JPS6282513A

JPS6282513A - デイスク部材の洗浄装置

Info

Publication number: JPS6282513A
Application number: JP22113885A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Kenmori; 権守　和彦; Nobuo Morita; 森田　宣夫; Takashi Hibiya; 隆日比谷
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-10-05
Filing date: 1985-10-05
Publication date: 1987-04-16
Also published as: JPH0572011B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は磁気ディスク、光ディスク等のように表面に記
録層が形成されるディスク部材を洗浄。

乾燥するディスク部材の洗浄装置に関するものである。

従来の技術ディスク部材として、例えば、磁気ディスクは、アルミ
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラップ加
工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る後に
該ディスク部材の表面に磁性体を塗布することによって
、磁気記録層が形成されるようになっている。ここで、
前述の記録層の膜圧を均一なものにするために、予じめ
ディスク部材の表面に塵埃等の異物が付着していない状
態となして、磁性体の塗布を行う必要がある。

このために、記録層の形成前、また必要に応じて記録層
形成後にもディスク部材の洗浄が行なわれる。

従来、このディスク部材の洗浄は、多数のディスク部材
をラックに支持させた状態で洗浄液に侵潰させ、この洗
浄液を高周波振動させたり、または洗浄府中でスポンジ
等の洗浄具を用いて表面を拭うようにしていた。

発明が解決しようとする問題点前述のように、高周波振動により洗浄を行うようにする
と、洗浄装置の全体構造が複雑となるだけでなく、装置
構成が大型になる等の不都合があり、しかもディスク部
材の汚れのうち油汚れのようなものを完全に除去できな
いという不都合もあった。また、手作業による洗浄は手
間がかかると共に、製品としての磁気ディスクや光ディ
スクの製造コストも高くなる等の欠点があった。

本発明は前述した従来技術の欠点を解消するためになさ
れたもので、簡単な構成で、小型でコンパクトな装置を
使用してディスク部材の自動洗浄を容易に行なうことが
できるよう、にしたディスク部材の洗浄装置を提供する
ことを、その目的とするものである。

問題点を解決するための手段前述の目的を達成するために、本発明の特徴とするとこ
ろは、それぞれディスク部材を立設状態に収納する搬入
用及び搬出用のラックを装架する搬入部及び搬出部とを
備えたハウジング内にそれぞれディスク部材を１枚ずつ
チャックするチャック部材を有する洗浄部と乾燥部とを
形成し、該搬入部から供給されるディスク部材を洗浄部
及び乾燥部に移送することによって該ディスク部材を洗
浄、乾燥し、該洗浄部及び乾燥部により清浄化されたデ
ィスク部材を搬出部に移送するハンドリング部材を設け
る構成としたことにある。

作用前述のように構成される洗浄装置を使用してディスク部
材の洗浄を行うには、多数のディスク部材を立設状態に
してラックに設置し、このラックをハウジングに設けた
搬送部を搬送させる間にハンドリング部材を作動させて
、ディスク部材をこの搬入用ラックから１枚ずつ取出し
て、洗浄部のチャック部材に移送する。そして、この洗
浄部では洗浄液を供給しながら洗浄具でディスク部材の
表面を擦ることにより該ディスク部材の表面に付着した
塵埃、摩耗粉等の異物を除去し、かつその表面に付着し
た油汚れ等の拭き取りを行う、この洗浄部における洗浄
は前述のほか、洗浄水の噴射、シャワー等適宜の手段に
より行うことができ、また洗浄は洗剤を使用した洗浄、
水洗い、すすぎ等複数の工程で行ってもよい、この洗浄
完了後、ディスク部材はハンドリング部材によって乾燥
部に移行せしめられ、高速スピン乾燥等により乾燥せし
められる。そして、清節となったディスク部材はハンド
リング部材で搬出部における搬出用ツー、りに搭載され
て、該搬出用ラックを搬送することにより外部に取出す
。

このように、ディスク部材の搬入部、搬出部と洗浄部及
び乾燥部をユニット化した状態でハウジング内に設置し
、ハンドリング部材により搬入部における搬入用ラック
から１枚ずつディスク部材を取出して洗浄、乾燥すると
共に、洗浄、乾燥後のディスク部材をハンドリング部材
によって搬出部における搬出用ラックに搭載するように
したから、小型でコンパクトな装置を使用してラックツ
ーラックによるディスク部材の自動洗浄を容易に行うこ
とができるようになる。

