NL8200753A

NL8200753A - Methode en inrichting voor het aanbrengen van een coating op een substraat of tape.

Info

Publication number: NL8200753A
Application number: NL8200753A
Authority: NL
Original assignee: Integrated Automation
Priority date: 1982-02-24
Filing date: 1982-02-24
Publication date: 1983-09-16
Also published as: EP0101704A1; US4560590A; WO1983002910A1; JPS59500459A

Description

i - 1 -

Methode en inrichting voor het aanbrengen van een coating op een substraat of tape.

Oe uitvinding heeft betrekking op een methode en inrichting voor het aanbrengen van een coating op een oppervlak.

5 Daarbij vindt de gebruikmaking van een submicron-gefilterde gas vormige omgeving voor het oppervlak tijdens het opbrengen erop van deze coating plaats.

De aldus van een coating voorziene substraat of tape kunnen bijvoorbeeld worden toegepast in de micro-electronica.

10 In de Nederlandse Octrooi-aanvrage no. 8 103 979 van de aanvrager is een processing systeem aangegeven, waarbij substraten door een doortocht van een cabine worden gevoerd en met behulp van media een "zwevende'1 processing van deze substraten wordt bewerkstelligd.

Daarbij vindt in een coating station het opbrengen van coating op de 15 substraat plaats, waarbij bij voorkeur vervolgens door middel van wervelende gasstromen van de opgebrachte coating laag het teveel aan coating wordt verwijderd.

Hierbij doen zich de volgende nadelen voor: 1. Dun vloeibare coating moet worden toegepast met een zeer geringe laag-20 dikte van de coating, welke op de substraat achterblijft en aldus veelal een opvolgend opbrengen van een groot aantal coating lagenj en 2« Het oppervlak van de coating laag is door inwerking erop van het wervelende medium niet glad.

riet de coating opbreng-inrichting volgens de uitvinding, waarbij de 25 gebruikmaking van deze "zwevende" processing van de substraten of tapes in de cabine-daortocht, wordt nu beoogd om deze bezwaren op te heffen en is dit systeem in hoofdzaak daardoor gekenmerkt, dat daarin middelen zijn opgenomen, waardoor van de op de substraat of tape opgebrachte, coating na het passeren van de coating opbreng-sectie geen overtollige coating meer 30 aanwezig is.

Een gunstig kenmerk van de inrichting is nu, dat gezien in de bewegingsrichting van de substraten of tape onmiddellijk voörhet coating toavoer-kanaal een segmentwand-sectie is opgenomen, welke voor tenminste een gedeelte ervan tenminste nagenoeg evenwijdig is met de substraat of tape onder 35 de vorming van een eerste coating-passage.

Tevens, dat daarbij na het coating toevoerkanaal een segmentwand-sectie O is opgenomen, welke eveneens voor tenminste een gedeelte ervan nagenoeg evenwijdig is met de substraat onder de vorming van een tweede coating-passage \ 8200753 ® jf « s - 2 - en onder invloed van media in da doortocht, die op de substraat of tape werken, in deze coating-passage, een zodanig coating-slot wordt opgebouwd en onderhouden, dat coating belet wordt om daarin met een hogere snelheid dan die van de substraat in de bewegingsrichting van deze substraat te 5 verplaatsen.

Ook de eerste passage kan zodanig zijn uitgevoerd, dat daarin een coating-slot wordt opgebouwd en onderhouden, welke belet, dat coating daaruit tegengesteld aan de bewegingsrichting van de substraat of tape weglekt.

Door regeling van het volume van de toegevoerde coating per tijdseen-10 heid kan dan in combinatie met beide coating-sloten de gewenst wordende laagdikte van de opgebrachte coating worden verkregen.

Zulk een coating opbreng-inrichting is geschikt voor rechthoekige substraten en tapes.

Bij substraten, die niet nagenoeg de gehele cabine-doortocht opvullen 15 zoals bij nagenoeg cirkelvormige substraten (wafers) is echter een tenminste periodiek weglekken van coating onvermijdelijk.

Een volgende gunstige uitvoering van de inrichting volgens de uitvinding is nu, dat zoals onmiddellijk voèr het coating toevoerkanaal een va— cuum-afvoerkanaal is opgenomen, dit kanaal tevens dienst kan doen voor het 2D afvoeren van overtollige, coating.

