JP2830102B2 - ディスク洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク，光ディスク等のように、円
環状に形成した記録媒体からなるディスクを洗浄するた
めのディスク洗浄装置に関するものである。

［従来の技術］ 例えば磁気ディスクは、アルミニウム等の金属板を円
環状に形成したディスクの表裏両面に磁気記録膜を形成
してなるものであるが、このディスクに磁気記録膜を形
成する前にその表面を洗浄しなければならない。ここ
で、ディスクの洗浄はその表面に付着する研摩粉等の異
物を除去するだけでなく、油膜等の汚れ等をも取り除い
て、完全に清浄な状態としなければならず、僅かでも異
物や汚れ等が残されていると、記録膜の形成に支障を来
たすことになる。とりわけ、近年においては、記録密度
の向上及び情報の書き込み及び読み出しの高速化を図る
ために、磁気記録膜は薄膜化される傾向にあるが、この
ように磁気記録膜を薄膜化すると、極めて小さな異物が
ディスクに付着していたり、また表面に極僅かでも汚れ
がある場合であっても、情報の書き込み及び読み出しに
大きな影響を与えることになる。

このために、ディスクを完全に清浄な状態にすること
は、磁気ディスクとしての品質の向上を図る上で極めて
重要なこととなる。ここで、ディスクの洗浄方式として
は、超音波洗浄方式とブラシ洗浄方式とが従来から用い
られている。このうち、超音波洗浄方式は異物の除去に
は著しい効果を発揮するものの、ディスク表面に付着す
る油膜等の汚れを除去することができないという難点が
ある。一方、洗浄液を用いたブラシ洗浄は異物の除去だ
けでなく、表面に付着した汚れを取り除くことができる
ので、近年においては、ディスクの洗浄方式としては、
ブラシ洗浄方式が用いられるのが一般的である。

このブラシ洗浄方式は、通常、洗浄工程と、すすぎ工
程及び乾燥工程から構成される。洗浄工程はブラシをデ
ィスクの表裏両面に押し当てて、該ブラシ及びディスク
を回転させる間に、中性洗剤等の洗浄液を供給すること
によって、ディスクの表面に付着する異物及び汚れを洗
い流すものである。すすぎ工程は純水を用いてディスク
に付着する洗浄液を洗い流すためのもので、このすすぎ
はシャワー方式またはブラッシング方式により行われる
が、すすぎの完全性を期するためには、ブラシによるす
すぎ方式がより有利である。そして、乾燥工程は、ディ
スクに付着している水滴を除去するためのもので、例え
ばディスクを高速で回転させることによる高速スピン乾
燥等が用いられる。また、前述した洗浄工程を２段階に
分け、まずディスクの外周面または内外両周面をブラシ
洗浄するエッジ洗いを行い、然る後に表裏両面を洗浄す
る表面洗いを行うようにしたものも用いられている。ま
た、すすぎ工程も同様にエッジすすぎと表面すすぎとの
２段階に分けて行うようにしたものもある。

［発明が解決しようとする課題］ 前述したように洗浄工程、または洗浄及びすすぎの両
工程を２段階に分けて行うようにすると、ディスク全面
が洗浄処理されるので極めて有利ではあるが、洗浄時間
が長くかかると共に洗浄装置全体の構成が大型化すると
いう欠点があるだけでなく、エッジ洗いを行った後に表
面洗いを行っている間に異物等が内外周面に移行して、
この内外周面が再汚損され、また表面すすぎを行う間に
洗剤が内外周面に再付着することがある等の問題点があ
る。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、簡
単な構成で、効率的かつ完全にディスクを清浄化するこ
とができるようにしたディスク洗浄装置を提供すること
を目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 前述の目的を達成するために、本発明は、洗浄すべき
ディスクを収納したマガジンが設置されるローダ部と、
ディスクの表裏両面及び内外周面を同時に洗浄する洗浄
部と、洗浄後のディスクのすすぎを行うすすぎ部と、洗
浄・すすぎが完了したディスクを高速スピン乾燥する乾
燥部と、マガジンが設置されて、処理完了後のディスク
を該マガジンに収容するアンローダ部とをそれぞれ等し
いピッチ間隔をもって配設し、またそれぞれディスクを
ローダ部から洗浄部に、洗浄部からすすぎ部に、すすぎ
部から乾燥部に、また乾燥部からアンローダ部に移載す
るために、４つのディスク移載手段を設けて、該ディス
ク移載手段により前記ディスクを順次ピッチ送りする間
にその洗浄を行うための装置において、前記洗浄部及び
すすぎ部には、それぞれ往復動手段により相互に近接・
離間する方向に一対の取付板を設け、これら両取付板の
うちの一方の取付板にディスクの表面と、また他方には
裏面に当接するブラシを取り付け、また内外周面に当接
するブラシをいずれかの取付板に取り付けるようにな
し、前記ディスク移載手段は、ピッチ送り手段によっ
て、前記両取付板が離間した時に、その間を通ってディ
スクの移載を行い、かつ各ブラシをディスクに当接させ
るために、両取付板が近接する時には、前記各ディスク
移載手段をディスク受け取り位置とディスク受け渡し位
置との中間の位置で待機させる構成としたことをその特
徴とするものである。

［作用］ 前述のように構成することによって、ディスク移載手
段を作動させて、ローダ部からディスクを１枚ずつ取り
出して洗浄部に送り込み、この洗浄部によりこのディス
クの表裏両面及び内外周面を同時に洗浄する。これによ
って、該ディスクの表面全体が洗い残しなく完全に洗浄
される。然る後に、該ディスクをすすぎ部に移載して、
このすすぎ部においても表裏両面及び内外周面のすすぎ
が同時に行われて、洗浄液を完全に洗い流すことができ
る。このようにして完全に清浄化された状態で、ディス
クは乾燥部に送り込まれ、高速スピン乾燥等の手段によ
り乾燥せしめられて、アンローダ部に排出される。

