KR970077088A - 오버레이 버니어키 형성방법 - Google Patents
오버레이 버니어키 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 오버레이 버니어 형성방법을 제공하는 것으로, 각각의 층에 대하여 여유마진이 작은 부분만 따로 따로 버니어키를 형성하므로써 스크라이브 라인 영역내의 공간을 확보할 수 있고, 여유마진이 작은 부분만 오버레이 관리를 하게 되므로 오배열을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2C도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 제조공정중 버니어키를 형성하는 방법을 도시한 평면도.
Claims (1)
- 실리콘기판의 액티브영역상에 콘택홀 및 폴리실리콘층을 순차적으로 형성할 때 스크라이브 라인 영역에 오버레이 버니어키를 형성하는 방법에 있어서, 실리콘기판상에 액티브영역을 형성할 때 스크라이브 라인 영역상에 제1버니어키를 형성하는 단계와, 상기 단계로부터 상기 실리콘기판의 상기 액티브영역상에 콘택홀을 형성할 때 상기 스크라이브 라인 영역상에 상기 콘택홀이 필드산하막에 대하여 여유마진이 작은 축 방향으로 제2버니어키를 형성하는 단계와, 상기 단계로부터 상기 실리콘기판의 상기 콘택홀이 덮히도록 폴리실리콘층을 형성할 때 상기 스크라이브 라인 영역상에 형성된 상기 제1 및 제2버니어키 내에 제3버니어키를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 오버레이 버니어키 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017613A KR970077088A (ko) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 오버레이 버니어키 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017613A KR970077088A (ko) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 오버레이 버니어키 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077088A true KR970077088A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960017613A KR970077088A (ko) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 오버레이 버니어키 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077088A (ko) |
-
1996
- 1996-05-23 KR KR1019960017613A patent/KR970077088A/ko not_active Application Discontinuation
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