Verder, dat daarbij onmiddellijk. na het toevoerkanaal van coating een stuwkanaal is opgenomen voor het stuwen van gasvormig medium naar de substraat. '

Verder, dat gezien in de bewegingsrichting van de substraten, de 25 stromingsweerstand van de coating-passage tussen het coatingtoevoerkanaal en zulk een er voor liggend vacuumkanaal aanzienlijk kleiner is dan die van de coating-passage tussen het coating-toevoerkanaal en daarop volgende stuwkanaal met tenminste een mogelijk weklekken van coating naar dit vacuumkanaal.

30 Verder, dat zoals de coating in de tweede coating-passage zich als ., een met de substraat verplaatsende coating-slot voor overtollige coating Γ fungeert en via de eerste coating-passage coating naar het vacuumkanaal wordt gestuwd, in combinatie met het toegevoerde volume coating per tijdseenheid de spleetwijdte van beide passages en daardoor de laagdikte van 35 de op de substraat gebrachte coating wordt bepaald.

Een volgend zeer gunstig kenmerk is nu, dat in een stapelsegment naast elkaar gelegen, van elkaar gescheiden aftakkanalen voor de coating zijn opgenomen, welke aan de ene zijde verbonden zijn met een gemeenschappelijk 0 1 8200755 - 3 - f ' » toevoerkanaal en aan de andere zijde ervan verbonden zijn met tenminste éên mondstuk en in elk van deze aftakkanalen een gelijke doorstroomweerstand is opgenomen met een zodanige grootte ervan, dat deze tenminste gelijk is aan de doorstroomwerstand van de eerste coating-passage.

S Verder, dat de hoogte-instelling van tenminste de media kussens voor de coating opbrengsectie zodanig is, dat bij geen coating toevoer de substraat een mechanisch contact zou maken met deze coating passagewanden.

De onder druk toegevoerde coating zorgt dan voor het bewerkstelligen van de coatingspleet tegen de veerwerking van de substraat en de werking van 10 de media in.

Elke. plaatselijke verkleining in spleetwijdte van de coating-passages bewerkstelligt aldaar gelijk een verhoogde, corrigerende stuwkracht en omgekeerd. Daardoor blijft over de gehele breedte van de substraat de spleetwijdte en daarmede de laagdikte van de coating practisch gelijk* 15 Verdere bijzonderheden van het coating opbrengsysteem volgen uit de beschrijving van de hieronder aangegeven Figuren.

ê

Figuur 1 is een verticale doorsnede van een cabine, waarin de coating opbrenginrichting volgens de uitvinding is opgenomen.

Figuur 2 toont de coating opbrenginrichting in een vergrootte door— 20 snede.

Figuur 3 toont in een sterk vergrootte doorsnede de uitmonding van het coating toevoerkanaal in de cabine-doortocht.

Figuur 4 is een sterk vergrootte doorsnede van de coating opbrenginrichting ter plaatse van de uitmonding van de op het coating toevoer-25 kanaal volgende toevoerkanaal voor gasvormig proces medium*

Figuur 5 is een dwarsdoorsnede van de cabine ter plaatse van de segment, waarin de parallel gelegen aftakkanalen voor de coating toevoer zijn op genomen.

Figuur 6 is een cabine-gedeelte, waarbij door de doortocht ervan 30 rechthoekige substraten worden geleid.

Figuur 7 is het cabine-gedeelte volgens Figuur 6, waarbij een tape door de passage wordt geleid.

Figuur 8 is een langsdoorsnede van een coating opbrenginrichting-gedeelte, welke toepasbaar is in de cabine volgens Figuren 6 of .7· 35 Figuur 9 toont in een langsdoorsnede een coating ophanginrichting* waarbij in het hoogvacuumkanaal een kanaal voor toevoer van coating verdun— V J ning uitmondt.

1 - ·.....— ·" I 82 0 0 753

V V

- 4 -

Figuur 10 is een langsdoorsnede van sen coating opbreng-inrichting, welke zich op aan hoge temperatuur bevindt en waarbij net behulp van toevoer van verdunning in dampvorm opdroging van op de substraat aangebrachte coating uordt vermeden en opeenhopingen van coating in de doorgang worden 5 tegengegaan.

Figuur 11 toont een substraat-sectie met een stepped oppervlak en waarbij daarop een laag dik-vloeibare coating is aangebracht.

Figuur 11' toont deze substraat-sectie na oven-droging ervan.

Figuur 12rt toont een gepoliiste substraat-sectie met een daarop aan-10 gebrachte coating.

Figuur 12'J toont deze sectie na oven-droging ervan.

In de Figuur 1 is een gedeelte van de proces-cabine 10 aangegeven met in het centrumgedeelte ervan de doortacht 12 voor substraten of tape 14.

