JPH0344880A - ディスク洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、磁気ディスク、光ディスク等のように、円環
状に形成した記録媒体からなるディスクを洗浄するため
のディスク洗浄装置に関するものである。

【従来の技術１ 例えば磁気ディスクは、アルミニウム等の金属板を円環
状に形成したディスクの表裏両面に磁気記録膜を形成し
てなるものであるか、このディスクに磁気記録膜を形成
する前にその表面を洗浄しなければならない。ここで、
ディスクの洗浄はその表面に付着する研摩粉等の異物を
除去するたけてなく、油膜等の汚れ等をも取り除いて、
完全に清浄な状態としなければならず、僅かでも異物や
汚れ等が残されていると、記録膜の形成に支障を来たす
ことになる。とりわけ、近年においては、記録密度の向
上及び情報の書き込み及び読み出しの高速化を図るため
に、磁気記録膜は薄膜化される傾向にあるが、このよう
に磁気記録膜を薄膜化すると、極めて小さな異物かディ
スクに付着していたり、また表面に極僅かでも汚れがあ
る場合であっても、情報の書き込み及び読み出しに大き
な影響を与えることになる。

このために、ディスクを完全に清浄な状態にすることは
、磁気ディスクとしての品質の向上を図る上で極めて重
要なこととなる。ここで、ディスクの洗浄方式としては
、超音波洗浄方式とブラシ洗浄方式とが従来から用いら
れている。このうち、超音波洗浄方式は異物の除去には
著しい効果を発揮するものの、ディスク表面に付着する
油膜等の汚れを除去することができないという難点かあ
る。一方、洗浄液を用いたフラジ洗浄は異物の除去だけ
でなく、表面に付着した汚れを取り除くことかできるの
で、近年においては、ディスクの洗浄方式としては、ブ
ラシ洗浄方式が用いられるのが一般的である。

このブラシ洗浄方式は、通常、洗浄工程と、すすぎ工程
及び乾燥工程から構成される。洗浄工程はブラシをディ
スクの表裏両面に押し当てて、該ブラシ及びディスクを
回転させる間に、中性洗剤等の洗浄液を供給することに
よって、ディスクの表面に付着する異物及び汚れを洗い
流すものである。すすぎ工程は純水を用いてディスクに
付着する洗浄液を洗い流すためのもので、このすすぎは
シャワ一方式またはブラッシング方式により行われるが
、すすぎの完全性を期するためには、ブラシによるすす
ぎ方式がより有利である。そして、乾燥工程は、ディス
クに付着している水滴を除去するためのもので、例えば
ディスクを高速で回転させることによる高速スピン乾燥
等が用いられる。また、前述した洗浄工程を２段階に分
け、まずディスクの外周面または内外両周面をブラシ洗
浄するエツジ洗いを行い、然る後に表裏両面を洗浄する
表面洗いを行うようにしたものも用いられている。また
、すすぎ工程も同様にエツジすすぎと表面すすぎとの２
段階に分けて行うようにしたものもある。

［発明が解決しようとする課題］ 前述したように洗浄工程、または洗浄及びすすぎの両工
程を２段階に分けて行うようにすると、ディスク全面が
洗浄処理されるのて極めて有利ではあるが、洗浄時間が
長くかかると共に洗浄装置全体の構成か大型化するとい
う欠点かあるだけでなく、エツジ洗いを行った後に表面
洗いを行っている間に異物等が内外周面に移行して、こ
の内外周面が再汚損され、また表面すすぎを行う間に洗
剤が内外周面に再付着することかある等の問題点がある
。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、簡単
な構成て、効率的かつ完全にディスクを清浄化すること
ができるようにしたディスク洗浄装置を提供することを
目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 前述の目的を達成するために、本発明は、洗浄すべきデ
ィスクを収納するマガジンが設置されるローダ部と、デ
ィスクの表裏両面及び内外周面を同時に洗浄する洗浄部
と、洗浄後のディスクの表裏両面及び内外周面を同時に
すすぎを行うすすぎ部と、洗浄・すすぎが完了したディ
スクを高速スピン乾燥するための乾燥部と、マガジンが
設置されて、処理完了後のディスクを該マガジンに収容
するアンロータ部と、ディスクをローダ部から洗浄部に
、洗浄部からすすぎ部に、すすぎ部から乾燥部に、また
乾燥部からアンローダ部に移載するためのディスク移載
手段とから構成したことをその特徴とするものである。

［作用］ 前述のように構成することによって、ディスク移載手段
を作動させて、ローダ部からディスクを１枚ずつ取り出
して洗浄部に送り込み、この洗浄部によりこのディスク
の表裏両面及び内外周面を同時に洗浄する。これによっ
て、該ディスクの表面全体か洗い残しなく完全に洗浄さ
れる。然る後に、該ディスクをすすぎ部に移載して、こ
のすすぎ部においても表裏両面及び内外周面のすすぎか
同時に行われて、洗浄液を完全に洗い流すことができる
。このようにして完全に清浄化された状態で、ディスク
は乾燥部に送り込まれ、高速スピン乾燥等の手段により
乾燥せしめられて、アンローダ部に排出される。

而して、洗浄部及びすすぎ部においては、ディスクの表
裏面と内外周面とか同時に洗浄、すすぎされることにな
るので、これらの工程か簡略化されて、装置構成か簡単
になると共に作業の高速化を図ることかできることにな
る。また、洗浄及びすすぎはディスクの表裏面及び内外
周面を同時に行われるので、−度清浄化された後に再汚
損が発生するおそれはない。

［実施例１ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第１図及び第２図にディスク洗浄装置の全体外観
を示す。図中において、１は洗浄装置本体を示し、該洗
浄装置本体１はローダ部２９作業部３及びアンローダ部
４に区画形成されると共に、下部には制御部５．後背部
には駆動部６が形成されている。作業部３は、洗浄部３
ａ、すすぎ部３ｂ及び乾燥部３Ｃに分割されている。そ
して、これら制御部５及び駆動部６は装置本体ｌの隔壁
１ａによりローダ部２９作業部３及びアンローダ部４か
ら隔離されている。

