JPH0532118B2 - - Google Patents
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- JPH0532118B2 JPH0532118B2 JP60223727A JP22372785A JPH0532118B2 JP H0532118 B2 JPH0532118 B2 JP H0532118B2 JP 60223727 A JP60223727 A JP 60223727A JP 22372785 A JP22372785 A JP 22372785A JP H0532118 B2 JPH0532118 B2 JP H0532118B2
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- cleaning
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は磁気デイスク、光デイスク等のように
表面に記録層が形成されるデイスク部材を洗浄す
るデイスク部材の洗浄装置に関するものである。
表面に記録層が形成されるデイスク部材を洗浄す
るデイスク部材の洗浄装置に関するものである。
[従来の技術]
デイスク部材として、例えば、磁気デイスク
は、アルミニウム等の円環状板体からなるデイス
ク部材をラツピング加工等の研削加工を施こすこ
とにより平滑化し、然る後に該デイスク部材の表
面に磁性体を塗布することによつて、磁気記録層
が形成されるようになつている。ここで、前述の
記録層の膜厚を均一なものにするために、予じめ
デイスク部材の表面に塵埃等の異物が付着してい
ない状態となして、磁性体の塗布を行う必要があ
る。このために、記録層の形成前、また必要に応
じて記録層形成後にもデイスク部材の洗浄が行な
われる。
は、アルミニウム等の円環状板体からなるデイス
ク部材をラツピング加工等の研削加工を施こすこ
とにより平滑化し、然る後に該デイスク部材の表
面に磁性体を塗布することによつて、磁気記録層
が形成されるようになつている。ここで、前述の
記録層の膜厚を均一なものにするために、予じめ
デイスク部材の表面に塵埃等の異物が付着してい
ない状態となして、磁性体の塗布を行う必要があ
る。このために、記録層の形成前、また必要に応
じて記録層形成後にもデイスク部材の洗浄が行な
われる。
従来、このデイスク部材の洗浄は、多数のデイ
スク部材をラツクに装着した状態で洗浄液に浸漬
させ、この洗浄液を高周波振動させたり、または
デイスク部材をスピンドル等によつて回転駆動す
る間にブラシ等の洗浄部材をこのデイスク部材に
摺接させて、この洗浄部材を回転させるように構
成したものも知られている。
スク部材をラツクに装着した状態で洗浄液に浸漬
させ、この洗浄液を高周波振動させたり、または
デイスク部材をスピンドル等によつて回転駆動す
る間にブラシ等の洗浄部材をこのデイスク部材に
摺接させて、この洗浄部材を回転させるように構
成したものも知られている。
[発明が解決しようとする課題]
然るに、高周波振動により洗浄を行うようにす
ると、洗浄装置の全体構成が複雑となり、装置構
成が大型になる等の不都合があるだけでなく、デ
イスク部材の汚れのうち油汚れのようなものを完
全に除去できない等の欠点があつた。一方、ブラ
シ等の洗浄部材を用いれば、異物の除去だけでな
く、油汚れ等も除去できるが、洗浄部材を回転さ
せた時に、その回転中心部分及びその近傍付近は
周速が0または極めて遅く、従つてこの部位に異
物が入り込むと、それを外部に排出することがで
きず、洗浄作業の間中一定の位置に保持されるこ
とになるから、デイスク部材の表面に傷が発生す
るおそれがある等の不都合が生じる。
ると、洗浄装置の全体構成が複雑となり、装置構
成が大型になる等の不都合があるだけでなく、デ
イスク部材の汚れのうち油汚れのようなものを完
全に除去できない等の欠点があつた。一方、ブラ
シ等の洗浄部材を用いれば、異物の除去だけでな
く、油汚れ等も除去できるが、洗浄部材を回転さ
せた時に、その回転中心部分及びその近傍付近は
周速が0または極めて遅く、従つてこの部位に異
物が入り込むと、それを外部に排出することがで
きず、洗浄作業の間中一定の位置に保持されるこ
とになるから、デイスク部材の表面に傷が発生す
るおそれがある等の不都合が生じる。
本発明は前述した従来技術の欠点を解消するた
めになされたもので、簡単で、コンパクトな構成
によりデイスク部材の表面全体に、傷等を発生さ
せることなく、円滑かつ確実に自動洗浄すること
ができるようにしたデイスク部材の洗浄装置を提
供することを目的とするものである。
