KR100616021B1 - 스핀 코팅 장치 및 디스크형 기록 매체의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스크의 스핀 코팅시에 이용하는 마스크에 관한 것으로, 세정시에 있어서의 상기 마스크의 파손 등을 방지할 수 있는 스핀 코팅 장치를 제공한다. 구체적으로는 상기 장치의 구성을, 스피너 상에 적재된 디스크 부재 상에 마스크를 적재하여 스핀 코팅을 행한 후, 디스크 부재 상으로부터 제거된 단독의 마스크에 대해 바로 세정, 린스 및 건조의 처리를 연속적으로 행하고, 또한 상기 처리 후의 마스크를 연속적으로 다음의 스핀 코팅 프로세스에 공급하는 구성으로 한다.

스핀 코팅 장치, 스피너, 디스크 부재, 마스크

Description

스핀 코팅 장치 및 디스크형 기록 매체의 제조 방법 {SPIN-COATING DEVICE AND METHOD OF PRODUCING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM}

본 발명은, 대략 원판 형상으로 이루어지는 디스크 부재 상에 스핀 코팅법을 이용하여 도포막을 형성하는 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 CD, CD-R, CD-RW 등의 CD계 디스크나 DVD-ROM, DVD-R, DVD-RW, DVD-RAM 등의 DVD계 디스크 혹은 최근 개발이 진행되고 있는 블레이저 대응 디스크 등의 광디스크, 혹은 MO, MD 등의 광자기 디스크를 제조할 때에 있어서, 스핀 코팅법을 이용하여 성막을 행할 때에 이용하는 마스크를 공급 및 배출 및 세정하는 장치에 관한 것이다.

스핀 코팅은 디스크 부재의 중심 부근에 액상 재료를 공급하고, 디스크 부재를 회전시켜 회전에 의한 원심력으로 상기 액상 재료를 전연(展延)하여 디스크 부재 표면에 상기 액상 재료의 피막을 형성한다는 기술이다. 스핀 코팅은, 예를 들어 콤팩트 디스크, DVD계 디스크 등의 보호층의 형성 등에 널리 이용되고 있다.

이들 디스크에서는 디스크 드라이브 장치에의 장착시의 센터링을 위한 구멍(예를 들어 15ø)이 형성되어 있고, 또한 사출 성형시에 있어서 스탬퍼를 보유 지지하기 위한 홈 등이 있으므로, 디스크 기판의 중심부에는 막(층)을 형성하지 않는다. 그로 인해 이들 디스크에 스핀 코팅의 방법을 이용하여 막 형성(도포막)을 행 할 때에는 상기 홈 등보다도 외주 부분으로부터 코팅을 행한다. 보다 균일한 도포막이 요구되는 경우에는 디스크 기판의 중심부를 커버하는 마스크를 설치하여 그 상부로부터 코팅제를 공급하여 도포막을 형성함으로써 기판 중심부에는 코팅이 실시되지 않도록 한다.

디스크의 스핀 코팅 장치에 있어서의 마스크의 사용예를 도6에 나타낸다. 도6은 스핀 코팅 장치의 스피너 상에 설치된 디스크와 그 위에 놓여진 마스크를 도시하는 단면도이다. 도시하지 않은 모터에 접속되어 회전 구동되는 스피너 샤프트(200) 상에 스피너 테이블(202)이 고정되어 있다. 스피너 테이블(202) 상에는 스페이서(203)가 고정되어 있고, 그 위에 디스크(204)가 놓여져 있다. 디스크(204)는 도시하지 않은 수단에 의해 스페이서(203)에 진공 흡착된다. 디스크(204) 상에 디스크의 중심부를 커버하는 마스크(206)가 놓여져 있다. 이 때, 스피너 테이블(202)의 상면 중앙부 부근에 설치된 링형 돌기(205)와 마스크(206)의 링형 홈(206a)이 끼워 맞추어져 있다. 스핀 코팅시에는 경로(210)를 거쳐서 스피너 테이블(202)의 중앙부의 공간(212)을 진공으로 함으로써 마스크(206)를 흡착 보유 지지한다.