また、装置本体１の前面部には洗浄処理が行われるディ
スクＤをローダ部２に搬入するためのディスク搬入部７
と、アンローダ部４から洗浄処理の完了したディスクＤ
を搬出するためのディスク搬出部８か設けられており、
これらディスク搬入部７及びディスク搬出部８には透明
な開閉扉か設けられており、これら開閉扉を開くことに
よってディスクＤを装置内に搬入したり、また装置から
搬出することかできるようになっている。作業部３の前
面にも透明な開閉扉か設けられており、この開閉扉を介
して装置内での作業の様子を確認することかてき、かつ
ドラフル等かあったときには、この開閉扉を開くことに
より修理、復旧させることかできるようになっている。

ディスクＤは、第３図に示したように、マガジンＭに多
数縦並べにした状態で装置に搬入され、また洗浄作業の
完了したディスクＤは再びマガジンＭに再収納させて、
搬出されるようになっている。従って、ローダ部２には
洗浄作業を行うべきディスクＤを収納したマガジンＭが
、またアンローダ部４には空のマガジンＭか設置される
ようになっている。

なお、この洗浄装置においては、寸法の異なる複数種類
のディスクの洗浄処理が可能な構成となっている。そこ
で、以下の説明においては、例えば３．５インチサイズ
のディスクと５インチサイズのディスクというように、
外径寸法は相違するが、内径寸法は同一となった２種類
のディスクを洗浄処理することができるように構成した
ものを示すか、本発明の装置は、単一サイズのディスク
を洗浄する場合や、外径のみならず内径寸法も異なる種
々のディスクの洗浄処理に共用することがてきるように
構成することもできる。

ロータ部２においては、マガジンＭはコンベアｌＯ上に
設置されて、該コンベア１０によりマガジンＭをピッチ
送りする間にディスクＤが１枚ずつ取り出されるように
なっている。このために、第４図及び第５図に示したよ
うに、ローダチャック手段１１が設けられている。この
ローダチャック手段１１は、ディスクＤの内周をチャッ
クするもので、該ディスクＤの内周面に接離可能な３個
のチャック部材１２を備えている。これら各チャック部
材１２はそれぞれレバー１３に取り付けられており、該
レバー１３を軸１４を中心として回動させることによっ
て、各チャック部材１２をディスクＤの内周面に当接す
るチャック位置と、それから離間したチャック解除位置
とに変位可能な構成となっている。

このチャック部材１２の変位を可能ならしめるために、
各軸１４はギヤボックス１５内に延在せしめられて、該
ギヤボックス１５内において、従動ギヤ１６に連結され
ている。該各従動ギヤ１６は駆動ギヤ１７と噛合してお
り、該駆動ギヤ１７の軸１７ａはギヤボックス１５から
チャック部材１２とは反対方向に延在せしめられて、駆
動レバー１８に係合せしめられている。そして、この駆
動レバー１８にはシリンダ１９が取り付けられており、
該シリンダ１９を作動させることによって、駆動レバー
１８を所定角度回動させて、駆動ギヤ１７を回転して、
従動ギヤ１６を回転させることによって、レバー１３を
介して各チャック部材ＩＺをチャック位置及びチャック
解除位置に変位させることができるようになっている。

しかも、このローダチャック手段１１は、そのチャック
部材１２によりディスクＤをチャックした状態で、該デ
ィスクＤを所定の高さ位置まで持ち上げることかできる
ようになっている。このために、ローダチャック手段１
１は垂直方向に設けたガイドレール２０に沿って昇降可
能となっており、図示しないシリンダによって、ロー　
ダチャック手段１１をマガジンＭからディスクＤを取り
出すことができる下降位置と、後述するように、ディス
クＤを作業部３に受け渡す上昇位置との間に変位させる
ことができるようになっている。

このようにしてローダ部２におけるマガジンＭから取り
出されたディスクＤは、ピッチ送り手段２１によって、
作業部３における洗浄部３ａ、すすぎ部３ｂ及び乾燥部
３ｃに順次送り込まれて、洗浄、すすぎ及び乾燥の各作
業が行われた上で、アンローダ部４に排出されるように
なっている。このピッチ送り手段２１によるディスクＤ
の送りの機構を簡略化するために、ローダ部２．洗浄部
３ａ、すすぎ部３ｂ、乾燥部３ｃ及びアンローダ部４は
すべて等間隔に設けられている。そして、ピッチ送り手
段２１では、ディスクＤの外周面をチャックしてそれを
順次ピッチ送りすることができるようになっている。

ピッチ送り手段２１は、第６図及び第７図に示したよう
に構成されている。即ち、このピッチ送り手段２１は水
平往復動板体２２を右し、該水平往復板体２２にはロー
ダ部２．洗浄部３ａ、すずぎ部３ｂ、乾燥部３ｃ及びア
ンローダ部４のピッチ間隔をもって４個の移載用チャッ
ク手段２３ａ〜２３ｄが装着されている。そして、この
水平往復動板体２２は駆動板２４に取り付けられており
、該駆動板には左右一対のレバー２５．２５が連結され
ている。このレバー２５は作業部３と駆動部６との間に
設けられた隔壁１ａを貫通して駆動部６側に延在せしめ
られて、モータにより作動するインデックス機構により
水平方向への回動動作と前後方向への往復動を行わせる
ことができるようになっている。

これによって、これら各移載用チャック手段２３ａ〜２
３ｄのうち、第６図の最左端の位置にある第１の移載用
チャック手段２３ａはローダ部２と洗浄部３ａとの間を
、また第２の移載用チャック手段２３ｂは洗浄部３ａと
すすぎ部３ｂとの間を、第３の移載用チャック手段２３
ｃはすすぎ部３ｂと乾燥部３Ｃとの間を、さらに第４の
移載用チャック手段２３ｄは乾燥部３Ｃとアンローダ部
４との間をそれぞれ往復移動せしめられるようになって
いる。