めになされたもので、簡単で、コンパクトな構成
によりデイスク部材の表面全体に、傷等を発生さ
せることなく、円滑かつ確実に自動洗浄すること
ができるようにしたデイスク部材の洗浄装置を提
供することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
前述の目的を達成するために本発明に係る洗浄
装置は、円環状に形成したデイスク部材の外周縁
または内周縁を回転可能にチヤツクするチヤツク
部材と、外径寸法が前記デイスク部材の外周縁か
ら内周縁までの幅寸法より大きく、内径寸法が該
デイスク部材の幅寸法より小さい円環状のスポン
ジからなり、該デイスク部材の表面を擦動するこ
とによつて該デイスク部材を洗浄する洗浄部材
と、該洗浄部材を回転させる回転駆動手段とを備
える構成としたことをその特徴とするものであ
る。
装置は、円環状に形成したデイスク部材の外周縁
または内周縁を回転可能にチヤツクするチヤツク
部材と、外径寸法が前記デイスク部材の外周縁か
ら内周縁までの幅寸法より大きく、内径寸法が該
デイスク部材の幅寸法より小さい円環状のスポン
ジからなり、該デイスク部材の表面を擦動するこ
とによつて該デイスク部材を洗浄する洗浄部材
と、該洗浄部材を回転させる回転駆動手段とを備
える構成としたことをその特徴とするものであ
る。
[作用]
前述のように構成される洗浄装置を使用してデ
イスク部材の洗浄を行うには、洗浄すべきデイス
ク部材をハンドリング手段により1枚ずつチヤツ
ク部材に装着し、洗浄部材を該デイスク部材の表
面に押し当てる。ここで、洗浄部材の外径寸法は
デイスク部材の幅、即ち内周縁から外周縁までの
半径方向の幅寸法より大きく、また内径寸法がこ
の幅寸法より小さい円環状の部材からなり、この
洗浄部材を回転させて、デイスク部材に摺接させ
ると、その回転力によつてデイスク部材を回転駆
動させることができる。また、この間に洗浄部材
に適宜の洗浄液を供給する。これによつて、デイ
スク部材の表面全体に洗浄部材を擦動させて、該
デイスク部材の表面に付着した異物や油汚れ等を
極めて効率的に除去でき、該デイスク部材全体が
むらなく、円滑かつ確実に自動洗浄される。
イスク部材の洗浄を行うには、洗浄すべきデイス
ク部材をハンドリング手段により1枚ずつチヤツ
ク部材に装着し、洗浄部材を該デイスク部材の表
面に押し当てる。ここで、洗浄部材の外径寸法は
デイスク部材の幅、即ち内周縁から外周縁までの
半径方向の幅寸法より大きく、また内径寸法がこ
の幅寸法より小さい円環状の部材からなり、この
洗浄部材を回転させて、デイスク部材に摺接させ
ると、その回転力によつてデイスク部材を回転駆
動させることができる。また、この間に洗浄部材
に適宜の洗浄液を供給する。これによつて、デイ
スク部材の表面全体に洗浄部材を擦動させて、該
デイスク部材の表面に付着した異物や油汚れ等を
極めて効率的に除去でき、該デイスク部材全体が
むらなく、円滑かつ確実に自動洗浄される。
しかも、洗浄部材を回転させることにより、そ
れとデイスク部材の表面との間に介在する異物等
は洗浄部材の回転力によつて該洗浄部材の外周側
から外部に移行して除去されることになり、洗浄
性能が向上する。そして、洗浄部材は円環状に形
成されており、回転時に周速0乃至極めて遅い回
転中心部分は空間となつているので、洗浄部材と
デイスク部材の表面との間に異物が挟み込まれた
としても、この洗浄部材の回転動作によつて速や
かに外部に排出されて、デイスク部材の表面が損
傷する等の不都合はない。
れとデイスク部材の表面との間に介在する異物等
は洗浄部材の回転力によつて該洗浄部材の外周側
から外部に移行して除去されることになり、洗浄
性能が向上する。そして、洗浄部材は円環状に形
成されており、回転時に周速0乃至極めて遅い回
転中心部分は空間となつているので、洗浄部材と
デイスク部材の表面との間に異物が挟み込まれた
としても、この洗浄部材の回転動作によつて速や
かに外部に排出されて、デイスク部材の表面が損
傷する等の不都合はない。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
まず、第1図において、1は洗浄装置本体を構
成するハウジングで、該ハウジング1内には搬入
用ラツク2を搬送する搬入部3、搬出用ラツク4
を搬送する搬出部5が形成されると共に、作業室
6が形成されている。
成するハウジングで、該ハウジング1内には搬入
用ラツク2を搬送する搬入部3、搬出用ラツク4
を搬送する搬出部5が形成されると共に、作業室
6が形成されている。
作業室6内は洗浄部7と乾燥部8とに分れ、か
つ該作業室6には搬入用ラツク2においてラツピ