而して、洗浄部及びすすぎ部においては、ディスクの
表裏面と内外周面とが同時に洗浄，すすぎされ、かつデ
ィスクはブラシを取り付けた取付板が離間した時にディ
スク移載手段により移載され、このようにして移載され
たディスクに各ブラシが当接する際には、各ディスク移
載手段はディスク受け取り位置とディスク受け渡し位置
との中間の位置で待機するようになっているので、ディ
スクはディスク移載手段により直接各部に受け渡すこと
ができるようになり、これらの工程が簡略化されて、装
置構成が簡単になると共に作業の高速化を図ることがで
きることになる。また、洗浄及びすすぎはディスクの表
裏面及び内外周面を同時に行われるので、一度清浄化さ
れた後に再汚損が発生するおそれはない。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

まず、第１図及び第２図にディスク洗浄装置の全体外
観を示す。図中において、１は洗浄装置本体を示し、該
洗浄装置本体１はローダ部2,作業部３及びアンローダ部
４に区画形成されると共に、下部には制御部5,後背部に
は駆動部６が形成されている。作業部３は、洗浄部3a,
すすぎ部3b及び乾燥部3cに分割されている。そして、こ
れら制御部５及び駆動部６は装置本体１の隔壁1aにより
ローダ部2,作業部３及びアンローダ部４から隔離されて
いる。

また、装置本体１の前面部には洗浄処理が行われるデ
ィスクＤをローダ部２に搬入するためのディスク搬入部
７と、アンローダ部４から洗浄処理の完了したディスク
Ｄを搬出するためのディスク搬出部８が設けられてお
り、これらディスク搬入部７及びディスク搬出部８には
透明な開閉扉が設けられており、これら開閉扉を開くこ
とによってディスクＤを装置内に搬入したり、また装置
から搬出することができるようになっている。作業部３
の前面にも透明な開閉扉が設けられており、この開閉扉
を介して装置内での作業の様子を確認することができ、
かつトラブル等があったときには、この開閉扉を開くこ
とにより修理，復旧させることができるようになってい
る。

ディスクＤは、第３図に示したように、マガジンＭに
多数縦並べにした状態で装置に搬入され、また洗浄作業
の完了したディスクＤは再びマガジンＭに再収納させ
て、搬出されるようになっている。従って、ローダ部２
には洗浄作業を行うべきディスクＤを収納したマガジン
Ｍが、またアンローダ部４には空のマガジンＭが設置さ
れるようになっている。

なお、この洗浄装置においては、寸法の異なる複数種
類のディスクの洗浄処理が可能な構成となっている。そ
こで、以下の説明においては、例えば3.5インチサイズ
のディスクと５インチサイズのディスクというように、
外径寸法は相違するが、内径寸法は同一となった２種類
のディスクを洗浄処理することができるように構成した
ものを示すが、本発明の装置は、単一サイズのディスク
を洗浄する場合や、外径のみならず内径寸法も異なる種
々のディスクの洗浄処理に共用することができるように
構成することもできる。

ローダ部２においては、マガジンＭはコンベア10上に
設置されて、該コンベア10によりマガジンＭをピッチ送
りする間にディスクＤが１枚ずつ取り出されるようにな
っている。このために、第４図及び第５図に示したよう
に、ローダチャック手段11が設けられている。このロー
ダチャック手段11は、ディスクＤの内周をチャックする
もので、該ディスクＤの内周面に接離可能な３個のチャ
ック部材12を備えている。これら各チャック部材12はそ
れぞれレバー13に取り付けられており、該レバー13を軸
14を中心として回動させることによって、各チャック部
材12をディスクＤの内周面に当接するチャック位置と、
それから離間したチャック解除位置とに変位可能な構成
となっている。

このチャック部材12の変位を可能ならしめるために、
各軸14はギヤボックス15内に延在せしめられて、該ギヤ
ボックス15内において、従動ギヤ16に連結されている。
該各従動ギヤ16は駆動ギヤ17と噛合しており、該駆動ギ
ヤ17の軸17aはギヤボックス15からチャック部材12とは
反対方向に延在せしめられて、駆動レバー18に係合せし
められている。そして、この駆動レバー18にはシリンダ
19が取り付けられており、該シリンダ19を作動させるこ
とによって、駆動レバー18を所定角度回動させて、駆動
ギヤ17を回転して、従動ギヤ16を回転させることによっ
て、レバー13を介して各チャック部材12をチャック位置
及びチャック解除位置に変位させることができるように
なっている。

しかも、このローダチャック手段11は、そのチャック
部材12によりディスクＤをチャックした状態で、該ディ
スクＤを所定の高さ位置まで持ち上げることができるよ
うになっている。このために、ローダチャック手段11は
垂直方向に設けたガイドレール20に沿って昇降可能とな
っており、図示しないシリンダによって、ローダチャッ
ク手段11をマガジンＭからディスクＤを取り出すことが
できる下降位置と、後述するように、ディスクＤを作業
部３に受け渡す上昇位置との間に変位させることができ
るようになっている。

このようにしてローダ部２におけるマガジンＭから取
り出されたディスクＤは、ピッチ送り手段21によって、
作業部３における洗浄部3a,すすぎ部3b及び乾燥部3cに
順次送り込まれて、洗浄，すすぎ及び乾燥の各作業が行
われた上で、アンローダ部４に排出されるようになって
いる。このピッチ送り手段21によるディスクＤの送りの
機構を簡略化するために、ローダ部2,洗浄部3a,すすぎ
部3b,乾燥部3c及びアンローダ部４はすべて等間隔に設
けられている。そして、ピッチ送り手段21では、ディス
クＤの外周面をチャックしてそれを順次ピッチ送りする
ことができるようになっている。

ピッチ送り手段21は、第６図及び第７図に示したよう
に構成されている。即ち、このピッチ送り手段21は水平
往復動板体22を有し、該水平往復板体22にはローダ部2,
洗浄部3a,すすぎ部3b,乾燥部3c及びアンローダ部４のピ
ッチ間隔をもって４個の移載用チャック手段23a〜23dが
装着されている。そして、この水平往復動板体22は駆動
板24に取り付けられており、該駆動板には左右一対のレ
バー25,25が連結されている。このレバー25は作業部３
と駆動部６との間に設けられた隔壁1aを貫通して駆動部
６側に延在せしめられて、モータにより作動するインデ
ックス機構により水平方向への回動動作と前後方向への
往復動を行わせることができるようになっている。

