TWI254307B - Spin-coating device and method of producing disk-like recording medium - Google Patents

Description

1254307 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】

本發明是關於一種在大致圓板形狀所構成的磁碟體上 利用旋轉塗佈法形成塗膜的裝置。詳言之，是關於一種在 製造CD、CD-R、CD-RW等的CD系磁碟或DVD-ROM、 DVD-R、DVD-RW、DVD-RAM等的DVD系磁碟或是近年 來逐漸開發的藍激光（blue laser)對應磁碟等的光碟、或是 MO、MD等的光磁碟時，用來供應·排出及洗淨利用旋轉 塗佈法進行成膜時所使用的遮罩的裝置。 【先前技術】

旋轉塗佈是將液狀材料供應至磁碟體的中心附近，並 且使磁碟體旋轉以利用旋轉所產生的離心力使該液狀材料 延展，而在磁碟體表面形成該液狀材料之被膜的技術。旋 轉塗佈被廣爲利用在例如光碟、DVD系磁碟等之保護層 的形成等。 這些磁碟由於形成有安裝於磁碟驅動裝置時爲使盤芯 露出的孔（例如1 5 0 )，而且有進行擠出成形時用來保持 壓模（stamper)的凹槽等，因此不會在磁碟基板的中心部形 成膜（層）。所以要在這些磁碟上利用旋轉塗佈的手法進行 膜形成（塗膜）時是從上述凹槽等的外周部分開始進行塗佈 。如果要求更均一的塗膜，則是設置用來覆蓋磁碟基板之 中心部的遮罩，然後從其上方供應塗佈劑以形成塗膜，藉 此避免在基板中心部施以塗佈。 -5- (2) 1254307 第6圖顯示磁碟之旋轉塗佈裝置當中的遮罩的 。第6圖是設置於旋轉塗佈裝置之旋轉裝置上的磁 放置於其上的遮罩的剖視圖。在連接於未圖示之電 受到旋轉驅動的旋轉軸200上固定有旋轉台202。 台2 02上固定有間隔件203，且在其上方放置有磁 。磁碟204是藉由未圖示的手段真空吸附在間隔件 在磁碟204上放置有用來覆蓋磁碟之中心部的遮罩 此時，設在旋轉台202之上面中央部附近的環狀突 與遮罩206的環狀凹槽206a是相互嵌合的狀態。 旋轉塗佈時是經由路徑2 1 0使旋轉台2 0 2之中央部 2 1 2形成真空狀悲’藉此吸附並保持遮罩2 0 6。 進行塗佈時是在遮罩的中央部附近從上方供應 塗佈材料。然後使旋轉台以高速旋轉，並藉由旋轉 力使供應至遮罩上的塗佈材料延展至磁碟上未被遮 蓋的部分全面。藉此即可在磁碟的整個上述部分以 一的厚度形成塗佈材料的膜（層）。當以上的旋轉塗 結束時，解除遮罩的真空吸附，然後卸下遮罩。 如以上所述，在磁碟上進行膜形成之後，爲了 硬化’可對於磁碟表面進行紫外線照射或磁碟的加 理。此外’近年來逐漸開發的藍激光對應的DVR ’由於是將波長較短的藍激光使用在資訊的讀取等 必須以更均一的厚度來進行塗佈材的塗佈。本案申 案一種使塗佈材在磁碟上保持高的均一性，同時進 ，而且大致連續進行直到塗膜硬化爲止的方式，以 使用例 碟以及 動機而 在旋轉 碟2 0 4 203 〇 206 ° 起205 要進行 的空間 液狀的 的離心 罩所覆 大致均 佈作業 使該膜 熱等處 磁碟等 ，因此 請人提 行塗佈 作爲用 1254307 (3) 來製造這種DVR磁碟等的裝置。 