JPS62214534A - デイスクスタンパの洗浄方法 - Google Patents
デイスクスタンパの洗浄方法Info
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- JPS62214534A JPS62214534A JP5691786A JP5691786A JPS62214534A JP S62214534 A JPS62214534 A JP S62214534A JP 5691786 A JP5691786 A JP 5691786A JP 5691786 A JP5691786 A JP 5691786A JP S62214534 A JPS62214534 A JP S62214534A
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Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の観する技術分野〕
本発明は、ビデオディスク、デジタルオーディオディス
ク、ドキュメントファイルディスク等の情報記録用ディ
スクを複製するためのスタンパの洗浄方法に関する。
ク、ドキュメントファイルディスク等の情報記録用ディ
スクを複製するためのスタンパの洗浄方法に関する。
従来、ビデオディスク、デジタルオーディオディスク、
ドキュメントファイルディスクなどの情報記録ディスク
を得るために、例えば表面に情報記録に応じた凹凸ある
いは溝が刻設された複製型、即ちスタンパを用いて１ａ
化ビニルと酢酸ビニルの共重合体を圧縮成形し、或いは
アクリル樹脂やポリカーボネート樹脂を射出成形して情
報記録用ディスクを製作している。
ドキュメントファイルディスクなどの情報記録ディスク
を得るために、例えば表面に情報記録に応じた凹凸ある
いは溝が刻設された複製型、即ちスタンパを用いて１ａ
化ビニルと酢酸ビニルの共重合体を圧縮成形し、或いは
アクリル樹脂やポリカーボネート樹脂を射出成形して情
報記録用ディスクを製作している。
このスタンパは、次のような工程を経て製造される。
まずガラス板に感光性樹脂膜を塗布し、光学的エツチン
グ処理ｔ−施して所望の微細パターンを刻設し、これに
銀鏡、無電解ニッケルめっき、蒸着スパッタ等により金
属薄膜を設け、更にニッケル電気めっきにより所望の厚
さまで肉盛りし次のちこれを剥帥してニッケル膜のスタ
ンパとする。
グ処理ｔ−施して所望の微細パターンを刻設し、これに
銀鏡、無電解ニッケルめっき、蒸着スパッタ等により金
属薄膜を設け、更にニッケル電気めっきにより所望の厚
さまで肉盛りし次のちこれを剥帥してニッケル膜のスタ
ンパとする。
しかしながら、このスタンパ表面には、感光性樹脂膜が
残留しており、これを完全に除去しなければ、情報記録
ディスク複製用スタンパとして使用することはできない
。
残留しており、これを完全に除去しなければ、情報記録
ディスク複製用スタンパとして使用することはできない
。
このスタンパ洗浄法としては、従来、感光性樹脂がアル
カリ可溶性であることを利用して、アルカリ・界面活性
剤混合溶液中で電解脱脂を行なってい念が、このような
方法では残留した感光性樹指金完全には除去できないと
いう問題点があった。
カリ可溶性であることを利用して、アルカリ・界面活性
剤混合溶液中で電解脱脂を行なってい念が、このような
方法では残留した感光性樹指金完全には除去できないと
いう問題点があった。
本発明は、上述の問題を解決するもので、スタンパの表
面の感光性樹脂等の残渣を取シ除く方法を提供すること
を目的とする。
面の感光性樹脂等の残渣を取シ除く方法を提供すること
を目的とする。
本発明は、記録情報に応じた凹凸あるいは溝が刻設され
た情報記録用ディスク全複製するためのスタンパの洗浄
方法において、電解脱脂と超音波洗浄とを行なうことを
特徴とするものである。
た情報記録用ディスク全複製するためのスタンパの洗浄
方法において、電解脱脂と超音波洗浄とを行なうことを
特徴とするものである。
従来よシ行なわれている電解脱脂は、アルカ１ハ界面活
性混合溶液中でスタンパを陰極として電解することによ
り、表面に残留し九感光性樹脂膜がアルカリ可溶性であ
ることを利用し、これを溶解させるとともに多量の水素
ガスの発生による物理的作用によって除去しようとする
ものである５本発明の洗浄方法では、更にこれに超音波
洗浄を併用することにより、スタンパ表面でのキャビテ
ーション現象を用いて、感光性樹脂等の残留を完全に除
去するものである。これら電解脱脂及び超音波洗浄は同
時に行なうほかに交互に用いることもできる。
性混合溶液中でスタンパを陰極として電解することによ
り、表面に残留し九感光性樹脂膜がアルカリ可溶性であ
ることを利用し、これを溶解させるとともに多量の水素
ガスの発生による物理的作用によって除去しようとする
ものである５本発明の洗浄方法では、更にこれに超音波
洗浄を併用することにより、スタンパ表面でのキャビテ
ーション現象を用いて、感光性樹脂等の残留を完全に除
去するものである。これら電解脱脂及び超音波洗浄は同
時に行なうほかに交互に用いることもできる。
以下に本発明全実施例に即して更に詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例における洗浄装置を示す模凝