ング処理されたデイスク部材9が立設状態で搬送
され、またこの搬送途中でシヤワー10により予
備洗浄されたデイスク部材を1枚ずつ取出す搬入
ハンドラ11が設けられると共に、洗浄、乾燥後
のデイスク部材9を搬出用ラツク2に移送する搬
出ハンドラ12が設けられ、該各ハンドラ11,
12はそれぞれ回転アーム11a,12aの先端
にデイスク部材9をチヤツクするチヤツク部材1
1b,12bを装着することにより構成される。
さらに、搬入ハンドラ11から洗浄部7、該洗浄
部7から乾燥部8、該乾燥部8から搬出ハンドラ
12へデイスク部材9を移載する移載ハンドラ1
3が作業室6内に配設され、該移載ハンドラ13
は所定角度往復回動し得ると共にその回動軸線に
沿つて前後に往復動し得るようになつている。
つ該作業室6には搬入用ラツク2においてラツピ
ング処理されたデイスク部材9が立設状態で搬送
され、またこの搬送途中でシヤワー10により予
備洗浄されたデイスク部材を1枚ずつ取出す搬入
ハンドラ11が設けられると共に、洗浄、乾燥後
のデイスク部材9を搬出用ラツク2に移送する搬
出ハンドラ12が設けられ、該各ハンドラ11,
12はそれぞれ回転アーム11a,12aの先端
にデイスク部材9をチヤツクするチヤツク部材1
1b,12bを装着することにより構成される。
さらに、搬入ハンドラ11から洗浄部7、該洗浄
部7から乾燥部8、該乾燥部8から搬出ハンドラ
12へデイスク部材9を移載する移載ハンドラ1
3が作業室6内に配設され、該移載ハンドラ13
は所定角度往復回動し得ると共にその回動軸線に
沿つて前後に往復動し得るようになつている。
洗浄部7は第2図乃至第4図にしたように、回
動軸14aによつて所定角度ずつ回動せしめられ
るロータリテーブル14を有し、該ロータリテー
ブル14上は十字状の仕切壁15によつて4つの
作業部に区画形成されている。第2図において、
図中上方の作業区画部Aは、移載ハンドラ13と
の間でデイスク部材9の着脱を行う着脱部とな
り、図中右方の作業区画部Bは洗浄部材16によ
りデイスク部材の表裏の各面を洗浄する洗浄部、
下方の作業区画部Cはすすぎ部材17によつて洗
浄後のすすぎを行うすすぎ部、さらに図中右方の
作業区画部Dはエツジ洗い部材18によりデイス
ク部材9の内外の各周縁部の洗浄を行うエツジ洗
い部となつている。そして、前述の各作業区画部
A、B、C、Dにはデイスク部材9の外周縁部を
回転可能に挟持するためにチヤツク部材19が取
付けられている。該チヤツク部材19はデイスク
部材9の3位置においてそれと係合するチヤツキ
ングローラ19aと、該チヤツキングローラ19
aを回転可能に支持する支持軸19bと、チヤツ
キングローラ19aを第2図における作業区画部
Aに実線で示したチヤツク位置と鎖線で示したチ
ヤツク解除位置との間に変位させる作業片19c
の各部材を3組設置することにより構成される。
そして、前述のチヤツク位置とチヤツク解除位置
との間の変位を可能ならしめるために、同図の作
業区画部Dにおいて示した如く、チヤツク部材9
における各作動片19cを変位させる歯車駆動部
20が設けられている。この歯車駆動部20の駆
動歯車20aは第3図及び第4図に示した如くロ
ータリテーブル14の裏面側においてレバー21
と連結されており、該レバー21は常時には鎖線
で示したようにばね22よりストツパ23に当接
した位置にあり、このときチヤツク部材19はチ
ヤツク位置となり、作業区画部Aに対応する位置
に設けた回動駆動部24に連結した作動片25を
鎖線位置から実線位置に回動させることによりレ
バー21を実線位置に移行させて、チヤツク部材
19のチヤツクを解除するチヤツク解除位置に変
位させることができるようになつている。
動軸14aによつて所定角度ずつ回動せしめられ
るロータリテーブル14を有し、該ロータリテー
ブル14上は十字状の仕切壁15によつて4つの
作業部に区画形成されている。第2図において、
図中上方の作業区画部Aは、移載ハンドラ13と
の間でデイスク部材9の着脱を行う着脱部とな
り、図中右方の作業区画部Bは洗浄部材16によ
りデイスク部材の表裏の各面を洗浄する洗浄部、
下方の作業区画部Cはすすぎ部材17によつて洗
浄後のすすぎを行うすすぎ部、さらに図中右方の
作業区画部Dはエツジ洗い部材18によりデイス
ク部材9の内外の各周縁部の洗浄を行うエツジ洗
い部となつている。そして、前述の各作業区画部
A、B、C、Dにはデイスク部材9の外周縁部を
回転可能に挟持するためにチヤツク部材19が取
付けられている。該チヤツク部材19はデイスク
部材9の3位置においてそれと係合するチヤツキ
ングローラ19aと、該チヤツキングローラ19
