JPS6282513A - デイスク部材の洗浄装置 - Google Patents
デイスク部材の洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6282513A JPS6282513A JP22113885A JP22113885A JPS6282513A JP S6282513 A JPS6282513 A JP S6282513A JP 22113885 A JP22113885 A JP 22113885A JP 22113885 A JP22113885 A JP 22113885A JP S6282513 A JPS6282513 A JP S6282513A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- section
- carry
- disk member
- rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気ディスク、光ディスク等のように表面に記
録層が形成されるディスク部材を洗浄。
録層が形成されるディスク部材を洗浄。
乾燥するディスク部材の洗浄装置に関するものである。
従来の技術
ディスク部材として、例えば、磁気ディスクは、アルミ
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラップ加
工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る後に
該ディスク部材の表面に磁性体を塗布することによって
、磁気記録層が形成されるようになっている。ここで、
前述の記録層の膜圧を均一なものにするために、予じめ
ディスク部材の表面に塵埃等の異物が付着していない状
態となして、磁性体の塗布を行う必要がある。
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラップ加
工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る後に
該ディスク部材の表面に磁性体を塗布することによって
、磁気記録層が形成されるようになっている。ここで、
前述の記録層の膜圧を均一なものにするために、予じめ
ディスク部材の表面に塵埃等の異物が付着していない状
態となして、磁性体の塗布を行う必要がある。
このために、記録層の形成前、また必要に応じて記録層
形成後にもディスク部材の洗浄が行なわれる。
形成後にもディスク部材の洗浄が行なわれる。
従来、このディスク部材の洗浄は、多数のディスク部材
をラックに支持させた状態で洗浄液に侵潰させ、この洗
浄液を高周波振動させたり、または洗浄府中でスポンジ
等の洗浄具を用いて表面を拭うようにしていた。
をラックに支持させた状態で洗浄液に侵潰させ、この洗
浄液を高周波振動させたり、または洗浄府中でスポンジ
等の洗浄具を用いて表面を拭うようにしていた。
発明が解決しようとする問題点
前述のように、高周波振動により洗浄を行うようにする
と、洗浄装置の全体構造が複雑となるだけでなく、装置
構成が大型になる等の不都合があり、しかもディスク部
材の汚れのうち油汚れのようなものを完全に除去できな
いという不都合もあった。また、手作業による洗浄は手
間がかかると共に、製品としての磁気ディスクや光ディ
スクの製造コストも高くなる等の欠点があった。
と、洗浄装置の全体構造が複雑となるだけでなく、装置
構成が大型になる等の不都合があり、しかもディスク部
材の汚れのうち油汚れのようなものを完全に除去できな
いという不都合もあった。また、手作業による洗浄は手
間がかかると共に、製品としての磁気ディスクや光ディ
スクの製造コストも高くなる等の欠点があった。
本発明は前述した従来技術の欠点を解消するためになさ
れたもので、簡単な構成で、小型でコンパクトな装置を
使用してディスク部材の自動洗浄を容易に行なうことが
できるよう、にしたディスク部材の洗浄装置を提供する
ことを、その目的とするものである。
れたもので、簡単な構成で、小型でコンパクトな装置を
使用してディスク部材の自動洗浄を容易に行なうことが
できるよう、にしたディスク部材の洗浄装置を提供する
ことを、その目的とするものである。
問題点を解決するための手段
前述の目的を達成するために、本発明の特徴とするとこ
ろは、それぞれディスク部材を立設状態に収納する搬入
用及び搬出用のラックを装架する搬入部及び搬出部とを
備えたハウジング内にそれぞれディスク部材を1枚ずつ
チャックするチャック部材を有する洗浄部と乾燥部とを
形成し、該搬入部から供給されるディスク部材を洗浄部
及び乾燥部に移送することによって該ディスク部材を洗
浄、乾燥し、該洗浄部及び乾燥部により清浄化されたデ
ィスク部材を搬出部に移送するハンドリング部材を設け
る構成としたことにある。
ろは、それぞれディスク部材を立設状態に収納する搬入
用及び搬出用のラックを装架する搬入部及び搬出部とを
備えたハウジング内にそれぞれディスク部材を1枚ずつ
チャックするチャック部材を有する洗浄部と乾燥部とを
形成し、該搬入部から供給されるディスク部材を洗浄部