在迨種方式當中’通常是事先準備有多數個遮罩，然 後在各個磁碟依序供應這些遮罩，並且進行膜形成步驟。 遮罩在其表面殘留有塗佈材料的情況下，如果在其表面又 供應塗佈材料’則在碟上要獲得均一塗膜的條件可能會 有所不同。而且’在遮罩206與磁碟204的交界部（第6 圖中A所示的部分。）若殘留有塗佈材料，則使遮罩2 〇 6 從磁碟2 0 4剝離時，將會污染遮罩2 〇 6的背面。若連續使 用同一遮罩’則接下來使用此遮罩來形成塗膜的磁碟也可 能會因爲此污染而受到污染。因此，在結束各個膜形成步 驟之後必須丟棄遮罩，或是必須去除在其表面所存在的塗 佈材料，通常在塗佈材附著後的遮罩累積到某程度以上之 數量時，就會將這些集中在洗淨溶劑等來浸泡，並且進行 爲去除塗佈材的處理。 如前面所述，在進行塗佈材料的塗佈時，遮罩2 〇 6與 磁碟204的交界部分（第6圖中a所示的部分）也是由塗佈 材料所覆蓋。在此交界部分通常存在有遮罩206端部所導 致的段差。但是，想要使塗膜的均一部分盡量靠近此交界 部分時’遮罩206端部必須盡量使其厚度變薄，而且爲了 確實密接於磁碟1 0 4表面還必須有充分的平面度。亦即， 遮罩206的周圍前端是加工成薄且前端尖銳的形狀。 然而’如上所述，將多數個遮罩集中起來洗淨的情況 下’由於會使這些相互接觸，因此可能會使此前端部受損 ’並且產生無法在下一個步驟使用的遮罩。因此，這種洗 -7- (4) 1254307 淨遮罩並使其乾燥等的步驟需要很多時間，從磁碟作成的 成本削減及產品管理等的觀點來看，還有許多尙待改善的 地方。 【發明內容】 本發明是鑒於上述課題而硏創者，其目的在於提供一 種不會發生遮罩之破損而可進行遮罩之洗淨等的方法及裝 置。而且，本發明提供一種可反覆使用該狀態受到充分管 理的遮罩以連續進行磁碟等之生產的旋轉塗佈裝置及磁記 錄媒體的製造方法。 爲了解決上述課題，本發明的旋轉塗佈裝置是將液狀 材料供應至磁碟體的中央附近，並且使磁碟體旋轉以利用 離心力使該液狀材料延展，而在磁碟體上進行爲形成液狀 材料之塗膜的旋轉塗佈者，其特徵爲具有：保持磁碟體而 使其旋轉的旋轉機構；在旋轉機構當中，當磁碟體旋轉時 將用來覆蓋磁碟體之中心及其附近的遮罩供應至磁碟體上 ’並且在磁碟的旋轉結束後從磁碟體上去除遮罩的遮罩供 應排除機構；在旋轉機構當中，當磁碟體及遮罩受到保持 #且旋轉時，將前述液狀材料供應至磁碟體及/或遮罩上 的給料機構；以及從遮罩供應排除機構接收附著有液狀材 料的遮罩，並且洗淨去除所接收之遮罩上所附著的液狀材 料’再將洗淨完畢的遮罩交給遮罩供應排除機構的洗淨機 構。 此外，前述旋轉塗佈裝置當中，遮罩供應排除機構最 1254307 (5) 好具有：本身具有用來握持及釋放遮罩之夾頭機構的遮罩 供應臂部；以及在與遮罩供應臂部之間進行遮罩之授受， 並且每次以預定角度間斷性旋轉的遮罩台。 