Aan weerszijden van deze doortocht bauinden zich de stapelsegmenten 16 en 18.

15 In deze cabine vindt onder andere het op de er doorheen geleide substraten aanbrengen van coating plaats en wel in station 20, zie tevens .

Figuur 2. Jaarbjj wordt via kanaal 22 coating 24 naar de coating-passage 26 en 28, zie ook Figuur 3, gestuwd en op de substraat aangebracht, nadat eerst met behulp van het hoogvacuum-kanaal 30 in het opbrenggebied vacuum is ge— 20 trokken.

De lengte van passage 26 is uiterst gering, bijvoorbeeld slechts 30 micrometer, zodat zelfs bij een geringe passage-hoogte van 0.5 micrometer de doörstroomweerstand voor de coating relatief laag blijft.

De lengte van passage 28 is echter in verhouding zeer groot, bijvoor-25 beeld 1 mm, waardoor de doorstroomweerstand ervan voor de coating zodanig hoog is, dat daarin een coating-slot 34 wordt opgebouwd en onderhouden, . welk slot door de substraat wordt medegenomen en continue wordt aangevuld met nieuw opgebrachte coating.

Zoals via kanaal 22 een overmaat aan coating wordt toegevoerd, vindt 30 via passage 25 het uitstuwen van overtollige coating plaats naar hét hoogvacuum-kanaal 30,

Via kanaal 35, zie tevens Figuur 4, wordt gasvormig medium toege-voerd, De coating, welke, gehecht op ds substraat, uit de passage 28'komt, kan riiet hechten aan de achterzijde 38 van het coating-segment door: 35 1. de overdruk van het in kanaal 36 aanwezige gasvormige medium; 2. een relatief zeer·hoge snelheid van de substraat met coating ten opzichte van de laagdikte van deze coating; 3. de hoge viscositeit van de coating; en \4. het scherpkantige profiel van het topgedeelte 40 van deze achterwand.

* 8200753 - 5 - ί

De passage-wand 40 van de coating-segment is ultra gepolijst met een ruwheid, die bij voorkeur kleiner is dan 0.1 micrometer.

Aldus is de vrijgekomen coating-laag 42 uiterst glad en kan nagenoeg onmiddellijk een oven harding van de coating plaats vinden.

5 . In Figuur 5 is de cabine 10 in een gedeeltelijke dwarsdoorsnede aange-; ή geven. Daarbij is in segment 16 de centrale coating-toevoer 44 opgenomen, die aansluit op het coating-toevoerkanaal 46, waike is opgenomen in de cabine 10.

Op deze centrale coating-toevoer zijn een groot aantal aftakkanalen 10 48 aangesloten, die aan hun andere einde aangesloten zijn op het uiterst nauwe gemeenschappelijke toevoerkanaal 22 en waarbij de secties A tot en met X 'van dit kanaal nagenoeg niet met elkaar in verbinding staan.

Deze secties sluiten aan op de corresponderende secties A tot en met X van de coating-passage 26.

15 In de aftakkanalen zijn uiterst nauwe kanaal-secties 50 opgenomen, die een doorsnede hebben van bijvoorbeeld 40 micrometer x 40 micrometer.

In combinatie met de grote lengte van deze secties 50 is aldus een zeer grote doorstroomweerstand bewerkstelligd, welke aanzienlijk groter (3-1Qx) is dan die van de corresponderende secties van de coating-passage 26.

20 Daardoor kunnen de hoogtes van de secties A_X van de coating-passage 26 nagenoeg niet veranderen, omdat deze hoogte-fluctuaties door het toch practisch constant blijven van de totale doorstroomweerstand practisch geen wijziging kunnen bewerkstelligen in het naar deze secties toegevoerde, volume: coating per tijdseenheid.

25 De via andere proceskanalen toegevoerde media worden door commando's vanuit de coating-toevoer zodanig geregeld, dat de proces-passages practisch in overeenstemming zijn met de coating-passages 26 en 28.

Daarbij is een gunstige setting van de passage-hoogtes die, waarbij zonder coating-toevoer de op de substraat werkende media-krachten de sub—

A

30 straat onder gerings kracht tegen tenminste het coating-segment 16 drukken. De stuwkracht van de coating zorgt dan voor het over de gewenst wor- l' dende passage-hoogte vanaf de segmenten verplaatsen van de substraat.

De coating-toevoer en/of de proces media voor de onder de substraat gelegen proces-passages commanderen de toevoer van de media voor de zich 35 boven de substraat bevindende passage 52 ten behoeve van het daarin onderhouden van media-kussens.