ここで、ピッチ送り手段２１に装着した４個の移載用チ
ャック手段２３ａ〜２３ｄはそれぞれディスクＤの外周
をチャックして、それを移載することができるように構
成されている。これら各移載用チャック手段２３ａ〜２
３ｄはすべて同一の構成を有するもので、その具体的な
構成は第８図及び第９図に示したようになっている。

即ち、水平往復動板体２２には、長板２６が垂設されて
おり、該長板２６の左右の両側には、一対のリンク板２
７．２８がそれを平行に設けられている。そして、これ
らリンク板２７．２８１’！ｉ’ｉには、その上下の位
置において連結リンク板２９．３０が架設されており、
これら各リンク板２７．２８及び連結リンク板２９、３
０とによって平行リンク機構が構成されている。上部の
連結リンク板２９にはシリンダ３１が連結されており、
該シリンダ３１を作動させることによって、リンク板２
７．２８を相互に反対方向に平行変位させることかでき
るようになっている。そして、一方のリンク板２７には
、板体３２が固着して設けられており、該板体３２の左
右の両側には一対のチャック部材３３．３３が取り付け
られている。また、他方のリンク板２８には単一のチャ
ック部材３４か取り付けられている。この結果、連結リ
ンク板２９、３０を一側に傾けると、チャック部材３３
とチャック部材３４とが近接する方向に変位して。

ディスクＤをその間にチャックすることができるように
なっており、また連結リンク板２９．　：ｌＯをこれと
は反、対方向に傾けた場合には、チャック部材３３とチ
ャック部材３４とが離間する方向に変位することになり
、この結果、ディスクＤのチャックを解除することがで
きるようになっている。

なお、このチャック部材３３．３４はディスクＤの外径
をチャックするものであるから、大径ディスクをチャッ
クするためのチャック部材３３．３４の他、小径ディス
クをチャックするためのチャック部材３３’　、　３４
’が設けられており、大径ディスクを取り扱うときには
、小径ディスクをチャックするためのチャック部材３３
’　、　３４’は取り外されるようになっている。

従って、レバー２５を左方向に回動した位置に保持する
と、第１の移載用チャック手段２３ａはローダ部２に１
第２の移載用チャック手段２３ｂは洗浄＠３ａに、第３
の移載用チャック手段２３ｃはすすぎ部３ｂに、第４の
移載用チャック手段２３ｄは乾燥部４に位置する。そこ
で、これら各移載用チャック手段２３ａ〜２３ｄを構成
するチャック部材を作動させると、これら各部に配置さ
れているディスクＤをチャックすることができるディス
ク受け取り位置となる。

この状態から、レバー２５を第６図に矢印で示した方向
に回動させると、第１．第２．第３及び第４の移載用チ
ャック手段２３ａ乃至２３ｄはそれぞれ洗浄部３ａ、す
すぎ部３ｂ、乾燥都３ｃ及びアンローダ部４に移行し、
これら移載用チャック手段２３ａ〜２．３ｄによるディ
スクＤのチャックを解除して、各位置に配設したチャッ
ク機構にチャックさせることによって、ディスクの受け
渡しが行われるディスフ引き渡し位置となる。これによ
って、ディスクＤは順次ピッチ送りされることになる。

また、ディスクＤに対する洗浄、すすぎ及び乾燥の各作
業が行われている間は、各移載用チャック手段２３ａ〜
２３ｄが作業の邪魔とならないようにするために、ロー
ダ部２と洗浄部３ａ、洗浄部３ａとすすぎ部３ｂ、すす
ぎ部３ｂと乾燥部３ｃ、乾燥部３Ｃとアンローダ部４と
のそれぞれの間に位置せしめられる、待機位置を取るこ
とができる。

これと共に、ディスクＤをピッチ送りした状態で、ディ
スクＤの受け渡しを可能ならしめるために、し／＜　−
２５を前後動させて、各移載用チャック手段２３ａ〜２
３ｄを、後述する如く、作業部３の洗浄部３ａ及びすす
ぎ部３ｂに設けたディスクチャック手段４０及び乾燥部
３Ｃに設けたスピンドル１００のチャック部材１０２と
の間でディスクＤの受け渡しを行うことができる後退位
置と、それらとは干渉しない状態で水平移動することが
できる前進位置との間に往復移動させるようになされて
いる。

このピッチ送り手段２１の作動順序を第１Ｏ図に示す。

同図から明らかなように、ピッチ送り手段２１はまずデ
ィスク受け取り位置に保持された状態で、ディスクＤを
受け取って、前進位置に変位し、次いでディスク引き渡
し位置にまで変位して後退することによって、ディスク
Ｄの引き渡しを行う。然る後に、再び前進位置に変位す
ると共に待機位置に変位する。この状態で、作業部３の
洗浄部３ａ、すすぎ部３ｂ及び乾燥部３Ｃに配置したそ
れぞれディスクＤに対する洗浄、すすぎ及び乾燥の各作
業が行われ、これら各作業が完了すると、ディスク受け
取り位置に変位して後退して、次のディスクＤの取り出
しを行う。この動作を繰り返すことによって、ディスク
Ｄをローダ部２から洗浄部３ａに、洗浄部３ａからすす
ぎ部３ｂに、すすぎ部３ｂから乾燥部３ｃに、乾燥部３
Ｃからアンローダ部４に順次ピッチ送りされるようにな
っている。

洗浄部３ａ及びすすぎ部３ｂには、移載用チャック手段
との間にディスクＤの受け渡しを行うために、第１１図
乃至第１３図に示したディスクチャック手段４０が設け
られる。このディスクチャック手段４０は３個のチャッ
ク部材４１を有し、これら各チャック部材４１によって
ディスクＤの外周部をチャックするようになっている。

そして、該各チャック部材４１のチャック位置は、移載
用チャック手段と干渉しないようにするために、この移
載用チャック手段のチャック位置から所定量だけ位相を
変えた位置においてチャックするようにしている。また
、このディスクチャック手段４０もディスクの外径をチ
ャックするものであるから、移載用チャック手段２３ａ
〜２３ｄと同様に、大径ディスクをチャックするための
チャック部材４１と小径ディスクをチャックするための
チャック部材４１′とか設けられており、大径ディスク
をチャックするときには、チャック部材４１′を取り外
せばよい。

