JPH1011749A - ディスクの洗浄及び乾燥装置 - Google Patents

ディスクの洗浄及び乾燥装置

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JPH1011749A
JPH1011749A JP8185344A JP18534496A JPH1011749A JP H1011749 A JPH1011749 A JP H1011749A JP 8185344 A JP8185344 A JP 8185344A JP 18534496 A JP18534496 A JP 18534496A JP H1011749 A JPH1011749 A JP H1011749A
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disk
cleaning
index table
drying
point
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Kiyoshi Ikemoto
清 池本
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SpeedFam Co Ltd
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Publication date
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
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    • H01L21/67028Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B08B1/30Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/50Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
    • G11B23/505Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置全体を大型化することなく、単位時間当
たりに多数枚のディスクを洗浄及び乾燥処理することが
できると共に、完全な洗浄と乾燥とを行うことができる
ディスクの洗浄及び乾燥装置を提供する。 【解決手段】 ハンドラー11が2枚のディスクDをイ
ンデックステーブル20の保持具24に受け渡す動作
と、ハンドラー12が保持具24から2枚のディスクD
を取り出してインデックステーブル30の保持具34に
受け渡す動作と、ハンドラー13が保持具34から2枚
のディスクDを取り出す動作とが同時に行われる。そし
て、ハンドラー11が2枚のディスクDを保持具24に
受け渡すと、インデックステーブル20が90度づつ回
転し、2枚のディスクDが洗浄器21〜23で順次洗浄
される。また、ハンドラー12が洗浄後の2枚のディス
クDを保持具34に受け渡すと、インデックステーブル
30が120度づつ回転し、2枚のディスクDが、噴射
機31でリンスされた後、高速回転で乾燥される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクな
どを洗浄して乾燥するためのディスクの洗浄及び乾燥装
置に関し、特に、多数のディスクを連続的に洗浄及び乾
燥することができるディスクの洗浄及び乾燥装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のディスクの洗浄及び乾燥
装置としては、例えば、特開平3−93040号公報に
記載の技術がある。図15は、このディスクの洗浄及び
乾燥装置の構成を示す概略図である。図15に示すよう
に、このディスクの洗浄及び乾燥装置は、搬送部100
と、洗浄部200と、乾燥部300とを具備している。
この装置によると、研磨後のディスクDが、アーム10
1によって、ディスクマガジン110内から取り出さ
れ、レール104に沿って洗浄部200のインデックス
テーブル201の受取位置M1まで搬送される。そし
て、ディスクDが受取位置M1でインデックステーブル
201に受け取られると、インデックステーブル201
が矢印A方向に90度だけ回転し、ディスクDが洗浄位
置M2まで運ばれる。すると、ディスクDは、洗浄器2
02によって洗浄された後、インデックステーブル20
1の90度回転によって、洗浄位置M3まで運ばれ、洗
浄器203によって再度洗浄される。そして、洗浄が完
了すると、ディスクDは、インデックステーブル201
の回転によって取出位置M4まで運ばれ、アーム102
によって、乾燥部300のインデックステーブル301
側に搬送される。
【0003】ディスクDが受取位置N1でインデックス
テーブル301に受け取られると、インデックステーブ
ル301が矢印B方向に90度回転して、ディスクDが
乾燥位置N2まで運ばれる。すると、ディスクDが、高
速で回転され、ディスクDのスピン乾燥が行われる。デ
ィスクDは、この乾燥位置N2で乾燥されると、乾燥位
置N3まで運ばれ、再度スピン乾燥される。そして、こ
のスピン乾燥が完了したディスクDは、取出位置N4ま
で運ばれ、アーム103によってディスクマガジン12
0まで搬送される。
【0004】搬送部100のアーム101〜103の搬
送動作と、洗浄部200及び乾燥部300のインデック
ステーブル201,301の回転動作は同期している。
すなわち、研磨後のディスクDがアーム101によって
