en 12b gemonteerd en strekt zich in hoofdzaak over het bewegingsgebied van de draaitafeleenheid 10 uit. De van schroefdraad voorziene as 13 30 werkt samen met een moer 14, die aan de draaitafeleenheid 10 is bevestigd. De van schroefdraad voorziene as 13 wordt geroteerd doordat deze wordt aangedreven door een transportmotor 15, waardoor de draaitafeleenheid 10 in een richting wordt bewogen, die door de rotatierichting van de as 13 wordt be-35 paald.
870'157 -6- *
Zoals aangegeven in fig. 4, is de draaitafel 7 bevestigd aan een bovenste gedeelte van een spil 16 waarin een centrale boring 16a is gevormd. De spil 16 is gecentreerd met een centrale hartlijn van de draaitafel 7 en is door een leger 17 5 roteerbaar ten opzichte van een huis 18 gemonteerd, waarbij aan het ondereinde van de spil 16 een grote riemschijf 19 is bevestigd. De grote riemschijf 19 en een kleine riemschijf 21, welke op de aandrijfas van de motor 8 is bevestigd, zijn met elkaar gekoppeld door een band 9 om de grote riemschijf 9 10 door de motor 8 aan te drijven. Tengevolge van het gebruik van deze bandaandrijfconfiguratie kan een vacuumafdichting 20, die zich aan het ondereinde van de spil 16 bevindt, gemakkelijk worden vervangen. Meer in het bijzonder zou het indien een directe aandrijfconfiguratie werd toegepast, nodig zijn zware 15 onderdelen, zoals de motor 8 te verwijderen elke keer, dat de vacuumafdichting 20 zou moeten worden vervangen, hetgeen bijzonder lastig zou zijn. Door evenwel gebruik te maken van een aandrijfbandstelsel wordt dit probleem vermeden en kan het verwisselen van de vacuumafdichting20gemakkelijk plaats vinden. 20 Om de omtrek van de draaitafel 7 bevindt zich een opneem- trap 21, waarbij de diameter van de opneemtrap 21 groter is dan de grootste diameter van de glazen schijf 6. Op de opneemtrap 21 is een paar afmetingsaftastinrichtingen 22a, 22b gemonteerd, die langs een straal van de glazen schijf 6 zijn 25 opgesteld. De afmetingsaftastinrichtingen 22a, 22b dienen voor het detecteren van de afmetingen van de glazen schijf 6. Een paar type aftastinrichtingen 23a, 23b is in de nabijheid van de centrale opening van de opneemtrap 21 gemonteerd om het type van de glazen schijf 6 te detecteren. Een centrale kap 30 24 bedekt het boveneind van de spil 16.
Zoals aangegeven in de figuren 2 en 3, is een kap 25 aanwezig, welke ten opzichte van het gestel van de eenheid 1 naar boven en naar beneden kan worden bewogen. De kap 25 wordt normaliter in een bovenste positie gehouden teneinde de be-35 weging van de draaitafeleenheid 10 niet te belemmeren. Wan- ¢702157 -7- neer door de eenheid 1 een behandeling moet worden uitgevoerd, wordt de kap 25 naar een lagere positie gebracht en wel door een lineaire aandrijfmotor 27, die via een koppelonderdeel 26 (aangegeven in fig.1) werkt. Opgemerkt wordt, dat de uitvin-5 ding niet beperkt is tot het gebruik van de lineaire motor 27 als aandrijfbron voor de kap 25 en dat verschillende andere aandrijforganen voor dit doel kunnen worden gebruikt zolang deze in staat zijn om de kap 25 naar bovenste en onderste posities te drijven. Wanneer de kap 25 zich in de onderste 10 positie bevindt, past deze kap nauwsluitend om de omtrek van de opneemtrap 21 teneinde een afgedichte toestand te onderhouden. Onder deze omstandigheden wordt de glazen schijf 6 in aanraking met de draaitafel 7 gehouden door de vacuumzuigwer-king, welke wordt verkregen door de werking van een vacuum-15 pomp 28, terwijl de schijf door de motor 8 wordt geroteerd en aan wassen met wasfluïdum wordt onderworpen, dat afkomstig is uit een (niet in de tekening weergegeven) mondstuk, dat zich in de kap 25 bevindt. Aan het eind van dit wasproces vindt een behandeling met een grondlaag plaats. Aan het eind 20 van de was- en grondlaagbehandeling wordt de draaitafeleen-heid 10, welke de glazen schijf 6 ondersteunt, langs de ge-leidingsrails 12a en 12b naar de eenheid 2 bewogen.
