KR970028820A - 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평탄화된 제1레지스트 도포하고 하드베이크 하는 단계; 해상도 및 촛점 여유도가 충분한 두께의 제2레지스트로 패턴을 형성하고 하드베이크 하는 단계; 실리레이션된 제3레지스트를 상기 제2레지스트 패턴간의 공간에 형성하는 단계; 및 산소를 이용한 건식현상 방법으로 상기 제2레지스트 패턴 및 상기 제1레지스트의 소정부위를 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 제조공정중 사진 및 시각공정에 본 발명의 방법을 사용하면 종래와 동일한 장치를 가지고도 종래의 단층 레지스트를 이용한 방법은 물론 실리레이션 방법보다도 더욱 작은 크기의 미세패턴을 형성할 수 있으며, 또한 CD, 즉 패턴의 선폭을 종래 방법보다 훨씬 안정적으로 조절·유지할 수 있으므로 차세대 소자개발을 앞당길 수 있고, 생산에 적용시 공정능력 향상으로 수율 향상을 가져오는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2a도 내지 제2f도는 본 발명의 일실시예에 따른 레지스트 패턴 형성 공정도.
Claims (9)
- 평탄화퇸 제1레지스트 도포하고 하드베이크 하는 단계; 해상도 및 촛점 여유도가 충분한 두께의 제2레지스트로 패턴을 형성하고 하드베이크 하는 단계; 실리레이션된 제3레지스트를 상기 제2레지스트 패턴간의 공간에 형성하는 단계; 및 산소를 이용한 건식현상 방법으로 상기 제2레지스트 패턴 및 상기 제1레지스트의 소정부위를 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제1항에 있어서; 실리레이션된 제3레지스트를 상기 제2레지스트 패턴간의 공간에 형성하는 단계는, 전체 구조 상부에 제3레지스트를 도포하고 하드베이크 하는 단계; 상기 하드베이크된 제3레지스트를 상기 제2레지스트 패턴의 표면이 드러나도록 에치백 하는 단계; 상기 에치백된 제3레지스트를 실리레이션 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제1항에 있어서; 실리레이션된 제3레지스트를 상기 제2레지스트 패턴간의 공간에 형성하는 단계는, 전체 구조 상부에 제3레지스트를 도포하는 단계; 상기 제3레지스트를 실리레이션 하는 단계; 상기 제2레지스트 패턴의 표면이 드러나도록 에치백 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제2항 또는 제3항에 있어서; 상기 제1레지스트의 두께를 1㎛이상 두껍게 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제4항에 있어서; 상기 제2레지스트의 두께를 3000Å 내지 5000Å으로 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제5항에 있어서; 상기 제3레지스트의 두께를 5000Å 내지 8000Å으로 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제2항 또는 제3항에 있어서; 상기 제1, 제2 및 제3레지스트의 하드베이크 온도는 150℃ 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제2항 또는 제3항에 있어서; 상기 제1, 제2 및 제3레지스트의 하드베이크 온도는 250℃인 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.
- 제12항 또는 제3항에 있어서; 상기 제1, 제2레지스트의 표면을 HMDS로 표면 처리하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법.※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043629A KR0147492B1 (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043629A KR0147492B1 (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970028820A true KR970028820A (ko) | 1997-06-24 |
| KR0147492B1 KR0147492B1 (ko) | 1998-08-01 |
Family
ID=19435657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950043629A KR0147492B1 (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 미세패턴 형성을 위한 레지스트 패턴 형성 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0147492B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100520669B1 (ko) * | 1999-05-06 | 2005-10-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | Ｔｓｉ 공정에 의한 초미세 패턴의 형성방법 |
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1995
- 1995-11-24 KR KR1019950043629A patent/KR0147492B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0147492B1 (ko) | 1998-08-01 |
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