JPH0313600A - スタンパー洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明はスタンパ−洗浄装置に関し、更に詳しくは光
ディスクを成形するためのスタンパ−を電解脱脂洗浄し
、水洗し、更に乾燥するためのスタンパ−洗浄装置に関
する。

（ロ）従来の技術 スタンパ−１すなわちＬＰディスク、光ディスクなどの
情報記録用ディスクを複製するためのマスター盤は、一
般に次のような工程で製造される。

まずガラス原盤を研磨し、その研磨面に感光性衝脂膜を
塗布し、光学的エツチング九理を施して所望の微細パタ
ーンを形成する。次いでその微細パターン面に金属薄膜
を設け、更にニッケル電気メツキにより所望の厚さまで
肉盛りした後、元のガラス原盤部分から分離してスタン
パ−とする。

しかしながら、このスタンパ−の表面には、感光性樹脂
膜が残留しており、この膜の除去に、アルカリ・界面活
性剤の混合溶液中で電解脱脂を行う電解脱脂洗浄法、有
機溶媒中で超音波によって洗浄する超音波洗浄法、又は
これらの併用洗浄法が採用されている（特開昭６２−２
１４５３５号）。

（ハ）発明が解決しようとする課題 ところで情報記録用ディスクは、従来からのＬＰレコー
ドとは異なり最近では光によって記録情報を取り出す光
ディスクが飛躍的に他方面に使用されるようになってき
た。これらの光ディスクは、情報を記録するための溝幅
が、ＬＰレコードの５０ｍμに対しその１／１００の０
．５１１１μである。

一方上述の各種洗浄法にて洗浄されたディスク成形用ス
タンパ−に残留している微粒子は１〜１０ｍμである。

またその後のスタンパ−の使用（デ４スクの成形）によ
って付着する各種塵埃や微粒子もほぼ同様の大きさであ
る。

従って従来のＬＰレコード成形用（又はアナログ用）ス
タンパ−では、情報記録用の溝が上述のごとく５０ｍμ
程度であるから、製造時の洗浄だけで十分であった。

これに対して光デイスク成形用（又はデジタル用）スタ
ンパ−では、情報記録用の溝が０．５ｍμ程度であるか
ら、１ｍμの微粒子でも、情報記録に致命的な影響があ
る。特に光デイスク成形用スタンパ−は、その情報記録
用の溝が細かく、シかも接近しているので、製造が難し
く、高価であり、一つの゛スタンパーで多数の光ディス
クを成形しなければならず、更に長期間の保存を要求さ
れる。

結局光デイスク成形用スタンパ−は、成形作業中に付着
する塵埃や微粒子、長期間保存による腐食などのために
洗浄を必要とすることになる。

もちろん、このような光デイスク成形用スタンパ−に対
する桁違いの洗浄を＊＊に行うために、一般のスタンパ
−の製造工程中で採用されている、上述の電解脱脂洗浄
法又は／及び超音波洗浄法の採用も考えられるが、いず
れも、洗浄度を従来の１／１００に高めることは難しい
。

またスタンパ−に基づいて光ディスクを成形する作業環
境全体をクリーン化することも考えられるが、これには
、例えば作業室中の０．１ｍμ以上の塵埃を除去する設
備や、使用する水中に分散する同様の大きさの微粒子を
除去する設備が必要となり、これらの設備は大規模にな
らざるを得す実用的ではなかった。

（ニ）発明を解決するための手段及びその作用この発明
は、１つの枠本体内に、電解脱脂を行うための電解脱脂
洗浄槽と、この洗浄槽に隣接する水洗室とを備え、更に
枠本体内に移動可能に設置されたスタンパ−支持台と、
この支持台を移動させ、それによってスタンパ−を水洗
室から電解脱脂洗浄槽へ移動させて所定時間該洗浄槽内
に保持させ、次いでその電解脱脂洗浄槽内から水洗室へ
移動させて所定時間該水洗室内に保持させる支持台移動
手段と、水洗室の上方部に設置され、スタンパ−が水洗
室内に位置し、かつ電解脱脂液でぬれている間に作動し
てスタンパ−に水洗水を散布しスタンパ−の水洗を行う
水洗水散布手段と、水洗室の下方部に設置され、スタン
パ−の水洗後の水を集めて排水する排水手段と、水洗室
の上方部に設置され、スタンパ−を水洗室に保持する前
記所定時間中で、前記水洗水供給手段の作動後に作動し
てスタンパ−を加熱乾燥する加熱手段とを備えてなるス
タンパ−洗浄装置である。

すなわち、この発明は、特定の電解脱脂洗浄槽と水洗室
とをスタンパ−が移動できるように並設し、かつその水
洗室に特定の水洗水散布手段と加熱手段とを設置して、
更にその水洗水散布手段を、スタンパ−が水洗室内に位
置し、かつ電解脱脂液でぬれている間に作動するよう構
成することによって、大幅に水洗効果を上げようとする
ものである。