而且，洗淨機構最好具有：本身具有用來洗淨遮罩之 洗淨劑的至少一個洗淨部；用來沖洗遮罩上所附著之洗淨 劑的沖洗部；用來使沖洗後的遮罩乾燥的乾燥部；以及握 持住遮罩，並且將前述遮罩插入洗淨部、沖洗部及乾燥部 的搬送用臂部。再者，洗淨部、沖洗部及乾燥部最好是在 具有預定半徑的大致圓周上相隔預定角度而配置，搬送用 臂部最好是以圓周的中心爲旋轉中心每次以預定角度間斷 性旋轉，並且在旋轉停止時將遮罩插入洗淨部、沖洗部及 乾燥部。 再者，本發明之目的也是爲了提供一種使用前述旋轉 塗佈裝置經進行過塗佈的磁碟體。 另外，爲了解決上述課題，本發明的製造方法是在磁 碟體上至少藉由旋轉塗佈來形成塗膜，並製造碟狀記錄媒 體的方法，其特徵爲具有以下步驟：將前述磁碟體載置於 能以特定軸爲中心而旋轉的旋轉裝置上，並且從具有遮罩 之供應及接收用位置至少一個遮罩之待機位置的遮罩台上 ’將遮罩載置於磁碟體上的大致中央部，將塗佈材供應至 磁碟體及遮罩上，並且使旋轉裝置旋轉之後，從磁碟體上 去除遮罩’使遮罩回到遮罩台之供應及接收用位置，並且 使磁碟體上的塗佈劑固化的步驟，對於從磁碟體上去除的 遮罩是立刻依序進行以下各處理：爲洗淨遮罩上所附著之 1254307 (6) 塗佈劑之插入至少一個洗淨部、爲沖洗遮罩上所附著之洗 淨劑之插入沖洗部、以及爲使遮罩乾燥之插入乾燥部的各 處理，並且將經過各處理的遮罩依序載置於下一個磁碟體 上。 【實施方式】 以下，參照圖面來說明本發明的較佳實施形態。第1 圖是本發明實施形態之旋轉塗佈裝置當中的旋轉塗佈機及 遮罩供應部等本發明之要部構成的槪略俯視圖。未圖示的 基板是保持在構成旋轉機構之一部分的旋轉裝置4 0的中 央部，可進行基板的旋轉及塗佈材的塗佈。本身爲遮罩供 應排除機構的遮罩供應排出部5 0是由遮罩台5 5、遮罩移 動用臂部5 1、及臂部驅動機構5 2所構成。 遮罩台5 5是以軸A爲中心，在對應於圖面中5 5 a至 5 5 d四個位置的各預定角度停止預定時間，如此朝圖面中 箭頭D所示的方向間斷性進行旋轉動作。 第2圖是從位置55c方向觀看遮罩移動用臂部51等 時的側面槪略構成。在遮罩台5 5上的位置5 5 a上載置有 本身具有上部突起56b的遮罩56。遮罩移動用臂部51可 透過配置於臂部驅動機構5 2的汽缸5 7而上下驅動。配置 於遮罩移動用臂部5 1之前端部的夾頭機構5 3藉由汽缸 57，會與臂部51 —同下降至可握持住上述突起56b的高 度。再從外部將驅動用氣體等供應至夾頭機構52而關閉 夾頭，並握持住上部突起5 6b。然後，遮罩移動用臂部5 1 -10- (7) 1254307 會與保持有遮罩5 6的夾頭機構5 3 —同上升至預定高度， 並且由臂部驅動機構5 2驅動直到該遮罩5 6位於旋轉裝置 4〇之中央正上方。在該位置當中，進行遮罩移動用臂部 等之下降、遮罩上部突起5 6 b之藉由夾頭機構5 3的握持 釋放，並且將遮罩載置於基板上。 塗佈材附著後的遮罩56是使遮罩移動用臂部51及夾 頭機構5 3進行與先前所述之遮罩5 6載置相反的動作，藉 此從未圖示的基板上去除。另外，該遮罩56可藉由夾頭 機構53等回到遮罩台55上的位置55a，並且載置於遮罩 台5 5上。