Zeer dik-vloeibare coating kan onder hoge druk naar de substraat 4 worden gestuwd en waarbij de via passage 26 afgevoerde overtollige coating jr· · * 8200753 „ i - 6 -

Da rasultarenda vergrootte krachtwerking op de substraat in opwaartse richting doet de krachttoename teniet, welke de substraat plaatselijk naar beneden heeft doen bewegen.

Omgekeerd resulteert elke plaatselijke hoogte-toename in een passage- Α_χ 5 sectie dadelijk in een afname in stuwdruk in kanaalsecties 22 en een resulterende verminderde krachtwerking op de substraat in opwaartse richting.

Aldus vindt een stabilisatie van krachten op de substraat plaats met nagenoeg dezelfde hoogtes voor elke sectie A-X van coating-passages 26 en 28 met daardoor een practisch constante laagdikte van de opgebrachte coa-10 ting.

In de Figuur 2 bevindt zich vèèr het hoogvacuumkanaal 30 het toevoer-kanaal 32 voor gas- en/of dampvormig medium, zie tevens Figuren 9 en 10. Daarbij stroomt dit medium via passage 62 naar het hoogvacuumkanaal 30 en via passage 64 naar het voorliggende hoogvacuumkanaal 66.

15 Nabij het hoogvacuumkanaal 30 is de passage 62 vernauwd. De vernauwing 70 is daarbij uiterst klein en wel bijvoorbeeld 0.3 micrometer. Omdat de lengte ervan, gezien in de lengterichting van de cabinedoortocht, eveneens zeer klein is, bijvoorbeeld 20 micrometer, is de doorstroomweerstand voor deze passage niet groot.

20 In het toevoerkanaal 32 bevindt zich dezelfde opstelling van een groot aantal aftakkanalen, zoals in Figuur 5 is aangegeven, waardoor de doorstroom— weerstand aanzienlijk groter is dan die van de daarmede corresponderende secties van de passage-vemauwingen 70. Aldus is de door het toevoerkanaal 32 gestuwde hoeveelheid medium per tijdseenheid nagenoeg onafhankelijk van 25 het plaatselijk al dan niet aanwezig zijn van een substraat, hetgeen in Figuur 10 is aangegeven met de doorvoer van nagenoeg ronde substraten.

Door de toegevoerde hoeveelheid medium per tijdseenheid, welke gedwongen wordt om via deze vernauwing 70 te stromen, gering te houden, wordt aldus de geringe passage-hoogte van 0.3 micrometer mogelijk.

30 Fluctuaties in de druk van de media in de cabine-doortocht kunnen wel iswaar deze hoogte enigszins veranderen, doch reeds bij een 0.1 micrometer verkleining van de hoogte neemt de studruk in de medium-passages 62 en 70 sterk toe. Aldus wordt door de resulterende vergrootte krachtwerking op de substraat een nivellerende werking verkregen.

35 Door het zich tot zeer nabij het coating-toevoerkanaal 22 uit laten strekken van deze combinatie van passages 62 en 70 en wel tot circa 0.1 mm afstand, is aldus een geleidevlak voor de substraat 14 verkregen, die ten-I minste mede en zelfs mogelijk alleen reeds de gewenst wordende hoogte van de I coating-passages 26 en 28 kan bewerkstelligen.

8200753

•έ . V

- 7 -

Aldus fluctueert ook de dikte van de op de substraat 14 'aangebrachte coating 44 slechts met deze geringe waardes.

In passage 64 is eveneens ter plaatse van het hoagvacuumkanaal 66 een passage-vernauwing 72 aangebracht, waarbij tijdens de processing nagenoeg 5 dezelfde 0.3 micrometer spleethoogte als voor passage 70 kan gelden.

Hierdoor is, gezien in de lengterichting van de cabine-doorgang, voor de coatingtoevoer een geleidingsgebied voor de substraten gecreeerd, welke zelfs bij uiterst dunne substraten met een dikte van slechts 0.15 mm nog een gelijkmatige laagdikte van de opgebrachts coating waarborgen.

1Q Door de uiterst geringe spleethoogte van de passage-vernauwing 70 is de afvoer van medium naar het afvoerkanaal 30 uiterst gering en bedraagt 3 deze bijvoorbeeld slechts 20 mm per seconde voor een substraat met een diameter van 125 mm.