この発明において、採用可能な水洗水散布手段としては
、水洗室の上方部で、かつスタンパ−が移動する電解脱
脂洗浄槽と水洗室との間に設置される、水洗水散布用シ
ャワー、スプレーなどが好ましいものとして挙げられる
。そして水洗水としては、予め例えば０．１ｍμの限外
濾過膜などのフィルターを用いて約０．２ｍμ以上の微
粒子が除去された水が用いられ、通常ポンプによって上
記ジャワ、スプレーなどに供給される。

この発明においては、以上のような水洗水散布手段が、
スタンバ−が電解脱脂洗浄を終えてまだ電解脱脂液でぬ
れている状態のときに、水洗水の散布を受けられるよう
に作動される。具体的にはスタンバ−の電解脱脂液が自
然乾燥しない間に水洗水の散布を行えるように、水洗室
に静止しているスタンバ−に水洗水を散布できるシャワ
ーのほかに、電解脱脂洗浄槽から水洗室へスタンバ−が
移動している時にもスタンバ−に水洗水を散布できるよ
うに別途シャワー、スプレーなどを付設するのが好まし
い。

この発明において採用可能な加熱手段としては、赤外線
ヒータ、０．１ｍμ以上の塵埃や微粒子を除去した約３
０〜５０℃程度の熱風を水洗室に供給できるファンなど
が挙げられ、好ましくは塵埃や微粒子の除去の必要がな
い赤外線ヒータが挙げられる。

（ホ）実施例 以下図に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。な
お、この発明はこれによって限定されるものではない。

まず第１図において、スタンバ−洗浄装置１は、１つの
枠本体２内に電解脱脂を行うための電解脱脂洗浄槽３と
、この洗浄槽に隣接する水洗室４とを備え、更に枠本体
２内に移動可能に設置されたスタンバ−支持台（洗浄電
極治具）５と、支持台移動手段６と、水洗室の上方部に
設置された水洗水散布手段７と、排水手段８と、加熱手
段９とから主としてなる。

電解脱脂洗浄槽３は、アルカリ・界面活性剤の混合溶液
を充填してなり、電極板ｌＯと、温度計１１と、モータ
１２によって回転し、電解脱脂溶液を撹拌する羽根１３
と、ヒータ１４とを具備している。なお、液面の降下は
液面センサー（図示省略）により検知し、液位が常に一
定になるよう制御されている。

支持台移動手段６は、特に第２図において、スタンバ−
支持台５を保持するアングル１５と、このアングルを上
下に傾斜移動可能に支持する第１移動台１６と、この第
１移動台を水平に移動可能に支持する第２移動台１７と
、この第２移動台を枠本体２に設置する基台１８とから
主としてなる。

ここで１９はモータ２０によって回転するネジ軸で第１
移動台１６に支持されている。なお、２１゜２２はガイ
ド軸である。２３はモータ２４によって回転するネジ軸
で、２５．２６はガイド軸である。

スタンバ−支持台５は、特に第５図において、上記アン
グル１５に一体支持された移動部２７と、水洗室４内に
適宜固定された固定部２８とからなり、前者の移動部２
７がコ字状片２９と、このコ字状片の両端から上方へ傾
斜して延びる２つの傾斜片３０．３１とからなる。

一方、後者の固定部２８は、コ字状片３２と、このコ字
状片を水洗室４内に適宜固定する基片３３と、そのコ字
状片の両端から上方へ延びる２つの大きな立片３４，３
５と、コ字状３２の対向片部分の途中より上方へ延びる
２つの小さな立片３６．３７とからなる。

そして２つの傾斜片３０．３１は、相対向し、その対向
間隔が上方に向かって拡がる凹溝３８゜３９を有する。

水洗水散布手段７は、水洗室４の天井壁附近の四角に設
置された４つの主水洗シャワー４０゜４１・・・・・・
と、水洗室４の、天井壁附近で、電解脱脂洗浄槽３と水
洗室４との間の部分に対向して配置された２つの副水洗
シャワー４２．４３　（図示省略）とからなる。これら
のシャワーで散布される水洗水は、脱イオン水を加圧下
（約１．５気圧）で限外濾過膜フィルター（酢酸セルロ
ース、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、ポリアク
リロニトリルなどの合成樹脂製中空系）に全量通過させ
て得られる。

排水手段８は、中和槽４４と、この中和槽に水洗室４の
排水を供給する第１排水管４５と、中和槽４４から電磁
開閉弁４６を介して適宜下水路（図示省略）に延びる第
２排水管４７と、中和槽４４にポンプ４８を介して連結
され、中和用のＭ（例えば低濃度のリン酸、硫酸、硝酸
など）を中和槽４４に供給する中和用液供給槽４９とか
らなる。