aを回転可能に支持する支持軸19bと、チヤツ
キングローラ19aを第2図における作業区画部
Aに実線で示したチヤツク位置と鎖線で示したチ
ヤツク解除位置との間に変位させる作業片19c
の各部材を3組設置することにより構成される。
そして、前述のチヤツク位置とチヤツク解除位置
との間の変位を可能ならしめるために、同図の作
業区画部Dにおいて示した如く、チヤツク部材9
における各作動片19cを変位させる歯車駆動部
20が設けられている。この歯車駆動部20の駆
動歯車20aは第3図及び第4図に示した如くロ
ータリテーブル14の裏面側においてレバー21
と連結されており、該レバー21は常時には鎖線
で示したようにばね22よりストツパ23に当接
した位置にあり、このときチヤツク部材19はチ
ヤツク位置となり、作業区画部Aに対応する位置
に設けた回動駆動部24に連結した作動片25を
鎖線位置から実線位置に回動させることによりレ
バー21を実線位置に移行させて、チヤツク部材
19のチヤツクを解除するチヤツク解除位置に変
位させることができるようになつている。
次に、作業区画部Bに対応する位置に設けた洗
浄部材16は、第5図に示したように、上下1対
のアーム26a,26bを有し、該各アーム26
a,26bには回転軸27a,27bが挿嵌され
ており、該各回転軸27a,27bの一端部には
洗浄具28a,28bが取付けられ、該洗浄具2
8a,28bはデイスク部材9の内周縁から外周
縁までの半径方向における幅寸法より大きな外径
を有し、またその内径はデイスク部材9の幅寸法
より小さくなつた円環状の柔軟なスポンジで形成
されている。このように、洗浄具28a,28b
を円環状に形成することによつて、その回転中心
から所定の半径の円形の部分が空所となつて、デ
イスク部材9に対する非当接部が形成される。
(第6図参照)。
浄部材16は、第5図に示したように、上下1対
のアーム26a,26bを有し、該各アーム26
a,26bには回転軸27a,27bが挿嵌され
ており、該各回転軸27a,27bの一端部には
洗浄具28a,28bが取付けられ、該洗浄具2
8a,28bはデイスク部材9の内周縁から外周
縁までの半径方向における幅寸法より大きな外径
を有し、またその内径はデイスク部材9の幅寸法
より小さくなつた円環状の柔軟なスポンジで形成
されている。このように、洗浄具28a,28b
を円環状に形成することによつて、その回転中心
から所定の半径の円形の部分が空所となつて、デ
イスク部材9に対する非当接部が形成される。
(第6図参照)。
そして、回転軸27a,27bの他端部にはプ
ーリ29a,29bが取付けられて、該各プーリ
29a,29bと回転軸30に設けたプーリ31
a,31bとの間にベルト32a,32bを巻回
して設け、この回転軸30を作業室6を画成する
パネルPを介して外部に突出させて、該回転軸3
0にモータ等の駆動源を接続してそれ回転させる
ことにより洗浄具28a,28bを回転させるこ
とができるようになつている。これらプーリ29
a,29b、回転軸30、プーリ31a,31b
及びベルト32a,32bによつて回転駆動手段
が構成され、この回転駆動手段により洗浄具28
a,28bが回転せしめられ、第6図に示したよ
うにこの洗浄具28a,28bの矢示イ方向の回
転によつてデイスク部材9はチヤツク部材19に
保持された状態で矢示ロ方向に回転駆動せしめら
れるようになつている。
ーリ29a,29bが取付けられて、該各プーリ
29a,29bと回転軸30に設けたプーリ31
a,31bとの間にベルト32a,32bを巻回
して設け、この回転軸30を作業室6を画成する
パネルPを介して外部に突出させて、該回転軸3
0にモータ等の駆動源を接続してそれ回転させる
ことにより洗浄具28a,28bを回転させるこ
とができるようになつている。これらプーリ29
a,29b、回転軸30、プーリ31a,31b
及びベルト32a,32bによつて回転駆動手段
が構成され、この回転駆動手段により洗浄具28
a,28bが回転せしめられ、第6図に示したよ
うにこの洗浄具28a,28bの矢示イ方向の回
転によつてデイスク部材9はチヤツク部材19に
保持された状態で矢示ロ方向に回転駆動せしめら
れるようになつている。
ここで、洗浄具28a,28bは前述したよう
に円環状となつており、この洗浄具28a,28
bの内部に中性洗剤、純水等からなる洗浄液が供
給されるようになつている。即ち、第7図に示し
たようにアーム26a,26bに取付けた回転軸
支持ブロツク33a,33bに形成した円環状の
液室34a,34bに洗浄液を供給するホース3
5a,35bが接続されており、該各ホース35
