JPH1011749A - ディスクの洗浄及び乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置全体を大型化することなく、単位時間当
たりに多数枚のディスクを洗浄及び乾燥処理することが
できると共に、完全な洗浄と乾燥とを行うことができる
ディスクの洗浄及び乾燥装置を提供する。 【解決手段】 ハンドラー１１が２枚のディスクＤをイ
ンデックステーブル２０の保持具２４に受け渡す動作
と、ハンドラー１２が保持具２４から２枚のディスクＤ
を取り出してインデックステーブル３０の保持具３４に
受け渡す動作と、ハンドラー１３が保持具３４から２枚
のディスクＤを取り出す動作とが同時に行われる。そし
て、ハンドラー１１が２枚のディスクＤを保持具２４に
受け渡すと、インデックステーブル２０が９０度づつ回
転し、２枚のディスクＤが洗浄器２１〜２３で順次洗浄
される。また、ハンドラー１２が洗浄後の２枚のディス
クＤを保持具３４に受け渡すと、インデックステーブル
３０が１２０度づつ回転し、２枚のディスクＤが、噴射
機３１でリンスされた後、高速回転で乾燥される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクな
どを洗浄して乾燥するためのディスクの洗浄及び乾燥装
置に関し、特に、多数のディスクを連続的に洗浄及び乾
燥することができるディスクの洗浄及び乾燥装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のディスクの洗浄及び乾燥
装置としては、例えば、特開平３−９３０４０号公報に
記載の技術がある。図１５は、このディスクの洗浄及び
乾燥装置の構成を示す概略図である。図１５に示すよう
に、このディスクの洗浄及び乾燥装置は、搬送部１００
と、洗浄部２００と、乾燥部３００とを具備している。
この装置によると、研磨後のディスクＤが、アーム１０
１によって、ディスクマガジン１１０内から取り出さ
れ、レール１０４に沿って洗浄部２００のインデックス
テーブル２０１の受取位置Ｍ１まで搬送される。そし
て、ディスクＤが受取位置Ｍ１でインデックステーブル
２０１に受け取られると、インデックステーブル２０１
が矢印Ａ方向に９０度だけ回転し、ディスクＤが洗浄位
置Ｍ２まで運ばれる。すると、ディスクＤは、洗浄器２
０２によって洗浄された後、インデックステーブル２０
１の９０度回転によって、洗浄位置Ｍ３まで運ばれ、洗
浄器２０３によって再度洗浄される。そして、洗浄が完
了すると、ディスクＤは、インデックステーブル２０１
の回転によって取出位置Ｍ４まで運ばれ、アーム１０２
によって、乾燥部３００のインデックステーブル３０１
側に搬送される。

【０００３】ディスクＤが受取位置Ｎ１でインデックス
テーブル３０１に受け取られると、インデックステーブ
ル３０１が矢印Ｂ方向に９０度回転して、ディスクＤが
乾燥位置Ｎ２まで運ばれる。すると、ディスクＤが、高
速で回転され、ディスクＤのスピン乾燥が行われる。デ
ィスクＤは、この乾燥位置Ｎ２で乾燥されると、乾燥位
置Ｎ３まで運ばれ、再度スピン乾燥される。そして、こ
のスピン乾燥が完了したディスクＤは、取出位置Ｎ４ま
で運ばれ、アーム１０３によってディスクマガジン１２
０まで搬送される。

【０００４】搬送部１００のアーム１０１〜１０３の搬
送動作と、洗浄部２００及び乾燥部３００のインデック
ステーブル２０１，３０１の回転動作は同期している。
すなわち、研磨後のディスクＤがアーム１０１によって
インデックステーブル２０１の受取位置Ｍ１まで搬送さ
れると、洗浄完了後の取出位置Ｍ４のディスクＤがアー
ム１０２によってインデックステーブル３０１の受取位
置Ｎ１まで搬送され、これと同時に、スピン乾燥完了後
のディスクＤがアーム１０３によってディスクマガジン
１２０まで搬送される。したがって、多数のディスクＤ
が、アーム１０１〜１０３，インデックステーブル２０
１，３０１によってあたかもベルトコンベアーで運ばれ
るように連続的に搬送され、その途中で、洗浄と乾燥と
が行われることとなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
のディスクの洗浄及び乾燥装置では、次のような問題が
ある。第１に、アーム１０１〜１０３による搬送とイン
デックステーブル２０１，３０１における洗浄，乾燥と
を１枚のディスクＤ毎行う構成であるので、単位時間当
たりのディスク処理枚数が少ない。これに対して、アー
ム１０１〜１０３の搬送速度とインデックステーブル２
０１，３０１の回転速度とを高速にして、単位時間当た
りのディスク処理枚数を多くすることが考えられる。し
かし、これらをあまり高速にすると、ディスクＤに対す
る十分な洗浄時間と乾燥時間とを確保することができな
い。第２に、インデックステーブル２０１（３０１）に
おけるディスクＤの受取位置Ｍ１（Ｎ１）と取出位置Ｍ
４（Ｎ４）とが異なるので、洗浄（乾燥）するためのデ
ィスクＤの枚数がその分少なくなる。これに対して、イ
ンデックステーブル２０１（３０１）の径を大きして、
インデックステーブル２０１（３０１）で保持するディ
スクＤの枚数を増加させることが考えられるが、このよ
うにすると装置全体が大型化してしまうおそれがある。
第３に、洗浄器２０２において、洗剤をディスクＤの表
面にかけながら、回転するパット状の洗浄具をディスク
Ｄの表面に接触させて洗浄する場合に、洗浄具とディス
クＤとが密着していると、洗剤が洗浄具とディスクＤと
の間に十分行き渡らず、十分な洗浄を達成することがで
きないおそれがある。第４に、図１６に示すように、デ
ィスクＤの内孔ＤＲを４つの保持具３０２でチャックし
た状態で、ディスクＤを回転させてスピン乾燥する構造
であるので、内孔ＤＲの周縁部と保持具３０２との間に
付着した液体を飛散させることができない。すなわち、
ディスクＤの内孔ＤＲ近傍の周速度は最も小さく、内孔
ＤＲの周縁部と保持具３０２との間に付着した液体を飛
散させるに十分な遠心力を得ることができない。このた
め、乾燥後のディスクＤに残留液体によるシミが付くこ
とがある。第５に、インデックステーブル３０１に、水
滴飛散防止用の壁３０５が設けられているが、回転する
ディスクＤから飛散して壁３０５に付着した水滴が、壁
３０５を伝わってディスクＤに再付着し、ディスクＤを
汚染するおそれがある。