なお、５０はモータ５１によって回転し、中和槽内液を
撹拌する羽根、５２はｐ＋（検知器である。

加熱手段９は、水洗室４の天井壁に設置された赤外線ヒ
ータより構成される。なり１５３は排気ファン、５４．
５５はキャスターである。

次に、以上の構成を備えたスタンパ−洗浄装置ｌの作動
を説明する。

まず、スタンパ−５を、スタンパ−支持台５の移動台２
７にセットする。つまり２つの傾斜片３０．３１の凹溝
３８．３９に、スタンパ−５の外周縁を嵌め込む。

次いで操作パネル（図示省略）のスタートボタン（図示
省略）を適宜押すと、次の各手段の作動が自動制御装Ｒ
（図示省略）により自動的に行われる。すなわち、まず
支持台移動手段６の各モータ２０，２４が作動し、スタ
ンパ−８を、第３図の経路■及び■を介して水洗室４か
ら電解脱脂洗浄槽３へ移動させる。

そしてスタンパ−８は、電解脱脂洗浄槽３内で、約５〜
６分保持され、電解脱脂洗浄に付される。

続いて、支持台移動手段６の各モータ２０，２４が作動
し、第３図の経路■から■及び■を経て■に至り、スタ
ンパ−５を電解脱脂洗浄槽３から水洗室４へ移動させる
。この間、副水洗シャワー４２．４３が作動して、移動
中のスタンパ−８に、電解脱脂洗浄溶液が乾く前に水洗
水を散布する。

そしてスタンパ−８は、更に水洗室４内で、約２〜３分
保持され、その間、主水洗シャワー４０゜４１・・・・
・・が作動して、スタンパ−５に水洗水を散布し、残っ
ている電解脱脂溶液を徹底的に洗い落とす。

次いで、加熱手段９が作動し、スタンパ−５を赤外線に
より加熱し、乾燥させる。以上の一連のｒＰｉＩが終了
し、乾燥したスタンパ−８を取り出して後、リセットボ
タン（図示省略）を押してスタンパ−支持台５の移動部
２７をスタート位置にもどす。

得られたスタンパ−８は、電解脱脂溶液でぬれている状
態で水洗に付されるので、溶液の洗い効果が高く、桁違
いの洗浄を可能にする。なお、電解脱脂溶液がスタンパ
−８の表面でいったん乾いた状態になると、溶液中の微
粒子が付着して乾燥し、シミの欠陥が発生して、極度に
除去が難しくなる。

なお、スタンパ−５の水洗により水洗水の底部に集まっ
た、電解脱脂溶液を含んだ水洗水は、第１排水管４５を
介して中和槽４４に送られ、ｐＨ７に中和され、更に第
２排水管４７を介して適宜排出される。

（へ）発明の効果 この発明によれば、特定の電解脱脂洗浄槽と水洗室とを
スタンパ−が移動できるように並設し、かつその水洗室
に特定の水洗水散布手段と加熱手段とを設置し、更にそ
の水洗水散布手段を、スタンパ−が水洗室内に位置し、
かつ電解脱脂液でぬれている間に、作動するよう構成す
ることによって、大幅に水洗効果を上げることができる
。つまり、スタンパ−の表面がいったん乾くと溶液中の
微粒子が付着して極度に除去が難しくなるという問題が
解決でさる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るスタンパ−洗浄装置の一実施例
を示す概略機能説明図、第２図はその支持台移動手段の
傾斜図、第３図はスタンパ−支持台の移動を説明する説
明図、第４図はスタンパ−支持台を電解脱脂洗浄槽内に
保持した状態を示す概略機能説明図、第５図は支持台の
移動部と固定部の関係を説明する説明斜視図である。 ■・・・・・・スタンパ−洗浄装置、 ２・・・・−・枠本体、 ３・・・・・・電解脱脂洗浄槽、 ４・・・・・・水洗室、 ５・・・・・・スタンパ−支持台、 ６・・・・・・支持台移動手段、 ７・・・・・・水洗水散布手段、 ８・・・・・・排水手段、 ９・・・・・・加熱手段。 第 １ 図 第 図 第 図 ０−リミ・ソトスイ、子 ■−タイマー 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、１つの枠本体内に、電解脱脂を行うための電解脱脂
   洗浄槽と、この洗浄槽に隣接する水洗室とを備え、 更に枠本体内に移動可能に設置されたスタンパー支持台
   と、この支持台を移動させ、それによってスタンパーを
   水洗室から電解脱脂洗浄槽へ移動させて所定時間該洗浄
   槽内に保持させ、次いでその電解脱脂洗浄槽内から水洗
   室へ移動させて所定時間該水洗室内に保持させる支持台
   移動手段と、水洗室の上方部に設置され、スタンパーが
   水洗室内に位置し、かつ電解脱脂液でぬれている間に作
   動してスタンパーに水洗水を散布しスタンパーの水洗を
   行う水洗水散布手段と、水洗室の下方部に設置され、ス
   タンパーの水洗後の水を集めて排水する排水手段と、水
   洗室の上方部に設置され、スタンパーを水洗室に保持す
   る前記所定時間中で、前記水洗水供給手段の作動後に作
   動してスタンパーを加熱乾燥する加熱手段とを備えてな
   るスタンパー洗浄装置。