a,35bからの洗浄液を洗浄具28a,28b
内部に供給するために回転軸27a,27bには
洗浄具28a,28bの内部に開口する通路36
a,36bが穿設されている。
に円環状となつており、この洗浄具28a,28
bの内部に中性洗剤、純水等からなる洗浄液が供
給されるようになつている。即ち、第7図に示し
たようにアーム26a,26bに取付けた回転軸
支持ブロツク33a,33bに形成した円環状の
液室34a,34bに洗浄液を供給するホース3
5a,35bが接続されており、該各ホース35
a,35bからの洗浄液を洗浄具28a,28b
内部に供給するために回転軸27a,27bには
洗浄具28a,28bの内部に開口する通路36
a,36bが穿設されている。
また、作業区画部Cに対応する位置に設置した
すすぎ部材17は、洗浄部材16と同様の構造を
有し、回転軸37により回転せしめられるすすぎ
洗浄具38a,38bにホース39a,39bを
介してすすぎ水を供給することによつて、洗浄後
のデイスク部材9のすすぎを行なうことができる
ようになつている。
すすぎ部材17は、洗浄部材16と同様の構造を
有し、回転軸37により回転せしめられるすすぎ
洗浄具38a,38bにホース39a,39bを
介してすすぎ水を供給することによつて、洗浄後
のデイスク部材9のすすぎを行なうことができる
ようになつている。
さらに、エツジ洗い部材18はスポンジ等から
なる外縁、内縁の各洗浄具40a,40bを有
し、該洗浄具40a,40bは回転可能に支持ア
ーム41に取付けられて、該支持アーム41は揺
動可能となつている。
なる外縁、内縁の各洗浄具40a,40bを有
し、該洗浄具40a,40bは回転可能に支持ア
ーム41に取付けられて、該支持アーム41は揺
動可能となつている。
本実施例は前述のように構成されるもので、次
にその作動につて説明する。
にその作動につて説明する。
洗浄すべきデイスク部材9は搬入ラツク2に立
設状態に設置され、この状態で搬入ラツク2を搬
入部3に装着させる。そして、該搬入ラツク2が
搬入部3を搬送させる途中でシヤワー9で洗浄す
ることによつて大部分の研摩粉を洗い流す。そし
て、搬入ラツク2が搬入部3の所定の位置に到達
したときに、搬入ハンドラ11を搬入ラツク2側
に回動させて、チヤツク部材11bによりデイス
ク部材9をチヤツクする。然る後、搬入ハンドラ
11を回動させて、該デイスク部材9を移載ハン
ドラ13に移載させる。
設状態に設置され、この状態で搬入ラツク2を搬
入部3に装着させる。そして、該搬入ラツク2が
搬入部3を搬送させる途中でシヤワー9で洗浄す
ることによつて大部分の研摩粉を洗い流す。そし
て、搬入ラツク2が搬入部3の所定の位置に到達
したときに、搬入ハンドラ11を搬入ラツク2側
に回動させて、チヤツク部材11bによりデイス
ク部材9をチヤツクする。然る後、搬入ハンドラ
11を回動させて、該デイスク部材9を移載ハン
ドラ13に移載させる。
デイスク部材9が移載ハンドラ13に移載され
た後、該移載ハンドラ13をロータリテーブル1
4から離間する方法に突出変位させると共に90度
回動させて、ロータリテーブル14の作業区画部
Aと対面させて、該ロータリテーブル14に近接
する方向に縮小変位させ、デイスク部材9をチヤ
ツク部材19に移載する。そして、ロータリテー
ブル14に移載されたデイスク部材9は回動軸1
4aによりロータリテーブル14を90度回動させ
ることによつて洗浄を行う作業区画部Bに移行さ
せる。このとき洗浄部材16、すすぎ部材17及
びエツジ洗い部材18は、ロータリテーブル14
におけるチヤツク部材19や仕切壁15と接触し
ないようにするために、それぞれの回転軸を中心
として回動し、第2図に鎖線で示した作動位置か
ら一旦実線で示した非作動位置に変位してロータ
リテーブル14から離間し、再び鎖線の作動位置
に復帰することによつて洗浄具28a,28b間
にデイスク部材9を挟み込ませる。このようにし
てデイスク部材9の作業区画部Bへの移行が完了
した後、ホース34a,34bから中性洗剤等か
らなる洗浄液を洗浄具28a,28bの内部に供
給すると共に、該洗浄具28a,28bを回転さ
せる。これによつて、洗浄具28a,28bによ
りデイスク部材9の表面が擦られることによつて
該デイスク部材9の洗浄が行なわれ、しかもこの
洗浄具28a,28bの回転によつてデイスク部
材9に回転力が与えられて、デイスク部材9の表
裏各面全体に対する洗浄が行なわれる。
た後、該移載ハンドラ13をロータリテーブル1
4から離間する方法に突出変位させると共に90度
回動させて、ロータリテーブル14の作業区画部
Aと対面させて、該ロータリテーブル14に近接