【０００６】本発明は上述した課題を解決するためにな
されたもので、装置全体を大型化することなく、単位時
間当たりに多数枚のディスクを洗浄及び乾燥処理するこ
とができると共に、完全な洗浄と乾燥とを行うことがで
きるディスクの洗浄及び乾燥装置を提供することを目的
としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明に係るディスクの洗浄及び乾燥装置
は、第１のインデックステーブルを所定角度だけ回転さ
せて、第１のインデックステーブルに設けられた複数の
保持具で保持されたディスクを洗浄器まで案内し、この
洗浄器でディスクを洗浄する洗浄部と、所定角度で回転
可能な第２のインデックステーブルに設けられた複数の
保持具で保持されたディスクを乾燥する乾燥部と、第１
の地点から第２の地点間，第２の地点から第３の地点
間，及び第３の地点から第４の地点間を一体に往復運動
する第１の搬送具，第２の搬送具，及び第３の搬送具を
有し、上記第１の搬送具が上記第１の地点から搬送して
きたディスクを上記第２の地点に位置する上記第１のイ
ンデックステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第２
の搬送具が、上記第２の地点に位置する上記第１のイン
デックステーブルの一の保持具から洗浄後のディスクを
取り出して、上記第３の地点に位置する第２のインデッ
クステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第３の搬送
具が、上記第３の地点に位置する上記第２のインデック
ステーブルの一の保持具から乾燥後のディスクを取り出
して、上記第４の地点に搬送する搬送部とを具備し、上
記第１の搬送具，第２の搬送具，及び第３の搬送具の各
々は、複数のディスクを一度に搬送可能であり、上記第
１のインデックステーブルの各保持具及び第２のインデ
ックステーブルの各保持具は、上記複数のディスクを保
持可能である構成とした。

【０００８】かかる構成によれば、搬送部の第１ないし
第３の搬送具が一体に運動するので、第１の搬送具が、
第１の地点から搬送してきた複数のディスクを第２の地
点に位置する第１のインデックステーブルの一の保持具
に受け渡す作用と、第２の搬送具が、第２の地点に位置
する第１のインデックステーブルの一の保持具から洗浄
後の複数のディスクを取り出して、第３の地点に位置す
る第２のインデックステーブルの一の保持具に受け渡す
作用と、第３の搬送具が、第３の地点に位置する第２の
インデックステーブルの一の保持具から乾燥後の複数の
ディスクを取り出して、第４の地点に搬送する作用とが
同時に行われる。そして、第１の搬送具によって、複数
のディスクが第２の地点に位置する一の保持具に受け渡
されると、第１のインデックステーブルが所定角度だけ
回転させられ、この一の保持具で保持された複数のディ
スクが洗浄部の洗浄器まで案内されて、洗浄される。そ
して、この洗浄された複数のディスクが、第１のインデ
ックステーブルの複数回の回転によって上記第２の地点
に戻される。また、第２の搬送具によって、洗浄後の複
数のディスクが第２の地点から第３の地点の第２のイン
デックステーブルの一の保持具に受け渡されると、第２
のインデックステーブルが所定角度回転させられ、ディ
スクが乾燥部によって乾燥される。そして、この乾燥さ
れた複数のディスクが第２のインデックステーブル２０
１の複数回の回転によって第３の地点に戻される。

【０００９】請求項２の発明は、請求項１に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記洗浄器は、上記
複数のディスクの表面に接触しながら回転する第１の洗
浄部材と、上記ディスクの内周縁に接触しながら回転
し、その回転軸方向に進退する第２の洗浄部材と、上記
ディスクの外周縁に接触しながら回転し、その回転軸方
向に進退する第３の洗浄部材とを具備する構成とした。

【００１０】かかる構成によれば、第１のインデックス
テーブルの各保持具に保持された複数のディスクの表面
が、表面に接触しながら回転する第１の洗浄部材によっ
て洗浄される。また、複数のディスクの内周縁は、この
内周縁に接触しながら回転する第２の洗浄部材によって
洗浄され、外周縁は、この外周縁に接触しながら回転す
る第３の洗浄部材によって洗浄される。このとき、第２
及び第３の洗浄部材が回転軸方向に進退するので、第１
及び第２の洗浄部材の磨耗箇所が偏らない。

【００１１】請求項３の発明は、請求項２に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記第１の洗浄部材
は、洗剤を注入するための孔を中心部に有する板体と、
上記板体に取り付けられ、上記ディスクの表面に接触可
能なスポンジとを具備する構成とした。