実施例以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
に、この実施例ではディスク部材をラップ加工した後に
おける洗浄を行うものとして説明する。

まず、第１図及び第２図において、１は洗浄部は本体を
構成するハウジングで、該ハウジングｌ内には搬入用ラ
ック２が搬送される搬入部３．搬出用ラック４が搬送さ
れる搬出部５が形成されると共に、隔壁１ａにより区画
形成された作業室６と駆動室７が形成されている。

作業室６内は洗浄部８と乾燥部９とに分れ、かつ該作業
室６には搬入用ラック２においてラッピング処理された
ディスク部材ＩＯを立設状態で搬送され、シャワー１１
で予備洗浄されたディスク部材を１枚ずつ取出す搬入用
のハンドリング部材としての搬入ハンドラ１２、洗浄、
乾燥後のディスク部材ＩＯを搬出用ラック４に移送する
搬出用のハンドリング部材としての搬出ハンドラ１３及
び搬入ハンドラ１２から洗浄部８、該洗浄部８から乾燥
部９、該乾燥部９から搬出ハンドラ１３ヘディスク部材
を移載する移載ハンドラ１４が配設されている。

洗浄部８は第３図乃至第５図にしたように、ロータリテ
ーブル１５を有し、該ロータリテーブル１５上は十字状
の区画壁１５ａによって４つの作業部に区画形成されて
いる。第４図において、図中上方の作業部Ａは、移載ハ
ンドラ４との間でディスク部材ＩＯの着脱を行う着脱部
となり、図中右方の作業部Ｂは洗浄装置１６よりディス
ク部材１ｏの表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方の作業
部Ｃはすすぎ装２１１１７によって洗浄後のすすぎを行
うすすぎ部、さらに図中左方の作業部りはエツジ洗い装
置１８でディスク部材！０の内外の各周縁部の洗浄を行
うエツジ洗い部となっている。そして、前述の各作業部
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄにはディスク部材１０の外周縁部を挟持
する３つのチャック部片２Ｑａ　、　２Ｑｂ　。

２０ｃからなるチャック部材２ｏが設置されている。

このチャック部材２０は作業部Ａにおいて実線で示した
チャック位置と鎖線で示したチャック解除位置との間に
変位させることができるようになっている。このために
、作業部りにおいて示したように、各チャック部片２０
ａ　、　２０ｂ　、　２０ｃを作動させる歯車駆動部２
１が設けられている。この車両駆動部２１の駆動車歯２
１ａは第４図及び第５図に示した如くロータリテーブル
１５の裏面においてレバー２２と連結されており、該レ
バー２２は常時には鎖線で示したようにばね２３により
スットパ２４に当接した位置にあり、このときチャック
部材２０はチャック位置となり、作業部Ａに対応する位
置において隔壁１ａを隔てて駆動室７内に設けた回動駆
動部２５に連結した作動片２６を鎖線位置から実線位置
に回動させることによりレバー２２を実線位置に移行さ
せて、チャック部材２０をチャック解除位置に変位させ
ることができるようになっている。

次に、洗浄具１６は第６図に示したように、上下１対ｃ
７）　７−　ム２７ａ、２７ｂ有し、核晶７−　ム２７
ａ、２７ｂには回転軸２８ａ、２８ｂが挿嵌されており
、該各回転軸２８ａ、２８ｂの一端部にはスポンジ等の
部材からなる洗い具２９ａ、２８ｂが取付けられ、他端
部にはプーリ３０ａ、３０ｂが取付けられて、該各プー
リ３０ａ、３０ｂと回転軸３１ニ設けたプーリ３２ａ、
３２ｂト（７）　Ｍ　ニヘルト３３ａ、３３ｂを巻回し
て設け、この回転軸３１を回転させることによって洗い
４２！３ａ。

２９ｂを回転させることができるように構成されている
。そして、この洗い具２９ａ、２９ｂの回転によってデ
ィスク部材１ｏはチャック部材２ｏに保持された状態で
回転せしめられるようになっている。また、洗い具２９
ａ、２９ｂは円環状となっており、この洗い具２９ａ、
２９ｂの内部に中性洗剤等からなる洗浄液を供給するた
めに、アーム２７ａ、２７ｂに取付けた回転軸支持ブロ
ック３３ａ、３３ｂにホース３４ａ、３４ｂが接続され
ており、該各ポース３４ａ。