而して、このディスクチャック手段４０の各チャック部
材４１をチャック位置とチャック解除位置との間に変位
させるために、各チャック部材４１はレバー４２に取り
付けられている。これらレバー４２は、第１２図に示し
たように、軸受ブツシュ４３に挿通させた軸４４に取り
付けられており、該軸４４を回動させることによって、
該各レバー４２は所定角度往復回動せしめられるように
なっている。また、各軸４４の他端には駆動レバー４５
が連結されており、これら各駆動レバー４５はそれぞれ
アーム４６に連結されている。そして、第１３図から明
らかなように、各アーム４６の他端は回転円板４７に取
り付けられており、該回転円板４７にはレバー４９を介
してシリンダ４８が連結されている。

従って、シリンダ４８を作動させて、回転円板４７を第
１３図中の矢印六方向に回転させると、駆動レバー４５
は同図の矢印Ｂ方向に回動して軸４４を同じ方向に回動
する。これによって、レバー４２は第１１図の矢印Ｃ方
向に回動して、チャック部材４１は外向きに変位して、
ディスクＤから離間するチャック解除位置となる。また
、シリンダ４８によって、回転円板４７を前述と反対方
向に回転させると、内向きに変位してディスクＤをチャ
ックすることがてきるようになる。

このように、洗浄部３ａ及びすすぎ部３ｂにそれぞれ設
けたディスクチャック手段４０によってディスクＤをチ
ャックさせた状態で、それぞれディスクＤに対して洗浄
及びすすぎを行うことができるようになっている。しか
も、この洗浄及びすすぎはディスクＤの表裏両面だけで
なく、内外周のエツジ部分も含めたディスクＤの全表面
を同時に洗浄、すすぎを行うことかできるようになされ
ている。

このディスクＤの洗浄及びすすぎはブラッシングにより
行うもので、このために、第１４図に示したように、表
裏各面に当接する面ブラシ５０．５１と、内周エツジに
当接するエツジブラシ５２及び外周エツジに当接するエ
ツジブラシ５３．５４とから構成され、これら各ブラシ
５０〜５４はスポンジ等の柔軟性を有するものが用いら
れ、また洗浄部３ａ及びすすぎ部３ｂには同じ部材がこ
れら洗浄部３ａとすすぎ部３ｂとの間の境界線Ｌ（第１
６図参照）を中心として左右対称に配設されるようにな
っている。

ところで、前述したブラシ５０〜５４を用いてディスク
Ｄの洗浄及びすすぎを行うに当っては、これら各ブラシ
５０〜５４を回転させると共に、ディスクＤも回転させ
なければならない。ここで、各ブラシ５０〜５４は回転
駆動せしめられるものの、ディスクＤは直接回転駆動さ
れるようにはなっておらず、ブラシの回転により回転力
が与えられて、それに追従回転するようになっている。

即ち、第１５図に示したように、ディスクＤの表裏両面
を挾持する面ブラシ５０．５１は該ディスクＤの対して
扇形に当接しており、これら各面ブラシ５０、５１を矢
印Ｘ方向に回転させることによって、ディスクＤはこれ
追従して矢印Ｙ方向に回転せしめられる。また、外周エ
ツジに当接する一方のエツジブラシ５３も面ブラシ５０
．５１と同じ方向に回転駆動されるようになっており、
これによって、ディスク、Ｄはさらに円滑に回転駆動さ
れることになる。而して、このディスクＤの回転を可能
ならしめるために、該ディスクＤをチャックするチャッ
ク部材４１は回転自在となっている。

然るに、ディスクＤに対して一側方向（即ち第１５図に
おける矢印Ｙ方向）のみに回転力を与えるだけでは、ブ
ラッシング効果か十分ではない。そこで、内周エツジに
当接するエツジブラシ５２はＸ方向に回転させ、また他
方の外周エツジに当接するエツジブラシ５４は、エツジ
ブラシ５３とは反対方向のＺ方向に回転駆動させる。ブ
ラシ５２．５４をこのように回転させることによって、
ディスクＤのＹ方向への回転に抗する方向に回転力が作
用し、この結果、ディスクＤの表面に対するブラッシン
グ効果がより効率的に発揮されることになる。なお、デ
ィスクＤの回転に対する抵抗があまり大きくなって、そ
の円滑な回転が損なわれないようにするために、ブラシ
５３の押し付は力をブラシ５４のそれより大きくしてい
る。

各ブラシ５０〜５４に前述した動作で駆動するために、
第１６図及び第１７図に示した回転伝達機構が用いられ
る。ここで、洗浄部３ａにおけるブラシ駆動機構とすす
ぎ部３ｂにおけるブラシ駆動機構とは洗浄部３ａとすす
ぎ部３ｂと境界線りを中心として対称な状態にして設け
られており、それぞれ支軸６０゜６０′が設けられてい
る。ここで、支軸６０．６０’のうち、一方の支軸６０
（即ち、本実施例においては、洗浄部３ａ側に配置した
支軸）は図示しないモータによって回転駆動せしめられ
るようになった駆動軸で、他方の支＠に６０’　　（即
ち、すすぎ部３ｂ側の支軸）は非回転状態に保持されて
いる。このために、支軸５０．６０’にそれぞれ取り付
けたプーリ６０ａ　、　６０ａ　’の間には伝達ベルト
６１が巻回して設けられている。

而して、第１６図に示されているように、洗浄部３ａ側
の各ブラシ５０〜５４の駆動ユニットのうち、ブラシ５
０．５２〜５４は取付板６２に装着されている。そして
これらかうブラシ５０．５２〜５４を回転駆動するため
に、支軸６０に取り付けたプーリ６０ｂには第１の伝達
ベルト６３が巻回して設けられており、この第１の伝達
ベルト６３は、アイドラ６４．支点軸６５に取り付けた
プーリ６５ａ、アイドラ６６、ディスクＤの表面に当接
するブラシ５０を回転駆動する軸６７に取り付けたプー
リ６７ａ、内周エツジに当接するブラシ５２を回転駆動
する軸６８に取り付けたプーリ６８ａ、外周エツジに当
接するブラシ５４を回転駆動する軸７０に取り付けたプ
ーリ７０ａ及びアイドラ７１と順次係合している。また
、支点軸６５に取り付けられて、プーリ６５ａと共に回
転するプーリ６５ｂとディスクＤの外周エツジに当接す
るブラシ５１を回転駆動するための軸７２に設けたプー
リ７２ａとの間には第２の伝達ベルト７３が巻回して設
けられている。

