JPS608538B2 - 記録装置 - Google Patents
記録装置Info
- Publication number
- JPS608538B2 JPS608538B2 JP51030487A JP3048776A JPS608538B2 JP S608538 B2 JPS608538 B2 JP S608538B2 JP 51030487 A JP51030487 A JP 51030487A JP 3048776 A JP3048776 A JP 3048776A JP S608538 B2 JPS608538 B2 JP S608538B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- disk
- recording material
- optical system
- lens group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は記録装置に係り、特に光学的に微細なパターン
を現像処理を必要としない記録材上に安定に記録するに
好適な記録装置を提供するものである。
を現像処理を必要としない記録材上に安定に記録するに
好適な記録装置を提供するものである。
従来から光学的に或いは電子ビーム等により微細パター
ンの記録に適した記録材として用いられたのは、例えば
、フオトレジスト（感光性樹脂）或いは銀塩フィルムの
如き現像処理を必要とするものであった。
ンの記録に適した記録材として用いられたのは、例えば
、フオトレジスト（感光性樹脂）或いは銀塩フィルムの
如き現像処理を必要とするものであった。
しかるに近年になってかかる現像処理を必要としない記
録材が開発されてきた。かかる記録材の一例として熱エ
ネルギーに依る記録方法がある。即ち熱伝導性の悪い、
例えば、ガラス基板上にクロムの薄膜を蒸着し、このク
ロム薄膜にレーザ光を微小スポットとして結像せしめる
と微小面積へのエネルギー集中の結果クロム薄膜が蒸発
し、かくして記録が行なわれるもので、かかる方法に於
ては、現像処理が不要であることは言うまでもない。上
述の如き方法に於て、微４・面積へのエネルギー集中を
効果的に実行するためには、例えば、顕微鏡対物レンズ
の如きＮＡ（関口数）の大きな結像レンズを用いる必要
があり、かかる場合に必然的に記録材、例えば、クロム
薄膜に近接して前記の結像レンズを配置することとなる
。
録材が開発されてきた。かかる記録材の一例として熱エ
ネルギーに依る記録方法がある。即ち熱伝導性の悪い、
例えば、ガラス基板上にクロムの薄膜を蒸着し、このク
ロム薄膜にレーザ光を微小スポットとして結像せしめる
と微小面積へのエネルギー集中の結果クロム薄膜が蒸発
し、かくして記録が行なわれるもので、かかる方法に於
ては、現像処理が不要であることは言うまでもない。上
述の如き方法に於て、微４・面積へのエネルギー集中を
効果的に実行するためには、例えば、顕微鏡対物レンズ
の如きＮＡ（関口数）の大きな結像レンズを用いる必要
があり、かかる場合に必然的に記録材、例えば、クロム
薄膜に近接して前記の結像レンズを配置することとなる
。
前述の如き記録材と結像レンズの配置に於て、長時間に
わたり記録を実施せんとすれば、蒸発した記録材の一部
は、結像レンズの表面に付着し蓄積して行くために結像
レンズの透過率が次第に減少し、ついには記録材を蒸発
或いは破壊し飛散せしめるに必要なエネルギーを記録材
に与えることが不可能になってしまうという重大なる欠
点がある。従って、本発明の目的は、上記従来技術の欠
点をなくし、常に安定した記録性能を維持なし得る記録
装置を提供するにある。
わたり記録を実施せんとすれば、蒸発した記録材の一部
は、結像レンズの表面に付着し蓄積して行くために結像
レンズの透過率が次第に減少し、ついには記録材を蒸発
或いは破壊し飛散せしめるに必要なエネルギーを記録材
に与えることが不可能になってしまうという重大なる欠
点がある。従って、本発明の目的は、上記従来技術の欠
点をなくし、常に安定した記録性能を維持なし得る記録
装置を提供するにある。
更に詳細には、本発明は記録用レンズと記録体との隙間
に流速を持った気体を流入するための手段を設け、記録
用レンズないいま記録体表面に付着する蒸発物質ないい