【００１２】かかる構成によれば、洗剤が、板体の孔に
注入されると、スポンジによって吸収され、スポンジ全
体に行き渡る。

【００１３】請求項４の発明は、請求項１に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記乾燥部の各保持
具は、上記複数のディスクを外周縁から保持した状態で
回転させるものである構成とした。

【００１４】かかる構成によれば、乾燥部の各保持具
が、複数のディスクを保持して回転するので、ディスク
に付着した液体が回転によって飛散し、ディスク表面が
乾燥した状態になる。このとき、保持具がディスクの外
周縁を保持しているので、遠心力の小さい内周縁に付着
した液体をも飛散させることができる。

【００１５】請求項５の発明は、請求項４に記載のディ
スクの洗浄及び乾燥装置において、上記乾燥部に、回転
する上記複数のディスクに流体を吹き付ける流体噴出器
を設けた構成としてある。

【００１６】かかる構成によれば、回転による液体飛散
作用と流体噴出器の流体吹付作用との相乗効果によっ
て、ディスクが完全に乾燥される。

【００１７】請求項６の発明は、請求項１，請求項４，
又は請求項５のいずれかに記載のディスクの洗浄及び乾
燥装置において、上記第２のインデックステーブルに、
上記複数の保持具を囲み、上記複数のディスクから飛散
した液体を吸着する隔壁部を設けた構成としてある。

【００１８】かかる構成によれば、第２のインデックス
テーブルの隔壁部が、単に回転するディスクから飛散し
た液体を遮蔽するだけでなく、飛散した液体を吸着する
ので、第２のインデックステーブルの回転時に隔壁部に
付着した液体が隔壁部を伝わってディスクに再付着し、
ディスクを汚染することはない。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係るディスクの洗浄及び乾燥装置の正面図である。
図１に示すように、この装置は、操作パネル４を備えた
筐体５に、搬送部１と洗浄部２と乾燥部３とを組み込ん
だ構成となっている。

【００２０】搬送部１は、第１の搬送具としてのハンド
ラー１１と第２の搬送具としてのハンドラー１２と第３
の搬送具としてのハンドラー１３とを一体に図１の左右
に往復運動させる部分である。具体的には、ハンドラー
１１，１２，１３がレール１４の左端部，中央部，右端
部にそれぞれ取り付けられている。そして、このレール
１４の中央部がスライダー１５に取り付けられ、スライ
ダー１５が駆動部１０によって往復運動させるようにな
っている。これにより、ハンドラー１１が第１の地点Ｐ
１〜第２の地点Ｐ２間を移動し、ハンドラー１２が第２
の地点Ｐ２〜第３の地点Ｐ３間を移動し、ハンドラー１
３が第３の地点Ｐ３〜第４の地点Ｐ４間を移動するよう
になっている。

【００２１】第１の地点Ｐ１側においては、リフトユニ
ット５０が筐体５の側面に取り付けられており、ディス
クＤを収納したマガジン５１，５２を第１の地点Ｐ１ま
で上昇させることができるようになっている。ハンドラ
ー１１は、マガジン５１，５２内のディスクＤを保持し
て第１の地点Ｐ１から第２の地点Ｐ２に搬送するための
器具である。図２は、ハンドラー１１の背面図である。
図２に示すように、ハンドラー１１はレール１４に取り
付けられる基部１１ａを有し、この基部１１ａの下側
に、二組のチャック１１ｂ，１１ｃが設けられている。
二組のチャック１１ｂ，１１ｃは、ディスクＤの径方向
に広がることにより、ディスクＤの内孔ＤＲに係合し
て、ディスクＤを内側から保持する。

【００２２】また、図１に示すように、第２の地点Ｐ２
及び第３の地点Ｐ３には、洗浄部２及び乾燥部３が配置
されている。ハンドラー１２は、洗浄部２が配置された
第２の地点Ｐ２のディスクＤを第３の地点Ｐ３に搬送す
る器具であり、ハンドラー１３は乾燥部３が配置された
第３の地点Ｐ３のディスクＤを第４の地点Ｐ４に搬送す
る器具である。図３は、ハンドラー１２，１３の背面図
である。図３に示すように、ハンドラー１２（１３）
も、レール１４に取り付けられる基部１２ａ（１３ａ）
を有し、この基部１２ａ（１３ａ）の下側に、二組のチ
ャック１２ｂ（１３ｂ），１２ｃ（１３ｃ）が設けられ
ている。二組のチャック１２ｂ（１３ｂ），１２ｃ（１
３ｃ）は、ディスクＤの中心方向に狭まることにより、
ディスクＤの外周縁を挟んで、ディスクＤを外側から保
持する。すなわち、ハンドラー１１〜１３は、二組のチ
ャック１１ｂ，１１ｃ〜１３ｂ，１３ｃにより、２枚の
ディスクＤを保持して搬送することができる。

【００２３】図１において、洗浄部２は、ハンドラー１
１で搬送されてきたディスクＤを洗浄する部分であり、
第１のインデックステーブルとしてのインデックステー
ブル２０と、３つの洗浄器２１〜２３とを有している。