De eenheid 2 bestaat uit een onderzoekeenheid 29 en twee kolommen 30a en 30b voor het ondersteunen van de onderzoek-25 eenheid 29, tezamen met een kap 31 welke de onderzoekeenheid 29 bedekt. De twee kolommen 30a en 30b dienen ook als leidingen(bijvoorbeeld bedradingsleidingen voor het onderbrengen van elektrische kabels enz.) en zijn stroomafwaarts in de luchtstroom vanuit de glazen schijf 6 opgesteld dat wil zeg-30 gen aan de zijde van de inrichting tegenover de reinigings-bank 5. Tengevolge van deze opstelling doen zich geen storingen tengevolge van de ondersteuningsorganen voor de onderzoekeenheid 29 voor in de luchtstroom, welke in een richting evenwijdig aan de glazen schij f 6 vanuit de reinigingsbank 5 35 wordt uitgezonden teneinde daardoor de doeltreffendheid van 8702157 -8- * deze luchtstroom bij het beletten van een hechting van stofdeeltjes aan het oppervlak van de glazen schijf te onderhouden. De glazen schijf 6, welke aan wassen en een deklaagbe-handeling is onderworpen, wordt door de onderzoekeenheid 29 5 van de eenheid 2 op krassen of andere defecten onderzocht. Bovendien wordt nadat een schijf in de eenheid 3 aan een thermische behandeling is onderworpen, de resulterende en met een laklaag beklede schijf door de onderzoekeenheid 29 onderzocht op krassen of andere oppervlaktedefecten, terwijl te-10 gelijkertijd de dikte van de fotolakfilm, welke op het oppervlak van de schijf is gevormd, wordt gemeten.
De eenheid 3 omvat een verwerkingseenheid bestaande uit een verwarmingseenheid 32, welke op het gestel 11 wordt ondersteund door een paar kolommen 33a en 33b en is afgedekt 15 door een kap 34. Evenals in het geval van de eenheid 2 dienen de kolommen 33a en 33b ook als leidingen en zijn deze stroomafwaarts ten opzichte van de schijf, welke wordt verwerkt, ten opzichte van de luchtstroom, die uit de reinigingsbank 5 wordt uitgezonden, zoals boven is beschreven, opgesteld. De 20 voorverhitting geschiedt bij de met een kunsthars beklede schijf, welke vooraf met een fotolak is bekleed. Deze voorverhitting vindt plaats door het toevoeren van straling,welke in het verre infrarode gebied ligt. Tijdens het voorverwarmen wordt de oppervlaktetemperatuur van de met een kunsthars be-25 klede schijf gemeten door een stralingsthermometer 35, waarbij de oppervlaktetemperatuur op basis van de gemeten temperatuur wordt geregeld.
Zoals uit fig.1 blijkt, zijn de kappen 31 en 34, weergegeven in fig. 2 en 3 respectievelijk dicht bij de reinigings-30 bank 5 opgesteld, waarbij een gedeelte van het bovenvlak van elke kap (bij de zijde van de kap, welke zich het dichtst bij de reinigingsbank 5 bevindt) zodanig is gevormd dat dit naar beneden helt, en waarbij gedeelten van twee tegenover elkaar gelegen zijvlakken van elke kap (dat wil zeggen ge-35 deelten, die zich bij de bovengenoemde zijden van de kap bevinden) een zodanige vorm hebben, dat deze naar een centraal 6 /02157 % -9- punt tussen deze tegenover elkaar gelegen zijvlakken hellen. Dientengevolge stroomt, als aangegeven door de pijlen in figuur 1 en 3, de luchtstroom, welke uit de reinigingsbank 5 wordt gezonden, op een bevredigende wijze in het gebied van 5 deze luchtstroom, dat stroomafwaarts ten opzichte van de genoemde hellende gedeelten van de boven- en zijvlakken van elk van de kappen 31 en 34 is gelegen. Op deze wijze wordt zowel tijdens de behandeling en het onderzoek als tijdens de beweging van de schijven tussen de behandelingseenheden een be- 10 vredigende luchtstroom, welke geen storingen vertoont, om de glazen schijven en de met een laklaag beklede schijven onderhouden.