これによって、これら各移載用チャック手段23a〜23d
のうち、第６図の最左端の位置にある第１の移載用のチ
ャック手段23aはローダ部２と洗浄部3aとの間を、また
第２の移載用チャック手段23bは洗浄部3aとすすぎ部3b
との間を、第３の移載用チャック手段23cはすすぎ部3b
と乾燥部3cとの間を、さらに第４の移載用チャック手段
23dは乾燥部3cとアンローダ部４との間をそれぞれ往復
移動せしめられるようになっている。

ここで、ピッチ送り手段21に装着した４個の移載用チ
ャック手段23a〜23dはそれぞれディスクＤの外周をチャ
ックして、それを移載することができるように構成され
ている。これら各移載用チャック手段23a〜23dはすべて
同一の構成を有するもので、その具体的な構成は第８図
及び第９図に示したようになっている。

即ち、水平往復動板体22には、長板26が垂設されてお
り、該長板26の左右の両側には、一対のリンク板27,28
がそれを平行に設けられている。そして、これらリンク
板27,28間には、その上下の位置において連結リンク板2
9,30が架設されており、これら各リンク板27,28及び連
結リンク板29,30とによって平行リンク機構が構成され
ている。上部の連結リンク板29にはシリンダ31が連結さ
れており、該シリンダ31を作動させることによって、リ
ンク板27,28を相互に反対方向に平行変位させることが
できるようになっている。そして、一方のリンク板27に
は、板体32が固着して設けられており、該板体32の左右
の両側には一対のチャック部材33,33が取り付けられて
いる。また、他方のリンク板28には単一のチャック部材
34が取り付けられている。この結果、連結リンク板29,3
0を一側に傾けると、チャック部材33とチャック部材34
とが近接する方向に変位して、ディスクＤをその間にチ
ャックすることができるようになっており、また連結リ
ンク板29,30をこれとは反対方向に傾けた場合には、チ
ャック部材33とチャック部材34とが離間する方向に変位
することになり、この結果、ディスクＤのチャックを解
除することができるようになっている。

なお、このチャック部材33,34はディスクＤの外径を
チャックするものであるから、大径ディスクをチャック
するためのチャック部材33,34の他、小径ディスクをチ
ャックするためのチャック部材33′,34′が設けられて
おり、大径ディスクを取り扱うときには、小径ディスク
をチャックするためのチャック部材33′,34′は取り外
されるようになっている。

従って、レバー25を左方向に回動した位置に保持する
と、第１の載置用チャック手段23aはローダ部２に、第
２の移載用チャック手段23bは洗浄部3aに、第３の載置
用チャック手段33cはすすぎ部3bに、第４の移載用チャ
ック手段23dは乾燥部４に位置する。そこで、これら各
移載用チャック手段23a〜23dを構成するチャック部材を
作動させると、これら各部に配置されているディスクＤ
をチャックすることができるディスク受け取り位置とな
る。

この状態から、レバー25を第６図に矢印で示した方向
に回動させると、第1,第2,第３及び第４の移載用チャッ
ク手段23a乃至第23dはそれぞれ洗浄部3a,すすぎ部3b,乾
燥部3c及びアンローダ部４に移行し、これら移載用チャ
ック手段23a〜23bによるディスクＤのチャックを解除し
て、各位置に配設したチャック機構にチャックさせるこ
とによって、ディスクの受け渡しが行われるディスク引
き渡し位置となる。これによって、ディスクＤは順次ピ
ッチ送りされることになる。

また、ディスクＤに対する洗浄，すすぎ及び乾燥の各
作業が行われている間は、各移載用チャック手段23a〜2
3dが作業の邪魔とならないようにするために、ローダ部
２と洗浄部3a,洗浄部3aとすすぎ部3b,すすぎ部3bと乾燥
部3c,乾燥部3cとアンローダ部４とのそれぞれの間に位
置せしめられる、待機位置を取ることができる。

これと共に、ディスクＤをピッチ送りした状態で、デ
ィスクＤの受け渡しを可能ならしめるために、レバー25
を前後動させて、各移載用チャック手段23a〜23dを、後
述する如く、作業部３の洗浄部3a及びすすぎ部3bに設け
たディスクチャック手段40及び乾燥部3cに設けたスピン
ドル100のチャック部材102との間でディスクＤの受け渡
しを行うことができる後退位置と、それらとは干渉しな
い状態で水平移動することができる前進位置との間に往
復移動させるようになされている。

このピッチ送り手段21の作動順序を第10図に示す。同
図から明らかなように、ピッチ送り手段21はまずディス
ク受け取り位置に保持された状態で、ディスクＤを受け
取って、前進位置に変位し、次いでディスク引き渡し位
置にまで変位して後退することによって、ディスクＤの
引き渡しを行う。然る後に、再び前進位置に変位すると
共に待機位置に変化する。この状態で、作業部３の洗浄
部3a,すすぎ部3b及び乾燥部3cに配置したそれぞれディ
スクＤに対する洗浄，すすぎ及び乾燥の各作業が行わ
れ、これら各作業が完了すると、ディスク受け取り位置
に変位して後退して、次のディスクＤの取り出しを行
う。この動作を繰り返すことによって、ディスクＤをロ
ーダ部２から洗浄部3aに、洗浄部3aからすすぎ部3bに、
すすぎ部3bから乾燥部3cに、乾燥部3cからアンローダ部
４に順次ピッチ送りされるようになっている。