及び乾燥部に移送することによって該ディスク部材を洗
浄、乾燥し、該洗浄部及び乾燥部により清浄化されたデ
ィスク部材を搬出部に移送するハンドリング部材を設け
る構成としたことにある。
作用
前述のように構成される洗浄装置を使用してディスク部
材の洗浄を行うには、多数のディスク部材を立設状態に
してラックに設置し、このラックをハウジングに設けた
搬送部を搬送させる間にハンドリング部材を作動させて
、ディスク部材をこの搬入用ラックから1枚ずつ取出し
て、洗浄部のチャック部材に移送する。そして、この洗
浄部では洗浄液を供給しながら洗浄具でディスク部材の
表面を擦ることにより該ディスク部材の表面に付着した
塵埃、摩耗粉等の異物を除去し、かつその表面に付着し
た油汚れ等の拭き取りを行う、この洗浄部における洗浄
は前述のほか、洗浄水の噴射、シャワー等適宜の手段に
より行うことができ、また洗浄は洗剤を使用した洗浄、
水洗い、すすぎ等複数の工程で行ってもよい、この洗浄
完了後、ディスク部材はハンドリング部材によって乾燥
部に移行せしめられ、高速スピン乾燥等により乾燥せし
められる。そして、清節となったディスク部材はハンド
リング部材で搬出部における搬出用ツー、りに搭載され
て、該搬出用ラックを搬送することにより外部に取出す
。
材の洗浄を行うには、多数のディスク部材を立設状態に
してラックに設置し、このラックをハウジングに設けた
搬送部を搬送させる間にハンドリング部材を作動させて
、ディスク部材をこの搬入用ラックから1枚ずつ取出し
て、洗浄部のチャック部材に移送する。そして、この洗
浄部では洗浄液を供給しながら洗浄具でディスク部材の
表面を擦ることにより該ディスク部材の表面に付着した
塵埃、摩耗粉等の異物を除去し、かつその表面に付着し
た油汚れ等の拭き取りを行う、この洗浄部における洗浄
は前述のほか、洗浄水の噴射、シャワー等適宜の手段に
より行うことができ、また洗浄は洗剤を使用した洗浄、
水洗い、すすぎ等複数の工程で行ってもよい、この洗浄
完了後、ディスク部材はハンドリング部材によって乾燥
部に移行せしめられ、高速スピン乾燥等により乾燥せし
められる。そして、清節となったディスク部材はハンド
リング部材で搬出部における搬出用ツー、りに搭載され
て、該搬出用ラックを搬送することにより外部に取出す
。
このように、ディスク部材の搬入部、搬出部と洗浄部及
び乾燥部をユニット化した状態でハウジング内に設置し
、ハンドリング部材により搬入部における搬入用ラック
から1枚ずつディスク部材を取出して洗浄、乾燥すると
共に、洗浄、乾燥後のディスク部材をハンドリング部材
によって搬出部における搬出用ラックに搭載するように
したから、小型でコンパクトな装置を使用してラックツ
ーラックによるディスク部材の自動洗浄を容易に行うこ
とができるようになる。
び乾燥部をユニット化した状態でハウジング内に設置し
、ハンドリング部材により搬入部における搬入用ラック
から1枚ずつディスク部材を取出して洗浄、乾燥すると
共に、洗浄、乾燥後のディスク部材をハンドリング部材
によって搬出部における搬出用ラックに搭載するように
したから、小型でコンパクトな装置を使用してラックツ
ーラックによるディスク部材の自動洗浄を容易に行うこ
とができるようになる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
に、この実施例ではディスク部材をラップ加工した後に
おける洗浄を行うものとして説明する。
に、この実施例ではディスク部材をラップ加工した後に
おける洗浄を行うものとして説明する。
まず、第1図及び第2図において、1は洗浄部は本体を
構成するハウジングで、該ハウジングl内には搬入用ラ
ック2が搬送される搬入部3.搬出用ラック4が搬送さ
れる搬出部5が形成されると共に、隔壁1aにより区画
形成された作業室6と駆動室7が形成されている。
構成するハウジングで、該ハウジングl内には搬入用ラ
ック2が搬送される搬入部3.搬出用ラック4が搬送さ
れる搬出部5が形成されると共に、隔壁1aにより区画
形成された作業室6と駆動室7が形成されている。
作業室6内は洗浄部8と乾燥部9とに分れ、かつ該作業
室6には搬入用ラック2においてラッピング処理された
ディスク部材IOを立設状態で搬送され、シャワー11
で予備洗浄されたディスク部材を1枚ずつ取出す搬入用
のハンドリング部材としての搬入ハンドラ12、洗浄、
乾燥後のディスク部材IOを搬出用ラック4に移送する
搬出用のハンドリング部材としての搬出ハンドラ13及
び搬入ハンドラ12から洗浄部8、該洗浄部8から乾燥
部9、該乾燥部9から搬出ハンドラ13ヘディスク部材
を移載する移載ハンドラ14が配設されている。
室6には搬入用ラック2においてラッピング処理された
ディスク部材IOを立設状態で搬送され、シャワー11
で予備洗浄されたディスク部材を1枚ずつ取出す搬入用
のハンドリング部材としての搬入ハンドラ12、洗浄、
乾燥後のディスク部材IOを搬出用ラック4に移送する
搬出用のハンドリング部材としての搬出ハンドラ13及
び搬入ハンドラ12から洗浄部8、該洗浄部8から乾燥
部9、該乾燥部9から搬出ハンドラ13ヘディスク部材
を移載する移載ハンドラ14が配設されている。