インデックステーブル201の受取位置M1まで搬送さ
れると、洗浄完了後の取出位置M4のディスクDがアー
ム102によってインデックステーブル301の受取位
置N1まで搬送され、これと同時に、スピン乾燥完了後
のディスクDがアーム103によってディスクマガジン
120まで搬送される。したがって、多数のディスクD
が、アーム101〜103,インデックステーブル20
1,301によってあたかもベルトコンベアーで運ばれ
るように連続的に搬送され、その途中で、洗浄と乾燥と
が行われることとなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
のディスクの洗浄及び乾燥装置では、次のような問題が
ある。第1に、アーム101〜103による搬送とイン
デックステーブル201,301における洗浄,乾燥と
を1枚のディスクD毎行う構成であるので、単位時間当
たりのディスク処理枚数が少ない。これに対して、アー
ム101〜103の搬送速度とインデックステーブル2
01,301の回転速度とを高速にして、単位時間当た
りのディスク処理枚数を多くすることが考えられる。し
かし、これらをあまり高速にすると、ディスクDに対す
る十分な洗浄時間と乾燥時間とを確保することができな
い。第2に、インデックステーブル201(301)に
おけるディスクDの受取位置M1(N1)と取出位置M
4(N4)とが異なるので、洗浄(乾燥)するためのデ
ィスクDの枚数がその分少なくなる。これに対して、イ
ンデックステーブル201(301)の径を大きして、
インデックステーブル201(301)で保持するディ
スクDの枚数を増加させることが考えられるが、このよ
うにすると装置全体が大型化してしまうおそれがある。
第3に、洗浄器202において、洗剤をディスクDの表
面にかけながら、回転するパット状の洗浄具をディスク
Dの表面に接触させて洗浄する場合に、洗浄具とディス
クDとが密着していると、洗剤が洗浄具とディスクDと
の間に十分行き渡らず、十分な洗浄を達成することがで
きないおそれがある。第4に、図16に示すように、デ
ィスクDの内孔DRを4つの保持具302でチャックし
た状態で、ディスクDを回転させてスピン乾燥する構造
であるので、内孔DRの周縁部と保持具302との間に
付着した液体を飛散させることができない。すなわち、
ディスクDの内孔DR近傍の周速度は最も小さく、内孔
DRの周縁部と保持具302との間に付着した液体を飛
散させるに十分な遠心力を得ることができない。このた
め、乾燥後のディスクDに残留液体によるシミが付くこ
とがある。第5に、インデックステーブル301に、水
滴飛散防止用の壁305が設けられているが、回転する
ディスクDから飛散して壁305に付着した水滴が、壁
305を伝わってディスクDに再付着し、ディスクDを
汚染するおそれがある。
【0006】本発明は上述した課題を解決するためにな
されたもので、装置全体を大型化することなく、単位時
間当たりに多数枚のディスクを洗浄及び乾燥処理するこ
とができると共に、完全な洗浄と乾燥とを行うことがで
きるディスクの洗浄及び乾燥装置を提供することを目的
としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1の発明に係るディスクの洗浄及び乾燥装置
は、第1のインデックステーブルを所定角度だけ回転さ
せて、第1のインデックステーブルに設けられた複数の
保持具で保持されたディスクを洗浄器まで案内し、この
洗浄器でディスクを洗浄する洗浄部と、所定角度で回転
可能な第2のインデックステーブルに設けられた複数の
保持具で保持されたディスクを乾燥する乾燥部と、第1
の地点から第2の地点間,第2の地点から第3の地点
間,及び第3の地点から第4の地点間を一体に往復運動
する第1の搬送具,第2の搬送具,及び第3の搬送具を
有し、上記第1の搬送具が上記第1の地点から搬送して
きたディスクを上記第2の地点に位置する上記第1のイ
ンデックステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第2
の搬送具が、上記第2の地点に位置する上記第1のイン
デックステーブルの一の保持具から洗浄後のディスクを
取り出して、上記第3の地点に位置する第2のインデッ
クステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第3の搬送
具が、上記第3の地点に位置する上記第2のインデック
ステーブルの一の保持具から乾燥後のディスクを取り出
して、上記第4の地点に搬送する搬送部とを具備し、上
記第1の搬送具,第2の搬送具,及び第3の搬送具の各
々は、複数のディスクを一度に搬送可能であり、上記第
1のインデックステーブルの各保持具及び第2のインデ
ックステーブルの各保持具は、上記複数のディスクを保
持可能である構成とした。
【0008】かかる構成によれば、搬送部の第1ないし
第3の搬送具が一体に運動するので、第1の搬送具が、
第1の地点から搬送してきた複数のディスクを第2の地
点に位置する第1のインデックステーブルの一の保持具
に受け渡す作用と、第2の搬送具が、第2の地点に位置
する第1のインデックステーブルの一の保持具から洗浄
後の複数のディスクを取り出して、第3の地点に位置す
る第2のインデックステーブルの一の保持具に受け渡す
作用と、第3の搬送具が、第3の地点に位置する第2の
インデックステーブルの一の保持具から乾燥後の複数の
ディスクを取り出して、第4の地点に搬送する作用とが
同時に行われる。そして、第1の搬送具によって、複数
のディスクが第2の地点に位置する一の保持具に受け渡
されると、第1のインデックステーブルが所定角度だけ