該遮罩5 6會隨著遮罩台5 5以軸A爲中心的間 斷性旋轉被搬運至位置55b然後停止，並且在此位置被搬 運至第1圖所示的洗淨部1 2 0。遮罩洗淨部1 2 0是構成遮 罩洗淨機構。 遮罩洗淨部120是由第1及第2洗淨部121、122、 沖洗部1 23、及乾燥部1 24之各處理部；以及用來將遮罩 搬送至這些各處理部及形成遮罩取出供應位置的位置5 5 b 的搬送用臂部1 2 5等所構成。該搬送用臂部〗2 5是在對應 於各處理部及位置55b的各個預定角度（在此情況下爲60 度）停止預定時間，如此以其中央部的軸B爲中心朝圖面 中箭頭C所示的方向進行間斷性旋轉動作。另外，搬送用 臂部1 2 5是藉由未圖示的上下驅動機構，在停止預定時間 時進行一定量之下降、一定時間之在下降位置的停止、以 及上升至通常位置的各動作。而且，搬送用臂部125具有 以軸B爲中心’相隔前述預定角度設置成放射狀的複數個 -11 - 1254307 (8) 臂部1 2 5 a至1 2 5 f，且在其前端部配置有洗淨部夾頭機構 126。 第3圖是在位置5 5 b，從側面觀看保持有遮罩5 6之 上部突起5 6 b的洗淨部夾頭機構1 2 6時的槪略構成。該夾 頭機構1 26通常是形成握持狀態，且是藉由外部操作進行 夾頭部之開閉的形式。本實施例是使用汽缸作爲外部操作 機構，並且將可藉由未圖示之驅動機構而上下驅動的洗淨 部用的汽缸1 3 1配置在位置5 5b的正上方。當搬送用臂部 1 25下降而可藉由夾頭機構126握持住位於位置55b的遮 罩之上部突起5 6b時，或是當握持有突起56b的夾頭機構 126下降而將遮罩載置於位置55b上的狀態時，使洗淨部 用汽缸1 3 1下降而與夾頭機構1 26連接，並且使夾頭機構 1 26進行握持或釋放之各動作。 以下，參照分別顯示第1及第2洗淨部當中的遮罩之 洗淨處理、及乾燥部當中的遮罩之乾燥處理之槪略的第3 、4及5圖，並且針對洗淨處理等的步驟加以詳述。在位 置55b當中握持有遮罩的夾頭機構126隨著搬送用臂部 1 2 5的上升動作上升至通常位置之後，會以軸b爲中心旋 轉預定角度，在使其停止、下降、一定時間之停止、上升 之後，再旋轉預定角度。遮罩56可藉由此下降操作而插 入各處理部。本實施形態當中，雖存在有在遮罩洗淨部 1 20之配置關係上與這種實際之洗淨處理沒有關係之遮罩 及夾頭機構1 2 6的上下動作等，但藉由處理部的配置等， 亦可使此動作對於洗淨處理也有幫助。 -12- 1254307 Ο) 夾頭機構1 26會再旋轉預定角度’並且停在第1洗淨 部1 2 1。第1洗淨部1 2 1是由槽內儲存有洗淨溶劑1 2 1 a 的超音波洗淨槽所構成。藉由下降在該停止位置’夾5貝機 構1 26之握持住遮罩的部分及遮罩5 6即可浸泡在施加有 超音波區域之振動的洗淨溶劑1 2 1 a內，而可進行該表面 所附著之塗佈材之溶解等的處理。遮罩5 6在此狀態下保 持一定時間之後，會隨著搬送用臂部1 2 5而上升，然後旋 轉移動至第2洗淨部上方並且停止。 第2洗淨部1 22是由槽內儲存有成分與洗淨溶劑 121a相同之洗淨溶劑122a的超音波洗淨槽所構成，基本 構成與第1洗淨部121相同。