【００２４】図４は、洗浄部２の拡大正面図であり、図
５は、洗浄部２の構造を示す側面図である。インデック
ステーブル２０は、図４に示すように、円形の回転体で
あり、図５に示すギアードモータ２０ａによって９０度
づつ離散的に回転される。そして、インデックステーブ
ル２０の外周縁部には、４つの保持具２４が９０度毎に
取り付けられている。図６は、この保持具２４の正面図
である。図６に示すように、保持具２４は、２組のチャ
ック２４ａ，２４ｂで構成されている。チャック２４ａ
（２４ｂ）は、一対のアーム２４ｃ，２４ｄを有してお
り、アーム２４ｃ，２４ｄの先端部などには、ローラ２
４ｅが取り付けられている。このようなチャック２４
ａ，２４ｂは、図５に示すように、インデックステーブ
ル２０の背面に取り付けられたシリンダ２４ｆによって
制御される。具体的には、アーム２４ｃ，２４ｄが、図
６の実線で示すように閉じられ、図６の二点鎖線で示す
ように開かれる。すなわち、アーム２４ｃ，２４ｄを閉
じることで、ディスクＤを外周縁で保持し、開くことで
ディスクＤを解放する。また、図５に示したように、シ
リンダ２４ｆが取り付けられたインデックステーブル２
０は、図４に示すように、最上位の保持具２４を第２の
地点Ｐ２に位置させた状態で、ギアードモータ２０ａの
制御によって９０度づつ矢印Ａ方向に回転する。

【００２５】洗浄器２１〜２３は、このようなインデッ
クステーブル２０の回転位置に配置されている。図７
は、洗浄器２１〜２３の構造を示す概略図である。図７
に示すように、洗浄器２１（２２，２３）は、各ディス
クＤの表面を洗浄するための第１の洗浄部材としてのス
ポンジパッド２５と、各ディスクＤの内周縁を洗浄する
ための第２の洗浄部材としての長状のスポンジパッド２
６と、各ディスクＤの外周縁を洗浄するための第３の洗
浄部材としての長状のスポンジパッド２７とを有してい
る。

【００２６】図８は、各スポンジパッド２５の断面図で
ある。図８に示すように、スポンジパッド２５は、円板
体２５ａとスポンジ２５ｂとを有している。円板体２５
ａは、中心部に孔２５ｃを有しており、この孔２５ｃを
介して、ホース２５ｄから注入された洗剤Ｗを円板体２
５ａの表側中心部分に導く。一方、スポンジ２５ｂは、
ディスクＤの表面に接触させるためのもので、円板体２
５ａの表面に貼り付けられている。このようなスポンジ
パッド２５は、図７の紙面奥側と手前側とにそれぞれ設
けられており、１枚のディスクＤの両面を２つのスポン
ジパッド２５で挟むようになっている。具体的には、紙
面奥側のスポンジパッド２５は、保持具２４が２枚のデ
ィスクＤを保持した状態で洗浄器２１（２２，２３）の
位置まで回転してきたときに、ディスクＤ側に移動し
て、ディスクＤの裏面に接触する。そして、インデック
ステーブル２０の裏側に設けられたモータによって回転
する。また、紙面手前側のスポンジパッド２５は、保持
具２４が洗浄器２１（２２，２３）の位置にきたとき
に、支持体２８と共にディスクＤ側に移動し、ディスク
Ｄの表面に接触する。そして、奥側のスポンジパッド２
５と連動して回転する。すなわち、一方の２つのスポン
ジパッド２５が、保持具２４のチャック２４ａによって
保持された１枚のディスクＤの両面に接触して回転し、
また、他方の２つのスポンジパッド２５が、チャック２
４ｂによって保持された１枚のディスクＤの両面に接触
して回転する。

【００２７】一方、スポンジパッド２６，２７は、保持
具２４が洗浄器２１（２２，２３）の位置にきたときに
奥側のスポンジパッド２５と一体に移動する。これによ
り、スポンジパッド２６がディスクＤの内孔ＤＲに挿入
されて、ディスクＤの内周縁に接触し、スポンジパッド
２７がディスクＤの外周縁に接触する。そして、スポン
ジパッド２６，２７は、スポンジパッド２５と連動し
て、その軸方向に進退しながら回転する。なお、洗浄終
了後には、図７の紙面奥側のスポンジパッド２５と長状
のスポンジパッド２６，２７とが紙面奥側に引っ込み、
紙面手前側のスポンジパッド２５が支持体２８と一体に
紙面手前側に移動するようになっている。

【００２８】このような洗浄器２１（２２，２３）に
は、洗剤ＷをディスクＤ全体に噴射するノズルが設けら
れている。図９は、ノズルの配置を示す概略側面図であ
る。図９において、符号２８ａは、各ディスクＤの表面
方向と内周縁方向に洗剤Ｗを噴射するノズルであり、各
ディスクＤの両側に配置される。また、符号２８ｂは、
各ディスクＤの外周縁方向に洗剤Ｗを噴射するノズルで
あり、各ディスクＤの外周縁部近傍に配置される。この
ようなノズルのうち、ノズル２８ｂと図９に示すディス
クＤの左側に位置するノズル２８ａとは、上記したスポ
ンジパッド２６，２７及び図９左側のスポンジパッド２
５と一体に図９の左右方向に移動するようになってい
る。また、ディスクＤの右側に位置するノズル２８ａ
は、カバー部材２９に取り付けられている。このカバー
部材２９は、通常、図９の右側すなわち図４及び図７の
紙面手前に位置しており、保持具２４が洗浄器２１（２
２，２３）の位置まで回転してきたときに、洗浄器２１
（２２，２３）側に移動して、洗浄器２１（２２，２
３）全体を覆う。これにより、右側のノズル２８ａが図
に示す配置状態になる。そして、洗浄終了と同時に、カ
バー部材２９が洗浄器２１（２２，２３）から離れ、保
持具２４の回転が可能となる。

