KR970013163A - 집적 회로 - Google Patents

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KR970013163A
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에발트 미하엘.
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알베르트 발도르프. 롤프 옴케
지멘스 악티엔게젤샤프트
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2884—Testing of integrated circuits [IC] using dedicated test connectors, test elements or test circuits on the IC under test

Abstract

집적 회로(IC)는, 테스트 신호(TEST)를 공급받아. 이 테스트 신호(TEST)에 비해 정해진 허용오차 범위내에 레벨 또는 지연을 갖는 출력 신호(SOUT)를 출력하는 회로장치(S)를 포함한다. 검사를 위해 검사 장치(P)가 제공된다. 이러한 방식으로, 제조 프로세스가 회로장치(S)의 기능에 부정적인 영향을 주는지가 확인될 수 있다. 회로장치(S)는 동일한 집적 회로(IC)에 속한 동일한 방식의 모든 회로 장치들을 대표하여 테스트된다. 회로 장치는 예컨대 하나의 저항(R), 하나의 커패시터, 하나의 코일등과 같은 단 하나의 회로부품을 포함한다. 회로장치(S)가 다른 회로 부품과 접속되지 않는 경우, 장치의 검사 동안에도 집적 회로(S)의 다른 기능을 영향을 받지 않는다. 검사는 특별한 테스트 작동 모드 없이도 실시될 수 있다. 특히 웨이퍼 평면상에서 검사를 실시할 때, 각각의 집적 회로(IC)가 테스트 시간 및 테스트 장치에 대한 추가 비용없이 별도로 검사될 수 있다.

Description

집적 회로
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및 2도는 본 발명에 따른 집적회로의 실시예를 나타낸 개략도.

Claims (12)

  1. -테스트 신호(TEST)를 공급받아, 그것의 결과로서 출력 신호(SOUT)를 출력하는 회로장치(S)를 포함하고, - 집적 회로(IC)는 출력 신호(SOUT)가 주어진 허용오차 범위내에 놓이는지 검사하는 검사 장치(P)를 포함하며, - 검사 장치(P)는 하나의 출력(POUT)을 포함하고, 검사시에 상기 출력에 상응하는 결과 신호(E)를 발생시키며, - 결과 신호(E)는 집적 회로(IC)의 밖으로 전달 가능한 것을 특징으로 하는 집적회로.
  2. 제1항에 있어서, 검사 장치(P)에 의해 출력 신호(SOUT)의 레벨이 허용오차 범위내에 놓이는지가 검사될 수 있는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  3. 제1항에 있어서, 검사 장치(P)에 의해 출력 신호(SOUT)의 시간적 지연이 테스트 신호(TEST)에 비해 허용오차 범위내에 있는지가 검사될 수 있는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  4. 상기 항 중 어느 한 항에 있어서, 회로장치(S)가 단 하나의 회로 부품을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  5. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 회로 장치(S)는 검사 장치(P), 및 회로 장치에 테스트 신호(TEST)를 제공할 수 있는 단자에만 접속되고, 집적 회로(IC)의 다른 어떤 회로 부품에도 접속되지 않는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  6. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 검사 장치(P)는 마찬가지로 테스트 신호(TEST)를 공급받을 수 있는 하나의 기준 장치(V)를 포함하고, 상기 기준 장치(V)가 회로 장치(S)의 출력 신호(SOUT)와 동일한 출력 신호(VOUT)를 출력하는 경우에, 출력 신호의 레벨 및 시간적 지연이 테스트 신호(TEST)에 비해 허용오차 범위에 놓이며, 검사 장치(S)는 추가의 소자(3)를 포함하고, 상기 소자에 의해 테스트 신호(TEST)에 대한 기준 장치(V) 및 회로장치의 출력 신호(VOUT, SOUT)의 레벨 및 그것의 시간적 지연이 서로 비교 가능한 것을 특징으로 하는 집적회로.
  7. 제6항에 있어서, 기준 장치(V)는 지연 회로이고, 테스트 신호(TEST)는 하나의 레벨 변동을 가지며, 부가의 소자(3)에 의해 기준 장치(V) 및 회로장치(S)의 출력 신호(VOUT, SOUT)의 레벨 변동의 시간적 순서가 정해질 수 있는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  8. 제7항에 있어서, 지연장치가 논리 게이트(I)의 직렬 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  9. 제1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서, 테스트 신호(TEST)는 집적 회로(IC)의 클럭 신호인 것을 특징으로 하는 집적회로.
  10. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 검사장치(P) 출력(POUT)은 집적 회로(IC)의 접촉핀 또는 접속 패드(A)에 접속되는 것을 특징으로 하는 집적 회로.
  11. 제1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서, 검사 장치(P)의 출력(POUT)은 비활성화 장치(AKT)의 활성화 입력(EN)에 접속되고, 회로 장치(S)의 출력 신호(SOUT)의 레벨 및 시간적 지연이 허용오차 범위밖에 놓이는 경우 비활성화 장치(AKT)는 결과 신호(E)에 의해 활성 상태로 되고, 그렇지 않은 경우에는 비활성 상태로 되며, 비활성화 장치(AKT)는 접속핀 또는 접속 패드인 집적 회로(IC)의 입력 및 출력(4)에 접속되고, 비활성화 장치(AKT)가 활성 상태로 전위됨으로써 입력 또는 출력(4)이 비활성화 되면, 입력 또는 출력으로서의 그것의 기능이 저지되는 반면에, 비활성화 장치(AKT)의 비활성 상태에서는 그것에 의해 영향받지 않는 것을 특징으로 하는 집적회로.
  12. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 검사 장치(P)는 활성화 및 비활성화 가능한 것을 특징으로 하는 집적회로.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960032301A 1995-08-04 1996-08-02 집적회로 KR100308078B1 (ko)

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