洗浄部3a及びすすぎ部3bには、移載用チャック手段と
の間にディスクＤの受け渡しを行うために、第11図乃至
第13図に示したディスクチャック手段40が設けられる。
このディスクチャック手段40は３個のチャック部材41を
有し、これら各チャック部材41によってディスクＤの外
周部をチャックするようになっている。そして、該各チ
ャック部材41のチャック位置は、移載用チャック手段と
干渉しないようにするために、この移載用チャック手段
のチャック位置から所定量だけ位相を変えた位置におい
てチャックするようにしている。また、このディスクチ
ャック手段40もディスクの外径をチャックするものであ
るから、移載用チャック手段23a〜23dと同様に、大径デ
ィスクをチャックするためのチャック部材41と小径ディ
スクをチャックするためのチャック部材41′とが設けら
れており、大径ディスクをチャックするときには、チャ
ック部材41′を取り外せばよい。

而して、このディスクチャック手段40の各チャック部
材41をチャック位置とチャック解除位置との間に変位さ
せるために、各チャック部材41はレバー42に取り付けら
れている。これらレバー42は、第12図に示したように、
軸受ブッシュ43に挿通させた軸44に取り付けられてお
り、該軸44を回動させることによって、該各レバー42は
所定角度往復回動せしめられるようになっている。ま
た、各軸44の他端には駆動レバー45が連結されており、
これら各駆動レバー45はそれぞれアーム46に連結されて
いる。そして、第13図から明らかなように、各アーム46
の他端は回転円板47に取り付けられており、該回転円板
47にはレバー49を介してシリンダ48が連結されている。

従って、シリンダ48を作動させて、回転円板47を第13
図中の矢印Ａ方向に回転させると、駆動レバー45は同図
の矢印Ｂ方向に回動して軸44を同じ方向に回動する。こ
れによって、レバー42は第11図の矢印Ｃ方向に回動し
て、チャック部材41は外向きに変位して、ディスクＤか
ら離間するチャック解除位置となる。また、シリンダ48
によって、回転円板47を前述と反対方向に回転させる
と、内向きに変位してディスクＤをチャックすることが
できるようになる。

このように、洗浄部3a及びすすぎ部3bにそれぞれ設け
たディスクチャック手段40によってディスクＤをチャッ
クさせた状態で、それぞれディスクＤに対して洗浄及び
すすぎを行うことができるようになっている。しかも、
この洗浄及びすすぎはディスクＤの表裏両面だけでな
く、内外周のエッジ部分も含めたディスクＤの全表面を
同時に洗浄，すすぎを行うことができるようになされて
いる。

このディスクＤの洗浄及びすすぎはブラッシングによ
り行うもので、このために、第14図に示したように、表
裏各面に当接する面ブラシ50,51と、内周エッジに当接
するエッジブラシ52及び外周エッジに当接するエッジブ
ラシ53,54とから構成され、これら各ブラシ50〜54はス
ポンジ等の柔軟性を有するものが用いられ、また洗浄部
3a及びすすぎ部3bには同じ部材がこれら洗浄部3aとすす
ぎ部3bとの間の境界線Ｌ（第16図参照）を中心として左
右対称に配設されるようになっている。

ところで、前述したブラシ50〜54を用いてディスクＤ
の洗浄及びすすぎを行うに当っては、これら各ブラシ50
〜54を回転させると共に、ディスクＤも回転させなけれ
ばならない。ここで、各ブラシ50〜54は回転駆動せしめ
られるものの、ディスクＤは直接回転駆動されるように
なってはおらず、ブラシの回転により回転力が与えられ
て、それに追従回転するようになっている。

即ち、第15図に示したように、ディスクＤの表裏両面
を挾持する面ブラシ50,51は該ディスクＤの対して扇形
に当接しており、これら各面ブラシ50,51を矢印Ｘ方向
に回転させることによって、ディスクＤはこれ追従して
矢印Ｙ方向に回転せしめられる。また、外周エッジに当
接する一方のエッジブラシ53も面ブラシ50,51と同じ方
向に回転駆動されるようになっており、これによって、
ディスクＤはさらに円滑に回転駆動されることになる。
而して、このディスクＤの回転を可能ならしめるため
に、該ディスクＤをチャックするチャック部材41は回転
自在となっている。

然るに、ディスクＤに対して一側方向（即ち第15図に
おける矢印Ｙ方向）のみに回転力を与えるだけでは、ブ
ラッシング効果が十分ではない。そこで、内周エッジに
当接するエッジブラシ52はＸ方向に回転させ、また他方
の外周エッジに当接するエッジブラシ54は、エッジブラ
シ53とは反対方向のＺ方向に回転駆動させる。ブラシ5
2,54をこのように回転させることによって、ディスクＤ
のＹ方向への回転に抗する方向に回転力が作用し、この
結果、ディスクＤの表面に対するブラッシング効果がよ
り効率的に発揮されることになる。なお、ディスクＤの
回転に対する抵抗があまり大きくなって、その円滑な回
転が損なわれないようにするために、ブラシ53の押し付
け力をブラシ54のそれより大きくしている。

各ブラシ50〜54に前述した動作で駆動するために、第
16図及び第17図に示した回転伝達機構が用いられる。こ
こで、洗浄部3aにおけるブラシ駆動機構とすすぎ部3bに
おけるブラシ駆動機構とは洗浄部3aとすすぎ部3bと境界
線Ｌを中心として対称な状態にして設けられており、そ
れぞれ支軸60,60′が設けられている。ここで、支軸60,
60′のうち、一方の支軸60（即ち、本実施例において
は、洗浄部3a側に配置した支軸）は図示しないモータに
よって回転駆動せしめられるようになった駆動軸で、他
方の支軸60′（即ち、すすぎ部3b側の支軸）は非回転状
態に保持されている。このために、支軸60,60′にそれ
ぞれ取り付けたプーリ60a,60a′の間には伝達ベルト61
が巻回して設けられている。