【００２９】図１において、乾燥部３は、ハンドラー１
２で搬送されてきたディスクＤを乾燥する部分であり、
第２のインデックステーブルとしてのインデックステー
ブル３０と噴射機３１とを有している。

【００３０】図１０はインデックステーブル３０の拡大
正面図であり、図１１はインデックステーブル３０の構
造を示す側面図である。インデックステーブル３０は、
図１０に示すように、円形の回転体であり、図１１に示
すように、ギアードモータ３０ａによって１２０度づつ
離散的に回転させられる。そして、インデックステーブ
ル３０の外周縁部には、１２０度毎に３つの保持具３４
が取り付けられている。各保持具３４は、２組のチャッ
ク３４ａ，３４ｂでなり、各チャック３４ａ（３４ｂ）
は、円形状の回転体３４ｃと、ディスクＤの中心方向に
狭まってディスクＤの外周縁を保持可能な３つのローラ
３４ｄとで構成されている。そして、モータ３４ｅがイ
ンデックステーブル３０の背面に取り付けられており、
チャック３４ａ（３４ｂ）の回転体３４ｃがこのモータ
３４ｅの回転軸に固着されている。すなわち、モータ３
４ｅによって、チャック３４ａ（３４ｂ）を高速回転す
ることで、ディスクＤに付着した液体を飛散させるよう
になっている。

【００３１】ところで、チャック３４ａ（３４ｂ）の高
速回転によって飛散した液体は、周囲を汚すおそれがあ
る。そこで、図１０に示すように、チャック３４ａ，３
４ｂをインデックステーブル３０の中心部側から囲む隔
壁部３５が、インデックステーブル３０に取り付けられ
ている。具体的には、隔壁部３５は、内側にスポンジ部
材３６を有しており、ディスクＤから飛散した液体をこ
のスポンジ部材３６で吸着する。なお、図示しないが、
リンス位置Ｒ１と乾燥位置Ｒ２とには、インデックステ
ーブル３０の外方向に飛散した液体を受け取るトレイ状
の部材が配置されている。

【００３２】このように、保持具３４や隔壁部３５が取
り付けられたインデックステーブル３０は、最上位の保
持具３４を第３の地点Ｐ３に位置させた状態で、ギアー
ドモータ３０ａの制御により、１２０度づつ矢印Ｂ方向
に回転し、２枚のディスクＤをリンス位置Ｒ１，乾燥位
置Ｒ２に運ぶ。噴射機３１は、上記リンス位置Ｒ１に取
り付けられている。この噴射機３１は、図１２に示すよ
うに、保持具３４で保持された２枚のディスクＤの各々
に純水を噴射してリンスする一対のノズル３１ａ，３１
ｂを有している。

【００３３】一方、図１に示す第４の地点Ｐ４側には、
コンベア６０が配置されており、このコンベア６０の上
の第４の地点Ｐ４には、ハンドラー１３で搬送されてき
たディスクＤを収納するためのマガジン６１，６２が載
置されている。

【００３４】次に、本実施形態のディスクの洗浄及び乾
燥装置が示す動作について説明する。図１４は、本実施
形態のディスクの洗浄及び乾燥装置の動作を示す概略図
であり、図１４の（ａ）はハンドラーによるディスクの
保持状態を示し、図１４の（ｂ）はディスクの搬送状態
を示し、図１４の（ｃ）はディスクの受け渡し状態を示
し、図１４の（ｄ）は各ハンドラー帰還状態を示す。

【００３５】図１４の（ａ）に示すように、ハンドラー
１１〜１３がそれぞれ第１の地点Ｐ１〜第３の地点Ｐ３
に位置すると、マガジン５１，５２内の２枚のディスク
Ｄ（以下、「ディスク対Ｄ１」と記す）が、ハンドラー
１１に保持される。また、これと同時に、洗浄部２のイ
ンデックステーブル２０の最上位に位置する２枚のディ
スクＤ（以下、「ディスク対Ｄ２」と記す）と、乾燥部
３のインデックステーブル３０の最上位に位置する２枚
のディスクＤ（以下、「ディスク対Ｄ３」と記す）と
が、保持具２４，３４から解放されると共にハンドラー
１２，１３で保持される。この状態から、図１に示した
駆動部１０によって、図１４の（ｂ）に示すように、レ
ール１４が右方向に移動されると、ハンドラー１１〜１
３に保持されたディスク対Ｄ１〜Ｄ３が第２の地点Ｐ２
〜第４の地点Ｐ４方向にそれぞれ搬送される。これによ
り、インデックステーブル２０，３０の最上位の保持具
２４，３４が空状態になる。そして、図１４の（ｃ）に
示すように、ディスク対Ｄ１〜Ｄ３が第２の地点Ｐ２〜
第４の地点Ｐ４にそれぞれ搬送されると、ディスク対Ｄ
１〜Ｄ３が、ハンドラー１１〜１３から解放されて、デ
ィスク対Ｄ１，Ｄ２がインデックステーブル２０，３０
の最上位の保持具２４，３４で保持されると共に、ディ
スク対Ｄ３がマガジン６１，６２に収納される。する
と、駆動部１０によって、図１４の（ｄ）に示すよう
に、レール１４が左方向に移動され、空のハンドラー１
１〜１３が第１の地点Ｐ１〜第３の地点Ｐ３に向かう。
これと同時に、インデックステーブル２０が９０度回転
すると共に、インデックステーブル３０が１２０度回転
する。これにより、ディスク対Ｄ１が洗浄器２１のとこ
ろに位置されると共に、ディスク対Ｄ２がリンス位置Ｒ
１に位置される。また、ディスク対Ｄ３の収納によって
マガジン６１，６２が満杯になった場合には、マガジン
６１，６２がコンベア６０によって所定場所に搬送され
る。