する方向に縮小変位させ、デイスク部材9をチヤ
ツク部材19に移載する。そして、ロータリテー
ブル14に移載されたデイスク部材9は回動軸1
4aによりロータリテーブル14を90度回動させ
ることによつて洗浄を行う作業区画部Bに移行さ
せる。このとき洗浄部材16、すすぎ部材17及
びエツジ洗い部材18は、ロータリテーブル14
におけるチヤツク部材19や仕切壁15と接触し
ないようにするために、それぞれの回転軸を中心
として回動し、第2図に鎖線で示した作動位置か
ら一旦実線で示した非作動位置に変位してロータ
リテーブル14から離間し、再び鎖線の作動位置
に復帰することによつて洗浄具28a,28b間
にデイスク部材9を挟み込ませる。このようにし
てデイスク部材9の作業区画部Bへの移行が完了
した後、ホース34a,34bから中性洗剤等か
らなる洗浄液を洗浄具28a,28bの内部に供
給すると共に、該洗浄具28a,28bを回転さ
せる。これによつて、洗浄具28a,28bによ
りデイスク部材9の表面が擦られることによつて
該デイスク部材9の洗浄が行なわれ、しかもこの
洗浄具28a,28bの回転によつてデイスク部
材9に回転力が与えられて、デイスク部材9の表
裏各面全体に対する洗浄が行なわれる。
ここで、洗浄具28a,28bとデイスク部材
9との間に介在する摩耗粉等の異物は、洗浄中に
おいて洗浄具28a,28bが回転せしめられる
ので、該洗浄具28a,28bの回転によつて円
滑にその外周面側に移動して外部に排出され、洗
い残しがなく、完全な洗浄が可能となる。洗浄具
28a,28bは円環状となつており、それを回
転させた時に、周速が0乃至極めて遅い回転中心
及びその近傍部分は空所になつているから、洗浄
具28a,28bとデイスク部材9との間にたと
え異物が介在していても、この異物はその位置で
止まることはなく、常に動かされてこの洗浄具2
8a,28bとデイスク部材9との摺接部から速
やかに排出されることになる。しかも、洗浄液を
この空所に向けて供給することによつて、洗浄具
28a,28bとデイスク部材9との間に適度な
洗浄液の液膜が形成されるから、洗浄中に洗浄具
28a,28bや異物の摩擦によりデイスク部材
9の表面が損傷する等の不都合を生じない。
9との間に介在する摩耗粉等の異物は、洗浄中に
おいて洗浄具28a,28bが回転せしめられる
ので、該洗浄具28a,28bの回転によつて円
滑にその外周面側に移動して外部に排出され、洗
い残しがなく、完全な洗浄が可能となる。洗浄具
28a,28bは円環状となつており、それを回
転させた時に、周速が0乃至極めて遅い回転中心
及びその近傍部分は空所になつているから、洗浄
具28a,28bとデイスク部材9との間にたと
え異物が介在していても、この異物はその位置で
止まることはなく、常に動かされてこの洗浄具2
8a,28bとデイスク部材9との摺接部から速
やかに排出されることになる。しかも、洗浄液を
この空所に向けて供給することによつて、洗浄具
28a,28bとデイスク部材9との間に適度な
洗浄液の液膜が形成されるから、洗浄中に洗浄具
28a,28bや異物の摩擦によりデイスク部材
9の表面が損傷する等の不都合を生じない。
このデイスク部材9の洗浄が完了すると、ロー
タリテーブル14を90度回動させて、すすぎを行
う作業区画部Cに移行させる。そして、この作業
区画部Cにおいては、前述の作業区画部Bにおけ
ると同様の手法ですすぎ部材17を使用して、す
すぎ洗浄具38a,38bの内部にホース39
a,39bを介してすすぎ水を供給することによ
り洗浄液を洗い流すすすぎ洗浄を行う。この後、
ロータリテーブル14をさらに90度回動させるこ
とによつてエツジ洗いを行う作業区画部Dに移送
し、エツジ洗い部材18を作動させることによつ
てこのデイスク部材9の内外の各周縁部の洗浄が
行なわれ、デイスク部材9から異物、油汚れ等を
完全に除去した後、さらにロータリテーブル14
を90度回動させることによつて、洗浄完了後のデ
イスク部材は再び作業区画部Aに帰還せしめられ
る。
タリテーブル14を90度回動させて、すすぎを行
う作業区画部Cに移行させる。そして、この作業
区画部Cにおいては、前述の作業区画部Bにおけ
ると同様の手法ですすぎ部材17を使用して、す
すぎ洗浄具38a,38bの内部にホース39
a,39bを介してすすぎ水を供給することによ
り洗浄液を洗い流すすすぎ洗浄を行う。この後、
ロータリテーブル14をさらに90度回動させるこ
とによつてエツジ洗いを行う作業区画部Dに移送
し、エツジ洗い部材18を作動させることによつ
てこのデイスク部材9の内外の各周縁部の洗浄が
行なわれ、デイスク部材9から異物、油汚れ等を