藉由使用該洗淨溶劑122a ’對於遮罩5 6表面再度進行超音波洗淨，即可完去溶解 、去除表面上之塗佈材的殘渣。遮罩5 6在保持於第2洗 淨部1 22 —定時間之後，與第丨洗淨部1 2〗的情況同樣會 從該洗淨槽內被取出，並且浸泡在配置於搬送用臂部之下 一個停止位置的沖洗部1 2 3內。 沖洗部1 2 3是由槽內儲存有沖洗劑1 2 3 a的超音波洗 淨槽所構成’基本構成與第1洗淨部〗2 1相同。藉由在該 沖洗劑12Sa內進行遮罩56的沖洗，即可去除遮罩表靣所 殘留的洗淨溶劑1 2 2 a等。因此，沖洗劑1 2 3 a最好是與洗 淨劑1 2 1 a等搭配使用的材料，又最好是比洗淨劑〗2〗&等 谷易蒸發的材料。遮罩5 6在該沖洗部丨2 3內保持一定時 間之後’與第〗洗淨部121的情況同樣會從該洗淨槽內被 取出，並且被移送至配置於搬送用臂部之下一個停止位置 -13- 1254307 (10) 的乾燥部124內。 乾燥部1 24是由用來供應爲去除遮罩表面所附著之沖 洗劑123a的乾燥用氣體的噴嘴127;用來防止所去除之 沖洗劑123a飛散至周邊的覆蓋物128 ;用來排出覆蓋物 1 28內所滯留之沖洗劑的排水管1 29 ;以及用來排出在覆 蓋物內氣化之沖洗劑124a的吸氣管128a所構成。在乾燥 部125當中，附著於遮罩56等之表面上的沖洗劑124a可 藉由吹送從噴嘴127所導入之高淸淨乾燥氮等的乾燥用氣 體而去除，使遮罩5 6的表面上能在淸淨的狀態下乾燥。 結束一定時間之乾燥用氣體的吹送，使遮罩5 6表面 乾燥時，該遮罩56會從乾燥部124以與之前相同的順序 被取出，並且旋轉搬送至位置55b。乾燥結束後的遮罩在 位置5 5 b會被交給遮罩台5 5，並且經由位置5 5 c及5 5 d 而到達位置5 5 a。在該位置5 5 a，洗淨、乾燥後的遮罩5 6 可再度使用在相對於基板的成膜步驟，遮罩5 6與用來握 持遮罩的夾頭機構5 3會一同由臂部移動機構5 2驅動至旋 轉裝置40的中央正上方。以下便反覆執行上述操作。 由於是將以上所述的遮罩洗淨部1 20附加在旋轉塗佈 裝置，並且在每次對於基板進行塗佈材之塗佈時進行遮罩 洗淨的構成，因此不用擔心遮罩之破損而可進行旋轉塗佈 。而且，由於是個別處理遮罩並加以洗淨的構成，因此在 進行旋轉塗佈的同時也可同時進行遮罩管理。因此，可使 用所需最小數量的遮罩來進行旋轉塗佈，且可減少精度較 高的加工步驟及要求確實之管理的遮罩，亦可減少旋轉塗 -14- (11) 1254307 佈的作業成本等。 此外，本實施形態當中，遮罩台的停止位置是設定爲 四個位置，洗淨部當中的搬送用臂部是設定爲6個系統， 但本發明並不限定於此，最好是考慮對於各個基板所要求 的處理時間等、或是更有效率的洗淨處理步驟等來適當進 行變更。亦即，對於一片基板的塗佈時間較短的情況下， 亦可增加遮罩台的停止位置來對應。另外，在洗淨步驟當 中需要較多溶劑等的情況下，則最好增加搬送用臂部及洗 淨部的數量。 而且，本實施例是使洗淨劑121a與122a由同一成分 構成，但亦可因應洗淨的條件等使這些由不同成分構成。 