【００３６】ディスク対Ｄ１が、洗浄器２１に至ると、
図７に示したスポンジパッド２５と長状のスポンジパッ
ド２６，２７とがディスク対Ｄ１側に移動すると共に、
カバー部材２９が、インデックステーブル２０側に移動
して、ディスク対Ｄ１と共に洗浄器２１（２２，２３）
全体を覆う。これにより、ノズル２８ａ，２８ｂが図９
に示した配置状態になり、ノズル２８ａからの洗剤Ｗ
が、各ディスクＤの表面と内周縁とにかけられると共
に、ノズル２８ｂからの洗剤Ｗが、各ディスクＤの外周
縁にかけられる。そして、保持具２４で保持されたディ
スク対Ｄ１を両面から挟んだスポンジパッド２５が回転
し、また、スポンジパッド２６が、各ディスクＤの内周
縁に接触して回転すると共に、その軸方向に進退する。
さらに、スポンジパッド２７が、各ディスクＤの外周縁
に接触して回転すると共に、その軸方向に進退する。こ
れにより、各ディスクＤが、スポンジパッド２５やスポ
ンジパッド２６，２７によって連れ回りしながら、スポ
ンジパッド２５とスポンジパッド２６，２７と洗剤Ｗと
によって洗浄される。このとき、スポンジパッド２５に
注入された洗剤Ｗは、図８に示した円板体２５ａの孔２
５ｃを介して、ディスクＤに接触したスポンジ２５ｂに
至り、スポンジパッド２５によって吸収される。そし
て、スポンジ２５ｂが多孔質の部材であることから、吸
収された洗剤Ｗは、中心部分からスポンジ２５ｂ全体に
行き渡る。この結果、洗剤Ｗがスポンジ２５ｂとディス
クＤとの間にまんべんなく行き渡り、各ディスクＤの完
全な洗浄が達成される。また、スポンジパッド２６，２
７は、軸方向に進退しながら回転するので、スポンジパ
ッド２６，２７の磨耗箇所が偏らない。このため、スポ
ンジパッド２６，２７による洗浄効果が向上すると共に
スポンジパッド２６，２７の寿命が長くなる。また、洗
浄時飛散した洗剤Ｗは、カバー部材２９によって遮蔽さ
れ、飛散洗剤Ｗによって周囲が汚染されることはない。

【００３７】洗浄器２１によるディスク対Ｄ１の洗浄が
終了すると、スポンジパッド２５と長状のスポンジパッ
ド２６，２７とカバー部材２９とノズル２８ａ，２８ｂ
とがディスク対Ｄ１から離れる。そして、インデックス
テーブル２０が、図１４の（ｄ）に示したタイミングで
９０度回転すると、ディスク対Ｄ１が洗浄器２２に至
り、インデックステーブル２０がさらに９０度回転する
と、ディスク対Ｄ１が洗浄器２３に至り、ディスク対Ｄ
１が洗浄器２２，２３で上記と同様に洗浄される。そし
て、インデックステーブル２０がさらに９０度回転する
と、洗浄処理されたディスク対Ｄ１が、インデックステ
ーブル２０の最上位に至る。すると、図１４の（ａ）〜
（ｃ）に示したディスク対Ｄ２と同様に、ハンドラー１
２によって保持されて、インデックステーブル３０の最
上位の保持具３４に受け渡される。

【００３８】ディスク対Ｄ１が保持具３４で保持される
と、インデックステーブル３０が１２０度回転し、ディ
スク対Ｄ１が、図１４の（ｄ）に示したディスク対Ｄ２
と同様に、リンス位置Ｒ１まで運ばれる。ディスク対Ｄ
１がリンス位置Ｒ１に至ると、噴射機３１のノズル３１
ａ，３１ｂから純水が噴射される。そして、ディスク対
Ｄ１に付着した純水が、ディスク対Ｄ１を保持した保持
具３４の高速回転によって飛散される。すなわち、リン
ス位置Ｒ１において、ディスク対Ｄ１のリンスが行われ
る。このとき、ディスク対Ｄ１の高速回転によって飛散
した純水は、隔壁部３５のスポンジ部材３６に吸着され
る。そして、噴射機３１によるディスク対Ｄ１のリンス
処理が終了すると、インデックステーブル３０が、図１
４の（ｄ）に示したタイミングで１２０度回転する。こ
の回転時に、ディスク対Ｄ１を囲む隔壁部３５が下向き
になるが、ディスク対Ｄ１から隔壁部３５側に飛散した
純水は、スポンジ部材３６に吸着されているので、純水
がディスク対Ｄ１に再付着して ディスク対Ｄ１を汚染
することはない。

【００３９】インデックステーブル３０の回転によっ
て、ディスク対Ｄ１が乾燥位置Ｒ２に至ると、保持具３
４の高速回転によって、ディスク対Ｄ１に残存している
純水が飛散され、ディスク対Ｄ１が完全に乾燥される。
すなわち、保持具３４が各ディスクＤの内周縁でなく、
外周縁を保持しているので、各ディスクＤの回転によっ
て、内周縁に付着した純水をも飛散させ、ディスク対Ｄ
１を完全に乾燥させる。