３４ｂから供給される洗浄液は回転軸２８ａ、２８ｂに
穿設した通路３５ａ、３５ｂ（通路３５ｂは図面上は表
われない）が設けられている。

また、すすぎ装置１７は洗浄具１６と同一の構造を有し
、供給される流体は洗浄液に代えて、すすぎ水となる。

さらに、エツジ洗い装置１８は第７図に示したように、
スポンジ等の外縁、内縁の各洗い具３８　、３７を有し
、外縁洗い具３６には支持アーム３８に支持された回転
軸３８が取付けられ、またその他端にはプ−リ４０が取
付けられて、該プーリ４０と駆動軸４１との間に巻回し
て設けたベルト４２によって該洗い具３６が回転駆動さ
れるようになっている。また、回転軸３９には車両４３
が取付けられ、該車両４３は車両４４と歯合しており、
これにより該車両４４は回転軸３９とは逆方向に回転駆
動されることになる。そして、この車両４４と洗い具３
７を取つけた回転軸４５に設けたプーリ４Ｂとの間には
ベルト４７が巻回して設けられ、これによって、洗い具
３７は洗い具３Ｂとは逆方向に回転せしめられるように
なっている。さらに、支持アーム３８には洗い具３ＦＪ
、　３７に向けて洗浄水を供給するノズル４８（洗い具
３７側のノズルは省略）が支持アーム３８に取付けられ
ている。さらに、支持アーム３８はクランク機構によっ
て揺動可能となっており、これによって洗浄作業中に洗
い具３６，３７を回転させながら揺動させることができ
るようになっている。

これら洗浄装置１Ｂ、すすぎ装置１７及びエツジ洗い装
置１８は、回動軸４９を回動させることによってそれぞ
れの回転軸を中心として連動して回動させるができ、こ
れによって該各洗浄装置１６．すすぎ装置１７及びエツ
ジ洗い装置１８は第３図に示した非作動位置とロータリ
テーブル１５側に変位してディスク部材１０と当接する
作動位置との間に変位させることができるようになって
いる。

次に、第８図に示したように、乾燥部９にはディスク部
材ｌＯを高速回転させる回転軸５０が隔壁１ａから突設
されており、該回転軸５０の先端にはディスク部材１０
の内周縁部をチャックするチャック部材５１が設けられ
ている。そして１回転軸５０は駆動室７内に設けたモー
タ５２により回転駆動せしめられ、これによって該回転
軸５０に取付けたディスク部材１０を高速で回転せしめ
られるようになっている。また、このディスク部材！０
の回転時にそれに温純水を供給するノズル５３が設けら
れている。さらに、ディスク部材！０の回転時に周囲に
水滴が飛散しないように覆うカバー５４が開閉可能に取
付けられている。

搬入ハンドラ１２は第９図に示したように、隔壁Ｉａか
ら突設した回動軸５５にアーム５６を取付け、その先端
に歯車機構等により作動せしめられ、ディスク部材ＩＯ
の内周縁をチャックするチャック部材５７を取付けるこ
とにより形成されている。また。

搬出ハンドラ１３も搬入ハンドラ１２と同様、回動軸５
８にアーム５９を取付け、このアーム５９の先端にチャ
ック部材６０を設けることによって形成される。

一方、移載ハンドラ１４はＴ字状のアーム６１を有し、
該アーム６１を回動軸６２に取付けてなるもので、該回
動軸６２の他端は隔壁１ａから駆動室６内に延在し、ベ
ルト８３によって回動されるロータ６４とスプライン結
合している。そして、回動軸６２には１　　　　　　ク
ランク７−ム６５と連結されて、その軸方向にも変位す
ることができるようになっているφアーム６１は３つの
腕部６１ａ　、　１３１ｂ　、　８１ｃからなり、該各
腕部８１ａ　、　Ｂｌｂ　、　８１ｃには先端にチャッ
ク部材Ｂａａ　、　８８ｂ　、　８８ｃが設けられ、該
各チャック部材６θａ　、　８８ｂ　、　Ｂｅｅはカム
８７ａ　、　Ｂ７ｂ　、　１３７ｃによりチャック位置
とチャック解除位置との間に変位できるようになってい
る。これらカム８？ａ　、　８７ｂ　。