一方、ディスクＤの他側面に当接するブラシ５１は、第
１７図に示したように、取付板６２に対してディスクＤ
を挟んだ反対側に位置する取付板７４に装着した軸７５
に取り付けられている。そして、この軸７５には、プー
リ７５ａが装着されており、該プーリ７５ａと支軸６０
に設けたプーリ６０ｃとの間には第３の伝達ベルト７６
が巻回されている。また、支軸６０にはプーリ６０ｄが
装着されており、該プーリ６０ｄとすすぎ部３ｂ側の支
軸６０′に設けたプーリ６０ｄ′との間には、伝達ベル
ト６１と同様の伝達ベルト６１ａが巻回して設けられて
いる。

従って、支軸６０を第１６図及び第１７図に矢印で示し
た方向に回転させることによって、この支軸６０により
駆動される各部はそれぞれ矢印方向に回転することにな
り、これによってブラシ５０〜５４をそれぞれ前述した
方向に回転させることができるようになっている。

また、他側、即ちすすぎ部３ｂ側の駆動ユニットは前述
した洗浄部３ａ側の駆動ユニットと勝手違いの対称な構
造となっており、従って、このすすぎ部３ｂ側のブラシ
及び駆動ユニットを構成する各部材等については、洗浄
部３ａ側と同一の符号を用いて、各符号には「′」を付
して、その説明は省略するものとし、洗浄部３ａの機構
と異なる場合には、その都度説明する。

ディスクＤは洗浄部３ａ及びすすぎ部３ｂにおいて、そ
の表裏両面と、内外周のエツジ部分との全表面を洗浄乃
至すすぎが行われるが、このディスクＤのこれら洗浄部
３ａ及びすすぎ部３ｂへの搬入及びそれらからの搬出を
可能ならしめるために、ブラシ５０．５２〜５４を支持
する取付板６１．７４はディスクチャック手段４０によ
り支持されたディスクＤに対して近接・離間する方向に
往復変位可能となっている。このために、第１８図に示
したように、取付板６１．７４はそれぞれシリンダ７７
、７８に連結されており、このシリンダ７７、７８を作
動させることによって、各ブラシ５０〜５４をディスク
チャック手段４０にチャックされたディスクＤから離間
させた待機位置と、この位置から相互に離間する方向に
変位して、このディスクチャック手段４０にディスクＤ
を装着することができる作動位置に変位させるようにし
ている。

なお、支軸６０は駆動軸であるので、スプライン軸とな
っており、プーリ６０ａ　、　６０ｂ　、　６０ｃはこ
の支軸６０とスプライン結合されている。しかしながら
、すすぎ部３ｂ側の支軸６０′は支軸６０により回転駆
動される従動軸である関係からスプラインは設けられて
はいない。従って、洗浄部３ａ側のプーリ６０ａと６０
ｂ、６０ｃと６０ｄとは連結されていても良く、またそ
れらは別個に設けてそれぞれ支軸６０に連結するように
してもよいが、すすぎ部３ｂ側の支軸６０′に設けたプ
ーリ６０ａ′と６０ｂ’、及びプーリ６０ｃ′と６０ｄ
′とは一体的に回転することになる。

また、エツジブラシ５３はディスクＤの外周に対して深
く入り込むように当接するので、該ディスクＤをディス
クチャック手段４０に装着する際に、これを逃がす必要
がある。このために、第１９図に示したように、該エツ
ジブラシ５３を支持する軸７５は揺動板７９に揺動可能
に取り付けられて、該揺動板７９は支点軸６５を中心と
して揺動可能となっており、シリンダ８０によってディ
スクＤの外周エツジに当接する状態と、該ディスクＤか
ら離間する状態との間に往復変位させることができるよ
うになっている。しかも、このエツジブラシ５３は、第
２０図に示したように、ディスクＤに対して角度θ傾い
た状態となっており、この結果、該エツジブラシ５３は
、その回転中においては、幅Ｂの範囲でディスクＤの外
周エツジに当接することになる。

これによって、ディスクＤの外周における面取りを施し
たチャンファ部分もブラシシンクすることができるよう
になる。

ここで、洗浄を行うに当っては、中性洗剤等の洗浄液が
用いられ、またすすぎを行うに際しては、純水が用いら
れる。そして、これら洗浄液及び純水が周囲に飛散しな
いようにするために、ブース８１．８１’が洗浄部３ａ
及びすすぎ部３ｂ内に設置されており、該各ブース８１
．８１’はシリンダ８２、８２’によりディスクチャッ
ク手段４０にチャックされたディスクＤを覆う位置と、
隔壁１ａに近接する方向に変位して、ピッチ送り手段２
１における移載用チャック手段２３ａ、　２３ｂ　　（
ディスクＤの搬入時）またはチャック手段２３ｂ、　２
３ｃ　　（ディスクＤの搬出時）とディスクＤの受け渡
しを可能ならしめるようにしている。

また、洗浄部３ａにおいて、ディスクＤに洗浄液を供給
するために、第１８図から明らかなように、面ブラシ５
０．５］をそれぞれ支持する軸６７、７５には、・その
軸線方向に貫通孔８３．８４が穿設されて、両端開放の
中空軸となっており、またこれら面ブラシ５０．５１を
支持する支持板５０ａ、　、　５１ａの中央部には透孔
８５．８６が形成されている。そして、軸６７、７５の
他端には洗浄液供給部材８７．８８が取り付けられてい
る。これら洗浄液供給部材８７．８８はそれぞれシール
８９．９０を介して軸６７、７５に連結されるハウジン
グ８７ａ　、　８８ａを有し、該ハウジング８７ａ　、
　８８ａの内部は軸６７、７５の貫通孔８３．８４に通
じる液室となっている。そして、これら洗浄液供給部材
８７．８８にはそれぞれ洗浄液供給チューブが接続され
ている。これによって、軸６７、７５から面ブラシ５０
．５１を介してディスクＤに洗浄液か供給されるように
なっている。なお、エツジブラシ５２〜５４には格別洗
浄液か供給されるようにはなってはいないが、これら面
ブラシと同様に洗浄液を供給することもできる。