코팅에 있어서는, 마스크의 중앙부 부근에 상부로부터 액상의 코팅 재료를 공급한다. 그 후 턴테이블을 고속으로 회전시키고, 마스크 상에 공급된 코팅 재료를 회전의 원심력에 의해 디스크 상의 마스크로 커버되어 있지 않은 부분 전면에 전연한다. 이에 의해 디스크의 상기 부분 전체에 대략 균일한 두께로 코팅 재료의 막(층)이 형성된다. 이상의 스핀 코팅 프로세스가 종료되면 마스크의 진공 흡착을 해제하여 마스크가 제거된다.

이상과 같이, 디스크 상에 막 형성을 행한 후, 상기 막을 경화시키기 위해, 디스크 표면에 대한 자외선 조사 혹은 디스크의 가열 등의 처리가 행해진다. 또한, 최근 개발이 진행되고 있는 블레이저 대응의 DVR 디스크 등에 있어서는 파장이 짧은 블레이저를 정보의 판독 등에 이용하므로, 보다 균일한 두께에서의 코팅재의 도포가 요구된다. 본 출원인은 이와 같은 DVR 디스크 등을 제조하기 위한 장치로서, 디스크 상에 코팅재를 높은 균일성을 유지하면서 도포하고, 또한 도포막의 경화까지를 대략 연속적으로 행하는 방식을 제안하고 있다.

이와 같은 방식에 있어서는, 통상은 다수개의 마스크가 미리 준비되어 있고, 개개의 디스크에 이들 마스크를 차례로 공급하면서 막 형성 공정이 행해지고 있다. 마스크는 그 표면에 코팅 재료가 잔존한 경우, 그 표면에 다른 코팅 재료를 공급한 경우에는 디스크 상에서 균일한 도포막을 얻는 조건이 다를 우려가 있다. 또한, 마스크(206)와 디스크(204)의 경계부(도6에 있어서 A로 나타내는 부분)에 코팅 재료가 남으면, 디스크(204)로부터 마스크(206)를 박리하였을 때에 마스크(206) 이면을 오염시켜 버린다. 동일한 마스크를 연속으로 사용하는 경우에는 이 오염에 의해 다음에 이 마스크를 이용하여 도포막이 형성되는 디스크에 관해서도 이를 오염시켜버릴 우려도 있다. 이로 인해, 개개의 막 형성 공정을 종료한 후에 마스크를 폐기하거나, 혹은 그 표면상에 존재하는 코팅 재료를 제거할 필요가 있고, 통상은 코팅재 부착 후의 마스크가 어느 정도 이상의 수량이 된 단계에서 이들을 세정 용제 등에 모아서 침지하고, 코팅재를 제거하는 처리가 행해진다.

앞에도 서술한 바와 같이, 코팅 재료의 도포시에 있어서 마스크(206)와 디스크(204)의 경계 부분(도6에 부호 A로 나타내는 부분)도 코팅 재료로 덮인다. 이 경계 부분에는 통상 마스크(206)단부에 의한 단차가 존재한다. 그러나, 도포막의 균일 부분을 이 경계 부분에 최대한 가까이 하고자 한 경우, 마스크(206)단부는 최대한 그 두께를 얇게 하는 동시에 디스크(104) 표면에 확실하게 밀착하도록 충분한 평면도를 갖고 있을 필요가 있다. 즉, 마스크(206)의 주위선단부는 얇고 또한 끝이 뾰족한 형상으로 가공되어 있다.

그러나, 상술한 바와 같이 다수의 마스크를 모아서 세정하는 경우, 이들을 서로 접촉시켜 버리는 것 등에 의해, 이 선단부를 파손하여 다음의 공정에 있어서 사용할 수 없는 마스크가 생기게 될 우려가 있다. 따라서, 이와 같은 마스크를 세정하여 건조 등을 시키는 공정은 매우 수고가 필요한 것이고, 디스크 작성에 있어서의 비용 삭감, 제품 관리 등의 관점으로부터 개선할 여지가 많이 있다고 인정된다.