【００４０】そして、インデックステーブル３０がさら
に１２０度回転すると、乾燥処理されたディスク対Ｄ１
が、インデックステーブル３０の最上位に至る。する
と、図１４の（ａ）〜（ｃ）に示したディスク対Ｄ３と
同様に、ハンドラー１３により保持されて、マガジン６
１，６２まで搬送される。

【００４１】上記したディスク対Ｄ１に対する搬送，洗
浄及び乾燥処理と同様の処理が他の全てのディスク対に
対して連続的に行われる。したがって、本実施形態のデ
ィスクの洗浄及び乾燥装置によれば、単位時間当たりの
処理枚数が、上記した従来のディスクの洗浄及び乾燥装
置に比べて、少なくとも２倍になる。また、各ディスク
対に対して洗浄器２１〜２３による３回の洗浄を行うこ
とができるので、十分な洗浄時間を確保することができ
る。また、インデックステーブル３０がインデックステ
ーブル２０と同期して回転することから、乾燥位置Ｒ２
における乾燥時間を長くとることができ、十分な乾燥時
間を確保することができる。特に、ポリッシング加工後
のディスクは、完全且つ十分な洗浄，乾燥が必要である
ので、本実施形態の装置をこのようなディスクの洗浄，
乾燥処理装置として適用すると、極めて大きな効果を得
ることができる。さらに、ディスク対の受け渡しと取出
とを、インデックステーブル２０，３０の一つの保持具
２４，３４で行う構成であるので、ディスクの洗浄，乾
燥に寄与しない保持具はこの一の保持具のみである。こ
のため、他の保持具で保持された全てのディスクに対し
て洗浄処理，乾燥処理を行うことができる。この結果、
インデックステーブル２０，３０の径を大きくすること
なく、多数のディスクを短時間で洗浄処理，乾燥処理す
ることができる。

【００４２】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変
形や変更が可能である。例えば、本実施形態では、ハン
ドラー１１〜１３及び保持具２４，３４で搬送及び保持
するディスクＤの枚数を２枚として説明したが、これに
限らず、ディスクＤやインデックステーブル２０，３０
の大きさに応じて、ハンドラー１１〜１３及び保持具２
４，３４で搬送及び保持するディスクＤの枚数を３枚以
上にすることができる。また、上記実施形態では、第２
の洗浄部材（第３の洗浄部材）として長状のスポンジパ
ッド２６（２７）を適用したが、第２の洗浄部材（第３
の洗浄部材）を、図１３の（ａ）に示すように、常態で
は毛２６ａ（２７ａ）が寝ており、回転すると、図１３
の（ｂ）に示すように、毛２６ａ（２７ａ）が起きて洗
浄部材としての機能を発揮する構造にすることができ
る。かかる構造にすることにより、洗浄部材の目詰まり
を防止することができる。また、洗浄器２１〜２３は、
洗剤ＷをディスクＤにかけて洗浄する構成としたが、水
又は純水をディスクＤにかけて洗浄する構成とすること
もできる。さらに、本実施形態の乾燥部３では、保持具
３４の３つのローラ３４ｄでディスクＤの外周縁を保持
する構成としたが、これらのローラ３４ｄが、ディスク
Ｄの径方向に広がって、内孔ＤＲの周縁に係合すること
で、ディスクＤを内側から保持する構成とすることもで
きることは勿論である。また、乾燥位置Ｒ２におけるデ
ィスクＤの乾燥をディスクＤの高速回転に依っていた
が、高速回転するディスクＤに、空気，温風，各種ガ
ス，液体窒素などの流体を吹き付ける流体噴出器を設け
て、乾燥効果の向上を図ることもできる。さらに、隔壁
部３５が、内側にスポンジ部材３６を有した構造とした
が、スポンジ部材３６の代わりにポリッシングパッドな
どの吸着部材を用いても良い。

【００４３】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１の
発明によれば、第１ないし第３の搬送具により一度に複
数のディスクを搬送し、この複数のディスクを第１及び
第２のインデックステーブルの保持具で保持して、洗浄
及び乾燥を行うことができるので、十分な洗浄時間と乾
燥時間とを確保しながら、単位時間当たりのディスク処
理枚数を増大させることができるという効果がある。ま
た、ディスクの受け渡しと取出とが、第１のインデック
ステーブル（第２のインデックステーブル）の保持具の
うち、第２の地点（第３の地点）にある一の保持具を介
して行われるので、ディスクの洗浄（乾燥）に寄与しな
い保持具はこの一の保持具のみである。このため、他の
保持具で保持された全てのディスクに対して洗浄処理
（乾燥処理）を行うことができ、この結果、第１のイン
デックステーブル（第２のインデックステーブル）の径
を大きくすることなく、多数のディスクを短時間で洗浄
処理（乾燥処理）することができる。

【００４４】請求項２の発明によれば、ディスクの内周
縁と外周縁とを第１ないし第３の洗浄部材によって洗浄
する際に、第２及び第３の洗浄部材の磨耗箇所が偏らな
いので、これらの洗浄部材の洗浄効果の向上と長寿命化
とを図ることができるという効果がある。

【００４５】請求項３の発明によれば、第１の洗浄部材
のスポンジが洗剤を吸収し、洗剤がスポンジ全体に行き
渡るので、洗剤がスポンジとディスク表面との間に行き
渡り、この結果、ディスク表面の十分な洗浄を達成する
ことができるという効果がある。

【００４６】請求項４の発明によれば、保持具がディス
クの内周縁でなく、外周縁を保持するので、ディスクの
回転によって、ディスクの内周縁に付着した液体をも飛
散させることができ、この結果、ディスクの完全な乾燥
を達成することができるという効果がある。