一方、すすぎ部３ｂにおいては、ブース８１’の天井壁
から垂設した複数の給水ノズル９３′を介してすすぎ用
の純水を供給することができるようになっており、ブラ
シ５０′〜５４′か作動している間はこの給水ノズル９
３′からディスクＤに向けてすすぎ水の供給することに
よりディスクＤに付着す洗浄液が洗い流される。また、
洗浄部３ａのブース８１の天井壁にも給水ノズル９３が
垂設されており、これによって、洗浄が終了した後に、
ブラシ５０〜５４をディスクＤから離間させた状態で、
この給水ノズル９３から純水のシャワーを供給すること
により、洗浄液を洗い流すようにしており、これによっ
てすすぎ部３ｂに洗浄液が移行するのを可及的に少なく
している。

従って、ピッチ送り手段における移載用チャック手段２
３ａ及び２３ｂによって前後２枚のディスクＤがそれぞ
れ洗浄部３ａ、すすぎ部３ｂに搬入されて、これら移載
用チャック手段２３ａ　、　２３ｂからディスクＤがそ
れぞれ洗浄部３ａ、すすぎ部３ｂに配設したディスクチ
ャック手段４０に装着される。そして、これら移載用チ
ャック手段２３ａ　、　２３ｂがそれぞれ洗浄部３ａ、
すすぎ部３ｂから離間すると、洗浄用のブラシ５０〜５
４及びすすぎ用のブラシ５０′〜５４′がディスクＤに
当接し、これら各ブラシ５０〜５４、５０’〜５４′を
回転させることによってディスクＤを回転駆動し、この
間に、洗浄部３ａにおいては面ブラシ５０．５１から洗
浄液を供給し、またすすぎ部３ｂにおいては給水ノズル
９３′を介して純水を供給することによって、ディスク
Ｄに対する洗浄及びすすぎが行われる。ここで、これら
洗浄及びすすぎはディスクＤの表裏の両面だけでなく、
内外周のエツジ部分も同時に洗浄乃至すすぎを行うこと
ができるようになり、高速で、効率的な洗浄、すすぎが
行われ、−度清浄化したディスクＤが再汚損されるおそ
れはない。

そして、これら洗浄部３ａ、すすぎ部３ｂに配置したデ
ィスクＤに対する洗浄及びすすぎ作業が完了すると、ピ
ッチ送り手段２１を構成する移載用チャック手段２３ｂ
　、　２３ｃによって、洗浄部３ａのディスクＤはすす
ぎ部３ｂに、すすぎ部３ｂのディスクＤは乾燥部３Ｃに
移行せしめられる。そして、この移行に先立って洗浄部
３ａのブース８１に設けた給水ノズル９３から純水のシ
ャワーをディスクＤに供給することによて、このディス
クＤに付着している洗浄液をあらかた洗い落すことがで
きるようになり、洗浄液が洗浄部３ａからすすぎ部３ｂ
への持ち込みを可及的に少なくすることができるように
なっている。

ディスクＤは、前述のようにしてローダ部２から洗浄部
３ａ、すすぎ部３ｂを経た後に、ピッチ送り手段２１に
おける移載用チャック手段２３ｃによって乾燥部３Ｃに
搬送される。搬送部３Ｃには、第２１図に示したような
スピンドル１００が設けられており、該スピンドル１０
０によってディスクＤを高速回転させることによって高
速スピン乾燥されるようになっている。

このように、ディスクＤを回転させるために、スピンド
ル１００は、回転部１０１を有し、この回転部１０１の
先端にディスクＤの内周をチャ・ツクする３個のチャッ
ク部材１０２が装着されている。そして、これらチャッ
ク部材１０２をディスクＤの内周面に接離させるために
、該各チャック部材１０２を取り付けた軸１０３の途中
位置に球面部１０４を設け、該球面部を回転部１０１の
先端部に設けた端板１０５に設けた球面部は部１０６に
受承されている。

また、軸１０３の他端には、カムフォロワ１０７が取り
付けられており、該カムフォロワ１０７は回転部１０１
のカムブロック１０８におけるカム部１０９内に転勤自
在に挿嵌されている。従って、カムフォロワ１０７かカ
ムフォロワ１０８におけるカム部１０９の内奥部に位置
するときには、軸１０３はほぼ水平状態を保って、ディ
スクＤをチャックするチャック位置となり、またこの状
態からカムブロック１０８が第２１図の矢印方向に変位
したときには、カムフォロワ１０８がカム部１０９に沿
って転動して、チャック部材１０２はディスクＤの内周
部から離間したチャック解除位置となる。

そして、回転部１０１を回転駆動するために、該回転部
１０１は隔壁１ａを貫通して駆動部６側に延びるブツシ
ュ１１０内に挿通されている。そして、この回転部１０
１に設けたプーリ１０１ａには、伝達ベルト１１１が巻
回して設けられており、該伝達ベルト１１１はモータ１
１２に取り付けた駆動プーリ１１３に巻回されている。

従って、このモータ１１２を作動させることによって、
スピンドル１００の回転部１０１を回転駆動することか
できるようになっている。

また、チャック部材１０２をチャック位置とチヤり解除
位置との間に変位させるために、回転部１０１の駆動部
６側の端部には、係合板１１４が取り付けられており、
該係合板１１４はプル部材１１５が設けられている。こ
のプル部材１１５はシリンダ１１６により第２１図の矢
印方向に引っ張ることができるようになっており、これ
によって回転部１０１が図中の右方に変位して、揺動軸
（０３が球面部１０４を中心として揺動して、ディスク
Ｄの内周面から離間させることができるようになってい
る。