８７ｃはレバーＨａ　、　８８ｂ　、　８８ｃニヨ、テ
作動セしめられるもので、このためにレバー８８ａ　、
　８８ｂ　。

θ８ｃはバー８９ａ　、　８ｆ３ｂ　、　Ｈｃに連結さ
れており。

該バーＨａ　、　８９ｂ　、　８９ｃはモータ７０によ
り回動せしめられる回動板７１に取付ける構成となって
いる。

さらに、駆動室７内には、ロータリテーブル１５、移載
ハンドラ１４、搬入、搬出ハンドラ１２゜１３−１洗い
具２９ａ、２９ｂ、エツジ洗い具３８．３７等を駆動す
るモータ７２が設けられ、該モータ７２の出力軸？２ａ
に直接又は中間軸７３を介して前述の各部の駆動を行う
よになっている。さらに１回転軸５０を回転駆動するモ
ータ（図示せず）等も、この駆動室７内に収納されてい
る。

本実施例は前述のように構成されるもので、次にその作
動にって説明する。

ディスク部材はラッピング装置によって表面が極めて平
滑となるように仕上られて、立設状態に搬入ラック２に
設置され、この状態で搬入ラック２を搬入部３内に搬送
される。該搬入ラック２が搬送される途中でシャワー１
１で洗浄することによって大部分の研庁粉を洗い流す、
そして、搬入ラック２が搬入部３の所定の位置に到達し
たときに、搬入ハンドラ１２はそのアーム５６を搬入ラ
ックｚ側に回動させて、チャック部材５７によりディス
ク部材１０をチャックする。然る後、アーム５Ｂを回動
させて、該ディスク部材１０を移載ノ＼ンドラ１４の腕
部８１ａのチャック部材６８ａと対面させる位置に変位
させる。そして、該移載／＼ンドラ１４の回動軸６２を
軸方向において隔壁１ａに近接する方向に変位させると
共に、チャック部材６８ａを作動させてディスク部材１
０をチャックする。これと同時に。

チャック部材５７によるチャックを解除することによっ
て搬入ノーンドラ１２から移載ハンドラ１４４こディス
ク部材１０を移載する。

ディスク部材１０が移載／＼ンドラ１４番こ移載された
後、該移載／Ｘンドラ１４を隔壁１ａから突出する方向
に変位させると共に９０度回動させて、ロータリテーブ
ル１５の作業部Ａと対面させる。このとき。

搬入ハンドラ１２は搬入ラック２側に回動させる。

そして、回動軸６２を該ロータリテーブル１５に近接す
る方向に変位させて、ディスク部材１０をチャック部材
２０に移載する。このようにロータリテーブル１５に移
載されたディスク部材１０はロータリテーブル１５を９
０度ずつインデックスしながら回動させることにより洗
浄を行う作業部Ｂ、すすぎを行う作業部Ｃ及びエツジ洗
いを行う作業部りに移送し、これら各作業部Ａ、Ｂ、Ｃ
，Ｄにおいてそれぞれ洗い装置１Ｇ、すすぎ装置１７及
びエツジ洗い装置１８を作動させることによってこのデ
ィスク部材１０の洗浄が行なわれる。ここで、各作業部
Ａ。

Ｂ、Ｃ，Ｄは区画壁１５ａにより仕切られているので、
−の作業部、特に洗浄作業を行なう作業部Ｂの洗浄液が
他の作業部に侵入して先行する清浄なディスク部材を汚
損することはない、そして、このロータリテーブル１５
の回動と共に、搬入ハンドラ１２及び移載ハンドラ１４
が作動して順次搬入ラック２のディスク部材ＩＯがロー
タリテーブル１５に移載されことになる。　洗浄が完了
したディスク部材１０は再び作業部Ａに帰遺し、このと
き移載ハンドラ１４がロータリテーブル１５側に変位す
ることによって、腕部ｓｔｂのチャック部材８θｂによ
りこのディスク部材１０をチャックする。これと同時に
、腕部６１ａのチャック部材８［１ａは搬入ハンドラ１
２からのディスク部材１０の移載を受ける。然る後、移
載ハンドラ１４を９０度回動させることによって洗浄後
のディスク部材１０を乾燥部９に移行させる。

そこで１回転軸５０に取付けたチャック部材５１を作動
させることによって該ディスク部材ＩＯをチャックし、
回転軸５０を回転させると共に温純水を供給してディス
ク部材１０を加温することによりこれに付着した液滴を
飛散させて、その乾燥を行なう。