【００４７】請求項５の発明によれば、回転による液体
飛散作用と流体噴出器の流体吹付作用との相乗効果で、
ディスクをより一層完全に乾燥することができるので、
製品完成度の高いディスクを提供することができるとい
う効果がある。

【００４８】請求項６の発明によれば、ディスクから飛
散した液体を隔壁部で吸着することができるので、液体
が隔壁部を伝わってディスクに再付着し、ディスクを汚
染するという事態の発生を防止することができるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るディスクの洗浄及び
乾燥装置の正面図である。

【図２】第１の搬送具としてのハンドラーの背面図であ
る。

【図３】第２及び第３の搬送具としてのハンドラーの背
面図である。

【図４】洗浄部の拡大正面図である。

【図５】洗浄部の構造を示す側面図である。

【図６】洗浄部における保持具の正面図である。

【図７】洗浄器の構造を示す概略図である。

【図８】スポンジパッドの断面図である。

【図９】ノズルの配置を示す概略側面図である。

【図１０】乾燥部におけるインデックステーブルの拡大
正面図である。

【図１１】乾燥部におけるインデックステーブルを一部
破断して示す側面図である。

【図１２】噴射機を示す正面図である。

【図１３】第２及び第３の洗浄部材の変形例を示す図で
あり、図１３の（ａ）は洗浄部材の平面図であり、図１
３の（ｂ）は洗浄部材の回転時の断面図である。

【図１４】本実施形態のディスクの洗浄及び乾燥装置の
動作を示す概略図であり、図１４の（ａ）は各ハンドラ
ーによるディスクの保持状態を示し、図１４の（ｂ）は
ディスクの搬送状態を示し、図１４の（ｃ）はディスク
の受け渡し状態を示し、図１４の（ｄ）は各ハンドラー
帰還状態を示す。

【図１５】従来例に係るディスクの洗浄及び乾燥装置の
構成を示す概略図である。

【図１６】図１５に示す装置の乾燥部のインデックステ
ーブルを示す正面図である。

【符号の説明】

１・・・搬送部、 ２・・・洗浄部、 ３・・・乾燥
部、 １１〜１３・・・ハンドラー、 ２０，３０・・
・インデックステーブル、 ２１〜２３・・・洗浄器、
２４，３４・・・保持具、 Ｄ・・・ディスク、 Ｐ
１・・・第１の地点、 Ｐ２・・・第２の地点、 Ｐ３
・・・第３の地点、 Ｐ４・・・第４の地点。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１１Ｂ 7/26 8940−5Ｄ Ｇ１１Ｂ 7/26

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のインデックステーブルを所定角度
   だけ回転させて、第１のインデックステーブルに設けら
   れた複数の保持具で保持されたディスクを洗浄器まで案
   内し、この洗浄器でディスクを洗浄する洗浄部と、 所定角度で回転可能な第２のインデックステーブルに設
   けられた複数の保持具で保持されたディスクを乾燥する
   乾燥部と、 第１の地点から第２の地点間，第２の地点から第３の地
   点間，及び第３の地点から第４の地点間を一体に往復運
   動する第１の搬送具，第２の搬送具，及び第３の搬送具
   を有し、上記第１の搬送具が上記第１の地点から搬送し
   てきたディスクを上記第２の地点に位置する上記第１の
   インデックステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第
   ２の搬送具が、上記第２の地点に位置する上記第１のイ
   ンデックステーブルの一の保持具から洗浄後のディスク
   を取り出して、上記第３の地点に位置する第２のインデ
   ックステーブルの一の保持具に受け渡し、上記第３の搬
   送具が、上記第３の地点に位置する上記第２のインデッ
   クステーブルの一の保持具から乾燥後のディスクを取り
   出して、上記第４の地点に搬送する搬送部とを具備し、 上記第１の搬送具，第２の搬送具，及び第３の搬送具の
   各々は、複数のディスクを一度に搬送可能であり、 上記第１のインデックステーブルの各保持具及び第２の
   インデックステーブルの各保持具は、上記複数のディス
   クを保持可能である、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のディスクの洗浄及び乾
   燥装置において、 上記洗浄器は、 上記複数のディスクの表面に接触しながら回転する第１
   の洗浄部材と、 上記ディスクの内周縁に接触しながら回転し、その回転
   軸方向に進退する第２の洗浄部材と、 上記ディスクの外周縁に接触しながら回転し、その回転
   軸方向に進退する第３の洗浄部材と、 を具備することを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装
   置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のディスクの洗浄及び乾
   燥装置において、 上記第１の洗浄部材は、 洗剤を注入するための孔を中心部に有する板体と、 上記板体に取り付けられ、上記ディスクの表面に接触可
   能なスポンジと、 を具備することを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載のディスクの洗浄及び乾
   燥装置において、 上記乾燥部の各保持具は、上記複数のディスクを外周縁
   から保持した状態で回転させるものである、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のディスクの洗浄及び乾
   燥装置において、 上記乾燥部に、回転する上記複数のディスクに流体を吹
   き付ける流体噴出器を設けた、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。
6. 【請求項６】 請求項１，請求項４，又は請求項５のい
   ずれかに記載のディスクの洗浄及び乾燥装置において、 上記第２のインデックステーブルに、上記複数の保持具
   を囲み、上記複数のディスクから飛散した液体を吸着す
   る隔壁部を設けた、 ことを特徴とするディスクの洗浄及び乾燥装置。