ま塵等を除去し、長時間にわたる安定した記録を可能な
らしめた新規の記録装置を提供するにある。
に流速を持った気体を流入するための手段を設け、記録
用レンズないいま記録体表面に付着する蒸発物質ないい
ま塵等を除去し、長時間にわたる安定した記録を可能な
らしめた新規の記録装置を提供するにある。
以下、図面に従って本発明の記録装置を更に詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例に係る記録装置を回転するデ
ィスク状の記録材上にレーザビームで記録するディスク
装置に適用した場合の断面図を示すものである。
ィスク状の記録材上にレーザビームで記録するディスク
装置に適用した場合の断面図を示すものである。
１は記録ディスク３を回転するためのモータでシャフト
にはターンテーブル２が同心的に取付けられている。
にはターンテーブル２が同心的に取付けられている。
円形状の記録ディスク３は前記記録材が光学レンズ群１
９側に設けられているものでターンテーブル２に載せら
れディスク固定ねじ４によって同心的にターンテーブル
２に固定される。５は光学レンズ群１９及び支持バネ１
６等を支持するためのアームでガイド棒６と滑り可能に
支持され且つ送りねじ７と噛合い支持され記録ディスク
３の半径方向に移動できる様に構成させられている。
９側に設けられているものでターンテーブル２に載せら
れディスク固定ねじ４によって同心的にターンテーブル
２に固定される。５は光学レンズ群１９及び支持バネ１
６等を支持するためのアームでガイド棒６と滑り可能に
支持され且つ送りねじ７と噛合い支持され記録ディスク
３の半径方向に移動できる様に構成させられている。
ガイド棒６及び送りねじ７の両端は支持台８及び９‘こ
よって支持されている。送りねじ７の片端部には大歯車
１０が取付けられていて送りねじ駆動モーター３に取付
けられてし、た小歯車１１によって大歯車１０は回転さ
せられ送りねじ７の回転に従ってアーム５はガイド棒６
に沿って駆動するものである。送りねじ駆動モータ１３
はモータ取付け台１２を介して支持台９に取付けられて
いる。光学レンズ群１９は光学系保持基板１４に固定さ
れ光学系保持基板１亀もこはディスク３と対向する位置
に浮動素子１６が取付けられている。浮動素子１５には
圧縮流体例えば空気或いは窒素ガスが流通できる様な穴
４０が貫通して設けられていて光学系保持基板１４の浮
動素子１５取付け面の裏面に設けられたェアパィプ取付
け具１７を介してェアパィプ１８に流路を形成しつつェ
ァパィプ１８が取付けられている。不図示のフィルター
によって異物が取り除かれた圧縮流体はヱアバィプ１８
を経て浮動素子１５に設けられた穴４０より記録ディス
ク３面に噴出し、一方光学系保持基板１４は支持バネ１
６を介してアーム５に取付けられているため圧縮流体に
よる浮上力と支持バネ１６による押圧力とのつり合いに
よって記録ディスク３の表面と一定の間隔を保って浮動
するものである。２２はしンズ群１９のディスク面側と
記録ディスク面との空間に圧縮流体を矢印の方向に流し
込むためのノズルである。
よって支持されている。送りねじ７の片端部には大歯車
１０が取付けられていて送りねじ駆動モーター３に取付
けられてし、た小歯車１１によって大歯車１０は回転さ
せられ送りねじ７の回転に従ってアーム５はガイド棒６
に沿って駆動するものである。送りねじ駆動モータ１３
はモータ取付け台１２を介して支持台９に取付けられて
いる。光学レンズ群１９は光学系保持基板１４に固定さ
れ光学系保持基板１亀もこはディスク３と対向する位置
に浮動素子１６が取付けられている。浮動素子１５には
圧縮流体例えば空気或いは窒素ガスが流通できる様な穴
４０が貫通して設けられていて光学系保持基板１４の浮
動素子１５取付け面の裏面に設けられたェアパィプ取付
け具１７を介してェアパィプ１８に流路を形成しつつェ
ァパィプ１８が取付けられている。不図示のフィルター
によって異物が取り除かれた圧縮流体はヱアバィプ１８
を経て浮動素子１５に設けられた穴４０より記録ディス
ク３面に噴出し、一方光学系保持基板１４は支持バネ１
６を介してアーム５に取付けられているため圧縮流体に
よる浮上力と支持バネ１６による押圧力とのつり合いに