Zoals boven is beschreven, worden de onderzoekeenheid 29, de kap 31, de verwarmingseenheid 32 en de kap 34 respec-15 tievelijk ondersteund op kolommen 30a en 30b en 33a en 33b, en zijn deze stroomopwaarts ten opzichte van de glazen schijf 6 in de luchtstroom opgesteld. Zoals weergegeven in fig. 3, worden de kolommen 30a en 30b en de kolommen 33a en 33b respectievelijk vastgehouden in vasthoudopeningen 37a, 37b en 20 38a en 38b, welke in het bovenvlak van het gestel 11 zijn ge vormd. Indien een paar stelsels volgens de uitvinding tezamen moet worden gebruikt, welke stelsels respectievelijk aan de rechter- en linkerzijde van een bedienend persoon zijn opgesteld, zal het in het algemeen nodig zijn de reinigingsbank 25 5 van een stelsel op te stellen aan de zijde van het gestel tegenover die, welke in fig. 1 is weergegeven. Indien dit zou geschieden zouden onder gebruik van de in fig. 1 afgeheelde constructie, de kolommen 30a en 30b en 33a en 33b van een stelsel stroomopwaarts in de luchtstroom vanuit de reinigings-30 bank 5 van dat stelsel zijn opgesteld, ten opzichte van een schijf, welke wordt behandeld. Voorts zouden de hellende vlakken van de kappen 31 en 34 van een stelsel stroomafwaarts ten opzichte van de luchtstroom zijn opgesteld waardoor een geleidelijke stroom zou worden belet. Als een tegenmaatregel 35 hiervoor worden de kolommen 30a en 30b en de kolommen 33a en »702157 -10- 33b zodanig ondersteund, dat zij vrij verwijderbaar zijn uit de respectieve vasthoudopeningen 37a, 37b en 38a en 38benineen tegenovergelegen vasthoudopeningen 39, 39b respectievelijk 40a, 40b kunnen worden ingebracht. Op deze wijze kunnen de 5 meest geschikte posities voor de kolommen 30a en 30b en de kolommen 33a en 33b worden gekozen, zodat, als aangegeven in fig. 5, de kolommen 30a en 30b en de kolommen 33a en 33b steeds stroomafwaarts ten opzichte van de glazen schijf 6 kunnen zijn opgesteld, terwijl de hellende vlakken van de kappen 10 31 en 34 stroomopwaarts in de luchtstroom aanwezig zijn.
Zoals aangegeven in fig. 2 is een stel van zes positie-aftastinrichtingen 36a tot 36 f in de bewegingsrichting van de draaitafeleenheid 10 op het gestel 11 gemonteerd om de positie van de draaitafeleenheid 10 in de bewegingsrichting daar-15 van af te tasten. Twee van deze positieaftastinrichtingen 36a tot 36f zijn voor elk van de eenheden 1 tot 3 aanwezig en de positie van de draaitafeleenheid 10 wordt gedetecteerd op basis van een combinatie van uitgangssignalen, die door deze positieaftastinrichtingen 36a tot 36f worden opgewekt. Meer in 20 het bijzonder geeft, als aangegeven in fig. 6, een toestand, waarin slechts de positieaftastinrichtingen 36a en 36b zich inde IN-toes tand bevinden, aan, dat de draaitafeleenheid 10 zich in de eenheid 1 bevindt, terwijl een toestand waarin slechts de positieaftastinrichtingen 36c en 36d zich in de IN-25 toestand bevinden aangeeft, dat de draaitafeleenheid 10 zich in de eenheid 2 bevindt, terwijl een toestand waarin slechts de positieaftastinrichtingen 36e en 36f zich in de IN-toe-stand bevinden aangeeft, dat de draaitafeleenheid 10 zich in de eenheid 3 bevindt. Wanneer de draaitafeleenheid 10 zich 30 aan een uiteinde van zijn bewegingsgebied bevindt, wordt dit aangegeven doordat slechts een van de positie-aftastinrich-tingen 36a of 36f zich in de IN-toestand bevindt. Wanneer de draaitafeleenheid 10 zich in een tussengelegen positie tussen de eenheden bevindt, wordt dit aangegeven door een toestand, 35 waarin slechts de positie-aftastinrichtingen 36b en 36c of 8702157 -11- slechts de positie-aftastinrichtingen 36d en 36e zich in de IN-toestand bevinden.
Door de positie van de draaitafeleenheid 10 op deze wijze te detecteren, op basis van combinaties van uitgangssig-5 nalen, die door de positieaftastinrichtingen 36a tot 36f worden opgewekt, kan de draaitafeleenheid10opeen nauwkeurige en betrouwbare wijze in de juiste bedrijfsposities van de inrichting tot stilstand worden gebracht. Indien verder bijvoorbeeld een uitvallen van de voeding zou optreden terwijl 10 de draaitafeleenheid 10 zich bewoog, dan kan onmiddellijk na het opnieuw inschakelen van de voeding de juiste richting waarin de draaitafeleenheid 10 moet worden bewogen, onmiddellijk worden bepaald op basis van de uitgangssignalen uit de positieaftastinrichtingen zodat een snel herstel van de 15 werking op een soepele wijze kan plaats vinden nadat een voe-dingsuitval heeft plaats gevonden.