洗浄部8は第3図乃至第5図にしたように、ロータリテ
ーブル15を有し、該ロータリテーブル15上は十字状
の区画壁15aによって4つの作業部に区画形成されて
いる。第4図において、図中上方の作業部Aは、移載ハ
ンドラ4との間でディスク部材IOの着脱を行う着脱部
となり、図中右方の作業部Bは洗浄装置16よりディス
ク部材1oの表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方の作業
部Cはすすぎ装21117によって洗浄後のすすぎを行
うすすぎ部、さらに図中左方の作業部りはエツジ洗い装
置18でディスク部材!0の内外の各周縁部の洗浄を行
うエツジ洗い部となっている。そして、前述の各作業部
A、B、C,Dにはディスク部材10の外周縁部を挟持
する3つのチャック部片2Qa 、 2Qb 。
ーブル15を有し、該ロータリテーブル15上は十字状
の区画壁15aによって4つの作業部に区画形成されて
いる。第4図において、図中上方の作業部Aは、移載ハ
ンドラ4との間でディスク部材IOの着脱を行う着脱部
となり、図中右方の作業部Bは洗浄装置16よりディス
ク部材1oの表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方の作業
部Cはすすぎ装21117によって洗浄後のすすぎを行
うすすぎ部、さらに図中左方の作業部りはエツジ洗い装
置18でディスク部材!0の内外の各周縁部の洗浄を行
うエツジ洗い部となっている。そして、前述の各作業部
A、B、C,Dにはディスク部材10の外周縁部を挟持
する3つのチャック部片2Qa 、 2Qb 。
20cからなるチャック部材2oが設置されている。
このチャック部材20は作業部Aにおいて実線で示した
チャック位置と鎖線で示したチャック解除位置との間に
変位させることができるようになっている。このために
、作業部りにおいて示したように、各チャック部片20
a 、 20b 、 20cを作動させる歯車駆動部2
1が設けられている。この車両駆動部21の駆動車歯2
1aは第4図及び第5図に示した如くロータリテーブル
15の裏面においてレバー22と連結されており、該レ
バー22は常時には鎖線で示したようにばね23により
スットパ24に当接した位置にあり、このときチャック
部材20はチャック位置となり、作業部Aに対応する位
置において隔壁1aを隔てて駆動室7内に設けた回動駆
動部25に連結した作動片26を鎖線位置から実線位置
に回動させることによりレバー22を実線位置に移行さ
せて、チャック部材20をチャック解除位置に変位させ
ることができるようになっている。
チャック位置と鎖線で示したチャック解除位置との間に
変位させることができるようになっている。このために
、作業部りにおいて示したように、各チャック部片20
a 、 20b 、 20cを作動させる歯車駆動部2
1が設けられている。この車両駆動部21の駆動車歯2
1aは第4図及び第5図に示した如くロータリテーブル
15の裏面においてレバー22と連結されており、該レ
バー22は常時には鎖線で示したようにばね23により
スットパ24に当接した位置にあり、このときチャック
部材20はチャック位置となり、作業部Aに対応する位
置において隔壁1aを隔てて駆動室7内に設けた回動駆
動部25に連結した作動片26を鎖線位置から実線位置
に回動させることによりレバー22を実線位置に移行さ
せて、チャック部材20をチャック解除位置に変位させ
ることができるようになっている。
次に、洗浄具16は第6図に示したように、上下1対c
7) 7− ム27a、27b有し、核晶7− ム27
a、27bには回転軸28a、28bが挿嵌されており
、該各回転軸28a、28bの一端部にはスポンジ等の
部材からなる洗い具29a、28bが取付けられ、他端
部にはプーリ30a、30bが取付けられて、該各プー
リ30a、30bと回転軸31ニ設けたプーリ32a、
32bト(7) M ニヘルト33a、33bを巻回し
て設け、この回転軸31を回転させることによって洗い
42!3a。
7) 7− ム27a、27b有し、核晶7− ム27
a、27bには回転軸28a、28bが挿嵌されており
、該各回転軸28a、28bの一端部にはスポンジ等の
部材からなる洗い具29a、28bが取付けられ、他端
部にはプーリ30a、30bが取付けられて、該各プー
リ30a、30bと回転軸31ニ設けたプーリ32a、
32bト(7) M ニヘルト33a、33bを巻回し
て設け、この回転軸31を回転させることによって洗い
42!3a。
29bを回転させることができるように構成されている
。そして、この洗い具29a、29bの回転によってデ
ィスク部材1oはチャック部材2oに保持された状態で
回転せしめられるようになっている。また、洗い具29
a、29bは円環状となっており、この洗い具29a、
29bの内部に中性洗剤等からなる洗浄液を供給するた
めに、アーム27a、27bに取付けた回転軸支持ブロ
ック33a、33bにホース34a、34bが接続され
ており、該各ポース34a。
。そして、この洗い具29a、29bの回転によってデ
ィスク部材1oはチャック部材2oに保持された状態で
回転せしめられるようになっている。また、洗い具29