このように、ディスクＤをスピンドル１０口のチャック
部材１０２によってチャックさせた状態で、回転部１０
１を回転駆動させて、該ディスクＤを回転駆動するが、
このときにおいてこのディスクＤに付着する水滴を飛散
させないようにするために、乾燥ブース１１７が用いら
れる。この乾燥ツース１１７も、洗浄部３ａにおけるブ
ース８１や、すすぎ部３ｂにおけるブース８１′と同様
に、シリンダ１１８によりスピンドル１００のチャック
部材１０２にディスクＤを移載することを可能ならしめ
る位置（第２１図に実線で示した位置）と、同図に仮想
線で示したように、スピンドル１００に支持されて回転
する際に、ディスクＤを覆う位置とに変位可能となって
いる。また、この乾燥ブース１１７に対向するように固
定壁部１１８が設けられており、乾燥ブース１１７は、
ディスクＤを覆う位置においては、該固定壁部１１８に
当接せしめられるようになっている。また、乾燥ブース
１１７の上壁及び左右の側壁はそれぞれ所定の角度傾斜
しており、このためにディスクＤを高速回転させたとき
に、該ディスクＤから飛散する水滴はこの乾燥ブース１
１７の上壁または左右いずれかの側壁に衝突して、これ
ら壁部の傾斜に沿ってディスクＤの配設位置からずれた
方向に向けて跳ね返ることになり、この結果、これら壁
部に跳ね返った水滴は、ディスクＤに付着することはな
い。

なお、前述した高速スピン乾燥の開始時に、ディスクＤ
を加温するために、温純水を該ディスクＤに向けて噴射
する温純水供給ノズル１１９が乾燥部３ｃ内に設けられ
ており、スピンドル１００によるディスクＤの回転が定
常状態となるまでの間は１回転するディスクＤに温純水
を吹き付けることによって、それを加温することによっ
て、より乾燥効率を向上させ、該ディスクＤか定常回転
が行われるようになると、温純水の供給か停止されるよ
うになっている。

前述のようにして高速スピン乾燥が完了すると、ディス
クＤはピッチ送り手段２１によって乾燥部３Ｃから取り
出されて、アンローダ部４に移行せしめられる。このア
ンローダ部４においては、乾燥部３ｃから移行せしめら
れるディスクＤの内周をチャックするアンローダ用チャ
ック手段１２０か設けられている。このアンローダ用チ
ャック手段１２０は、第２２図及び第２３図に示したよ
うに、シリンダ等の昇降駆動手段によって昇降するアー
ム１２１に垂設したチャック取付体１２２に装着した上
下一対のチャック部片１２３ａ、　１２３ｂを有し、該
各チャック部片１２３ａ、　１２３ｂはチャック取付体
１２２に設けたアクチュエータ１２４によって相互に近
接・離間する方向に変位可能となっている。従って、こ
のアクチュエータ１２４を作動させて、チャック部片１
２３ａとチャック部片１２３ｂとを近接させると、ディ
スクＤの内周から離間するチャック解除位置となり、ま
たアクチュエータ１２４によって、チャック部片１２３
ａ、　１２３ｂを相互に離間する方向、即ちチャック部
片１２３ａを上方に、チャック部片１２３ｂを下方に変
位させると、該各チャック部片１２３ａ、　１２：ｌｂ
がディスクＤの内周Ｃ当接して、それをチャックするこ
とができる構成となっている。

そして、アーム１２１にはロータリアクチュエータ１２
４が取り付けられており、該ロータリアクチュエータ１
２４の出力軸１２５は軸受部材１２６を介して下方に延
在せしめられて、該出力軸１２５にチャック取付体１２
３が取り付けられている。従って、このロークリアクチ
ュエータ１２４を作動させることにより、チャック部片
１２３ａ、１２：ｌｂによってチャックされたディスク
Ｄを反転させることができるようになっている。

そこで、乾燥部３ｃにおいて、高速スピン乾燥されたデ
ィスクＤがピッチ送り手段２１の移載用チャック手段２
３ｄによってアンロータ部４に送り込まれるときには、
アンローダ用チャック手段１２０を、そのチャック取付
体１２２を一側方向に向けた状態で上昇位置に保持して
おく。そこで、移載用チャック手段２３ｄがこのアンロ
ーダ部４に送り込まれると、まずアンロータ用チャック
手段１２０のチャック部片１２３ａ、　１２３ｂを作動
させることによってディスクＤをチャックし、然る後に
移載用チャック手段２３ｄによるチャックを解除して、
ピッチ送り手段２１を待機位置に変位させる。この状態
で、ロークリアクチュエータ１２４を作動させて、その
出力軸１２５を１８０°回転させる。これによってチャ
ック部片１２３ａ、　１２３ｂ間にチャックされたディ
スクＤは反転する。そして、アンローダ用チャック手段
１２０を下降させて、このアンローダ部４におけるコン
ベア１２６上に設置したマガジンＭに洗浄作業完了後の
ディスツクＤを該マガジンＭに収納させることができる
。そして、このマガジンＭ内にディスクＤが所定量収納
されると、ディスク搬出部８からこのマガジンＭを取り
出すことができる。

ここで、ローダ部２及びアンローダ部４には、それぞれ
マガジン搬送用のコンベア１０．１２６が設けられてお
り、ディスク搬入部７からは洗浄すべきディスクＤを収
納したマガジンＭかコンベア１０に設置されて、このコ
ンベア１０によってピッチ送りされる間にディスクＤが
１枚ずつ取り出されて洗浄部３ａ、すすぎ部３ｂ、乾燥
部３Ｃからなる作業部３に送り込まれて、このディスク
Ｄの洗浄が行われ、この洗浄作業が完了したディスクＤ
はアンローダ部４に設置したマガジンＭをコンベア１２
６によってピッチ送りする間に順次このマガジンＭ内に
収納されて、ディスク搬出部８から搬出することができ
るようになる。