Bij de bovenbeschreven stelselconfiguratie kan de regeling van de beweging van de draaitafeleenheid 10, het vaststellen van de posities waarin de draaitafeleenheid 10 tot 20 stilstand moet worden gebracht, de regeling van de door elk van de eenheden 1 tot 3 uit te voeren handelingen, en de regeling van de draaitafel 7 automatisch plaatsvinden bijvoorbeeld door middel van een (in de tekening niet weergegeven) stelselregelaar op basis van een microrekeninrichting.
25 De reeks handelingen, welke door deze uitvoeringsvorm volgens de uitvinding wordt uitgevoerd, zal thans onder verwijzing naar het stroomdiagram volgens fig. 7 worden beschreven.
Eerst wordt wanneer een glazen schijf op de draaitafel 7 30 bij het begin van de behandeling door de eenheid 1 is geplaatst, de kap 25 naar beneden bewogen om samen te werken met de ontvangtrap 21 van de draaitafeleenheid 10 teneinde daardoor een afgedichte toestand tot stand te brengen. Vervolgens vindt het reinigen van de glazen schijf onder deze 35 omstandigheden plaats (stap SI). Daarna vindt een grondlaag-bewerking plaats (stap S2). Met de glazen schijf, welke aan 6/02107 ft -12- een wassen en een grondlaagbewerking is onderworpen, nog steeds op de draaitafel 7 gemonteerd, wordt daarna de draai-tafeleenheid 10 naar de eenheid 2 bewogen en wordt de glazen schijf onderzocht op defecten (stap S3). Indien dit onderzoek 5 van de schijf heeft plaats gevonden, wordt de schijf terugbewogen naar de eenheid 1, en vindt een fotolakbehandeling plaats (stap S4) teneinde de schijf om te zetten in een met een kunststof beklede schijf. Deze met kunststof beklede schijf wordt daarna op de draaitafeleenheid 10 langs de een-10 heid 2 naar de eenheid 3 bewogen en de verre infraroodstraling (stap S5) aan een voorverwarming onderworpen. Aan het eind van deze thermische behandeling wordt de met een laklaag beklede schijf opnieuw naar de eenheid 2 bewogen om te worden onderzocht op defecten en voor het meten van de dikte van de 15 fotolakfilm (stap S6). Hierdoor wordt de reeks handelingen voor het gereedmaken van een met een kunsthars beklede schijf voltooid.
Elk van de bovenbeschreven behandelingsstappen, die door de eenheden 1 tot 3 worden uitgevoerd, vindt natuurlijk plaats 20 terwijl de draaitafel 7 wordt geroteerd. Voorts wordt bij het stelsel volgens de uitvinding deze rotatie van de draaitafel 7 ook voortgezet terwijl de draaitafel 7 zich tussen de eenheden 1 tot 3 beweegt. Op deze wijze wordt de glazen schijf of de met een kunsthars beklede schijf steeds continu gero-25 teerd, hetgeen dient om verder het hechten van stofdeeltjes enz. aan het oppervlak van de schijf te beletten. Verder kan aangezien het niet nodig is om tijd te nemen om de draaitafel 7 elke keer, dat deze naar een van de eenheden 1 tot 3 wordt bewogen, naar boven te bewegen, de beweging tussen de ver-30 schillende behandelingsstappen op een soepele wijze worden uitgevoerd.
Bij de bovenbeschreven uitvoeringsvorm is de uitvinding toegepast op een inrichting voor het gereedmaken van meteen kunststofhars beklede schijven door glazen schijven te behan-35 delen. Evenwel dient te worden opgemerkt, dat de uitvinding '70 2 1 57 < -13- niet tot een . dergelijke toepassing is beperkt en kan worden gebruikt bij verschillende typen inrichtingen voor het uitvoeren van specifieke behandelingen van dunne vlakke artikelen. Voorts is bij de bovenbeschreven uitvoeringsvorm een aantal behandelingseenheden tot een enkel stelsel gecombi-5 neerd. De uitvinding is natuurlijk ook van toepassing op een inrichting, welke inherent als een enkele eenheid is uitgevoerd.
Uit de bovenstaande beschrijving blijkt, dat bij een stroombehandelingsstelsel voor het behandelen van een schijf-10 vormig artikel volgens de uitvinding, als boven beschreven, kolommen, die een behandelingseenheid ten opzichte van een gestel van de inrichting in een punt boven een schijfvormig artikel ondersteunen, stroomafwaarts in een luchtstroom ten opzichte van het artikel zijn opgesteld, waardoor een bevre-15 digende luchtstroom kan worden onderhouden, zodat door de luchtstroom een goed stofuitsluitingseffect tot stand kan worden gebracht.
37021 b 7