Door het eveneens gering houdBn van de hoeveelheid overtollige coating, 15 die via coating-passage 26 naar dit afvoerkanaal 30 stroomt en welke even- 3 eens bijvoorbeeld slechts 10 mm per seconde bedraagt, wordt een teveel opeenhopen van coating en medium in het vacuumkanaal 30 vermeden en kan dit kanaal met succes een vacuum bewerkstelligen op het substraat-oppervlak 74, zie Figuren 9 en 10, voordat dit oppervlak bedekt wordt door de coating. 20 Tevens kan door de relatief lage doorstroomweerstand van de passages 26,f' 70 en 72 de procesdruk in en nabij de coating-opbrengsectie laag blijven met de navolgende voordelen: 1. een geringe, toelaatbare slijtage van deze passagewandenj 2. de gemiddelde druk in de rest van de cabine-doortocht kan laag blijvenj en 25 3. door de lage procesdruk van het gasvormige medium in de ovensectie is de inwerking van het gasvormige medium op de coatinglaag te verwaarlozen, waardoor geen oppervlak-verslechtering van de aangebrachte coating.

Zeer dik-vloeibare coating kan nu naar de substraat worden gestuwd en waarbij de via passage 26 afgevoerde, overtollige coating in het vacuumka-30 naai 30 dun-vloeibaar gemaakt kan warden door de toevoer via toevoerkanaal 76 van verdunning 78, zie Figuur 9.

Tevens kan tenminste de coatingsectie van de cabine op een hoge temperatuur worden gehouden, tot op bijvoorbeeld 80°C., om daardoor een zo hoog mogelijke percentage aan vaste bestanddelen in de opgebrachte coating te 35 verkrijgen. \

Het hoge percentage aan vaste bestanddelen maakt een ideale opbrenging \ van een planerisatie-laag op een stepped oppervlak van substraat 14 mogelijk, Ksffr) ft

Sa*/ zie Figuur 11 , en waarbij deze planerisatie na oven-droging nog practisch f 8200753 - 8 - onveranderd is met een nagenoeg volkomen wegwerking van de steps, zie Fief guur 11

Verder kan op een gepolijst oppervlak van substraat 14' de bij het op— brengen van de coating 44’ verkregen laagdikte· na ovendroging nog nagenoeg 5 dezelfde hoogte hebben met een volkomen gladde top van de coating, zie A 8

Figuren 12 en 12 ·

Aldus is een perfect systeem voor het brengen van coatings op substraten verkregen, welke door geen enkele bestaande coating-installatie kan worden benaderd.

10 Bij de toepassing van ronde substraten vindt periodiek afvoer van alle plaatselijk toegevoerde coating via het hoogvacuumkanaal 30 plaats.

Bij de processing van rechthoekige substraten 14” of tape 80, zie Figuren 6 en 7, komt zulk een periodiek noodzakelijke afvoer van coating niet voor. Daarbij is de uitvoering volgens Figuur 8 mogelijk, waarbij zowel 15 'in passage 26 als passage 28 de respectievelijke coating-sloten 34 en 82 worden opgebouwd en ook geen overtollige coating uit passage 26 kan ontsnappen naar het hoogvacuumkanaal 30. Beveiligingen kunnen dan in het systeem zijn opgenomen, om te voorkomen, dat coating de doortocht van de cabine verontreinigt.

20 ETen aantal mediumkanalen 84 en 86, die de mediumkussens boven de sub straten voeden, kunnen tenminste verdunning 88 voor de coating in al dan niet dampvormige toestand toevoeren, zie Figuur 10. Bij nagenoeg ronde substraten 14 wordt daarbij tijdelijk zulk een medium in de open doorgang-secties gestuwd en beweegt dit medium naar kanaal 30 onder medename van uit het 25 kanaal 22 gestuwde coating. Aldus wordt een opeenhoping van coating in doorgang 12 voorkomen.

Verder kan bij het onder hoge temperatuur brengen van coating op de substraten het via kanaal 32 toegevoerde medium een verdunning in dampvorm zijn voor het voorkomen van verstoppingen in hoogvacuumkanaal 30.

30 Binnen het kader van de uitvinding zijn variaties in de aangegeven opstellingen van kanalen, procesdrukken, temperaturen en passage-hoogtes .mogelijk.

Verder omvat de inrichting alle benodigde installatie-delen voor de toe- en afvoer van de media en kunnen in de toevoerkanalen van de verschil-35 lende proces^iedia sensoren zijn opgenomen voor het commanderen van regelsystemen.