回転させられ、この一の保持具で保持された複数のディ
スクが洗浄部の洗浄器まで案内されて、洗浄される。そ
して、この洗浄された複数のディスクが、第1のインデ
ックステーブルの複数回の回転によって上記第2の地点
に戻される。また、第2の搬送具によって、洗浄後の複
数のディスクが第2の地点から第3の地点の第2のイン
デックステーブルの一の保持具に受け渡されると、第2
のインデックステーブルが所定角度回転させられ、ディ
スクが乾燥部によって乾燥される。そして、この乾燥さ
れた複数のディスクが第2のインデックステーブル20
1の複数回の回転によって第3の地点に戻される。
【0009】請求項2の発明は、請求項1に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記洗浄器は、上記
複数のディスクの表面に接触しながら回転する第1の洗
浄部材と、上記ディスクの内周縁に接触しながら回転
し、その回転軸方向に進退する第2の洗浄部材と、上記
ディスクの外周縁に接触しながら回転し、その回転軸方
向に進退する第3の洗浄部材とを具備する構成とした。
【0010】かかる構成によれば、第1のインデックス
テーブルの各保持具に保持された複数のディスクの表面
が、表面に接触しながら回転する第1の洗浄部材によっ
て洗浄される。また、複数のディスクの内周縁は、この
内周縁に接触しながら回転する第2の洗浄部材によって
洗浄され、外周縁は、この外周縁に接触しながら回転す
る第3の洗浄部材によって洗浄される。このとき、第2
及び第3の洗浄部材が回転軸方向に進退するので、第1
及び第2の洗浄部材の磨耗箇所が偏らない。
【0011】請求項3の発明は、請求項2に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記第1の洗浄部材
は、洗剤を注入するための孔を中心部に有する板体と、
上記板体に取り付けられ、上記ディスクの表面に接触可
能なスポンジとを具備する構成とした。
【0012】かかる構成によれば、洗剤が、板体の孔に
注入されると、スポンジによって吸収され、スポンジ全
体に行き渡る。
【0013】請求項4の発明は、請求項1に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記乾燥部の各保持
具は、上記複数のディスクを外周縁から保持した状態で
回転させるものである構成とした。
【0014】かかる構成によれば、乾燥部の各保持具
が、複数のディスクを保持して回転するので、ディスク
に付着した液体が回転によって飛散し、ディスク表面が
乾燥した状態になる。このとき、保持具がディスクの外
周縁を保持しているので、遠心力の小さい内周縁に付着
した液体をも飛散させることができる。
【0015】請求項5の発明は、請求項4に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記乾燥部に、回転
する上記複数のディスクに流体を吹き付ける流体噴出器
を設けた構成としてある。
【0016】かかる構成によれば、回転による液体飛散
作用と流体噴出器の流体吹付作用との相乗効果によっ
て、ディスクが完全に乾燥される。
【0017】請求項6の発明は、請求項1,請求項4,
又は請求項5のいずれかに記載のディスクの洗浄及び乾
燥装置において、上記第2のインデックステーブルに、
上記複数の保持具を囲み、上記複数のディスクから飛散
した液体を吸着する隔壁部を設けた構成としてある。
【0018】かかる構成によれば、第2のインデックス
テーブルの隔壁部が、単に回転するディスクから飛散し
た液体を遮蔽するだけでなく、飛散した液体を吸着する
ので、第2のインデックステーブルの回転時に隔壁部に
付着した液体が隔壁部を伝わってディスクに再付着し、
ディスクを汚染することはない。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形
態に係るディスクの洗浄及び乾燥装置の正面図である。
図1に示すように、この装置は、操作パネル4を備えた
筐体5に、搬送部1と洗浄部2と乾燥部3とを組み込ん
だ構成となっている。
【0020】搬送部1は、第1の搬送具としてのハンド
ラー11と第2の搬送具としてのハンドラー12と第3
の搬送具としてのハンドラー13とを一体に図1の左右
に往復運動させる部分である。具体的には、ハンドラー
11,12,13がレール14の左端部,中央部,右端
部にそれぞれ取り付けられている。そして、このレール
14の中央部がスライダー15に取り付けられ、スライ
ダー15が駆動部10によって往復運動させるようにな
っている。これにより、ハンドラー11が第1の地点P
1〜第2の地点P2間を移動し、ハンドラー12が第2
の地点P2〜第3の地点P3間を移動し、ハンドラー1
3が第3の地点P3〜第4の地点P4間を移動するよう
になっている。
【0021】第1の地点P1側においては、リフトユニ
ット50が筐体5の側面に取り付けられており、ディス
クDを収納したマガジン51,52を第1の地点P1ま
で上昇させることができるようになっている。ハンドラ
ー11は、マガジン51,52内のディスクDを保持し
て第1の地点P1から第2の地点P2に搬送するための
器具である。図2は、ハンドラー11の背面図である。
図2に示すように、ハンドラー11はレール14に取り
付けられる基部11aを有し、この基部11aの下側
に、二組のチャック11b,11cが設けられている。
二組のチャック11b,11cは、ディスクDの径方向
に広がることにより、ディスクDの内孔DRに係合し
て、ディスクDを内側から保持する。