而して、第16図に示されているように、洗浄部3a側の
各ブラシ50〜54の駆動ユニットのうち、プラシ50,52〜5
4は取付板62に装着されている。そしてこれらかうブラ
シ50,52〜54を回転駆動するために、支軸60に取り付け
たプーリ60bには第１の伝達ベルト63が巻回して設けら
れており、この第１の伝達ベルト63は、アイドラ64,支
点軸65に取り付けたプーリ65a,アイドラ66,ディスクＤ
の表面に当接するブラシ50を回転駆動する軸67に取り付
けたプーリ67a,内周エッジに当接するブラシ52を回転駆
動する軸68に取り付けたプーリ68a,外周エッジに当接す
るブラシ54を回転駆動する軸70に取り付けたプーリ70a
及びアイドラ71と順次係合している。また、支点軸65に
取り付けられて、プーリ65aと共に回転するプーリ65bと
ディスクＤの外周エッジに当接するブラシ51を回転駆動
するための軸72に設けたプーリ72aとの間には第２の伝
達ベルト73が巻回して設けられている。

一方、ディスクＤの他側面に当接するブラシ51は、第
17図に示したように、取付板62に対してディスクＤを挟
んだ反射側に位置する取付板74に装着した軸75に取り付
けられている。そして、この軸75には、プーリ75aが装
着されており、該プーリ75aと支軸60に設けたプーリ60c
との間には第３の伝達ベルト76が巻回されている。ま
た、支軸60にはプーリ60dが装着されており、該プーリ6
0dとすすぎ部3b側の支軸60′に設けたプーリ60d′との
間には、伝達ベルト61と同様の伝達ベルト61aが巻回し
て設けられている。

従って、支軸60を第16図及び第17図に矢印で示した方
向に回転させることによって、この支軸60により駆動さ
れる各部はそれぞれ矢印方向に回転することになり、こ
れによってブラシ50〜54をそれぞれ前述した方向に回転
させることができるようになっている。

また、他側、即ちすすぎ部3b側の駆動ユニットは前述
した洗浄部3a側の駆動ユニットと勝手違いの対称な構造
となっており、従って、このすすぎ部3b側のブラシ及び
駆動ユニットを構成する各部材等については、洗浄部3a
側と同一の符号を用いて、各符号には「′」を付して、
その説明は省略するものとし、洗浄部3aの機構と異なる
場合には、その都度説明する。

ディスクＤは洗浄部3a及びすすぎ部3bにおいて、その
表裏両面と、内外周のエッジ部分との全表面を洗浄乃至
すすぎが行われるが、このディスクＤのこれら洗浄部3a
及びすすぎ部3bへの搬入及びそれらからの搬出を可能な
らしめるために、ブラシ50,52〜54を支持する取付板62,
74はディスクチャック手段40により支持されたディスク
Ｄに対して近接・離間する方向に往復変位可能となって
いる。このために、第18図に示したように、取付板61,7
4はそれぞれシリンダ77,78に連結されており、このシリ
ンダ77,78を作動させることによって、各ブラシ50〜54
をディスクチャック手段40にチャックされたディスクＤ
から離間させた待機位置と、この位置から相互に離間す
る方向に変位して、このディスクチャック手段40にディ
スクＤを装着することができる作動位置に変位させるよ
うにしている。

なお、支軸60は駆動軸であるので、スプライン軸とな
っており、プーリ60a,60b,60cはこの支軸60とスプライ
ン結合されている。しかしながら、すすぎ部3b側の支軸
60′は支軸60により回転駆動される従動軸である関係か
らスプラインは設けられてはいない。従って、洗浄部3a
側のプーリ60aと60b、60cと60dとは連結されていても良
く、またそれらは別個に設けてそれぞれ支軸60に連結す
るようにしてもよいが、すすぎ部3b側の支軸60′に設け
たプーリ60a′と60b′、及びプーリ60c′と60d′とは一
体的に回転することになる。

また、エッジブラシ53はディスクＤの外周に対して深
く入り込むように当接するので、該ディスクＤをディス
クチャック手段40に装着する際に、これを逃がす必要が
ある。このために、第19図に示したように、該エッジブ
ラシ53を支持する軸75は揺動板79に揺動可能に取り付け
られて、該揺動板79は支点軸65を中心として揺動可能と
なっており、シリンダ80によってディスクＤの外周エッ
ジに当接する状態と、該ディスクＤから離間する状態と
の間に往復変位させることができるようになっている。
しかも、このエッジブラシ53は、第20図に示したよう
に、ディスクＤに対して角度θ傾いた状態となってお
り、この結果、該エッジブラシ53は、その回転中におい
ては、幅Ｂの範囲でディスクＤの外周エッジに当接する
ことになる。これによって、ディスクＤの外周における
面取りを施したチャンファ部分もブラッシングすること
ができるようになる。

ここで、洗浄を行うに当っては、中性洗剤等の洗浄液
が用いられ、またすすぎを行うに際しては、純粋が用い
られる。そして、これら洗浄液及び純水が周囲に飛散し
ないようにするために、ブース81,81′が洗浄部3a及び
すすぎ部3b内に設置されており、該各ブース81,81′は
シリンダ82,82′によりディスクチャック手段40にチャ
ックされたディスクＤを覆う位置と、隔壁1aに近接する
方向に変位して、ピッチ送り手段21における移載用チャ
ック手段23a,23b（ディスクＤの搬入時）またはチャッ
ク手段23b,23c（ディスクＤの搬出時）とディスクＤの
受け渡しを可能ならしめるようにしている。

また、洗浄部3aにおいて、ディスクＤに洗浄液を供給
するために、第18図から明らかなように、面ブラシ50,5
1をそれぞれ支持する軸67,75には、その軸線方向に貫通
孔83,84が穿設されて、両端開放の中空軸となってお
り、またこれら面ブラシ50,51を支持する支持板50a,51a
の中央部には透孔85,86が形成されている。そして、軸6
7,75の他端には洗浄液供給部材87,88が取り付けられて
いる。これら洗浄液供給部材87,88はそれぞれシール89,
90を介して軸67,75に連結されるハウジング87a,88aを有
し、該ハウジング87a,88aの内部は軸67,75の貫通孔83,8
4に通じて液室となっている。そして、これら洗浄液供
給部材87,88にはそれぞれ洗浄液供給チューブが接続さ
れている。これによって、軸67,75から面ブラシ50,51を
介してディスクＤに洗浄液が供給されるようになってい
る。なお、エッジブラシ52〜54には格別洗浄液が供給さ
れるようにはなってはいないが、これら面ブラシと同様
に洗浄液を供給することもできる。