본 발명은 상기 과제에 비추어 이루어진 것으로, 마스크의 파손이 생기게 될 우려를 없애고 마스크의 세정 등을 행하는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다. 또한 본 발명은 충분히 그 상태가 관리된 마스크를 반복해서 사용하고 연속적으로 디스크 등의 생산을 행하는 것이 가능해지는 스핀 코팅 장치 및 자기 기록 매체의 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 스핀 코팅 장치는 디스크 부재 의 중앙 부근에 액상 재료를 공급하고, 디스크 부재를 회전시켜 원심력에 의해 상기 액상 재료를 전연시켜 디스크 부재 상에 액상 재료의 도포막을 형성하는 스핀 코팅을 행하기 위한 장치이며, 디스크 부재를 보유 지지하여 회전하는 스피너 기구와, 스피너 기구에 있어서 디스크 부재가 회전될 때에 디스크 부재의 중심 및 그 근방을 덮는 마스크를 디스크 부재 상에 공급하고, 또한 디스크의 회전 종료 후에 디스크 부재 상으로부터 마스크 제거를 위한 마스크 공급 배제 기구와, 스피너 기구에 있어서 디스크 부재 및 마스크가 보유 지지되어 회전될 때에 디스크 부재 및/또는 마스크 상에 상기 액상 재료를 공급하는 디스펜서 기구와, 마스크 공급 배제 기구로부터 액상 재료가 부착된 마스크를 수취하고, 수취한 마스크에 부착한 액상 재료를 세정 제거하고, 세정이 완료된 마스크를 마스크 공급 배제 기구로 교환하는 세정 기구를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 전술한 스핀 코팅 장치에 있어서는, 마스크 공급 배제 기구는 마스크를 파지 및 해방하는 척 기구를 갖는 마스크 공급 아암과, 마스크 공급 아암 사이에서 마스크의 수수(授受)를 행하는 동시에 간헐적으로 소정 각도씩 회전하는 마스크 테이블을 갖는 것이 바람직하다.

또한, 세정 기구는 마스크를 세정하기 위한 세정제를 갖는 적어도 하나의 세정부, 마스크에 부착한 세정제를 린스하기 위한 린스부 및 린스 후의 마스크를 건조시키기 위한 건조부 및 마스크를 파지하여 세정부, 린스부 및 건조부에 대해 상기 마스크를 삽입하는 반송 아암을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 세정부, 린스부 및 건조부는 소정의 반경을 갖는 대략 원주 상에 소정 각도를 두고 배치되고, 반송 아암은 원주의 중심을 회전 중심으로 하여 소정 각도씩 간헐적으로 회전하는 동시에 회전 정지시에 있어서 마스크를 세정부, 린스부 및 건조부에 삽입하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명은 전술한 스핀 코팅 장치를 이용하여 코팅이 실시된 디스크 부재를 제공하는 것도 목적으로 하고 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 제조 방법은 디스크 부재 상에 적어도 스핀 코팅에 의해 도포막을 형성하여 디스크형 기록 매체를 제조하는 방법이며, 특정 축을 중심으로 하여 회전 가능한 스피너 상에 상기 디스크 부재를 적재하고, 마스크의 공급 및 수취용 위치 중 적어도 하나의 마스크의 대기 위치를 갖는 마스크 테이블 상으로부터 마스크를 디스크 부재 상의 대략 중앙부에 적재하고, 디스크 부재 및 마스크 상에의 코팅재를 공급하여 스피너를 회전시킨 후에 마스크를 디스크 부재 상으로부터 제거하여 마스크 테이블의 공급 및 수취용 위치에 마스크를 복귀시키고, 디스크 부재 상의 코팅제를 고화시키는 공정으로 이루어져 디스크 부재 상으로부터 제거된 마스크에 대해서는 즉시 마스크 상에 부착한 코팅제의 세정을 행하는 적어도 하나의 세정부에의 삽입, 마스크에 부착한 세정제의 린스를 행하는 린스부에의 삽입 및 마스크의 건조를 행하는 건조부에의 삽입의 각 처리가 차례로 행해지고, 각 처리를 경유한 마스크가 차례로 다른 디스크 부재 상에 적재되는 것을 특징으로 한다.