【0022】また、図1に示すように、第2の地点P2
及び第3の地点P3には、洗浄部2及び乾燥部3が配置
されている。ハンドラー12は、洗浄部2が配置された
第2の地点P2のディスクDを第3の地点P3に搬送す
る器具であり、ハンドラー13は乾燥部3が配置された
第3の地点P3のディスクDを第4の地点P4に搬送す
る器具である。図3は、ハンドラー12,13の背面図
である。図3に示すように、ハンドラー12(13)
も、レール14に取り付けられる基部12a(13a)
を有し、この基部12a(13a)の下側に、二組のチ
ャック12b(13b),12c(13c)が設けられ
ている。二組のチャック12b(13b),12c(1
3c)は、ディスクDの中心方向に狭まることにより、
ディスクDの外周縁を挟んで、ディスクDを外側から保
持する。すなわち、ハンドラー11〜13は、二組のチ
ャック11b,11c〜13b,13cにより、2枚の
ディスクDを保持して搬送することができる。
【0023】図1において、洗浄部2は、ハンドラー1
1で搬送されてきたディスクDを洗浄する部分であり、
第1のインデックステーブルとしてのインデックステー
ブル20と、3つの洗浄器21〜23とを有している。
【0024】図4は、洗浄部2の拡大正面図であり、図
5は、洗浄部2の構造を示す側面図である。インデック
ステーブル20は、図4に示すように、円形の回転体で
あり、図5に示すギアードモータ20aによって90度
づつ離散的に回転される。そして、インデックステーブ
ル20の外周縁部には、4つの保持具24が90度毎に
取り付けられている。図6は、この保持具24の正面図
である。図6に示すように、保持具24は、2組のチャ
ック24a,24bで構成されている。チャック24a
(24b)は、一対のアーム24c,24dを有してお
り、アーム24c,24dの先端部などには、ローラ2
4eが取り付けられている。このようなチャック24
a,24bは、図5に示すように、インデックステーブ
ル20の背面に取り付けられたシリンダ24fによって
制御される。具体的には、アーム24c,24dが、図
6の実線で示すように閉じられ、図6の二点鎖線で示す
ように開かれる。すなわち、アーム24c,24dを閉
じることで、ディスクDを外周縁で保持し、開くことで
ディスクDを解放する。また、図5に示したように、シ
リンダ24fが取り付けられたインデックステーブル2
0は、図4に示すように、最上位の保持具24を第2の
地点P2に位置させた状態で、ギアードモータ20aの
制御によって90度づつ矢印A方向に回転する。
【0025】洗浄器21〜23は、このようなインデッ
クステーブル20の回転位置に配置されている。図7
は、洗浄器21〜23の構造を示す概略図である。図7
に示すように、洗浄器21(22,23)は、各ディス
クDの表面を洗浄するための第1の洗浄部材としてのス
ポンジパッド25と、各ディスクDの内周縁を洗浄する
ための第2の洗浄部材としての長状のスポンジパッド2
6と、各ディスクDの外周縁を洗浄するための第3の洗
浄部材としての長状のスポンジパッド27とを有してい
る。
【0026】図8は、各スポンジパッド25の断面図で
ある。図8に示すように、スポンジパッド25は、円板
体25aとスポンジ25bとを有している。円板体25
aは、中心部に孔25cを有しており、この孔25cを
介して、ホース25dから注入された洗剤Wを円板体2
5aの表側中心部分に導く。一方、スポンジ25bは、
ディスクDの表面に接触させるためのもので、円板体2
5aの表面に貼り付けられている。このようなスポンジ
パッド25は、図7の紙面奥側と手前側とにそれぞれ設
けられており、1枚のディスクDの両面を2つのスポン
ジパッド25で挟むようになっている。具体的には、紙
面奥側のスポンジパッド25は、保持具24が2枚のデ
ィスクDを保持した状態で洗浄器21(22,23)の
位置まで回転してきたときに、ディスクD側に移動し
て、ディスクDの裏面に接触する。そして、インデック
ステーブル20の裏側に設けられたモータによって回転
する。また、紙面手前側のスポンジパッド25は、保持
具24が洗浄器21(22,23)の位置にきたとき
に、支持体28と共にディスクD側に移動し、ディスク
Dの表面に接触する。そして、奥側のスポンジパッド2
5と連動して回転する。すなわち、一方の2つのスポン
ジパッド25が、保持具24のチャック24aによって
保持された1枚のディスクDの両面に接触して回転し、
また、他方の2つのスポンジパッド25が、チャック2
4bによって保持された1枚のディスクDの両面に接触
して回転する。
【0027】一方、スポンジパッド26,27は、保持
具24が洗浄器21(22,23)の位置にきたときに
奥側のスポンジパッド25と一体に移動する。これによ
り、スポンジパッド26がディスクDの内孔DRに挿入
されて、ディスクDの内周縁に接触し、スポンジパッド
27がディスクDの外周縁に接触する。そして、スポン
ジパッド26,27は、スポンジパッド25と連動し
て、その軸方向に進退しながら回転する。なお、洗浄終
了後には、図7の紙面奥側のスポンジパッド25と長状
のスポンジパッド26,27とが紙面奥側に引っ込み、
紙面手前側のスポンジパッド25が支持体28と一体に
紙面手前側に移動するようになっている。
【0028】このような洗浄器21(22,23)に
は、洗剤WをディスクD全体に噴射するノズルが設けら
れている。図9は、ノズルの配置を示す概略側面図であ
る。図9において、符号28aは、各ディスクDの表面
方向と内周縁方向に洗剤Wを噴射するノズルであり、各
ディスクDの両側に配置される。また、符号28bは、