このように乾燥したディスク部材１０は移載）＼ンドラ
１４の作動によって、該移載ハンドラ１４の腕部８１ｃ
のチャック部材Ｆ３８ｃによってチャックされて、該移
載ハンドラ１４の回動によって搬出／＼ンドラ１３に移
載され、該搬出／−ンドラ１３の回動により搬出ラック
４内に載置される。この動作を順次縁返すことによって
ディスク部材ｌＯの洗浄、乾燥され、搬出ラック４を搬
出部５から外部に搬送する。

次に、第１３図は本発明の第２の実施例を示すもので、
本実施例ではロータリテーブル８１上の区画壁８２によ
り区画形成された各作業部のうち、デイスフ部材８３の
着脱が行なわれる着脱部を構成スル作業部Ａには予備洗
浄シャワー８４が設けられており、洗浄部を構成する作
業部Ｂにおける洗浄液の供給は洗い具８５の側方に設け
たノズル８６から行なうようにしている。さらに、第３
の作業部Ｃではすすぎ部材８７によるすすぎとエツジ洗
い部材８８による内外周縁部の洗浄が同時に行なわれる
ようになっており、また第４の作業部りではディスク部
材の乾燥を行なうように構成されている。そして、搬入
ラック８８からディスク部材８３を取出す搬入ハンドラ
８９から直接ロータリテーブル８１にディスク部材８３
を移載し、さらに作業部りからディスク部材８３を搬出
ハンドラ９ｏに移載して、搬出ラック９１に取出すよう
になっている。

このように構成することによっても前述と同様自動的に
ディスク部材８３の洗浄、乾燥を行うこことができる。

なお、前述の各実施例では、ラップ処理された後のディ
スク部材の洗浄を行うものとして説明したが、これに限
らず、磁性体の塗布の前後のいずれかにおいて行う洗浄
にも適用できることは言うまでもない、そして、本発明
の洗浄装置は洗浄。

乾燥を行なう部材をハウジング内にコンパクトに収納し
たから、例えば磁性体の塗布直前におけるクリーンルー
ム内のように狭小な装置に設置する場合にも好適に使用
できる。また、洗浄工程は洗い部、すすぎ部、エツジ洗
い部だけでなく、適宜噴射洗浄、シャワー洗浄等を行う
ようにしてもよく、洗浄液も中性洗剤だけでなく、純水
、市水。

アルコール、フロン等を用いることができる。

発明の効果以上詳述した如く本発明はディスク部材の搬入部、搬出
部と洗浄部及び乾燥部をハウジング内にユニット化し、
ハンドリング部材により搬入部における搬入用ラックか
ら１枚ずつディスク部材を取出して洗浄、乾燥して搬出
部における搬出用ラックに取出すようにしたから、小型
でコンパクトな装置を使用してラックツーラックによる
ディスク部材の自動洗浄を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１２図は本発明の第１の実施例を示すもの
で、第１図は作業室の全体構成説明図、第２図は作業室
と駆動室との接続関係を示す構成説明図、第３図は洗浄
部の拡大正面図、第４図は第３図のｘ−ｘ断面図、第５
図はロータリテーブルのチャック部材の作動機構を示す
構成説明図、第６図は洗浄装置の部分断面正面図、第７
図はエツジ洗い部材の部分断面正面図、第８図は乾燥部
の構成説明図、第９図は搬入ハンドラの正面図、第１０
図は移載ハンドラの背面図、第１１図は移載ハンドラの
駆動機構を示す構成説明図、第１２図は移載ハンドラの
駆動機構を示す構成説明図、第１３図は本発明の第２の
実施例の構成説明図である。１：ハウジング、３：搬入部、５：搬出部、６：作業室
、９：駆動室、　１０．８３　：ディスク部材、１２：
搬入ハンドラ、１３：搬出ハンドラ、１４：移載ハンド
ラ、１５：ロークリテーブル。

Claims

【特許請求の範囲】

それぞれディスク部材を立設状態に収納する搬入用及び
搬出用のラックを装架する搬入部及び搬出部とを備えた
ハウジング内にそれぞれディスク部材を１枚ずつチャッ
クするチャック部材を備えた洗浄部及び乾燥部とを形成
し、該搬入部から供給されるディスク部材を洗浄部及び
乾燥部の各チャック部材に移送することによって該ディ
スク部材を洗浄、乾燥すると共に、該洗浄部及び乾燥部
により清浄化されたディスク部材を搬出部に移送するハ
ンドリング部材を設ける構成としたことを特徴するディ
スク部材の洗浄装置。