一方、すすぎ部3bにおいては、ブース81′の天井壁か
ら垂設した複数の給水ノズル93′を介してすすぎ用の純
水を供給することができるようになっており、ブラシ5
0′〜54′が作動している間はこの給水ノズル93′から
ディスクＤに向けてすすぎ水の供給することによりディ
スクＤに付着する洗浄液が洗い流される。また、洗浄部
3aのブース81の天井壁にも給水ノズル93が垂設されてお
り、これによって、洗浄が終了した後に、ブラシ50〜54
をディスクＤから離間させた状態で、この給水ノズル93
から純水のシャワーを供給することにより、洗浄液を洗
い流すようにしており、これによってすすぎ部3bに洗浄
液が移行するのを可及的に少なくしている。

従って、ピッチ送り手段における移載用チャック手段
23a及び23bによって前後２枚のディスクＤがそれぞれ洗
浄部3a,すすぎ部3bに搬入されて、これら移載用チャッ
ク手段23a,23bからディスクＤがそれぞれ洗浄部3a,すす
ぎ部3bに配設したディスクチャック手段40に装着され
る。そして、これら移載用チャック手段23a,23bがそれ
ぞれ洗浄部3a,すすぎ部3bから離間すると、洗浄用のブ
ラシ50〜54及びすすぎ用のブラシ50′〜54′がディスク
Ｄに当接し、これら各ブラシ50〜54,50′〜54′を回転
させることによってディスクＤを回転駆動し、この間
に、洗浄部3aにおいては面ブラシ50,51から洗浄液を供
給し、またすすぎ部3bにおいては給水ノズル93′を介し
て純水を供給することによって、ディスクＤに対する洗
浄及びすすぎが行われる。ここで、これら洗浄及びすす
ぎはディスクＤの表裏の両面だけでなく、内外周のエッ
ジ部分も同時に洗浄乃至すすぎを行うことがてきるよう
になり、高速で、効率的な洗浄，すすぎが行われ、一度
清浄化したディスクＤが再汚損されるおそれはない。

そして、これら洗浄部3a,すすぎ部3bに配置したディ
スクＤに対する洗浄及びすすぎ作業が完了すると、ピッ
チ送り手段21を構成する移載用チャック手段23b,23cに
よって、洗浄部3aのディスクＤはすすぎ部3bに、すすぎ
部3bのディスクＤは乾燥部3cに移行せしめられる。そし
て、この移行に先立って洗浄部3aのブース81に設けた給
水ノズル93から純粋とシャワーをディスクＤに供給する
ことによて、このディスクＤに付着している洗浄液をあ
らかた洗い落すことができるようになり、洗浄液が洗浄
部3aからすすぎ部3bへの持ち込みを可及的に少なくする
ことができるようになっている。

ディスクＤは、前述のようにしてローダ部２から洗浄
部3a,すすぎ部3bを経た後に、ピッチ送り手段21におけ
る移載用チャック手段23cによって乾燥部3cに搬送され
る。搬送部3cには、第21図に示したようなスピンドル10
0が設けられており、該スピンドル100によってディスク
Ｄを高速回転させることによって高速スピン乾燥させる
ようになっている。

このように、ディスクＤを回転させるために、スピン
ドル100は、回転部101を有し、この回転部101の先端に
ディスクＤの内周をチャックする３個のチャック部材10
2が装着されている。そして、これらチャック部材102を
ディスクＤの内周面に接離させるために、該各チャック
部材102を取り付けた軸103の途中位置に球面部104を設
け、該球面部を回転部101の先端部に設けた端板105に設
けた球面受け部106に受承されている。また、軸103の他
端には、カムフォロワ107が取り付けられており、該カ
ムフォロワ107は回転部101のカムブロック108における
カム部109内に転動自在に挿嵌されている。従って、カ
ムフォロワ107がカムフォロワ108におけるカム部109の
内奥部に位置するときには、軸103はほぼ水平状態を保
って、ディスクＤをチャックするチャック位置となり、
またこの状態からカムブロック108が第21図の矢印方向
に変位したときには、カムフォロワ108がカム部109に沿
って転動して、チャック部材102はディスクＤの内周部
から離間したチャック解除位置となる。

そして、回転部101を回転駆動するために、該回転部1
01は隔壁1aを貫通して駆動部６側に延びるブッシュ110
内に挿通されている。そして、この回転部101に設けた
プーリ101aには、伝達ベルト111が巻回して設けられて
おり、該伝達ベルト111はモータ112に取り付けた駆動プ
ーリ113に巻回されている。従って、このモータ112を作
動させることによって、スピンドル100の回転部101を回
転駆動することができるようになっている。

また、チャック部材102をチャック位置とチャック解
除位置との間に変位させるために、回転部101の駆動部
６側の端部には、係合板114が取り付けられており、該
係合板114はプル部材115が設けられている。このプル部
材115はシリンダ116により第21図の矢印方向に引っ張る
ことができるようになっており、これによって回転部10
1が図中の右方に変位して、揺動軸103が球面部104を中
心として揺動して、ディスクＤの内周面から離間させる
ことができるようになっている。

このように、ディスクＤをスピンドル100のチャック
部材102によってチャックさせた状態で、回転部101を回
転駆動させて、該ディスクＤを回転駆動するが、このと
きにおいてこのディスクＤに付着する水滴を飛散させな
いようにするために、乾燥ブース117が用いられる。こ
の乾燥ブース117も、洗浄部3aにおけるブース81や、す
すぎ部3bにおけるブース81′と同様に、シリンダ118に
よりスピンドル100のチャック部材102にディスクＤを移
載することを可能ならしめる位置（第21図に実線で示し
た位置）と、同図に仮想線で示したように、スピンドル
100に支持されて回転する際に、ディスクＤを覆う位置
とに変位可能となっている。また、この乾燥ブース117
に対向するように固定壁部118が設けられており、乾燥
ブース117は、ディスクＤを覆う位置においては、該固
定壁部118に当接せしめられるようになっている。ま
た、乾燥ブース117の上壁及び左右の側壁はそれぞれ所
定の角度傾斜しており、このためにディスクＤを高速回
転させたときに、該ディスクＤから飛散する水滴はこの
乾燥ブース117の上壁または左右いずれかの側壁に衝突
して、これら壁部の傾斜に沿ってディスクＤの配設位置
からずれた方向に向けて跳ね返ることになり、この結
果、これらの壁部に跳ね返った水滴は、ディスクＤに付
着することはない。