よって記録ディスク３の表面と一定の間隔を保って浮動
するものである。２２はしンズ群１９のディスク面側と
記録ディスク面との空間に圧縮流体を矢印の方向に流し
込むためのノズルである。
ェアパィプ２１は圧縮流体を光学系保持基板１４へ導く
ためのパイプでヱアパイプ取付け具２０を介してノズル
２２に導かれている。ミラー２３は光学レンズ群１９に
不図示の光変調器に依り変調された光東を導入するため
のもので光東は光学レンズ群１９によって微小スポット
光に絞られ記録ディスク３上に照射される。このとき記
録ディスク面上に設けられた記録材は微小なスポット光
の熱エネルギーにより蒸発或いは破壊され飛散する性質
を有するがため、記録ディスク３面上に照射される光東
が前記の如く信号に被り強度変調させられていることか
ら、記録材に信号が記録されることとなる。ここでノズ
ル２２は、ビームに依って蒸発した記録材がレンズ表面
に付着しない様ノズル２２より圧縮流体を噴出せしめ蒸
発した記録材を光学レンズ群１９と記録ディスク３との
空間より外へ吹き飛ばすことを目的とするものである。
なお、更には蒸発した記録材が装置内部に拡散し充満し
て他の部分に付着するのを防ぐために吹き飛ばされた蒸
発物をアウトレット手段により装置外部に排出すること
が望ましいが、これを実現したのが、第２図示構成であ
って、蒸発した記録材を排気する排気口３Ｑを設けたも
のである。
ためのパイプでヱアパイプ取付け具２０を介してノズル
２２に導かれている。ミラー２３は光学レンズ群１９に
不図示の光変調器に依り変調された光東を導入するため
のもので光東は光学レンズ群１９によって微小スポット
光に絞られ記録ディスク３上に照射される。このとき記
録ディスク面上に設けられた記録材は微小なスポット光
の熱エネルギーにより蒸発或いは破壊され飛散する性質
を有するがため、記録ディスク３面上に照射される光東
が前記の如く信号に被り強度変調させられていることか
ら、記録材に信号が記録されることとなる。ここでノズ
ル２２は、ビームに依って蒸発した記録材がレンズ表面
に付着しない様ノズル２２より圧縮流体を噴出せしめ蒸
発した記録材を光学レンズ群１９と記録ディスク３との
空間より外へ吹き飛ばすことを目的とするものである。
なお、更には蒸発した記録材が装置内部に拡散し充満し
て他の部分に付着するのを防ぐために吹き飛ばされた蒸
発物をアウトレット手段により装置外部に排出すること
が望ましいが、これを実現したのが、第２図示構成であ
って、蒸発した記録材を排気する排気口３Ｑを設けたも
のである。
第２図示構成に於て、ヱアパィプ２１によって導かれた
圧縮流体はヱアパィブ取付け臭２０によって光学系保持
基板１４に取付けられた圧縮流体噴出ノズル２２へ連結
され該ノズル２２より光学レンズ群１９と記録ディスク
３との空間に光学レンズ群１９の光軸とほぼ直交する方
向に噴出される。一方排気口３０は光学レンズ群１９に
対して圧縮空気噴出ノズル２２と対向した位置に設けら
れ圧縮流体によって吹き飛ばされた記録材は排気口３０
１こ流入して、光学系保持基板１４に取付けられたェア
パィプ取付け貝２９を通じて排気パイプ２８に導かれ装
置外へ排出されるものである。なお、噴出ノズル２２の
形状等を選定することに依り浮動素子の機能を兼用させ
ることも可能である。以上の各実施例でも明らかな様に
本発明の主旨は光学レンズ群と記録ディスク面の空間に
於て記録時に発生する記録材等の飛散物を積極的に除去
することであり前述の実施例に限られることなくまた記
録材もまた限定せられるものではない。また本発明の適
用は、上記実施例に挙げた様なディスク装置に限られる
ものではなく、光学的な手段に依って記録材を蒸発ない
しは破壊することに依って記録を行なう様なあらゆる記
録装置に適用なし得るものである。
圧縮流体はヱアパィブ取付け臭２０によって光学系保持
基板１４に取付けられた圧縮流体噴出ノズル２２へ連結
され該ノズル２２より光学レンズ群１９と記録ディスク
３との空間に光学レンズ群１９の光軸とほぼ直交する方
向に噴出される。一方排気口３０は光学レンズ群１９に
対して圧縮空気噴出ノズル２２と対向した位置に設けら
れ圧縮流体によって吹き飛ばされた記録材は排気口３０
１こ流入して、光学系保持基板１４に取付けられたェア
