KR960040082A - 전기-기계적 에너지 변환소자 및 이를 이용한 진동파 액츄에이터 - Google Patents

전기-기계적 에너지 변환소자 및 이를 이용한 진동파 액츄에이터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 제 1방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제1그룹으로서 갖는 제1전기-기계적 에너지 변환소자; 및 상기 제1방향에서의 역전(inverse)특성이 얻어지는 제2방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제 2그룹으로서 갖는 제2전기-기계적 에너지 변환소자를 구비하는데, 상기 제1 및 제2에너지 변환소자는 서로 적층되어 상기 제1그룹의 상기 전극의 위상이 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자에 관한 것이다.

Description

전기-기계적 에너지 변환소자 및 이를 이용한 진동파 액츄에이터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 적층식 압전 소자를 도시한 전개사시도, 제2도는 제1도의 적층식 압전 소자용 분극처리를 도시한 사시도, 제3도는 분극처리후 종결된 상태에서 적층식 압전 소자의 외형을 도시한 사시도.

Claims (29)

  1. 제1방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제1그룹으로서 갖는 제1전기 -기계적 에너지 변환소자; 및 상기 제1방향에서의 역전 (inverse) 특성이 얻어지는 제2방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제2그룹으로서 갖는 제2전기-기계적 에너지 변환소자를 구비하는데, 상기 제 1및 제 2전기-기계적 에너지 변환소자는 서로 적층되어 상기 제 1그룹의 상기 전극의 위상이 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1그룹의 상기 전극의 수 및 피치(number and pitch)는 상기 제2그룹의 상기 전극의 수 및 피치와 동일한 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  3. 제1항에 있어서, 제1방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제3그룹으로서 갖는 제3전기-기계적 에너지 변환소자를 더 포함하는데, 상기 제3전기-기계적 에너지 변환소자는 상기 제 1및 제 2전기-기계적 에너지 변환소자 사이에 적층되어, 상기 제3그룹의 상기 전극의 위상이 상기 제1그룹의 상기 전극의 위상과 일치하는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제 1그룹의 상기 전극의 수 및 피치는 상기 제 3그룹의 상기 전극의 수 및 피치와 일치하는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  5. 제3항에 있어서, 동상(in phase)인 상기 제 1및 제 3그룹의 상기 전극의 특정 구동전극이 형성된 트루홀(though hole)내의 도선을 통해 서로 전기적으로 연결되며, 상기 도선은 상기 제2그룹의 상기 전극에는 전기적으로 연결되지 않는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  6. 제5항에 있어서, 상기 트루홀은 상기 제 2그룹의 상기 전극들 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3전기 -기계적 에너지 변환소자상에 적층되며, 노출될 표면위치에 배치되고 복수의 신호 공급전극을 가진 신호 공급소자, 및 상기 도선에 전기적으로 연결된 상기 신호 공급 전극의 특정 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  8. (a) 적층식 에너지 변환소자로서, 제1방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제 1그룹으로서 갖는 제1전기-기계적 에너지 변환소자, 및 상기 제1방향에서의 역전 특성이 얻어지는 제2방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제2그룹으로서 갖는 제 2전기-기계적 에너지 변환소자를 구비하되, 상기 제1 및 제2전기-기계적 에너지 변환소자는 서로 적층되어 상기 제1그룹의 상기 전극의 위상이 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되는, 적층식 에너지 변환소자; (b) 상기 적층식 에너지 변환소자가 기능적으로 부착되는 진동부재 (vibration member); 및 (c)상기 진동부재와 접촉하는 접촉부재를 구비하되, 상기 진동부재 및 상기 접촉부재는 발생된 진동파에 의해 상대적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  9. 제8항에 있어서, 제 1방향으로 모두 분극화되는 복수의 구동전극을 제3그룹으로서 갖는 제3전기-기계적 에너지 변환소자를 더 포함하는데, 상기 제3전기- 기계적 에너지 변환소자는 제 1및 제 2전기-기계적 에너지 변환소자 사이에 적층되어, 상기 제3그룹의 상기 전극의 위상이 상기 제1그룹의 상기 전극의 위상과 일치하는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  10. 제9항에 있어서, 동상(in phase) 인 상기 제 1및 제 3그룹의 상기 전극의 특정 구동전극이 형성된 트루홀(through hole)내의 도선을 통해 서로 전기적으로 연결되며, 상기 도선은 상기 제2그룹의 상기 전극에는 전기적으로 연결되지 않는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1, 제2및 제3전기 -기계적 에너지 변환소자상에 적층되며, 노출될 표면위치에 배치되고 복수의 신호 공급 전극을 가진 신호 공급소자, 및 상기 도선에 전기적으로 연결된 상기 신호 공급 전극의 특정 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  12. 구동원으로 제8항에 한정된 상기 액츄에이터를 사용하는 구동시스템.