도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 스핀 코팅 장치에 있어서의 주요부인 마 스크 세정부 등의 개략 구성을 도시하는 평면도이다.

도2는 도1에 도시한 마스크 공급 배출부(55a)를 측면으로부터 본 상태의 개략 구성을 도시하는 도면이다.

도3은 도1에 도시한 마스크 공급 배출부(55b)를 측면으로부터 본 상태의 개략 구성을 도시하는 도면이다.

도4는 도1에 도시한 세정부 등을 측면으로부터 본 상태의 개략 구성을 도시하는 도면이다.

도5는 도1에 도시한 건조부 등을 측면으로부터 본 상태의 개략 구성을 도시하는 도면이다.

도6은 종래의 스핀 코팅 장치에 있어서의 마스크의 사용예를 설명하는 도면이며, 스피너 상에 놓여진 디스크와 마스크의 단면도이다.

이하에 있어서, 도면을 참조하여 본 발명의 적합한 실시 형태를 설명한다. 도1은 본 발명의 실시 형태로서의 스핀 코팅 장치에 있어서의 스핀 코터 및 마스크 공급부 등의 본 발명에 관한 주요부의 구성을 도시하는 개략 평면도이다. 도시되지 않은 기판은 스피너 기구의 일부를 구성하는 스피너(40)의 중앙부에 있어서 보유 지지되어 기판의 회전 및 코팅재의 도포가 행해진다. 마스크 공급 배제 기구인 마스크 공급 배출부(50)는 마스크 테이블(55), 마스크 이동 아암(51) 및 아암 구동 기구(52)로 구성된다.

마스크 테이블(55)은 축(A)을 중심으로 하여 도면 중 55a 내지 55d의 4위치 에 따른 소정 각도마다 소정 시간 정지하도록 도면 중 화살표 D로 나타내는 방향으로, 간헐적으로 회전 동작을 행하고 있다.

도2에 마스크 이동 아암(51) 등을 위치(55c) 방향으로부터 본 경우에 있어서의 측면의 개략 구성을 도시한다. 마스크 테이블(55) 상의 위치(55a) 상에 상부 돌기(56b)를 갖는 마스크(56)가 적재되어 있다. 마스크 이동 아암(51)은 아암 구동 기구(52)에 배치된 에어 실린더(57)를 거쳐서 상하 구동된다. 마스크 이동 아암(51)의 선단부에 배치된 척 기구(53)는 에어 실린더(57)에 의해 아암(51)과 함께 상부 돌기(56b)를 파지 가능한 높이까지 강하한다. 또한, 외부로부터 척 기구(52)로 구동용 에어 등을 공급하고 척을 폐쇄하여 상부 돌기(56b)를 파지한다. 그 후, 마스크 이동 아암(51)은 마스크(56)를 보유 지지한 척 기구(53)와 함께 소정 높이까지 상승하고, 아암 구동 기구(52)에 의해 상기 마스크(56)가 스피너(40)의 중앙 바로 위에 위치할 때까지 구동된다. 상기 위치에 있어서, 마스크 이동 아암 등의 강하, 척 기구(53)에 의한 마스크 상부 돌기(56b)의 파지 해방이 이루어져 기판 상에의 마스크의 적재가 완료된다.

코팅재 부착 후의 마스크(56)는 마스크 이동 아암(51) 및 척 기구(53)가 앞서 서술한 마스크(56) 적재와는 반대의 동작을 행함으로써 도시되지 않은 기판 상으로부터 제거된다. 또한, 상기 마스크(56)는 척 기구 등에 의해 마스크 테이블(55) 상의 위치(55a)까지 복귀되어 마스크 테이블(55) 상에 적재된다. 상기 마스크(56)는 마스크 테이블(55)의 축(A)을 중심으로 하는 간헐적인 회전에 수반하여 위치(55b)로 운반되어 정지하고, 이 위치에서 도1에 도시하는 마스크 세정부(120) 로 운반된다. 마스크 세정부(120)는 마스크 세정 기구를 구성한다.