Θ · \ -if u 1 8200753

Claims

1. Werkwijze voor het in een cabine brengen van een coating naar een door een erin opgenomen doortocht bewegende substraat, bestaande uit: gezien in de lengterichting van deze cabine-doortocht, het via opvol-5 gende mondstukken voor toe- en afvoer van media onderhouden van medium kussens tussen de wanden van de doortocht en de vlakke zijden van de substraat; het via tenminste éên toevoermondstuk brengen van coating naar êên proceszijde van deze substraat; en 10. gezien in de lengterichting van de cabine-doortocht, het tenminste in de doortochtsectie na dit coatingtoevoer-mondstuk met behulp van deze coating in samenwerking met ander media, werkend op de substraat, bewerkstelligen en tenminste tijdelijk onderhouden van een met coating gevulde passage tussen het coating-opbrengstuk en de substraat zodanig, 15 dat daarin de snelheid van de coating niet aanmerkelijk groter is dan die van de substraat.

2. Werkwijze volgens de Conclusie 1, met het kenmerkr dat de cabine—inrichting verder zodanig is uitgevoerd, dat daarin de snelheid van de coating door deze coating-passage niet groter is dan de snelheid van de substraat.

3. Inrichting, waarin de werkwijze volgens êên der voorgaande Conclusies wordt toegepast, met het kenmerk, dat deze een nauwe doortocht heeft voor de substraten, aan twee zijden van deze doortocht in de lengterichting ervan opvolgende mondstukken voor toe- en afvoer van media in pakketten van segmenten zijn opgenomen en daarin middelen aanwezig zijn, waardoor de met een coating 25 gevulde passage-sectie opzij van de doorgeleide substraten wordt verkregen.

4. Inrichting volgens de Conclusie 3, met het kenmerk, dat gezien in de lengterichting van de cabine-doortocht onmiddellijk vo&r het coatingtoevoer-kanaal een eerste segmentwand-sectie is opgenomen voor het met behulp van de door de doortocht geleide substraat vormen van een eerste coating-passage, 30 na het coating-toevoerkanaal een tweede segmentwand-sectie is opgenomen, welke voor tenminste een gedeelte ervan nagenoeg evenwijdig is met de eerste segmentwand-sectie onder de vorming van een tweede coating-passage en de inrichting verder zodanig is uitgevoerd, dat onder invloed van media in de doortocht, die op de substraat werken, in deze tweede coating-passage een \ 35 coatingslat wordt opgebouwd en tenminste tijdelijk wordt onderhouden.

5. Inrichting vólgens de Conclusie 4, met het kenmerk, dat ook de eerste coating-passage zodanig is verkregen, dat daarin eveneens een coatingslot ^ wordt opgebouwd en tenminste tijdelijk wordt onderhouden, welk slot tenminste \ 8200753 - 10 - nagenoeg belet, dat coating daaruit tegengesteld aan de bewegingsrichting van de substraat weglekt·

6· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 5, met het kenmerk, dat door regeling van het volume van de toegevoerde coating per tijdseenheid in com— 5 binatie met beide coatingsloten de gewenst wordende laagdikte van de op de substraat gebrachte coating wordt verkregen· 7« Substraten voor toepassing ervan in de werkwijze volgens Conclusie 6, met het kenmerk, dat deze rechthoekig zijn·

8, Tape, als een serie met elkaar verbonden substraten, met het kenmerk, dat 10 deze wordt toegepast in de werkwijze volgens Conclusie''6·

9, Werkwijze volgens Conclusie 6, met het kenmerk, dat opvolgende substraten tegen elkaar liggen en tenminste stuwmedia in de cabine-doortocht zorg dragen voor transport van deze substraten·

10, Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat 15 gezien in de lengterichting van de cabine-doortocht, onmiddellijk voèr het coating-toevoerkanaal een vacuum-afvoerkanaal is opgenomen en dit kanaal zodanig is uitgevoerd, dat deze tenminste dienst kan doen voor het afvoeren van overtollige coating·

11, Inrichting volgens de Conclusie 10, met het kenmerk, dat daarbij onmid-20 dellijk na het toevoerkanaal van coating een stuwkanaal is opgenomen voor het stuwen van gasvormig medium naar de substraat.

12· Inrichting volgens de Conclusie 11, met het kenmerk, dat gezien in de lengterichting van de cabine-doortocht, de stromingsweerstand van de coating-passage tussen het coating-toevoerkanaal en zulk een ervoor liggend vacuum-25 kanaal kleiner is dan die van de coating-passage tussen het coating-toevoerkanaal en het daarop volgende stuwkanaal.