  13. (a)적층식 에너지 변환소자로서, 제1그룹으로서 복수의 구동전극을 가진 제1전기- 기계적 에너지 변환소자, 제2그룹으로서 복수의 구동전극을 가진 제2전기- 기게적 에너지 변환소자, 및 제3그룹으로서 복수의 구동전극을 가진 제3전기-기계적 에너지 변환소자를 구비하되, 상기 제1, 제2및 제3전기-기계적 에너지 변환소자는 상기 제1및 제3전기-기계적 에너지 변환소자 사이에 샌드위치된 상기 제2전기-기게적 에너지 변환소자와 적층되며, 상기 제1그룹의 상기 전극의 위상은 상기 제 2그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되고, 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상은 상기 제 3그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되는 적층식 에너지 변환소자; (b)3상 AC 신호를 상기 제 1, 제 2및 제 3그룹의 상기 전극에 공급하기 위한 신호공급소자; 및 (c)상기 적층식 에너지 변환소자가 기능적으로 부착되는 진동부재를 구비하되, 상기 진동부재 및 이 진동부재와 접촉하는 접촉부재는 상기 진동부재의 진동에 의해 상대적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1그룹의 상기 전극의 수 및 피치는 상기 제 2 및 제 3그룹 각각의 상기 전극의 수 및 피치와 동일한 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  15. 제13항에 있어서, 상기 제1및 제3그룹의 상기 전극은 동상(in phase)인 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  16. 제15항에 있어서, 동상 (in phase)인 상기 제 1및 제 3그룹의 상기 전극의 특정 구동전극이 형성된 트루홀 (through hole)내의 도선을 통해 서로 전기적으로 연결되며, 상기 도선은 상기 제 2그룹의 상기 전극에는 전기적으로 연결되지 않는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  17. 제16항에 있어서, 상기 트루홀은 상기 제2그룹의 상기 전극들 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  18. 제16항에 있어서, 상기 제1, 제2및 제3에너지 변환소자상에 적층되며, 노출될 표면위치에 배치되고 복수의 신호 공급 전극을 가진 신호 공급소자, 및 상기 도선에 전기적으로 연결된 상기 신호 공급 전극의 특정 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  19. 구동원으로 제13항에 한정된 상기 액츄에이터를 사용하는 구동시스템.
  20. 제1그룹으로서 3개로 분리된 구동전극을 가진 제1전기 -기계적 에너지 변환소자; 제 2그룹으로서 3개로 분리된 구동전극을 가진 제2전기-기계적 에너지 변환소자; 및 제 3그룹으로서 3개로 분리된 구동전극을 가진 제 3전기-기계적 에너지 변환소자를 구비하되, 상기 제1, 제2 및 제3전기-기계적 에너지 변환소자는 상기 제1 및 제3전기-기계적 에너지 변환소자 사이에 샌드위치된 상기 제2전기-기계적 에너지 변환소자와 적층되며, 상기 제 1그룹의 상기 전극의 위상은 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되고, 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상은 상기 제3그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  21. 제20항에 있어서, 상기 제1그룹의 상기 전극의 수 및 피치는 상기 제2및 제3그룹 각각의 상기 전극의 수 및 피치와 동일한 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  22. 제21항에 있어서, 상기 제1및 제3그룹의 상기 전극은 동상(in phase)인 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  23. 제22항에 있어서, 동상(in phase)인 상기 제1및 제3그룹의 상기 전극의 특정 구동전극이 형성된, 트루홀(through hole)내의 도선을 통해 서로 전기적으로 연결되며, 상기 도선은 상기 제2그룹의 상기 전극에는 전기적으로 연결되지 않는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  24. 제23항에 있어서, 상기 트루홀은 상기 제 2그룹의 상기 전극들 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 적층식 에너지 변환소자.
  25. 제23항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3에너지 변환소자상에 적층되며, 노출될 표면위치에 배치되고 복수의 신호 공급전극을 가진 신호 공급소자, 및 상기 도선에 전기적으로 연결된 상기 신호 공급 전극의 특정 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  26. (a) 적층식 에너지 변환소자로서, 제1그룹으로서 복수의 구동전극을 가진 제1전기-기계적 에너지 변환소자, 제2그룹으로서 복수의 구동전극을 가진 제2전기-기계적 에너지 변환소자, 및 제3그룹으로서 복수의 구동전극을 가진 제3전기-기계적 에너지 변환소자를 구비하되, 상기 제 1, 제 2및 제 3전기-기계적 에너지 변환소자를 상기 제1 및 제3전기-기계적 에너지 변환소자 사이에 샌드위치된 상기 제2전기-기계적 에너지 변환소자와 적층되며, 상기 제1그룹의 상기 전극의 위상은 상기 제 2그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되고, 상기 제2그룹의 상기 전극의 위상은 상기 제3그룹의 상기 전극의 위상으로부터 시프트되는 적층식 에너지 변환소자; (b) 상기 적층식 에너지 변환소자가 기능적으로 부착되는 진동부재; 및 (c) 상기 진동부재와 접촉하는 접촉부재를 구비하되, 상기 진동부재 및 상기 접촉부재는 발생된 진동파에 의해 상대적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  27. 제26항에 있어서, 동상(in phase)인 상기 제1및 제3그룹의 상기 전극의 특정 구동전극이, 형성된 트루홀(through hole)내의 도선을 통해 서로 전기적으로 연결되며, 상기 도선은 상기 제2그룹의 상기 전극에는 전기적으로 연결되지 않는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  28. 제27항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및 제 3에너지 변환소자상에 적층되며, 노출될 표면위치에 배치되고 복수의 신호 공급 전극을 가진 신호 공급 소자, 및 상기 도선에 전기적으로 연결된 상기 신호 공급 전극의 특정 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동파 액츄에이터.
  29. 구동원으로 제26항에 한정된 상기 액츄에이터를 사용하는 구동시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960013350A 1995-04-28 1996-04-27 전기-기계적 에너지 변환 소자 및 이를 이용한 진동파 액츄에이터 KR100233636B1 (ko)

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