마스크 세정부(120)는 제1 및 제2 세정부(121, 122), 린스부(123) 및 건조부(124)의 각 처리부와, 이들 각 처리부 및 마스크 취출 공급 위치가 되는 위치(55b)로 마스크를 반송하는 반송 아암(125) 등으로 구성되어 있다. 상기 반송 아암(125)은 각 처리부 및 위치(55b) 각각에 따른 소정 각도(이 경우 60도)마다 소정 시간 정지하도록 그 중앙부인 축(B)을 중심으로 하여 도면 중 화살표 C로 나타내는 방향으로, 간헐적으로 회전 동작을 행하고 있다. 또한, 반송 아암(125)은 도시되지 않은 상하 구동 기구에 의해 소정 시간 정지시에 있어서, 일정량의 하강, 일정 시간의 하강 위치에서의 정지 및 통상 위치에의 상승의 각 동작을 행한다. 또한, 반송 아암(125)은 축(B)을 중심으로 하여 전술한 소정 각도를 두고 방사형으로 설치된 복수의 아암부(125a 내지 125f)를 갖고 있고, 또한 그 선단부에 세정부 척 기구(126)가 배치되어 있다.

위치(55b)에 있어서, 마스크(56)의 상부 돌기(56b)를 보유 지지한 상태의 세정부 척 기구(126)를 측면으로부터 본 상태의 개략 구성을 도3에 도시한다. 상기 척 기구(126)에는, 통상은 파지 상태로 되어 있고 외부 조작에 의해 척부의 개폐를 행하는 형식의 것을 이용하고 있다. 본 실시예에 있어서는 외부 조작 기구로서 에어 실린더를 이용하는 것으로 하고, 도시되지 않은 구동 기구에 의해 상하 구동 가능한 세정부용 에어 실린더(131)가 위치(55b)의 바로 위에 배치되어 있다. 반송 아암(125)이 강하하여 위치(55b)에 존재하는 마스크의 상부 돌기(56b)가 척 기구(126)에 의해 파지 가능해졌을 때, 혹은 돌기(56b)를 파지한 척 기구(126)가 강하 하여 위치(55b) 상에 마스크를 적재한 상태일 때에 세정부용 에어 실린더(131)가 강하하여 척 기구(126)와 접속되고, 척 기구(126)에 파지 혹은 해방의 각 동작을 행하게 한다.

이하, 제1 및 제2 세정부에 있어서의 마스크의 세정 처리 및 건조부에 있어서의 마스크의 건조 처리의 개략을 각각 도시하는 도3, 도4 및 도5를 참조하여 세정 처리 등의 순서에 대해 상세하게 서술한다. 위치(55b)에 있어서 마스크를 파지한 척 기구(126)는 반송 아암(125)의 상승 동작에 수반하여 통상 위치로 상승한 후, 축(B)을 중심으로 하여 소정 각도 회전되어 정지, 하강, 일정 시간의 정지, 상승된 후, 또한 소정 각도 회전된다. 마스크(56)는 이 하강 조작에 의해 각 처리부로 삽입된다. 본 실시 형태에 있어서는 마스크 세정부(120)의 배치의 관계상 이와 같은 실제 세정 처리와는 관계가 없는 마스크 및 척 기구(126)의 상하 이동 등이 존재하지만, 처리부의 배치 등에 의해 이 동작도 세정 처리에 기여시키는 것으로 해도 좋다.

척 기구(126)는 또한 소정 각도 회전되어 제1 세정부(121) 상에서 정지된다. 제1 세정부(121)는 조 내에 세정 용제(121a)가 축적된 초음파 세정조로 구성되어 있다. 상기 정지 위치에서 하강됨으로써 척 기구(126)에 있어서의 마스크를 파지한 부분 및 마스크(56)는 초음파 영역의 진동이 가해진 세정 용제(121a) 내에 침지되어 그 표면에 부착한 코팅재의 용해 등의 처리가 이루어지는 것이 된다. 마스크(56)는 이 상태에서 일정 시간 보유 지지된 후, 반송 아암(125)에 수반되어 상승하고, 계속해서 제2 세정부 상까지 회전 이동되어 정지된다.