Claims (3)

1. Stroombehandelingsstelsel met een aantal behandelingseenheden voor het uitvoeren van respectieve verschillende behandelingen bij schijfvormige artikelen, welke door een draaitafel worden geroteerd, waarbij het aantal behandelings- 5 eenheden door een enkel gestel wordt ondersteund om tot een enkel stelsel te worden gecombineerd, welk stelsel is voorzien van een draaitafeleenheid met de draaitafel en een aan-drijfbron voor het roteren van de draaitafel, geleidingsor-ganen, welke op het gestel zijn gemonteerd om de draaitafel- 10 eenheid tussen het aantal behandelingseenheden te geleiden, en aandrijforganen om de draaitafeleenheid tussen het aantal behandelingseenheden te bewegen met het kenmerk, dat de ro-tatieaandrijving, welke op de draaitafel wordt uitgeoefend, wordt voortgezet terwijl de draaitafel tussen de behandelings- 15 eenheden wordt bewogen.
2. Stroombehandelingsstelsel volgens conclusie 1 met het kenmerk, dat de draaitafel volgens in hoofdzaak horizontale oriëntatie wordt ondersteund, en het stelsel verder is voorzien van organen voor het verschaffen van een luchtstroom, 20 welke in hoofdzaak horizontaal naar het zich op de draaitafel bevindende schijfvormige artikel is gericht.
3. Stroombehandelingsstelsel volgens conclusie 1 gekenmerkt door organen om de behandelingseenheden op het gestel te ondersteunen zonder de stroom uit de luchtstroom op- 25 wekkende organen te storen. S702157 i
NL8702157A 1986-09-10 1987-09-10 Stroombehandelingsstelsel. NL8702157A (nl)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21334386 1986-09-10
JP61213342A JPH0641112B2 (ja) 1986-09-10 1986-09-10 光ディスク用原盤の処理装置
JP21334286 1986-09-10
JP61213343A JPH0694303B2 (ja) 1986-09-10 1986-09-10 光ディスク用原盤処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8702157A true NL8702157A (nl) 1988-04-05