各ディスクDの外周縁方向に洗剤Wを噴射するノズルで
あり、各ディスクDの外周縁部近傍に配置される。この
ようなノズルのうち、ノズル28bと図9に示すディス
クDの左側に位置するノズル28aとは、上記したスポ
ンジパッド26,27及び図9左側のスポンジパッド2
5と一体に図9の左右方向に移動するようになってい
る。また、ディスクDの右側に位置するノズル28a
は、カバー部材29に取り付けられている。このカバー
部材29は、通常、図9の右側すなわち図4及び図7の
紙面手前に位置しており、保持具24が洗浄器21(2
2,23)の位置まで回転してきたときに、洗浄器21
(22,23)側に移動して、洗浄器21(22,2
3)全体を覆う。これにより、右側のノズル28aが図
に示す配置状態になる。そして、洗浄終了と同時に、カ
バー部材29が洗浄器21(22,23)から離れ、保
持具24の回転が可能となる。
【0029】図1において、乾燥部3は、ハンドラー1
2で搬送されてきたディスクDを乾燥する部分であり、
第2のインデックステーブルとしてのインデックステー
ブル30と噴射機31とを有している。
【0030】図10はインデックステーブル30の拡大
正面図であり、図11はインデックステーブル30の構
造を示す側面図である。インデックステーブル30は、
図10に示すように、円形の回転体であり、図11に示
すように、ギアードモータ30aによって120度づつ
離散的に回転させられる。そして、インデックステーブ
ル30の外周縁部には、120度毎に3つの保持具34
が取り付けられている。各保持具34は、2組のチャッ
ク34a,34bでなり、各チャック34a(34b)
は、円形状の回転体34cと、ディスクDの中心方向に
狭まってディスクDの外周縁を保持可能な3つのローラ
34dとで構成されている。そして、モータ34eがイ
ンデックステーブル30の背面に取り付けられており、
チャック34a(34b)の回転体34cがこのモータ
34eの回転軸に固着されている。すなわち、モータ3
4eによって、チャック34a(34b)を高速回転す
ることで、ディスクDに付着した液体を飛散させるよう
になっている。
【0031】ところで、チャック34a(34b)の高
速回転によって飛散した液体は、周囲を汚すおそれがあ
る。そこで、図10に示すように、チャック34a,3
4bをインデックステーブル30の中心部側から囲む隔
壁部35が、インデックステーブル30に取り付けられ
ている。具体的には、隔壁部35は、内側にスポンジ部
材36を有しており、ディスクDから飛散した液体をこ
のスポンジ部材36で吸着する。なお、図示しないが、
リンス位置R1と乾燥位置R2とには、インデックステ
ーブル30の外方向に飛散した液体を受け取るトレイ状
の部材が配置されている。
【0032】このように、保持具34や隔壁部35が取
り付けられたインデックステーブル30は、最上位の保
持具34を第3の地点P3に位置させた状態で、ギアー
ドモータ30aの制御により、120度づつ矢印B方向
に回転し、2枚のディスクDをリンス位置R1,乾燥位
置R2に運ぶ。噴射機31は、上記リンス位置R1に取
り付けられている。この噴射機31は、図12に示すよ
うに、保持具34で保持された2枚のディスクDの各々
に純水を噴射してリンスする一対のノズル31a,31
bを有している。
【0033】一方、図1に示す第4の地点P4側には、
コンベア60が配置されており、このコンベア60の上
の第4の地点P4には、ハンドラー13で搬送されてき
たディスクDを収納するためのマガジン61,62が載
置されている。
【0034】次に、本実施形態のディスクの洗浄及び乾
燥装置が示す動作について説明する。図14は、本実施
形態のディスクの洗浄及び乾燥装置の動作を示す概略図
であり、図14の(a)はハンドラーによるディスクの
保持状態を示し、図14の(b)はディスクの搬送状態
を示し、図14の(c)はディスクの受け渡し状態を示
し、図14の(d)は各ハンドラー帰還状態を示す。
【0035】図14の(a)に示すように、ハンドラー
11〜13がそれぞれ第1の地点P1〜第3の地点P3
に位置すると、マガジン51,52内の2枚のディスク
D(以下、「ディスク対D1」と記す)が、ハンドラー
11に保持される。また、これと同時に、洗浄部2のイ
ンデックステーブル20の最上位に位置する2枚のディ
スクD(以下、「ディスク対D2」と記す)と、乾燥部
3のインデックステーブル30の最上位に位置する2枚
のディスクD(以下、「ディスク対D3」と記す)と
が、保持具24,34から解放されると共にハンドラー
12,13で保持される。この状態から、図1に示した
駆動部10によって、図14の(b)に示すように、レ
ール14が右方向に移動されると、ハンドラー11〜1
3に保持されたディスク対D1〜D3が第2の地点P2
〜第4の地点P4方向にそれぞれ搬送される。これによ
り、インデックステーブル20,30の最上位の保持具
24,34が空状態になる。そして、図14の(c)に
示すように、ディスク対D1〜D3が第2の地点P2〜
第4の地点P4にそれぞれ搬送されると、ディスク対D
1〜D3が、ハンドラー11〜13から解放されて、デ
ィスク対D1,D2がインデックステーブル20,30
の最上位の保持具24,34で保持されると共に、ディ
スク対D3がマガジン61,62に収納される。する
と、駆動部10によって、図14の(d)に示すよう
に、レール14が左方向に移動され、空のハンドラー1
1〜13が第1の地点P1〜第3の地点P3に向かう。
これと同時に、インデックステーブル20が90度回転