제2 세정부(122)는 조 내에 세정 용제(121a)와 같은 성분으로 이루어지는 세정 용제(122a)가 축적된 초음파 세정조로 구성되어 있고, 기본적 구성은 제1 세정부(121)와 마찬가지로 되어 있다. 상기 세정 용제(122a)를 이용하여 다시 마스크(56) 표면을 초음파 세정함으로써, 표면 상의 코팅재의 잔재를 완전히 용해, 제거하는 것이 가능해진다. 마스크(56)는 일정 시간 제2 세정부(122)에 보유 지지된 후에 제1 세정부(121)의 경우와 마찬가지로 상기 세정조 내로부터 취출되어 반송 아암의 다음 정지 위치에 배치된 린스부(123) 내에 침지된다.

린스부(123)는 조 내에 린스제(123a)가 축적된 초음파 세정조로 구성되어 있고, 기본적 구성은 제1 세정부(121)와 마찬가지로 되어 있다. 상기 린스제(123a) 내에서 마스크(56)의 린스를 행함으로써, 마스크 표면에 잔존하는 세정 용제(122a) 등을 제거하는 것이 가능해진다. 따라서, 린스제(123a)로서는 세정제(121a) 등에 부착하여 사용하는 재료가 바람직하고, 또는 세정제(121a) 등보다도 증발하기 쉬운 재료가 바람직하다. 마스크(56)는 일정 시간 상기 린스부(123) 내에 보유 지지된 후에 제1 세정부(121)의 경우와 마찬가지로 상기 세정조 내로부터 취출되어 반송 아암의 다음의 정지 위치에 배치된 건조부(124) 내로 이송된다.

건조부(124)는 마스크 표면에 부착한 린스제(123a)를 불어 날리기 위한 건조용 기체를 공급하는 노즐(127), 불어 날려진 린스제(123a)의 주변에의 비산을 방지하는 커버(128), 커버(128) 내에 저장된 린스제를 배출하기 위한 드레인(129) 및 커버 내에서 기화된 린스제(124a)를 배기하기 위한 흡기 덕트(128a)로 구성된다. 건조부(125)에 있어서, 마스크(56) 등의 표면 상에 부착되어 있는 린스제(124a)는 노즐(127)로부터 도입된 고청정의 건조 질소 등의 건조용 기체를 송풍함으로써 제거되어 마스크(56)의 표면 상이 청정한 상태에서 건조된다.

일정 시간의 건조용 기체의 송풍이 종료되어 마스크(56) 표면의 건조가 종료되면, 상기 마스크(56)는 건조부(124)로부터 지금까지와 동일한 순서로 취출되어 위치(55b)까지 회전 반송된다. 건조 종료 후의 마스크는 위치(55b)에서 마스크 테이블(55)로 교환되고, 위치(55c, 55d)를 경유하여 위치(55a)에 도달한다. 상기 위치(55a)에서 세정, 건조 후의 마스크(56)는 다시 기판에 대한 성막 공정에 이용되기 위해, 마스크(56)는 이를 파지하는 척 기구(53) 등과 함께 아암 이동 기구(52)에 의해 스피너(40) 중앙 바로 위까지 구동된다. 이하, 상술한 조작이 반복해서 실행된다.