a、29bは円環状となっており、この洗い具29a、
29bの内部に中性洗剤等からなる洗浄液を供給するた
めに、アーム27a、27bに取付けた回転軸支持ブロ
ック33a、33bにホース34a、34bが接続され
ており、該各ポース34a。
34bから供給される洗浄液は回転軸28a、28bに
穿設した通路35a、35b(通路35bは図面上は表
われない)が設けられている。
穿設した通路35a、35b(通路35bは図面上は表
われない)が設けられている。
また、すすぎ装置17は洗浄具16と同一の構造を有し
、供給される流体は洗浄液に代えて、すすぎ水となる。
、供給される流体は洗浄液に代えて、すすぎ水となる。
さらに、エツジ洗い装置18は第7図に示したように、
スポンジ等の外縁、内縁の各洗い具38 、37を有し
、外縁洗い具36には支持アーム38に支持された回転
軸38が取付けられ、またその他端にはプ−リ40が取
付けられて、該プーリ40と駆動軸41との間に巻回し
て設けたベルト42によって該洗い具36が回転駆動さ
れるようになっている。また、回転軸39には車両43
が取付けられ、該車両43は車両44と歯合しており、
これにより該車両44は回転軸39とは逆方向に回転駆
動されることになる。そして、この車両44と洗い具3
7を取つけた回転軸45に設けたプーリ4Bとの間には
ベルト47が巻回して設けられ、これによって、洗い具
37は洗い具3Bとは逆方向に回転せしめられるように
なっている。さらに、支持アーム38には洗い具3FJ
、 37に向けて洗浄水を供給するノズル48(洗い具
37側のノズルは省略)が支持アーム38に取付けられ
ている。さらに、支持アーム38はクランク機構によっ
て揺動可能となっており、これによって洗浄作業中に洗
い具36,37を回転させながら揺動させることができ
るようになっている。
スポンジ等の外縁、内縁の各洗い具38 、37を有し
、外縁洗い具36には支持アーム38に支持された回転
軸38が取付けられ、またその他端にはプ−リ40が取
付けられて、該プーリ40と駆動軸41との間に巻回し
て設けたベルト42によって該洗い具36が回転駆動さ
れるようになっている。また、回転軸39には車両43
が取付けられ、該車両43は車両44と歯合しており、
これにより該車両44は回転軸39とは逆方向に回転駆
動されることになる。そして、この車両44と洗い具3
7を取つけた回転軸45に設けたプーリ4Bとの間には
ベルト47が巻回して設けられ、これによって、洗い具
37は洗い具3Bとは逆方向に回転せしめられるように
なっている。さらに、支持アーム38には洗い具3FJ
、 37に向けて洗浄水を供給するノズル48(洗い具
37側のノズルは省略)が支持アーム38に取付けられ
ている。さらに、支持アーム38はクランク機構によっ
て揺動可能となっており、これによって洗浄作業中に洗
い具36,37を回転させながら揺動させることができ
るようになっている。
これら洗浄装置1B、すすぎ装置17及びエツジ洗い装
置18は、回動軸49を回動させることによってそれぞ
れの回転軸を中心として連動して回動させるができ、こ
れによって該各洗浄装置16.すすぎ装置17及びエツ
ジ洗い装置18は第3図に示した非作動位置とロータリ
テーブル15側に変位してディスク部材10と当接する
作動位置との間に変位させることができるようになって
いる。
置18は、回動軸49を回動させることによってそれぞ
れの回転軸を中心として連動して回動させるができ、こ
れによって該各洗浄装置16.すすぎ装置17及びエツ
ジ洗い装置18は第3図に示した非作動位置とロータリ
テーブル15側に変位してディスク部材10と当接する
作動位置との間に変位させることができるようになって
いる。
次に、第8図に示したように、乾燥部9にはディスク部
材lOを高速回転させる回転軸50が隔壁1aから突設
されており、該回転軸50の先端にはディスク部材10
の内周縁部をチャックするチャック部材51が設けられ
ている。そして1回転軸50は駆動室7内に設けたモー
タ52により回転駆動せしめられ、これによって該回転
軸50に取付けたディスク部材10を高速で回転せしめ
られるようになっている。また、このディスク部材!0
の回転時にそれに温純水を供給するノズル53が設けら
れている。さらに、ディスク部材!0の回転時に周囲に
水滴が飛散しないように覆うカバー54が開閉可能に取
付けられている。
材lOを高速回転させる回転軸50が隔壁1aから突設
されており、該回転軸50の先端にはディスク部材10
の内周縁部をチャックするチャック部材51が設けられ
ている。そして1回転軸50は駆動室7内に設けたモー
タ52により回転駆動せしめられ、これによって該回転
軸50に取付けたディスク部材10を高速で回転せしめ
られるようになっている。また、このディスク部材!0
の回転時にそれに温純水を供給するノズル53が設けら
れている。さらに、ディスク部材!0の回転時に周囲に
水滴が飛散しないように覆うカバー54が開閉可能に取
付けられている。
搬入ハンドラ12は第9図に示したように、隔壁Iaか
ら突設した回動軸55にアーム56を取付け、その先端
に歯車機構等により作動せしめられ、ディスク部材IO