断面図である。
断面図である。
図で１は洗浄槽である。洗浄槽１に電解脱脂液２金入れ
、約５０℃に加熱する。スタンパ３を洗浄治具４に取付
け、ステンレス製の陽極５との間に電源６によシミ圧を
加え電解脱脂を行なった。
、約５０℃に加熱する。スタンパ３を洗浄治具４に取付
け、ステンレス製の陽極５との間に電源６によシミ圧を
加え電解脱脂を行なった。
この時、同一槽内で同時に超音波発振子７により超音波
を照射し、超音波洗浄を行なった。
を照射し、超音波洗浄を行なった。
電解脱脂液の組成を第１表に電解条件を第２表に示した
。
。
第４表 電解脱脂液組成
第２表 電解条件
比較例として、超音波洗浄を行なわず％電解脱脂のみと
し念、第３表に実施例及び比較例でのスタンパ処理時間
と観察結果とを示し念。
し念、第３表に実施例及び比較例でのスタンパ処理時間
と観察結果とを示し念。
第３表 処理時間と表面状態
〔発明の効果〕
被洗浄物であるディスクスタンパを電解脱脂と超音波洗
浄により洗浄する本発明の方法は、電解脱脂による感光
性樹脂の溶解及び発生した水素ガスによる物理的作用に
よる除去と超音波洗浄によるキャビテーション現象を利
用した除去により。
浄により洗浄する本発明の方法は、電解脱脂による感光
性樹脂の溶解及び発生した水素ガスによる物理的作用に
よる除去と超音波洗浄によるキャビテーション現象を利
用した除去により。
表面の清浄なスタンパを得ることができる。
第１図は本発明のディスクスタンパ洗浄方法に使用され
る洗浄装置の一実施例を示した模凝断面図である。 １：洗浄槽 ２：電解脱脂液 ３ニスタンパ４：洗浄治
具 ５：陽極 ６：を源 ７：超音波発振子 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
る洗浄装置の一実施例を示した模凝断面図である。 １：洗浄槽 ２：電解脱脂液 ３ニスタンパ４：洗浄治
具 ５：陽極 ６：を源 ７：超音波発振子 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
Claims (1)
- 記録情報に応じた凹凸あるいは溝が刻設された情報記
録用ディスクを複製するためのスタンパの洗浄方法にお
いて、電解脱脂及び超音波洗浄を行なうことを特徴とす
るディスクスタンパの洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5691786A JPS62214534A (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | デイスクスタンパの洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5691786A JPS62214534A (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | デイスクスタンパの洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62214534A true JPS62214534A (ja) | 1987-09-21 |
Family
ID=13040831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5691786A Pending JPS62214534A (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | デイスクスタンパの洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62214534A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0313600A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-22 | Daicel Chem Ind Ltd | スタンパー洗浄装置 |
| JP2019107597A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | 株式会社クリンビー | 真空電解超音波洗浄方法および真空電解超音波洗浄機 |
-
1986
- 1986-03-17 JP JP5691786A patent/JPS62214534A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0313600A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-22 | Daicel Chem Ind Ltd | スタンパー洗浄装置 |
| JP2019107597A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | 株式会社クリンビー | 真空電解超音波洗浄方法および真空電解超音波洗浄機 |
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