すると共に、インデックステーブル30が120度回転
する。これにより、ディスク対D1が洗浄器21のとこ
ろに位置されると共に、ディスク対D2がリンス位置R
1に位置される。また、ディスク対D3の収納によって
マガジン61,62が満杯になった場合には、マガジン
61,62がコンベア60によって所定場所に搬送され
る。
【0036】ディスク対D1が、洗浄器21に至ると、
図7に示したスポンジパッド25と長状のスポンジパッ
ド26,27とがディスク対D1側に移動すると共に、
カバー部材29が、インデックステーブル20側に移動
して、ディスク対D1と共に洗浄器21(22,23)
全体を覆う。これにより、ノズル28a,28bが図9
に示した配置状態になり、ノズル28aからの洗剤W
が、各ディスクDの表面と内周縁とにかけられると共
に、ノズル28bからの洗剤Wが、各ディスクDの外周
縁にかけられる。そして、保持具24で保持されたディ
スク対D1を両面から挟んだスポンジパッド25が回転
し、また、スポンジパッド26が、各ディスクDの内周
縁に接触して回転すると共に、その軸方向に進退する。
さらに、スポンジパッド27が、各ディスクDの外周縁
に接触して回転すると共に、その軸方向に進退する。こ
れにより、各ディスクDが、スポンジパッド25やスポ
ンジパッド26,27によって連れ回りしながら、スポ
ンジパッド25とスポンジパッド26,27と洗剤Wと
によって洗浄される。このとき、スポンジパッド25に
注入された洗剤Wは、図8に示した円板体25aの孔2
5cを介して、ディスクDに接触したスポンジ25bに
至り、スポンジパッド25によって吸収される。そし
て、スポンジ25bが多孔質の部材であることから、吸
収された洗剤Wは、中心部分からスポンジ25b全体に
行き渡る。この結果、洗剤Wがスポンジ25bとディス
クDとの間にまんべんなく行き渡り、各ディスクDの完
全な洗浄が達成される。また、スポンジパッド26,2
7は、軸方向に進退しながら回転するので、スポンジパ
ッド26,27の磨耗箇所が偏らない。このため、スポ
ンジパッド26,27による洗浄効果が向上すると共に
スポンジパッド26,27の寿命が長くなる。また、洗
浄時飛散した洗剤Wは、カバー部材29によって遮蔽さ
れ、飛散洗剤Wによって周囲が汚染されることはない。
【0037】洗浄器21によるディスク対D1の洗浄が
終了すると、スポンジパッド25と長状のスポンジパッ
ド26,27とカバー部材29とノズル28a,28b
とがディスク対D1から離れる。そして、インデックス
テーブル20が、図14の(d)に示したタイミングで
90度回転すると、ディスク対D1が洗浄器22に至
り、インデックステーブル20がさらに90度回転する
と、ディスク対D1が洗浄器23に至り、ディスク対D
1が洗浄器22,23で上記と同様に洗浄される。そし
て、インデックステーブル20がさらに90度回転する
と、洗浄処理されたディスク対D1が、インデックステ
ーブル20の最上位に至る。すると、図14の(a)〜
(c)に示したディスク対D2と同様に、ハンドラー1
2によって保持されて、インデックステーブル30の最
上位の保持具34に受け渡される。
【0038】ディスク対D1が保持具34で保持される
と、インデックステーブル30が120度回転し、ディ
スク対D1が、図14の(d)に示したディスク対D2
と同様に、リンス位置R1まで運ばれる。ディスク対D
1がリンス位置R1に至ると、噴射機31のノズル31
a,31bから純水が噴射される。そして、ディスク対
D1に付着した純水が、ディスク対D1を保持した保持
具34の高速回転によって飛散される。すなわち、リン
ス位置R1において、ディスク対D1のリンスが行われ
る。このとき、ディスク対D1の高速回転によって飛散
した純水は、隔壁部35のスポンジ部材36に吸着され
る。そして、噴射機31によるディスク対D1のリンス
処理が終了すると、インデックステーブル30が、図1
4の(d)に示したタイミングで120度回転する。こ
の回転時に、ディスク対D1を囲む隔壁部35が下向き
になるが、ディスク対D1から隔壁部35側に飛散した
純水は、スポンジ部材36に吸着されているので、純水
がディスク対D1に再付着して ディスク対D1を汚染
することはない。
【0039】インデックステーブル30の回転によっ
て、ディスク対D1が乾燥位置R2に至ると、保持具3
4の高速回転によって、ディスク対D1に残存している
純水が飛散され、ディスク対D1が完全に乾燥される。
すなわち、保持具34が各ディスクDの内周縁でなく、
外周縁を保持しているので、各ディスクDの回転によっ
て、内周縁に付着した純水をも飛散させ、ディスク対D
1を完全に乾燥させる。
【0040】そして、インデックステーブル30がさら
に120度回転すると、乾燥処理されたディスク対D1
が、インデックステーブル30の最上位に至る。する
と、図14の(a)〜(c)に示したディスク対D3と
同様に、ハンドラー13により保持されて、マガジン6
1,62まで搬送される。
【0041】上記したディスク対D1に対する搬送,洗
浄及び乾燥処理と同様の処理が他の全てのディスク対に
対して連続的に行われる。したがって、本実施形態のデ
ィスクの洗浄及び乾燥装置によれば、単位時間当たりの
処理枚数が、上記した従来のディスクの洗浄及び乾燥装
置に比べて、少なくとも2倍になる。また、各ディスク
対に対して洗浄器21〜23による3回の洗浄を行うこ
とができるので、十分な洗浄時間を確保することができ
る。また、インデックステーブル30がインデックステ
ーブル20と同期して回転することから、乾燥位置R2
における乾燥時間を長くとることができ、十分な乾燥時