の内周縁をチャックするチャック部材57を取付けるこ
とにより形成されている。また。
ら突設した回動軸55にアーム56を取付け、その先端
に歯車機構等により作動せしめられ、ディスク部材IO
の内周縁をチャックするチャック部材57を取付けるこ
とにより形成されている。また。
搬出ハンドラ13も搬入ハンドラ12と同様、回動軸5
8にアーム59を取付け、このアーム59の先端にチャ
ック部材60を設けることによって形成される。
8にアーム59を取付け、このアーム59の先端にチャ
ック部材60を設けることによって形成される。
一方、移載ハンドラ14はT字状のアーム61を有し、
該アーム61を回動軸62に取付けてなるもので、該回
動軸62の他端は隔壁1aから駆動室6内に延在し、ベ
ルト83によって回動されるロータ64とスプライン結
合している。そして、回動軸62には1 ク
ランク7−ム65と連結されて、その軸方向にも変位す
ることができるようになっているφアーム61は3つの
腕部61a 、 131b 、 81cからなり、該各
腕部81a 、 Blb 、 81cには先端にチャッ
ク部材Baa 、 88b 、 88cが設けられ、該
各チャック部材6θa 、 88b 、 Beeはカム
87a 、 B7b 、 137cによりチャック位置
とチャック解除位置との間に変位できるようになってい
る。これらカム8?a 、 87b 。
該アーム61を回動軸62に取付けてなるもので、該回
動軸62の他端は隔壁1aから駆動室6内に延在し、ベ
ルト83によって回動されるロータ64とスプライン結
合している。そして、回動軸62には1 ク
ランク7−ム65と連結されて、その軸方向にも変位す
ることができるようになっているφアーム61は3つの
腕部61a 、 131b 、 81cからなり、該各
腕部81a 、 Blb 、 81cには先端にチャッ
ク部材Baa 、 88b 、 88cが設けられ、該
各チャック部材6θa 、 88b 、 Beeはカム
87a 、 B7b 、 137cによりチャック位置
とチャック解除位置との間に変位できるようになってい
る。これらカム8?a 、 87b 。
87cはレバーHa 、 88b 、 88cニヨ、テ
作動セしめられるもので、このためにレバー88a 、
88b 。
作動セしめられるもので、このためにレバー88a 、
88b 。
θ8cはバー89a 、 8f3b 、 Hcに連結さ
れており。
れており。
該バーHa 、 89b 、 89cはモータ70によ
り回動せしめられる回動板71に取付ける構成となって
いる。
り回動せしめられる回動板71に取付ける構成となって
いる。
さらに、駆動室7内には、ロータリテーブル15、移載
ハンドラ14、搬入、搬出ハンドラ12゜13−1洗い
具29a、29b、エツジ洗い具38.37等を駆動す
るモータ72が設けられ、該モータ72の出力軸?2a
に直接又は中間軸73を介して前述の各部の駆動を行う
よになっている。さらに1回転軸50を回転駆動するモ
ータ(図示せず)等も、この駆動室7内に収納されてい
る。
ハンドラ14、搬入、搬出ハンドラ12゜13−1洗い
具29a、29b、エツジ洗い具38.37等を駆動す
るモータ72が設けられ、該モータ72の出力軸?2a
に直接又は中間軸73を介して前述の各部の駆動を行う
よになっている。さらに1回転軸50を回転駆動するモ
ータ(図示せず)等も、この駆動室7内に収納されてい
る。
本実施例は前述のように構成されるもので、次にその作
動にって説明する。
動にって説明する。
ディスク部材はラッピング装置によって表面が極めて平
滑となるように仕上られて、立設状態に搬入ラック2に
設置され、この状態で搬入ラック2を搬入部3内に搬送
される。該搬入ラック2が搬送される途中でシャワー1
1で洗浄することによって大部分の研庁粉を洗い流す、
そして、搬入ラック2が搬入部3の所定の位置に到達し
たときに、搬入ハンドラ12はそのアーム56を搬入ラ
ックz側に回動させて、チャック部材57によりディス
ク部材10をチャックする。然る後、アーム5Bを回動
させて、該ディスク部材10を移載ノ\ンドラ14の腕
部81aのチャック部材68aと対面させる位置に変位
させる。そして、該移載/\ンドラ14の回動軸62を
軸方向において隔壁1aに近接する方向に変位させると
共に、チャック部材68aを作動させてディスク部材1
0をチャックする。これと同時に。
滑となるように仕上られて、立設状態に搬入ラック2に
設置され、この状態で搬入ラック2を搬入部3内に搬送
される。該搬入ラック2が搬送される途中でシャワー1
1で洗浄することによって大部分の研庁粉を洗い流す、
そして、搬入ラック2が搬入部3の所定の位置に到達し
たときに、搬入ハンドラ12はそのアーム56を搬入ラ
ックz側に回動させて、チャック部材57によりディス
ク部材10をチャックする。然る後、アーム5Bを回動
させて、該ディスク部材10を移載ノ\ンドラ14の腕
部81aのチャック部材68aと対面させる位置に変位
させる。そして、該移載/\ンドラ14の回動軸62を
軸方向において隔壁1aに近接する方向に変位させると
共に、チャック部材68aを作動させてディスク部材1