完全に除去した後、さらにロータリテーブル14
を90度回動させることによつて、洗浄完了後のデ
イスク部材は再び作業区画部Aに帰還せしめられ
る。
前述のようにして、洗浄が完了したデイスク部
材9が作業区画部Aに帰還し、移載ハンドラ13
がロータリテーブル14側に変位したときに、該
移載ハンドラ13によつてこのデイスク部材9を
チヤツクし、搬入ハンドラ11に移載されて、洗
浄後のデイスク部材9は乾燥部8に移行して該乾
燥部8において高速スピン乾燥等により乾燥せし
められる。このように乾燥したデイスク部材9は
移載ハンドラ13の作動により、該移載ハンドラ
13に移載し、該移載ハンドラ13の回動によつ
て搬出ハンドラ3に移載され、該搬出ハンドラ3
の回動により搬出ラツク4内に載置される。この
動作を順次繰返すことによつてデイスク部材9の
洗浄が行なわれ、搬出ラツク4を搬出部5から外
部に搬送することによつて洗浄の完了したデイス
ク部材9が取出される。
材9が作業区画部Aに帰還し、移載ハンドラ13
がロータリテーブル14側に変位したときに、該
移載ハンドラ13によつてこのデイスク部材9を
チヤツクし、搬入ハンドラ11に移載されて、洗
浄後のデイスク部材9は乾燥部8に移行して該乾
燥部8において高速スピン乾燥等により乾燥せし
められる。このように乾燥したデイスク部材9は
移載ハンドラ13の作動により、該移載ハンドラ
13に移載し、該移載ハンドラ13の回動によつ
て搬出ハンドラ3に移載され、該搬出ハンドラ3
の回動により搬出ラツク4内に載置される。この
動作を順次繰返すことによつてデイスク部材9の
洗浄が行なわれ、搬出ラツク4を搬出部5から外
部に搬送することによつて洗浄の完了したデイス
ク部材9が取出される。
なお、前述の実施例では、洗浄部材はデイスク
部材の両面に当接させるものだけでなく、片面の
みに当接させるようにすることもできる。また、
チヤツク部材はロータリテーブル上に設置するも
のとしたが、これは複数の洗浄工程でデイスク部
材を洗浄するようにしたためで、単一の洗浄工程
で洗浄する場合には固定的に設けた支持部材に設
置することもできる。
部材の両面に当接させるものだけでなく、片面の
みに当接させるようにすることもできる。また、
チヤツク部材はロータリテーブル上に設置するも
のとしたが、これは複数の洗浄工程でデイスク部
材を洗浄するようにしたためで、単一の洗浄工程
で洗浄する場合には固定的に設けた支持部材に設
置することもできる。
[発明の効果]
以上詳述した如く本発明は、デイスク部材をチ
ヤツク部材に回転可能にチヤツクさせた状態で洗
浄部材によつて該デイスク部材を洗浄するように
なし、しかもこの洗浄部材を外径寸法が前記デイ
スク部材の外周縁から内周縁までの幅寸法より大
きく、内径寸法がデイスク部材の幅寸法より小さ
く円環状のスポンジで形成し、これを洗浄時に洗
浄部材を回転させるようにしたから、この洗浄部
材の回転によつて、デイスク部材が回転駆動せし
められることになり、しかも洗浄部材の回転時
に、周速が0乃至極めて遅い部分がなくなり、デ
イスク部材の表面に付着する摩耗粉等の異物を該
デイスク部材と洗浄部材との間に食い込ませるこ
となく速やかに、しかも完全に除去でき、デイス
ク部材の全体を円滑かつ確実に自動洗浄すること
ができる。
ヤツク部材に回転可能にチヤツクさせた状態で洗
浄部材によつて該デイスク部材を洗浄するように
なし、しかもこの洗浄部材を外径寸法が前記デイ
スク部材の外周縁から内周縁までの幅寸法より大
きく、内径寸法がデイスク部材の幅寸法より小さ
く円環状のスポンジで形成し、これを洗浄時に洗
浄部材を回転させるようにしたから、この洗浄部
材の回転によつて、デイスク部材が回転駆動せし
められることになり、しかも洗浄部材の回転時
に、周速が0乃至極めて遅い部分がなくなり、デ
イスク部材の表面に付着する摩耗粉等の異物を該
デイスク部材と洗浄部材との間に食い込ませるこ
となく速やかに、しかも完全に除去でき、デイス
ク部材の全体を円滑かつ確実に自動洗浄すること
ができる。
第1図は本発明の一実施例を示す洗浄装置の全
体構成図、第2図は洗浄部の拡大正面図、第3図
は第2図のX−X矢視図、第4図はロータリテー
ブルのチヤツク部材の作動機構を示す構成説明
図、第5図は洗浄部材の部分断面正面図、第6図
は洗浄操作の作動説明図、第7図は第5図のY−
Y断面図である。 1:ハウジング、7:洗浄部、9:デイスク部
材、14:ロータリテーブル、16:洗浄部材、
19:チヤツク部材、30:回転軸、28a,2
8b:洗浄具。
体構成図、第2図は洗浄部の拡大正面図、第3図
は第2図のX−X矢視図、第4図はロータリテー