そして、ローダ部２へのディスクＭを収納したマガジン
Ｍの供給及びアンローダ部４から洗浄作業の完了したデ
ィスクＤを収納したマガジンＭの排出の各作業の頻度を
少なくするためには、ローダ部２及びアンローダ部４に
設置されるマガジン搬送用コンベアを第２４図に示した
ように構成すれば良い。即ち、同図に１３０　、１３１
で示したように、２列のコンベアと、コンベア１３０か
らコンベア１３１ヘマガジンＭを移行させるためのマガ
ジン移行部材１３２を、またコンベア１３１からコンベ
ア１３０にマガジンＭを移行させるためのマガジン移行
部材１３３を配設する。そして、ディスクの受け渡し位
置Ｐを一方のコンベア１３０の中間位置に設けると共に
、他方のコンベア１３１の端部にはストッパ１３４を設
ける。而して、ローダ部２においては、ディスクＤを払
い出した空のマガジンＭが、またアンローダ部４におい
ては、洗浄作業完了後のディスクＤを満載したマガジン
Ｍがコンベア１３１の端部位置にまで到達すると、スト
ッパ１３４を突出させて、このマガジンＭを停止させる
ようにする。さらに、洗浄装置本体１における側面部に
マガジン搬入部及びマガジン搬出部を設けるようにする
。

このように構成すれば、コンベア１３１に位置するすべ
てのマガジンＭを一度に交換することができるようにな
るので、マガジン交換頻度を著しく少なくすることがで
き、ロード及びアンロード作業の作業性が良好となる。

【発明の効果１ 以上詳述したように、本発明によれば、ローダ部からデ
ィスクを１枚ずつ取り出して、洗浄部。

すすぎ部及び乾燥部に順次送り込むことによって、該デ
ィスクに対して洗浄作業を行って、アンローダ部に移行
させることによって、ディスクを自動的に洗浄処理する
ことができ、しかも洗浄部及びすすぎ部においては、デ
ィスクの表裏両面だけでなく内外周のエツジ部分の洗浄
及びすすぎも行うことができて、洗い残しがなく、さら
にこれらディスクの表裏両面及び内外周のエツジ部分の
洗浄及びすすぎを同時に行うようにしているので、高速
洗浄か可能となると共に一度清浄化した部分が再汚損さ
れるおそれがない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はディス
ク洗浄装置の全体外観図、第２図は第１図の正面図、第
３図はコンベアに設置したマガジンの外観図、第４図は
ローダチャック手段の構成説明図、第５図は第４図の背
面図、第６図はピッチ送り手段の正面図、第７図は第６
図の側面図、第８図は移載用チャック手段の正面図、第
９図は第８図の側面図、第１０図はピッチ送り手段の動
作タイミングを示す図、第１１図はディスクチャック手
段の正面図、第１２図は第１１図のＸ［［−Ｘ［［断面
図、第１３図は第１１図の背面図、第１４図は洗浄用及
びすすぎ用ブラシの外観図、第１５図は洗浄部及びすす
ぎ部におけるブラシの作動説明図、第１６図は各ブラシ
の駆動機構の構成説明図、第１７図は他側面ブラシの駆
動機構を示す構成説明図、第１８図は洗浄部の断面図、
第１９図はｍ個エッジブラシの変位機構の構成説明図、
第２０図はｍ個エッジブラシの作動説明図、第２１図は
乾燥部の構成説明図、第２２図はアンローダ用チャック
手段の正面図、第２３図は第２２図の背面図、第２４図
はマガジン搬送用コンベアの他の例を示す構成説明図で
ある。 １：洗浄装置本体、２：ローダ部、３：作業部、３ａ：
洗浄部、３ｂ＝すすぎ部、３ｃ：乾燥部、４：アンロー
ダ部、１１：ローダチャック手段、１２：チャック部材
、２１：ピッチ送り手段、２３ａ〜２３ｄ：移載用チャ
ック手段、３３．３４：チャック部材、４０：ディスク
チャック手段、４１：チャック部材、５０〜５４゜５０
′〜５４′：ブラシ、８１．８１’　　：ブース、６７
゜６８：洗浄液供給部材、９３．９３’　　：給水ノズ
ル、１００ニスピンドル、１０２：チャック部材、１２
０：アンロータ用チャク手段、１２３：チャック部材、
１３０゜１３１＝コンベア、１３２，１３３：マガジン
移行部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）洗浄すべきディスクを収納したマガジンが設置さ
   れるローダ部と、ディスクの表裏両面及び内外周面を同
   時に洗浄する洗浄部と、洗浄後のディスクの表裏両面及
   び内外周面を同時にすすぎを行うすすぎ部と、洗浄・す
   すぎが完了したディスクを高速スピン乾燥するための乾
   燥部と、マガジンが設置されて、処理完了後のディスク
   を該マガジンに収容するアンローダ部と、ディスクをロ
   ーダ部から洗浄部に、洗浄部からすすぎ部に、すすぎ部
   から乾燥部に、また乾燥部からアンローダ部に移載する
   ためのディスク移載手段とから構成したことを特徴とす
   るディスク洗浄装置。
2. （２）前記ローダ部、洗浄部、すすぎ部、乾燥部及びア
   ンローダ部を等しいピッチ間隔をもって配設し、４個の
   ディスク移載手段を前記各部間のピッチ間隔に等しい間
   隔を持って配設し、これら各ディスク移載手段を前工程
   部におけるディスク受け取り位置と、後続工程部におけ
   るディスク受け渡し位置と、該前工程部と後続工程部と
   の中間の待機位置との間に変位させる構成としたことを
   特徴とする請求項（１）のディスク洗浄装置。
3. （３）前記各ディスク移載手段を駆動板に装着し、該駆
   動板を水平方向及び前後方向に変位させることにより、
   前記各ディスク移載手段を一体的に駆動する構成とした
   ことを特徴とする請求項（２）のディスク洗浄装置。
4. （４）前記洗浄部における洗浄部材及びその駆動機構と
   、前記すすぎ部におけるすすぎ部材及びその駆動機構と
   を、前記洗浄部とすすぎ部との間の中間部を中心として
   左右対称となるように配設したことを特徴とする請求項
   （１）のディスク洗浄装置。