0をチャックする。これと同時に。
チャック部材57によるチャックを解除することによっ
て搬入ノーンドラ12から移載ハンドラ144こディス
ク部材10を移載する。
て搬入ノーンドラ12から移載ハンドラ144こディス
ク部材10を移載する。
ディスク部材10が移載/\ンドラ14番こ移載された
後、該移載/Xンドラ14を隔壁1aから突出する方向
に変位させると共に90度回動させて、ロータリテーブ
ル15の作業部Aと対面させる。このとき。
後、該移載/Xンドラ14を隔壁1aから突出する方向
に変位させると共に90度回動させて、ロータリテーブ
ル15の作業部Aと対面させる。このとき。
搬入ハンドラ12は搬入ラック2側に回動させる。
そして、回動軸62を該ロータリテーブル15に近接す
る方向に変位させて、ディスク部材10をチャック部材
20に移載する。このようにロータリテーブル15に移
載されたディスク部材10はロータリテーブル15を9
0度ずつインデックスしながら回動させることにより洗
浄を行う作業部B、すすぎを行う作業部C及びエツジ洗
いを行う作業部りに移送し、これら各作業部A、B、C
,Dにおいてそれぞれ洗い装置1G、すすぎ装置17及
びエツジ洗い装置18を作動させることによってこのデ
ィスク部材10の洗浄が行なわれる。ここで、各作業部
A。
る方向に変位させて、ディスク部材10をチャック部材
20に移載する。このようにロータリテーブル15に移
載されたディスク部材10はロータリテーブル15を9
0度ずつインデックスしながら回動させることにより洗
浄を行う作業部B、すすぎを行う作業部C及びエツジ洗
いを行う作業部りに移送し、これら各作業部A、B、C
,Dにおいてそれぞれ洗い装置1G、すすぎ装置17及
びエツジ洗い装置18を作動させることによってこのデ
ィスク部材10の洗浄が行なわれる。ここで、各作業部
A。
B、C,Dは区画壁15aにより仕切られているので、
−の作業部、特に洗浄作業を行なう作業部Bの洗浄液が
他の作業部に侵入して先行する清浄なディスク部材を汚
損することはない、そして、このロータリテーブル15
の回動と共に、搬入ハンドラ12及び移載ハンドラ14
が作動して順次搬入ラック2のディスク部材IOがロー
タリテーブル15に移載されことになる。 洗浄が完了
したディスク部材10は再び作業部Aに帰遺し、このと
き移載ハンドラ14がロータリテーブル15側に変位す
ることによって、腕部stbのチャック部材8θbによ
りこのディスク部材10をチャックする。これと同時に
、腕部61aのチャック部材8[1aは搬入ハンドラ1
2からのディスク部材10の移載を受ける。然る後、移
載ハンドラ14を90度回動させることによって洗浄後
のディスク部材10を乾燥部9に移行させる。
−の作業部、特に洗浄作業を行なう作業部Bの洗浄液が
他の作業部に侵入して先行する清浄なディスク部材を汚
損することはない、そして、このロータリテーブル15
の回動と共に、搬入ハンドラ12及び移載ハンドラ14
が作動して順次搬入ラック2のディスク部材IOがロー
タリテーブル15に移載されことになる。 洗浄が完了
したディスク部材10は再び作業部Aに帰遺し、このと
き移載ハンドラ14がロータリテーブル15側に変位す
ることによって、腕部stbのチャック部材8θbによ
りこのディスク部材10をチャックする。これと同時に
、腕部61aのチャック部材8[1aは搬入ハンドラ1
2からのディスク部材10の移載を受ける。然る後、移
載ハンドラ14を90度回動させることによって洗浄後
のディスク部材10を乾燥部9に移行させる。
そこで1回転軸50に取付けたチャック部材51を作動
させることによって該ディスク部材IOをチャックし、
回転軸50を回転させると共に温純水を供給してディス
ク部材10を加温することによりこれに付着した液滴を
飛散させて、その乾燥を行なう。
させることによって該ディスク部材IOをチャックし、
回転軸50を回転させると共に温純水を供給してディス
ク部材10を加温することによりこれに付着した液滴を
飛散させて、その乾燥を行なう。
このように乾燥したディスク部材10は移載)\ンドラ
14の作動によって、該移載ハンドラ14の腕部81c
のチャック部材F38cによってチャックされて、該移
載ハンドラ14の回動によって搬出/\ンドラ13に移
載され、該搬出/−ンドラ13の回動により搬出ラック
4内に載置される。この動作を順次縁返すことによって
ディスク部材lOの洗浄、乾燥され、搬出ラック4を搬
出部5から外部に搬送する。
14の作動によって、該移載ハンドラ14の腕部81c
のチャック部材F38cによってチャックされて、該移
載ハンドラ14の回動によって搬出/\ンドラ13に移
載され、該搬出/−ンドラ13の回動により搬出ラック
4内に載置される。この動作を順次縁返すことによって
ディスク部材lOの洗浄、乾燥され、搬出ラック4を搬
出部5から外部に搬送する。
次に、第13図は本発明の第2の実施例を示すもので、
本実施例ではロータリテーブル81上の区画壁82によ
り区画形成された各作業部のうち、デイスフ部材83の
着脱が行なわれる着脱部を構成スル作業部Aには予備洗
浄シャワー84が設けられており、洗浄部を構成する作
業部Bにおける洗浄液の供給は洗い具85の側方に設け