なお、前述した高速スピン乾燥の開始時に、ディスク
Ｄを加温するために、温純水を該ディスクＤに向けて噴
射する温純水供給ノズル119が乾燥部3c内に設けられて
おり、スピンドル100によるディスクＤの回転が定常状
態となるまでの間は、回転するディスクＤに温純水を吹
き付けることによって、それを加温することによって、
より乾燥効率を向上させ、該ディスクＤが定常回転が行
われるようになると、温純水の供給が停止されるように
なっている。

前述のようにして高速スピン乾燥が完了すると、ディ
スクＤはピッチ送り手段21によって乾燥部3cから取り出
されて、アンローダ部４に移行せしめられる。このアン
ローダ部４においては、乾燥部3cから移行せしめられる
ディスクＤの内周をチャックするアンローダ用チャック
手段120が設けられている。このアンローダ用チャック
手段120は、第22図及び第23図に示したように、シリン
ダ等の昇降駆動手段によって昇降するアーム121に垂設
したチャック取付体122に装着した上下一対のチャック
部片123a,123bを有し、該各チャック部片123a,123bはチ
ャック取付体122に設けたアクチュエータ124によって相
互に近接・離間する方向に変位可能となっている。従っ
て、このアクチュエータ124を作動させて、チャック部
片123aとチャック部片123bとを近接させると、ディスク
Ｄの内周から離間するチャック解除位置となり、またア
クチュエータ124によって、チャック部片123a,123bを相
互に離間する方向、即ちチャック部片123aを上方に、チ
ャック部片123bを下方に変位させると、該各チャック部
片123a,123bがディスクＤの内周に当接して、それをチ
ャックすることができる構成となっている。

そして、アーム121にはロータリアクチュエータ124が
取り付けられており、該ロータリアクチュエータ124の
出力軸125は軸受部材126を介して下方に延在せしめられ
て、該出力軸125にチャック取付体123が取り付けられて
いる。従って、このロータリアクチュエータ124を作動
させることにより、チャック部片123a,123bによってチ
ャックされたディスクＤを反転させることができるよう
になっている。

そこで、乾燥部3cにおいて、高速スピン乾燥されたデ
ィスクＤがピッチ送り手段21の移載用チャック手段23d
によってアンローダ部４に送り込まれるときには、アン
ローダ用チャック手段120を、そのチャック取付体122を
一側方向に向けた状態で上昇位置に保持しておく。そこ
で、移載用チャック手段23dがこのアンローダ部４に送
り込まれると、まずアンローダ用チャック手段120のチ
ャック部片123a,123bを作動させることによってディス
クＤをチャックし、然る後に移載用チャック手段23dに
よるチャックを解除して、ピッチ送り手段21を待機位置
に変位させる。この状態で、ロータリアクチュエータ12
4を作動させて、その出力軸125を180゜回転させる。こ
れによってチャック部片123a,123b間にチャックされた
ディスクＤは反転する。そして、アンローダ用チャック
手段120を下降させて、このアンローダ部４におけるコ
ンベア126上に設置したマガジンＭに洗浄作業完了後の
ディスックＤを該マガジンＭに収納させることができ
る。そして、このマガジンＭ内にディスクＤが所定量収
納されると、ディスク搬出部８からこのマガジンＭを取
り出すことができる。

ここで、ローダ部２及びアンローダ部４には、それぞ
れマガジン搬送用のコンベア10,126が設けられており、
ディスク搬入部７からは洗浄すべきディスクＤを収納し
たマガジンＭがコンベア10に設置されて、このコンベア
10によってピッチ送りされる間にディスクＤが１枚ずつ
取り出されて洗浄部3a,すすぎ部3b,乾燥部3cからなる作
業部３に送り込まれて、このディスクＤの洗浄が行わ
れ、この洗浄作業が完了したディスクＤはアンローダ部
４に設置したマガジンＭをコンベア126によってピッチ
送りする間に順次このマガジンＭ内に収納されて、ディ
スク搬出部８から搬出することができるようになる。

そして、ローダ部２へのディスクＭを収納したマガジ
ンＭの供給及びアンローダ部４から洗浄作業の完了した
ディスクＤを収納したマガジンＭの排出の各作業の頻度
を少なくするためには、ローダ部２及びアンローダ部４
に設置されるマガジン搬送用コンベアを第24図に示した
ように構成すれば良い。即ち、同図に130,131で示した
ように、２列のコンベアと、コンベア130からコンベア1
31へマガジンＭを移行させるためのマガジン移行部材13
2を、またコンベア131からコンベア130にマガジンＭを
移行させるためのマガジン移行部材133を配設する。そ
して、ディスクの受け渡し位置Ｐを一方のコンベア130
の中間位置に設けると共に、他方のコンベア131の端部
にはストッパ134を設ける。而して、ローダ部２におい
ては、ディスクＤを払い出した空のマガジンＭが、また
アンローダ部４においては、洗浄作業完了後のディスク
Ｄを満載したマガジンＭがコンベア131の端部位置にま
で到達すると、ストッパ134を突出させて、このマガジ
ンＭを停止させるようにする。さらに、洗浄装置本体１
における側面部にマガジン搬入部及びマガシン搬出部を
設けるようにする。

このように構成すれば、コンベア131に位置するすべ
てのマガジンＭを一度に交換することができるようにな
るので、マガジン交換頻度を著しく少なくすることがで
き、ロード及びアンロード作業の作業性が良好となる。