關於各個洗淨部，並不一定需要超音波洗淨，亦可省略此 步驟。反之，亦可在同一洗淨部改變時間而加上頻率不同 之超音波的振動，亦可在使用同一洗淨溶劑等的不同洗淨 部個別獨立加上頻率不同之超音波的振動。另外，使塗佈 劑溶解的藥劑並不限於洗淨溶劑，而可使用有機溶劑、無 機溶劑、酸、鹼等各種藥劑。 另外’本實施形態並未特別提及洗淨溶劑等的溫度， 但洗淨彳谷劑等的溫度最好保持一定。而且，亦可考慮處理 時間等而保持在該沸點以下的預定恆溫下。在此情況下， 在超音波槽等最好附加可進行溫度調節的加熱器以及用來 避免氣化的洗淨溶劑蔓延至周圍的覆蓋物以及吸氣管等。 再者’夾頭機構是使用外部操作型的夾頭機構，但如 果具有更簡單的構造，則不限於本形式，而且，驅動機構 -15- 1254307 (12) 也不限於本實施形態所不的汽缸_。關於臂部移動機構’ 由於可使用各種形式，因此未特別提及’但從停止精度及 簡便性等方面來看，最好是使用由滾珠絲扛等所構成者。 以上所述本發明的遮罩洗淨部是爲了附加在以旋轉裝 置40爲主要構成之旋轉塗佈裝置而提案者。因此，作爲 附加對象的旋轉塗佈裝置並不特別定於該形式等，只要可 確保能附加該遮罩洗淨部之空間等，則可附加於各種形式 的旋轉塗佈裝置。 根據本發明，由於是將以上所述的遮罩洗淨部1 20附 加在旋轉塗佈裝置，並且在每次對於基板進行塗佈材之塗 佈時進行遮罩洗淨的構成，因此不用擔心遮罩之破損而可 進行旋轉塗佈。而且，由於是個別處理遮罩並且加以洗淨 的構成，因此在進行旋轉塗佈的同時也可同時進行遮罩管 理。因此，可使用所需最小數量的遮罩來進行旋轉塗佈， 且可減少精度較高的加工步驟以及要求確實之管理的遮罩 ，亦可減少旋轉塗佈的作業成本等。 【圖式簡單說明】 第1圖是本發明實施形態之旋轉塗佈裝置當中主要部 分之遮罩洗淨部等的槪略構成俯視圖。 第2圖是從側面觀看第1圖所示之遮罩供應排出部 (55a)時的槪略構成圖。 第3圖是從側面觀看第1圖所示之遮罩供應排出部 (55b)時的槪略構成圖。 -16- 1254307 (13) 第4圖是從側面觀看第1圖所示之洗淨部等時的槪略 構成圖。 第5圖是從側面觀看第1圖所示之乾燥部等時的槪略 構成圖。 第6圖是習知旋轉塗佈裝置當中的遮罩之使用例的說 明圖，且是放置於旋轉裝置上的磁碟及遮罩的剖視圖。 【主要元件對照表 ] 40 旋 轉 裝 置 50 遮 罩 供 應 排 出 部 5 1 遮 罩 移 動 用 臂 部 52 臂 部 驅 動 機 構 53 夾 頭 機 構 55 遮 罩 台 56 遮 罩 56b 上 部 突 起 57 汽 缸 120 遮 罩 洗 淨 部 12 1 第 1 洗 淨 部 12 1a 洗 淨 溶 劑 122 第 2 洗 淨 部 122a 洗 淨 溶 劑 123 沖 洗 部 123a 沖 洗 劑

•17- 1254307 (14) 124 乾燥部 125 搬送用臂部 125a 至 125f 臂部 126 夾頭機構 127 噴嘴 128 覆蓋物 128a 吸氣管 129 排水管 13 1 汽缸 200 旋轉軸 202 旋轉台 203 間隔件 204 磁碟 205 環狀突起 206 遮罩 206a 環狀凹槽 2 10 路徑 2 12 空間