Family

ID=26519747

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8702157A NL8702157A (nl) 1986-09-10 1987-09-10 Stroombehandelingsstelsel.

Country Status (2)

Country Link
US (2) US4850791A (nl)
NL (1) NL8702157A (nl)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL9201825A (nl) * 1992-10-21 1994-05-16 Od & Me Bv Inrichting voor het vervaardigen van een matrijs voor een schijfvormige registratiedrager.
DE4326309C1 (de) * 1993-08-05 1994-09-15 Jenoptik Jena Gmbh Vorrichtung zum Transport von Wafermagazinen
NL1002849C2 (nl) * 1996-04-12 1997-10-15 Od & Me Bv Inrichting voor het bewerken van een schijfvormig substraat alsmede een station geschikt voor koppeling met een dergelijke inrichting.
JP2000286318A (ja) * 1999-01-27 2000-10-13 Shinko Electric Co Ltd 搬送システム
US7278812B2 (en) * 1999-01-27 2007-10-09 Shinko Electric Co., Ltd. Conveyance system
MXPA01010895A (es) 1999-04-28 2003-06-24 Stratotech Corp Ambiente ajustable de flujo de aire limpio.
TW532158U (en) * 2002-07-10 2003-05-11 Nat Defense Medical Ct Treatment chair with air curtain protection
US8472020B2 (en) * 2005-02-15 2013-06-25 Cinram Group, Inc. Process for enhancing dye polymer recording yields by pre-scanning coated substrate for defects
CN101875036A (zh) * 2009-04-30 2010-11-03 深圳富泰宏精密工业有限公司 转动装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3880061A (en) * 1973-10-09 1975-04-29 American Air Filter Co Work station
US4482043A (en) * 1981-08-04 1984-11-13 White-Sundstrand Machine Tool Co. Pallet changing system for a machining center
JPH0725421B2 (ja) * 1983-03-04 1995-03-22 武田薬品工業株式会社 固形製剤の検査装置
US4722298A (en) * 1986-05-19 1988-02-02 Machine Technology, Inc. Modular processing apparatus for processing semiconductor wafers

Also Published As

Publication number Publication date
US5002455A (en) 1991-03-26
US4850791A (en) 1989-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL8702157A (nl) Stroombehandelingsstelsel.
US20180079004A1 (en) Apparatus for manufacturing of three-dimensional objects
EP0644814A1 (en) Exhaust and particle wastes collecting device for laser etching
JP2002319149A (ja) 信号記録装置、信号再生装置、及びそれらの制御方法
JP3840355B2 (ja) 光情報記録媒体の製造方法
JP2001143330A (ja) 情報記録媒体の製造方法
JPH05242534A (ja) ディスク型情報記録媒体製造用のディスクの外周円筒面 をクリーニングする方法及び装置
JP2009295206A (ja) 磁気ディスク装置
JPS6010432A (ja) コンパクトデイスク用アルミ除去装置
JP3903087B2 (ja) 光情報記録媒体の製造方法
JPH0641113B2 (ja) 光ディスク用原盤の処理装置
JPH0694303B2 (ja) 光ディスク用原盤処理装置
JPH0641112B2 (ja) 光ディスク用原盤の処理装置
JPH01297651A (ja) 現像装置
JPS608538B2 (ja) 記録装置
Yamada et al. Evaluation Of Optical Disk Surfaces
JPH08147740A (ja) 光ディスク装置のダスト除去装置
KR100616021B1 (ko) 스핀 코팅 장치 및 디스크형 기록 매체의 제조 방법
JP2931987B2 (ja) 可逆光ディスクの初期化方法
JPH09153233A (ja) 光ディスク記録装置
JP2000331387A (ja) 光情報記録媒体の製造方法
JP2000315337A (ja) 記録媒体の製造方法
JPH07329322A (ja) 昇華型記録装置
JP2004348927A (ja) 光記録装置、光再生装置、光記録方法および光再生方法
JPH04255920A (ja) 光ディスク装置

Legal Events

Date Code Title Description
A1A A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
BV The patent application has lapsed