13, Inrichting volgens de Conclusie 12, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat daartoe de lengte van de eerste gevormde passage aanzienlijk kleiner is dan die van de tweede gevormde passage· 30 14, Inrichting volgens de Conclusie 13, met het kenmerk, dat de lengte van de segmentwand, welke deel uitmaakt van de eerste coating-passage, minder is dan 0,1 mm.

15, Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 12, met het kenmerk, dat zoals de coating in de tweede coating-passage zich als een met de substraat \ 35 verplaatsend coatingslot voor overtollige coating fungeert en via de eerste coating-passage tenminste tijdelijk coating naar het vacuumkanaal wordt gestuwd, in combinatie met het toegevoerde volume coating per tijdseenheid ten-minste mede de spleetwijdte van beide passages en daardoor de laagdikte van \de op de substraat gebrachte coating wordt bepaald. 8200753 -11.-

16. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat in een stapelsegment naast elkaar gelegen, van elkaar gescheiden aftakkana-len voor de coating z!jn opgenomen, uielke aan de ene zijde ervan verbonden zijn met een gemeenschappelijk toevoerkanaal en aan de andere zijde ervan verbonden 5 zijn met tenminste één mondstuk en in elk van deze aftakkanalen een gelijke doorstroomweerstand is opgenomen met een zodanige totaalgrootte ervan, dat deze tenminste gelijk is aan de doorstroomweerstand van de eerste gevormde coating-passage.

17. Inrichting volgens de Conclusie 16, met het kenmerk, dat daarbij deze 10 totale doorstroomweerstand tenminste vijf-voudig groter is dan die van de eerste gevormds coating-passage.

18. Inrichting volgens de Conclusie 16, met het kenmerk, dat daarbij de wijdte van het coatingtoevoerkanaal ter plaatse van zijn uitmonding in de cabine-doortocht kleiner is dan 50 micrometer.

19. Inrichting volgens de Conclusie 16, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat de spleetwijdte van de eerste coating-passage geringer is dan van de tweeds coating-passage.

20. Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 16, met het kenmerk, dat de hoogte-instelling van tenminste de media kussens voèr de coating- 20 opbrengsectis zodanig is, dat bij geen coating toevoer de substraat geen mechanisch contact maakt met de segmentwand van de eerste coating-passage.

21. Inrichting volgens Conclusie 19, met het kenmerk, dat daarbij de segmentwand van de eerste coating-passage zich over een afstand groter dan 0.5 micrometer verder in de cabine-doortocht uitstrekt dan de segmentwand 25 van de tweede coating-passage.

22. Inrichting volgens de Conclusie 16, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat de hoogte van de gevormde eerste coating-passage kleiner is dan 1 micrometer.

23. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat 30 gezien in de lengterichting van de cabine-doortocht, aan de proceszijde van de doortacht onmiddellijk vaör het hoogvacuumkanaal zich een substraat-geleidingsgedeelte bevindt, welke bestaat uit tenminste één doortochtwand van een segment, welke evenwijdig is gelegen met de segmentwand van de eerste coating-passage en waarbij deze wand zich tot verder in de doortocht van de 35 substraten uitstrekt dan de wand van de eerste coating-passage.

24. Inrichting volgens de Conclusie 23, met het kenmerk, dat aan de proceszijde van de cabine-doortocht vèör het hoogvacuum-afvoerkanaal een toevoerkanaal is opgenomen voor he’t onderhouden van een mediumkussen onder da substraat 8Π waarbij het segment-wandgedeelte van de Cabine-doortocht tussen dit o | 8200753 t - 12 - toevoerkanaal en het hoogvacuumkanaal nabij dit hoogvacuumkanaal zich tot verder in de cabine-doortocht uitstrekt dan het segment-wandgedeelta nabij het toevoerkanaal.

25. Inrichting volgens de Conclusie 24, met het kenmerk, dat daarbij, gezien 5 in de lengterichting van de cabine-doortocht, de lengte van het segment- wandgedeelte nabij het hoogvacuumkanaal kleiner is dan de lengte van de coa-ting-passaga wand tussen het hoogvacuumkanaal en het coatingtoevoerkanaal.

26. Werkwijze van da inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat een coating wordt toegepast met een tenminste hoge percen— 10 tage vaste bestanddelen.

27. Werkwijze volgens Conclusie 26, met het kenmerk, dat dit percentage groter is dan 50

28. Werkwijze volgens de Conclusie 26, met het kenmerk, dat daartoe de coating een hoge temperatuur heeft.

29. Werkwijze volgens de Conclusie 28, met het kenmerk, dat deze temperatuur tenminste 50°C. is.

30. Werkwijze volgens de Conclusie 28, met het kenmerk, dat daartoe tenminste de cabine-sectie ter plaatse van de coatingtoevoer jdLch eveneens op een hoge temperatuur bevindt» 20 31., Werkwijze volgens de Conclusie 30, met het kenmerk, dat daarbij tijdens het door de coating-opbrengsectie voeren van de substraten deze op tenminste nagenoeg de coating temperatuur zijn gebracht.