たノズル86から行なうようにしている。さらに、第3
の作業部Cではすすぎ部材87によるすすぎとエツジ洗
い部材88による内外周縁部の洗浄が同時に行なわれる
ようになっており、また第4の作業部りではディスク部
材の乾燥を行なうように構成されている。そして、搬入
ラック88からディスク部材83を取出す搬入ハンドラ
89から直接ロータリテーブル81にディスク部材83
を移載し、さらに作業部りからディスク部材83を搬出
ハンドラ9oに移載して、搬出ラック91に取出すよう
になっている。
本実施例ではロータリテーブル81上の区画壁82によ
り区画形成された各作業部のうち、デイスフ部材83の
着脱が行なわれる着脱部を構成スル作業部Aには予備洗
浄シャワー84が設けられており、洗浄部を構成する作
業部Bにおける洗浄液の供給は洗い具85の側方に設け
たノズル86から行なうようにしている。さらに、第3
の作業部Cではすすぎ部材87によるすすぎとエツジ洗
い部材88による内外周縁部の洗浄が同時に行なわれる
ようになっており、また第4の作業部りではディスク部
材の乾燥を行なうように構成されている。そして、搬入
ラック88からディスク部材83を取出す搬入ハンドラ
89から直接ロータリテーブル81にディスク部材83
を移載し、さらに作業部りからディスク部材83を搬出
ハンドラ9oに移載して、搬出ラック91に取出すよう
になっている。
このように構成することによっても前述と同様自動的に
ディスク部材83の洗浄、乾燥を行うこことができる。
ディスク部材83の洗浄、乾燥を行うこことができる。
なお、前述の各実施例では、ラップ処理された後のディ
スク部材の洗浄を行うものとして説明したが、これに限
らず、磁性体の塗布の前後のいずれかにおいて行う洗浄
にも適用できることは言うまでもない、そして、本発明
の洗浄装置は洗浄。
スク部材の洗浄を行うものとして説明したが、これに限
らず、磁性体の塗布の前後のいずれかにおいて行う洗浄
にも適用できることは言うまでもない、そして、本発明
の洗浄装置は洗浄。
乾燥を行なう部材をハウジング内にコンパクトに収納し
たから、例えば磁性体の塗布直前におけるクリーンルー
ム内のように狭小な装置に設置する場合にも好適に使用
できる。また、洗浄工程は洗い部、すすぎ部、エツジ洗
い部だけでなく、適宜噴射洗浄、シャワー洗浄等を行う
ようにしてもよく、洗浄液も中性洗剤だけでなく、純水
、市水。
たから、例えば磁性体の塗布直前におけるクリーンルー
ム内のように狭小な装置に設置する場合にも好適に使用
できる。また、洗浄工程は洗い部、すすぎ部、エツジ洗
い部だけでなく、適宜噴射洗浄、シャワー洗浄等を行う
ようにしてもよく、洗浄液も中性洗剤だけでなく、純水
、市水。
アルコール、フロン等を用いることができる。
発明の効果
以上詳述した如く本発明はディスク部材の搬入部、搬出
部と洗浄部及び乾燥部をハウジング内にユニット化し、
ハンドリング部材により搬入部における搬入用ラックか
ら1枚ずつディスク部材を取出して洗浄、乾燥して搬出
部における搬出用ラックに取出すようにしたから、小型
でコンパクトな装置を使用してラックツーラックによる
ディスク部材の自動洗浄を容易に行うことができる。
部と洗浄部及び乾燥部をハウジング内にユニット化し、
ハンドリング部材により搬入部における搬入用ラックか
ら1枚ずつディスク部材を取出して洗浄、乾燥して搬出
部における搬出用ラックに取出すようにしたから、小型
でコンパクトな装置を使用してラックツーラックによる
ディスク部材の自動洗浄を容易に行うことができる。
第1図乃至第12図は本発明の第1の実施例を示すもの
で、第1図は作業室の全体構成説明図、第2図は作業室
と駆動室との接続関係を示す構成説明図、第3図は洗浄
部の拡大正面図、第4図は第3図のx−x断面図、第5
図はロータリテーブルのチャック部材の作動機構を示す
構成説明図、第6図は洗浄装置の部分断面正面図、第7
図はエツジ洗い部材の部分断面正面図、第8図は乾燥部
の構成説明図、第9図は搬入ハンドラの正面図、第10
図は移載ハンドラの背面図、第11図は移載ハンドラの
駆動機構を示す構成説明図、第12図は移載ハンドラの
駆動機構を示す構成説明図、第13図は本発明の第2の
実施例の構成説明図である。 1:ハウジング、3:搬入部、5:搬出部、6:作業室
、9:駆動室、 10.83 :ディスク部材、12:
搬入ハンドラ、13:搬出ハンドラ、14:移載ハンド
ラ、15:ロークリテーブル。
で、第1図は作業室の全体構成説明図、第2図は作業室
と駆動室との接続関係を示す構成説明図、第3図は洗浄
部の拡大正面図、第4図は第3図のx−x断面図、第5
図はロータリテーブルのチャック部材の作動機構を示す
構成説明図、第6図は洗浄装置の部分断面正面図、第7
図はエツジ洗い部材の部分断面正面図、第8図は乾燥部
の構成説明図、第9図は搬入ハンドラの正面図、第10
図は移載ハンドラの背面図、第11図は移載ハンドラの
駆動機構を示す構成説明図、第12図は移載ハンドラの
駆動機構を示す構成説明図、第13図は本発明の第2の
実施例の構成説明図である。 1:ハウジング、3:搬入部、5:搬出部、6:作業室
、9:駆動室、 10.83 :ディスク部材、12:
搬入ハンドラ、13:搬出ハンドラ、14:移載ハンド
ラ、15:ロークリテーブル。
Claims (1)
- それぞれディスク部材を立設状態に収納する搬入用及び
搬出用のラックを装架する搬入部及び搬出部とを備えた
ハウジング内にそれぞれディスク部材を1枚ずつチャッ
クするチャック部材を備えた洗浄部及び乾燥部とを形成
し、該搬入部から供給されるディスク部材を洗浄部及び
乾燥部の各チャック部材に移送することによって該ディ
スク部材を洗浄、乾燥すると共に、該洗浄部及び乾燥部
により清浄化されたディスク部材を搬出部に移送するハ
ンドリング部材を設ける構成としたことを特徴するディ
スク部材の洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22113885A JPS6282513A (ja) | 1985-10-05 | 1985-10-05 | デイスク部材の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22113885A JPS6282513A (ja) | 1985-10-05 | 1985-10-05 | デイスク部材の洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6282513A true JPS6282513A (ja) | 1987-04-16 |
JPH0572011B2 JPH0572011B2 (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=16762053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22113885A Granted JPS6282513A (ja) | 1985-10-05 | 1985-10-05 | デイスク部材の洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6282513A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02251288A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-09 | Toshiba Corp | 洗浄装置 |
JPH0313600A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-22 | Daicel Chem Ind Ltd | スタンパー洗浄装置 |
US5826292A (en) * | 1996-06-27 | 1998-10-27 | Speedfam Co., Ltd. | Disk cleaning and drying apparatus |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59127234A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-23 | Fujitsu Ltd | 円板自動処理装置 |
JPS6093119A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-24 | Mazda Motor Corp | エンジンの吸気装置 |
-
1985
- 1985-10-05 JP JP22113885A patent/JPS6282513A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59127234A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-23 | Fujitsu Ltd | 円板自動処理装置 |
JPS6093119A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-24 | Mazda Motor Corp | エンジンの吸気装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02251288A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-09 | Toshiba Corp | 洗浄装置 |
JPH0313600A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-22 | Daicel Chem Ind Ltd | スタンパー洗浄装置 |
US5826292A (en) * | 1996-06-27 | 1998-10-27 | Speedfam Co., Ltd. | Disk cleaning and drying apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0572011B2 (ja) | 1993-10-08 |
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