-18-

Claims (1)

1254307 (1) 拾、申請專利範圍 1 · 一種旋轉塗佈裝置，是將液狀材料供應至磁碟體的 中央附近，並且使磁碟體旋轉以利用離心力使該液狀材料 延展’而在磁碟體上進行爲形成前述液狀材料之塗膜的旋 轉塗佈者，其特徵爲具有： 保持磁碟體而使其旋轉的旋轉機構； 在前述旋轉機構當中，當前述磁碟體旋轉時將用來覆 蓋前述磁碟體之中心及其附近的遮罩供應至磁碟體上，並 且在前述磁碟的旋轉結束後從前述磁碟體上去除前述遮罩 的遮罩供應排除機構； 在前述旋轉機構當中，當前述磁碟體及遮罩受到保持 並且旋轉時，將前述液狀材料供應至前述磁碟體及/或遮 罩之至少一方的上面的給料機構；以及 從前述遮罩供應排除機構接收附著有前述液狀材料的 遮罩，並且洗淨去除前述所接收之遮罩上所附著的液狀材 料，再將前述洗淨完畢的遮罩交給前述遮罩供應排除機構 的洗淨機構。 2 .如申請專利範圍第1項所記載的旋轉塗佈裝置，其 中，前述遮罩供應排除機構具有：本身具有用來握持及釋 放前述遮罩之夾頭機構的遮罩供應臂部；以及在與前述遮 罩供應臂部之間進行前述遮罩之授受，並且每次以預定角 度間斷性旋轉的遮罩台。 3 .如申請專利範圍第1項所記載的旋轉塗佈裝置，其 中，前述洗淨機構具有：本身具有用來洗淨前述遮罩之洗 -19· 1254307 (2) 淨劑的至少一個洗淨部；用來沖洗前述遮罩上所附著之洗 淨劑的沖洗部；用來使沖洗後的前述遮罩乾燥的乾燥部； 以及握持住前述遮罩，並且將前述遮罩插入前述洗淨部、 沖洗部及乾燥部的搬送用臂部。 4·如申請專利範圍第3項所記載的旋轉塗佈裝置，其 中，前述洗淨部、沖洗部及乾燥部是在具有預定半徑的大 致圓周上相隔預定角度而配置，前述搬送用臂部是以前述 圓周的中心爲旋轉中心每次以預定角度間斷性旋轉，並且 在旋轉停止時將前述遮罩插入前述洗淨部、沖洗部及乾燥 部。 5 . —種磁碟體，是使用申請專利範圍第1項至第4項 任一項所記載的旋轉塗佈裝置進行過塗佈者。 6 · —種碟狀記錄媒體的製造方法，是在磁碟體上至少 藉由旋轉塗佈來形成塗膜，並製造碟狀記錄媒體的方法， 其特徵爲具有以下步驟： 將前述磁碟體載置於能以特定軸爲中心而旋轉的旋轉 裝置上， 並且從具有遮罩之供應及接收用位置至少一個遮罩之 待機位置的遮罩台上，將前述遮罩載置於前述磁碟體上的 大致中央部， 將前述塗佈材供應至前述磁碟體及遮罩之至少一方的 上面，並且使前述旋轉裝置旋轉，使前述塗佈劑延展而形 成前述塗膜， 從前述磁碟體上去除前述遮罩，使前述遮罩回到前述 -20- 1254307 (3) 遮罩台之供應及接收用位置， 並且使刖述磁碟體上的前述塗佈劑固化的步驟，

對於從則述磁碟體上去除而移到前述遮罩台上的前述 遮罩是依序進行以下各處理：與前述遮罩台一同使其位置 旋轉移動，並且爲了從旋轉移動後的位置洗淨前述遮罩上 所附著之前述塗佈劑之插入至少一個洗淨部、爲沖洗前述 遮罩上所附著之洗淨劑之插入沖洗部、以及爲使前述遮罩 乾燥之插入乾燥部的各處理，並且將經過前述各處理的遮 罩依序載置於下一個磁碟體上。

-21 -