ブルのチヤツク部材の作動機構を示す構成説明
図、第5図は洗浄部材の部分断面正面図、第6図
は洗浄操作の作動説明図、第7図は第5図のY−
Y断面図である。 1:ハウジング、7:洗浄部、9:デイスク部
材、14:ロータリテーブル、16:洗浄部材、
19:チヤツク部材、30:回転軸、28a,2
8b:洗浄具。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 円環状に形成したデイスク部材の外周縁また
は内周縁を回転可能にチヤツクするチヤツク部材
と、外径寸法が前記デイスク部材の外周縁から内
周縁までの幅寸法より大きく、内径寸法が該デイ
スク部材の幅寸法より小さい円環状のスポンジか
らなり、該デイスク部材の表面を擦動することに
よつて該デイスク部材を洗浄する洗浄部材と、該
洗浄部材を回転させる回転駆動手段とを備えたデ
イスク部材の洗浄装置。 2 前記洗浄部材を前記デイスク部材の表裏両面
に当接させるように構成したことを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載のデイスク部材の洗浄装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60223727A JPS6284971A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | デイスク部材の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60223727A JPS6284971A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | デイスク部材の洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6284971A JPS6284971A (ja) | 1987-04-18 |
JPH0532118B2 true JPH0532118B2 (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=16802735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60223727A Granted JPS6284971A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | デイスク部材の洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6284971A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11179646A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Speedfam Co Ltd | 洗浄装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58215771A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-15 | Fujitsu Ltd | デイスク洗浄乾燥装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5880960U (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-01 | 富士通株式会社 | 洗浄用スポンジ |
JPS59107722U (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-20 | 富士通株式会社 | 磁気記録媒体の製造装置 |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP60223727A patent/JPS6284971A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58215771A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-15 | Fujitsu Ltd | デイスク洗浄乾燥装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6284971A (ja) | 1987-04-18 |
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