間を確保することができる。特に、ポリッシング加工後
のディスクは、完全且つ十分な洗浄,乾燥が必要である
ので、本実施形態の装置をこのようなディスクの洗浄,
乾燥処理装置として適用すると、極めて大きな効果を得
ることができる。さらに、ディスク対の受け渡しと取出
とを、インデックステーブル20,30の一つの保持具
24,34で行う構成であるので、ディスクの洗浄,乾
燥に寄与しない保持具はこの一の保持具のみである。こ
のため、他の保持具で保持された全てのディスクに対し
て洗浄処理,乾燥処理を行うことができる。この結果、
インデックステーブル20,30の径を大きくすること
なく、多数のディスクを短時間で洗浄処理,乾燥処理す
ることができる。
【0042】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変
形や変更が可能である。例えば、本実施形態では、ハン
ドラー11〜13及び保持具24,34で搬送及び保持
するディスクDの枚数を2枚として説明したが、これに
限らず、ディスクDやインデックステーブル20,30
の大きさに応じて、ハンドラー11〜13及び保持具2
4,34で搬送及び保持するディスクDの枚数を3枚以
上にすることができる。また、上記実施形態では、第2
の洗浄部材(第3の洗浄部材)として長状のスポンジパ
ッド26(27)を適用したが、第2の洗浄部材(第3
の洗浄部材)を、図13の(a)に示すように、常態で
は毛26a(27a)が寝ており、回転すると、図13
の(b)に示すように、毛26a(27a)が起きて洗
浄部材としての機能を発揮する構造にすることができ
る。かかる構造にすることにより、洗浄部材の目詰まり
を防止することができる。また、洗浄器21〜23は、
洗剤WをディスクDにかけて洗浄する構成としたが、水
又は純水をディスクDにかけて洗浄する構成とすること
もできる。さらに、本実施形態の乾燥部3では、保持具
34の3つのローラ34dでディスクDの外周縁を保持
する構成としたが、これらのローラ34dが、ディスク
Dの径方向に広がって、内孔DRの周縁に係合すること
で、ディスクDを内側から保持する構成とすることもで
きることは勿論である。また、乾燥位置R2におけるデ
ィスクDの乾燥をディスクDの高速回転に依っていた
が、高速回転するディスクDに、空気,温風,各種ガ
ス,液体窒素などの流体を吹き付ける流体噴出器を設け
て、乾燥効果の向上を図ることもできる。さらに、隔壁
部35が、内側にスポンジ部材36を有した構造とした
が、スポンジ部材36の代わりにポリッシングパッドな
どの吸着部材を用いても良い。
【0043】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項1の
発明によれば、第1ないし第3の搬送具により一度に複
数のディスクを搬送し、この複数のディスクを第1及び
第2のインデックステーブルの保持具で保持して、洗浄
及び乾燥を行うことができるので、十分な洗浄時間と乾
燥時間とを確保しながら、単位時間当たりのディスク処
理枚数を増大させることができるという効果がある。ま
た、ディスクの受け渡しと取出とが、第1のインデック
ステーブル(第2のインデックステーブル)の保持具の
うち、第2の地点(第3の地点)にある一の保持具を介
して行われるので、ディスクの洗浄(乾燥)に寄与しな
い保持具はこの一の保持具のみである。このため、他の
保持具で保持された全てのディスクに対して洗浄処理
(乾燥処理)を行うことができ、この結果、第1のイン
デックステーブル(第2のインデックステーブル)の径
を大きくすることなく、多数のディスクを短時間で洗浄
処理(乾燥処理)することができる。
【0044】請求項2の発明によれば、ディスクの内周
縁と外周縁とを第1ないし第3の洗浄部材によって洗浄
する際に、第2及び第3の洗浄部材の磨耗箇所が偏らな
いので、これらの洗浄部材の洗浄効果の向上と長寿命化
とを図ることができるという効果がある。
【0045】請求項3の発明によれば、第1の洗浄部材
のスポンジが洗剤を吸収し、洗剤がスポンジ全体に行き
渡るので、洗剤がスポンジとディスク表面との間に行き
渡り、この結果、ディスク表面の十分な洗浄を達成する
ことができるという効果がある。
【0046】請求項4の発明によれば、保持具がディス
クの内周縁でなく、外周縁を保持するので、ディスクの
回転によって、ディスクの内周縁に付着した液体をも飛
散させることができ、この結果、ディスクの完全な乾燥
を達成することができるという効果がある。
【0047】請求項5の発明によれば、回転による液体
飛散作用と流体噴出器の流体吹付作用との相乗効果で、
ディスクをより一層完全に乾燥することができるので、
製品完成度の高いディスクを提供することができるとい
う効果がある。
【0048】請求項6の発明によれば、ディスクから飛
散した液体を隔壁部で吸着することができるので、液体
が隔壁部を伝わってディスクに再付着し、ディスクを汚
染するという事態の発生を防止することができるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るディスクの洗浄及び
乾燥装置の正面図である。
【図2】第1の搬送具としてのハンドラーの背面図であ
る。
【図3】第2及び第3の搬送具としてのハンドラーの背
面図である。
【図4】洗浄部の拡大正面図である。
【図5】洗浄部の構造を示す側面図である。
【図6】洗浄部における保持具の正面図である。
【図7】洗浄器の構造を示す概略図である。
【図8】スポンジパッドの断面図である。
【図9】ノズルの配置を示す概略側面図である。