이상에서 서술한 마스크 세정부(120)를 스핀 코팅 장치에 부가하여 기판에 대한 코팅재의 도포마다 마스크 세정을 행하는 구성으로 함으로써, 마스크의 파손을 우려하는 일 없이 스핀 코팅을 행하는 것이 가능해진다. 또한, 마스크를 개개에 취급하면서 세정하는 구성으로 함으로써, 스핀 코팅과 동시에 마스크 관리도 동시에 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 필요 최소수의 마스크를 이용하여 스핀 코팅을 행하는 것이 가능해지고, 정밀도가 높은 가공 공정 및 확실한 관리가 요구되는 마스크를 삭감하고, 스핀 코팅에 있어서의 작업 비용 등의 삭감도 가능해진다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 마스크 테이블의 정지 위치는 4위치, 또한 세정부에 있어서의 반송 아암은 6계통으로 하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 기판 각각에 대해 요구되는 처리 시간 등, 혹은 보다 효율적인 세정 처리 순 서 등을 감안하여 적절하게 변경되는 것이 바람직하다. 즉, 기판 1매에 대한 코팅 시간이 짧은 경우에는 마스크 테이블의 정지 위치를 늘림으로써 이것에 대응해도 좋다. 또한, 세정 공정에 있어서 보다 많은 용제 등이 필요해지는 경우에는 반송 아암 및 세정부의 수를 증가시키는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시예에 있어서는 세정제(121a와 122a)를 동일 성분으로 이루어지는 것으로 하고 있지만, 세정의 조건 등에 따라서 이들을 다른 성분으로 이루어지는 것으로 하는 것도 가능하다. 세정부 각각에 대해서는, 초음파 세정은 필수는 아니고, 이를 제외하는 것으로 해도 좋다. 반대로, 주파수가 다른 초음파에 의한 진동을 동일 세정부에 시간을 바꾸어 가하는 것으로 해도 좋고, 동일한 세정 용제 등을 이용한 다른 세정부에서 각각 독립적으로 가하는 것으로 해도 좋다. 또한, 코팅제를 용해시키는 약제는 세정 용제에 한정되지 않고, 유기 용제, 무기 용제, 산, 알칼리 등 다양한 약제를 이용하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 세정 용제 등의 온도에 관해서는 특별히 언급하고 있지 않지만, 세정 용제 등의 온도는 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 또한, 처리 시간 등을 감안하여 그 비점 이하의 소정의 항온도 하에서 유지하는 것으로 해도 좋다. 이 경우, 초음파조 등에는 온도 조절 가능한 히터 및 기화된 세정 용제를 주위에 만연시키지 않기 위한 커버 및 흡기 덕트 등을 부가하는 것이 바람직하다.

또한, 척 기구는 외부 조작형의 것을 이용하는 것으로 하고 있지만, 보다 간편한 구조를 갖는 것이면 본 형식에 한정되지 않고, 또한 구동 기구도 본 실시 형 태에 도시한 에어 실린더 등으로 한정되지 않는다. 아암 이동 기구에 관해서는 다양한 형식의 것을 이용하는 것이 가능하므로, 특별히 언급하고 있지 않지만, 정지 정밀도 및 간편성 등으로부터 볼 나사 등에 의해 구성되는 것을 이용하는 것이 바람직하다.

이상에 서술한 본 발명에 관한 마스크 세정부는 스피너(40)를 주된 구성으로 하는 스핀 코팅 장치에 부가되기 위해 안출된 것이다. 따라서, 부가 대상이 되는 스핀 코팅 장치로서, 특별히 그 형식 등을 한정하는 것을 필요로 하지 않고, 상기 마스크 세정부를 부가할 수 있는 공간 등이 확보 가능하면, 다양한 형식의 스핀 코팅 장치에 대해 부가하는 것이 가능하다.

본 발명에 따르면, 이상에 서술한 마스크 세정부(120)를 스핀 코팅 장치에 부가하여 기판에 대한 코팅재의 도포마다 마스크 세정을 행하는 구성으로 함으로써 마스크의 파손을 우려하는 일 없이 스핀 코팅을 행하는 것이 가능해진다. 또한, 마스크를 개개에 취급하면서 세정하는 구성으로 함으로써 스핀 코팅과 동시에 마스크 관리도 동시에 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 필요 최소수의 마스크를 이용하여 스핀 코팅을 행하는 것이 가능해지고, 정밀도가 높은 가공 공정 및 확실한 관리가 요구되는 마스크를 삭감하고, 스핀 코팅에 있어서의 작업 비용 등의 삭감도 가능해진다.