32. Inrichting, waarin de werkwijze volgens 5én der voorgaande Conclusies is toegepast, met het kenmerk, dat deze daarbij middelen b8vat om zulk een 25 plaatselijke hoge temperatuur ts bewerkstelligen en te onderhouden.

33. Werkwijze volgens êên der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat zoals tenminste de coating-opbrengsectie en de substraten zich ter plaatse op een hoge temperatuur bevinden, het medium voor het onderhouden van het mediumkussen voor het hoogvacuumkanaal tenminste verdunning in dampvormige 30 toestand bevat,

34. Werkwijze volgens de Conclusie 33, met het kenmerk, dat dit medium uitsluitend verdunning in dampvormige toestand is,

35. Inrichting, waarin de werkwijze volgens Conclusie 33 is toegepaét, met '' het kenmerk, dat daarbij aan de proceszijde van de cabine, gezien in de lengte- 35 richting vanxde cabine-doortocht, vèbr het toevoerkanaal voor tenminste verdunning in dampvorm een hoogvacuumkanaal is opgenomen.

36. Inrichting volgens de Conclusie 35, met het kenmerk, dat daarbij het segmentwand-gedeelte van da cabine-doortocht tussen het mediumtoevoerkanaal en het er voor gelegen hoogvacuumkanaal nabij dit vacuumkanaal zich tot \ \8200753 A v — 13 - verder in de cabine-doortocht uitstrekt dan het segmentwand-gedeelte nabij het medium-toevoerkanaal.

37· Inrichting volgens de Conclusie 36, met het kenmerk, dat deze wandsectie zich over nagenoeg dezelfde afstand in de doortocht voor de substraten uit-5 strekt als de wandsectie volgens Conclusie 24·

38. Inrichting volgens de Conclusie 35, met het kenmerk, dat daarbij zich voor dit hoogvacuumkanaal een toevoerkanaal voor medium bevindt voor het onderhouden van een mediumkussen en waarbij het segmentwand-gedeelte van de cabine-dóortocht tussen deze toe- en afvoerkanalen nabij het hoogvacuumkanaal 10 zich verder in de cabine-doortocht uitstrekt dan het segmentwand-gedeelte nabij het mediumtoevoerkanaal en deze afstand nagenoeg dezelfde is als voor de wandsectie volgens Conclusie 37.

39. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat in de toevoerkanalen voor gas- en dampvormig medium eveneens een groot aantal 15 van elkaar gescheiden aftakkanalen zijn opgenomen met een doorstroomweerstand, welke tenminste groter is dan de doorstroomweerstand voor deze media in de corresponderende passage-secties, welke tijdens de processing gevormd worden door de substraat en de segmentwanden tussen toe- en afvoerkanalen·

40· Inrichting volgens Conclusie 39, dat deze doorstroomweerstand tenminste 20 vijf-voudig groter is,

41. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat in tenminste het hoogvacuum-afvoerkanaal eveneens een groot aantal van elkaar gescheiden aftakkanalen zijn opgenomen met een hoge doorstroomweerstand, 42« Inrichting volgens Conclusie 41, met het kenmerk, dat deze weerstand zo-25 danig groot is, dat tijdens af voer van gasvormig medium uit de cabine-door— tocht de snelheid van het medium in de uitmonding niet groter is dan 0,1 m per seconde.

43. Inrichting volgens de Conclusie 42, met het kenmerk, dat de aftakkanalen ter plaatse van de uitmonding ervan in de cabine-doortocht eveneens nagenoeg 30 van elkaar zijn gescheiden.

44, Werkwijze van de inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat aan de proceszijde de druk in de uitmonding van het op de coating toevoer volgende toevoer van tenminste gasvormig medium tenminste ongeveer gelijk is aan de druk in de uitmonding van het coatingtoevoerkanaal.

45. Inrichting volgens êén der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze verder zodanig, is uitgevoerd, dat via toevoerkanalen aan de niet-proces zijde van de cabine-doortocht tenminste ter plaatse van de coating-opbreng-· Θ sectie tevens verdunning in al dan niet dampvormige toestand naar de cabine- doortocht wordt gestuwd. \ 8200753