【図10】乾燥部におけるインデックステーブルの拡大
正面図である。
【図11】乾燥部におけるインデックステーブルを一部
破断して示す側面図である。
【図12】噴射機を示す正面図である。
【図13】第2及び第3の洗浄部材の変形例を示す図で
あり、図13の(a)は洗浄部材の平面図であり、図1
3の(b)は洗浄部材の回転時の断面図である。
【図14】本実施形態のディスクの洗浄及び乾燥装置の
動作を示す概略図であり、図14の(a)は各ハンドラ
ーによるディスクの保持状態を示し、図14の(b)は
ディスクの搬送状態を示し、図14の(c)はディスク
の受け渡し状態を示し、図14の(d)は各ハンドラー
帰還状態を示す。
【図15】従来例に係るディスクの洗浄及び乾燥装置の
構成を示す概略図である。
【図16】図15に示す装置の乾燥部のインデックステ
ーブルを示す正面図である。
【符号の説明】
1・・・搬送部、 2・・・洗浄部、 3・・・乾燥
部、 11〜13・・・ハンドラー、 20,30・・
・インデックステーブル、 21〜23・・・洗浄器、
24,34・・・保持具、 D・・・ディスク、 P
1・・・第1の地点、 P2・・・第2の地点、 P3
・・・第3の地点、 P4・・・第4の地点。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11B 7/26 8940−5D G11B 7/26

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のインデックステーブルを所定角度
    だけ回転させて、第1のインデックステーブルに設けら
    れた複数の保持具で保持されたディスクを洗浄器まで案
    内し、この洗浄器でディスクを洗浄する洗浄部と、 所定角度で回転可能な第2のインデックステーブルに設
    けられた複数の保持具で保持されたディスクを乾燥する
    乾燥部と、 第1の地点から第2の地点間,第2の地点から第3の地
    点間,及び第3の地点から第4の地点間を一体に往復運
    動する第1の搬送具,第2の搬送具,及び第3の搬送具
    を有し、上記第1の搬送具が上記第1の地点から搬送し
    てきたディスクを上記第2の地点に位置する上記第1の
    インデックステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第
    2の搬送具が、上記第2の地点に位置する上記第1のイ
    ンデックステーブルの一の保持具から洗浄後のディスク
    を取り出して、上記第3の地点に位置する第2のインデ
    ックステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第3の搬
    送具が、上記第3の地点に位置する上記第2のインデッ
    クステーブルの一の保持具から乾燥後のディスクを取り
    出して、上記第4の地点に搬送する搬送部とを具備し、 上記第1の搬送具,第2の搬送具,及び第3の搬送具の
    各々は、複数のディスクを一度に搬送可能であり、 上記第1のインデックステーブルの各保持具及び第2の
    インデックステーブルの各保持具は、上記複数のディス
    クを保持可能である、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のディスクの洗浄及び乾
    燥装置において、 上記洗浄器は、 上記複数のディスクの表面に接触しながら回転する第1
    の洗浄部材と、 上記ディスクの内周縁に接触しながら回転し、その回転
    軸方向に進退する第2の洗浄部材と、 上記ディスクの外周縁に接触しながら回転し、その回転
    軸方向に進退する第3の洗浄部材と、 を具備することを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装
    置。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載のディスクの洗浄及び乾
    燥装置において、 上記第1の洗浄部材は、 洗剤を注入するための孔を中心部に有する板体と、 上記板体に取り付けられ、上記ディスクの表面に接触可
    能なスポンジと、 を具備することを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装
    置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載のディスクの洗浄及び乾
    燥装置において、 上記乾燥部の各保持具は、上記複数のディスクを外周縁
    から保持した状態で回転させるものである、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載のディスクの洗浄及び乾
    燥装置において、 上記乾燥部に、回転する上記複数のディスクに流体を吹
    き付ける流体噴出器を設けた、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
  6. 【請求項6】 請求項1,請求項4,又は請求項5のい
    ずれかに記載のディスクの洗浄及び乾燥装置において、 上記第2のインデックステーブルに、上記複数の保持具
    を囲み、上記複数のディスクから飛散した液体を吸着す
    る隔壁部を設けた、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
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