Claims (6)

1. 디스크 부재의 중앙 부근에 액상 재료를 공급하고, 디스크 부재를 회전시켜 원심력에 의해 상기 액상 재료를 전연시키고, 디스크 부재 상에 상기 액상 재료의 도포막을 형성하는 스핀 코팅을 행하기 위한 장치이며,

   디스크 부재를 보유 지지하여 회전하는 스피너 기구와,

   상기 스피너 기구에 있어서 상기 디스크 부재가 회전될 때에 상기 디스크 부재의 중심 및 그 근방을 덮는 마스크를 디스크 부재 상에 공급하고, 또한 상기 디스크 부재의 회전 종료 후에 상기 디스크 부재 상으로부터 상기 마스크 제거를 위한 마스크 공급 배제 기구와,

   상기 스피너 기구에 있어서 상기 디스크 부재 및 마스크가 보유 지지되어 회전될 때에 상기 디스크 부재 및 마스크 중 적어도 한 쪽의 상면에 상기 액상 재료를 공급하는 디스펜서 기구와,

   상기 마스크 공급 배제 기구로부터 상기 액상 재료가 부착된 마스크를 수취하고, 상기 수취한 마스크에 부착된 액상 재료를 세정 제거하고, 상기 세정이 완료된 마스크를 상기 마스크 공급 배제 기구로 교환하는 세정 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 마스크 공급 배제 기구는 상기 마스크를 파지 및 해방하는 척 기구를 갖는 마스크 공급 아암과, 상기 마스크 공급 아암과의 사이에서 상 기 마스크의 수수를 행하는 동시에 간헐적으로 소정 각도씩 회전하는 마스크 테이블을 갖는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 세정 기구는 상기 마스크를 세정하기 위한 세정제를 갖는 적어도 하나의 세정부, 상기 마스크에 부착한 상기 세정제를 린스하기 위한 린스부 및 린스 후의 상기 마스크를 건조시키기 위한 건조부 및 상기 마스크를 파지하여 상기 세정부, 린스부 및 건조부에 대해 상기 마스크를 삽입하는 반송 아암을 갖는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 세정부, 린스부 및 건조부는 소정의 반경을 갖는 대략 원주 상에 소정 각도를 두고 배치되고, 상기 반송 아암은 상기 원주의 중심을 회전 중심으로 하여 상기 소정 각도씩 간헐적으로 회전하는 동시에 회전 정지시에 있어서 상기 마스크를 상기 세정부, 린스부 및 건조부에 삽입하는 것을 특징으로 하는 스핀 코팅 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 스핀 코팅 장치를 이용하여 코팅이 실시된 디스크 부재.
6. 디스크 부재 상에 적어도 스핀 코팅에 의해 도포막을 형성하여 디스크형 기록 매체를 제조하는 방법이며,

   특정축을 중심으로 하여 회전 가능한 스피너 상에 상기 디스크 부재를 적재하고,

   마스크의 공급 및 수취용 위치와 적어도 하나의 마스크의 대기 위치를 갖는 마스크 테이블 상으로부터 상기 마스크를 상기 디스크 부재 상의 대략 중앙부에 적재하고,

   상기 디스크 부재 및 마스크 중 적어도 한 쪽 상면에의 상기 코팅재를 공급하고, 상기 스피너를 회전시키고, 상기 코팅제를 전연시켜 상기 도포막을 형성하고,

   상기 마스크를 상기 디스크 부재 상으로부터 제거하여 상기 마스크 테이블의 공급 및 수취용 위치로 상기 마스크를 복귀시키고,

   상기 디스크 부재 상의 상기 코팅제를 고화시키는 공정을 갖고,

   상기 디스크 부재 상으로부터 제거되어 상기 마스크 테이블 상으로 옮겨진 상기 마스크에 대해서는 상기 마스크 테이블과 함께 그 위치가 회전 이동되어 회전 이동 후의 위치에서 상기 마스크 상에 부착한 상기 코팅제의 세정을 행하는 적어도 하나의 세정부에의 삽입, 상기 마스크에 부착한 세정제의 린스를 행하는 린스부에의 삽입 및 상기 마스크의 건조를 행하는 건조부에의 삽입의 각 처리가 차례로 행해지고, 상기 각 처리를 경유한 마스크가 차례로 다음의 디스크 부재 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 디스크형 기록 매체의 제조 방법.

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