［発明の効果］ 以上詳述したように、本発明によれば、ローダ部から
ディスクを１枚ずつ取り出して、洗浄部，すすぎ部及び
乾燥部に順次送り込むことによって、該ディスクに対し
て洗浄作業を行って、アンローダ部に移行させることに
よって、ディスクを自動的に洗浄処理することができ、
しかも洗浄部及びすすぎ部においては、ディスクの表裏
両面だけでなく内外周のエッジ部分の洗浄及びすすぎも
行うことができて、洗い残しがなく、さらにこれらディ
スクの表裏両面及び内外周のエッジ部分の洗浄及びすす
ぎを同時に行うようにしているので、高速洗浄が可能と
なると共に一度清浄化した部分が再汚損されるおそれが
なく、さらにディスクの表裏両面をブラシ洗浄及びすす
ぎを行うために、ディスクは両ブラシ間に配置する必要
があるが、これら表裏各面を洗浄するブラシは相互に近
接・離間する方向に変位可能な一対の取付板に取り付
け、これら両取付板を離間させた時に、各ディスク移載
手段を両ブラシ間に変位し、また両ブラシがディスクと
当接する際には、各ディスク移載手段はディスク受け取
り位置とディスク受け渡し位置との中間の位置で待機さ
せるようにしているので、ディスク移載手段はディスク
の移載方向の前後方向にのみ駆動し、またブラシを設け
た取付板は相互に近接・離間する方向に変位させるとい
う単純な動作で、各ディスク移載手段から洗浄部，すす
ぎ部及び乾燥部との間で直接ディスクの受け渡しを行う
ことができ、全体としての装置構成が著しく簡略化され
る等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はディス
ク洗浄装置の全体外観図、第２図は第１図の正面図、第
３図はコンベアに設置したマガジンの外観図、第４図は
ローダチャック手段の構成説明図、第５図は第４図の背
面図、第６図はピッチ送り手段の正面図、第７図は第６
図の側面図、第８図は移載用チャック手段の正面図、第
９図は第８図の側面図、第10図はピッチ送り手段の動作
タイミングを示す図、第11図はディスクチャック手段の
正面図、第12図は第11図のXII−XII断面図、第13図は第
11図の背面図、第14図は洗浄用及びすすぎ用ブラシの外
観図、第15図は洗浄部及びすすぎ部におけるブラシの作
動説明図、第16図は各ブラシの駆動機構の構成説明図、
第17図は他側面ブラシの駆動機構を示す構成説明図、第
18図は洗浄部の断面図、第19図は一側エッジブラシの変
位機構の構成説明図、第20図は一側エッジブラシの作動
説明図、第21図は乾燥部の構成説明図、第22図はアンロ
ーダ用チャック手段の正面図、第23図は第22図の背面
図、第24図はマガジン搬送用コンベアの他の例を示す構
成説明図である。 1:洗浄装置本体、2:ローダ部、3:作業部、3a:洗浄部、3
b:すすぎ部、3c:乾燥部、4:アンローダ部、11:ローダチ
ャック手段、12:チャック部材、21:ピッチ送り手段、23
a〜23d:移載用チャック手段、33,34:チャック部材、40:
ディスクチャック手段、41:チャック部材、50〜54,50′
〜54′：ブラシ、81,81′：ブース、67,68:洗浄液供給
部材、93,93′：給水ノズル、100:スピンドル、102:チ
ャック部材、120:アンローダ用チャック手段、123:チャ
ック部材、130,131:コンベア、132,133:マガジン移行
部。

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/84 G11B 23/50

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄すべきディスクを収納したマガジンが
   設置されるローダ部と、ディスクの表裏両面及び内外周
   面を同時に洗浄する洗浄部と、洗浄後のディスクのすす
   ぎを行うすすぎ部と、洗浄・すすぎが完了したディスク
   を高速スピン乾燥する乾燥部と、マガジンが設置され
   て、処理完了後のディスクを該マガジンに収容するアン
   ローダ部とをそれぞれ等しいピッチ間隔をもって配設
   し、またそれぞれディスクをローダ部から洗浄部に、洗
   浄部からすすぎ部に、すすぎ部から乾燥部に、また乾燥
   部からアンローダ部に移載するために４つのディスク移
   載手段を設けて、該ディスク移載手段により前記ディス
   クを順次ピッチ送りする間にその洗浄を行うための装置
   において、前記洗浄部及びすすぎ部には、それぞれ往復
   動手段により相互に近接・離間する方向に一対の取付板
   を設け、これら両取付板の一方には前記ディスクの表面
   と、他方には裏面と当接するブラシを取り付け、また内
   外周面に当接するブラシをいずれかの取付板に取り付け
   るようになし、前記ディスク移載手段は、ピッチ送り手
   段によって、前記両取付板が離間した時に、その間を通
   ってディスクの移載を行い、かつ各ブラシをディスクに
   当接させるために、両取付板が近接する時には、前記各
   ディスク移載手段をディスク受け取り位置とディスク受
   け渡し位置との中間の位置で待機させる構成としたこと
   を特徴とするディスク洗浄装置。」
2. 【請求項２】前記両取付板間には支軸を挿通させて設け
   ると共に、該支軸には前記両取付板に装着したプーリと
   相対回転不能で、軸線方向には移動可能に連結して設
   け、また前記両取付板にはそれぞれ前記各ブラシを回転
   自在に取り付けて、前記各プーリと前記各ブラシとの間
   を回転伝達手段により接続すると共に、前記支軸を回転
   駆動手段に接続する構成としたことを特徴とする請求項
   １記載のディスク洗浄装置。
3. 【請求項３】前記ピッチ送り手段は、前記各ディスク移
   載手段を駆動板に装着し、該駆動板を水平方向に変位さ
   せことにより、これら各ディスク移載手段を一体的に駆
   動するもので構成したことを特徴とする請求項２記載の
   ディスク洗浄装置。
4. 【請求項４】前記洗浄部における洗浄部材及びその駆動
   機構と、前記すすぎ部におけるすすぎ部材及びその駆動
   機構とを、前記洗浄部とすすぎ部との中間部を中心とし
   て左右対称となるように配設したことを特徴とする請求
   項１記載のディスク洗浄装置。