パィプ取付け貝２９を通じて排気パイプ２８に導かれ装
置外へ排出されるものである。なお、噴出ノズル２２の
形状等を選定することに依り浮動素子の機能を兼用させ
ることも可能である。以上の各実施例でも明らかな様に
本発明の主旨は光学レンズ群と記録ディスク面の空間に
於て記録時に発生する記録材等の飛散物を積極的に除去
することであり前述の実施例に限られることなくまた記
録材もまた限定せられるものではない。また本発明の適
用は、上記実施例に挙げた様なディスク装置に限られる
ものではなく、光学的な手段に依って記録材を蒸発ない
しは破壊することに依って記録を行なう様なあらゆる記
録装置に適用なし得るものである。
第１図は本発明の一実施例に係る記録装置を回転するデ
ィスク状の記録村上にレーザビームで記録するディスク
装置に適用した場合の断面図、第２図は本発明の他の実
施例に係る記録装置の部分断面図である。 ３……記録ディスク、１４……光学系保持基板、１９・
・・・・・光学レンズ群、２０・・・・・・ェアパィプ
取付け具、２２・…ｄ・圧縮流体噴出ノズル、２８・・
・…排気パイプ、３０……排気口。 茨’図 努乙図
ィスク状の記録村上にレーザビームで記録するディスク
装置に適用した場合の断面図、第２図は本発明の他の実
施例に係る記録装置の部分断面図である。 ３……記録ディスク、１４……光学系保持基板、１９・
・・・・・光学レンズ群、２０・・・・・・ェアパィプ
取付け具、２２・…ｄ・圧縮流体噴出ノズル、２８・・
・…排気パイプ、３０……排気口。 茨’図 努乙図
Claims (1)
- １ 熱エネルギーにより蒸発或いは破壊され飛散する性
質を有する記録材に対して近接して設けられた光学系、
前記光学系と前記記録材の間隙に流体を流入するための
噴出口、及び前記光学系に対して前記噴出口と対向した
位置に設けられ、前記噴出口から流入した流体を排出す
る排気口を備えることを特徴とする記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51030487A JPS608538B2 (ja) | 1976-03-19 | 1976-03-19 | 記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51030487A JPS608538B2 (ja) | 1976-03-19 | 1976-03-19 | 記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52113702A JPS52113702A (en) | 1977-09-24 |
| JPS608538B2 true JPS608538B2 (ja) | 1985-03-04 |
Family
ID=12305183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51030487A Expired JPS608538B2 (ja) | 1976-03-19 | 1976-03-19 | 記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608538B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0792921B2 (ja) * | 1983-05-12 | 1995-10-09 | 松下電器産業株式会社 | 原盤記録装置 |
| JP2664891B2 (ja) * | 1985-05-15 | 1997-10-22 | 株式会社ニコン | アクセサリーもしくはアクセサリーを備えたカメラシステム |
| JPS6212279U (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-24 |
-
1976
- 1976-03-19 JP JP51030487A patent/JPS608538B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52113702A (en) | 1977-09-24 |
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