JPH0650949B2 - 圧電アクチユエ−タの製造方法 - Google Patents
圧電アクチユエ−タの製造方法Info
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- JPH0650949B2 JPH0650949B2 JP2754087A JP2754087A JPH0650949B2 JP H0650949 B2 JPH0650949 B2 JP H0650949B2 JP 2754087 A JP2754087 A JP 2754087A JP 2754087 A JP2754087 A JP 2754087A JP H0650949 B2 JPH0650949 B2 JP H0650949B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電アクチュエータの製造方法に係り，例えば
圧電モータに好適する圧電アクチュエータの製造方向の
改良に関する。
圧電モータに好適する圧電アクチュエータの製造方向の
改良に関する。
近年，圧電アクチュエータを用いた圧電モータが提案さ
れているが，その圧電アクチュエータとしては，第１１
図に示すように，偏平な圧電板１の片面に複数の分割電
極３を形成し，圧電板１の対向面には分割電極３と重な
るように共通電極５を形成し，隣合う分割電極３の領域
毎に圧電板１に逆の厚み方向分極を交互に施し，金属製
の導電性弾性板７を分割電極３と接触させるようにして
厚電板１に接着剤で固着させた構成を有していた。
れているが，その圧電アクチュエータとしては，第１１
図に示すように，偏平な圧電板１の片面に複数の分割電
極３を形成し，圧電板１の対向面には分割電極３と重な
るように共通電極５を形成し，隣合う分割電極３の領域
毎に圧電板１に逆の厚み方向分極を交互に施し，金属製
の導電性弾性板７を分割電極３と接触させるようにして
厚電板１に接着剤で固着させた構成を有していた。
このような圧電アクチュエータでは，共通電極５と導電
性弾性板７間すなわち共通電極５と分割電極３間に所定
の交流電圧を印加すると，圧電板１が隣合う分割電極３
毎に交互に伸縮振動（第１１図中矢符）を繰り返して圧
電板１に固着された導電性弾性板７が屈曲振動し，第１
２図に示すように，導電性弾性板７の表面上には縦波と
横波の合成された進行波Ａが形成され，時間とともに
Ａ′のように進行する。第１２図中符号ωは進行波の横
振幅，符号ｕは縦振幅である，進行波はこれらの合成さ
れたものである。
性弾性板７間すなわち共通電極５と分割電極３間に所定
の交流電圧を印加すると，圧電板１が隣合う分割電極３
毎に交互に伸縮振動（第１１図中矢符）を繰り返して圧
電板１に固着された導電性弾性板７が屈曲振動し，第１
２図に示すように，導電性弾性板７の表面上には縦波と
横波の合成された進行波Ａが形成され，時間とともに
Ａ′のように進行する。第１２図中符号ωは進行波の横
振幅，符号ｕは縦振幅である，進行波はこれらの合成さ
れたものである。
従って，この導電性弾性板７にスライダー９を載置すれ
ば，その進行波Ａによってスライダーを進行波Ａの進行
方向と反対方向へ移動させることが可能となる。
ば，その進行波Ａによってスライダーを進行波Ａの進行
方向と反対方向へ移動させることが可能となる。
そして，上述した圧電アクチュエータは，分割電極３毎
に逆の厚み方向分極を施す必要があるし，各分割電極３
を正確な位置関係で配列しないと良好な進行波が生じな
いので，従来は１枚の圧電板１に分割電極３および共通
電極５を形成し，その分割電極３を用いて交互に逆の分
極を施すとともに導電性弾性板７と貼合わせて製造して
いた。
に逆の厚み方向分極を施す必要があるし，各分割電極３
を正確な位置関係で配列しないと良好な進行波が生じな
いので，従来は１枚の圧電板１に分割電極３および共通
電極５を形成し，その分割電極３を用いて交互に逆の分
極を施すとともに導電性弾性板７と貼合わせて製造して
いた。
しかしながら，このような製法で作られた圧電アクチュ
エータは，１枚の圧電板１において交互に伸縮振動を生
じさせるから，伸縮振動の大きさが制限されて導電性弾
性板７を大きな変位で屈曲振動させることが困難であっ
た。
エータは，１枚の圧電板１において交互に伸縮振動を生
じさせるから，伸縮振動の大きさが制限されて導電性弾
性板７を大きな変位で屈曲振動させることが困難であっ
た。
導電性弾性板７を大きな変位で屈曲振動させるには，分
割電極３と共通電極５間に高い駆動電圧を印加すればよ
いが，あまり高い駆動電圧を印加して無理に大きな伸縮
振動を生じさせると，圧電板１に割れが生ずる心配があ
り，品質が低下する。
割電極３と共通電極５間に高い駆動電圧を印加すればよ
いが，あまり高い駆動電圧を印加して無理に大きな伸縮
振動を生じさせると，圧電板１に割れが生ずる心配があ
り，品質が低下する。
さらに，分割電極３毎に複数の圧電板を形成して導電性
弾性板７に貼付ける考えもあるが，進行波を生じせるた
めに正確な位置関係で圧電板の伸縮振動領域を形成する
必要があり，個々の圧電板を所定の位置関係で導電性弾
性板７に正確に貼付けることは極めて面倒かつ困難で，
コストの急騰を招く欠点がある。
弾性板７に貼付ける考えもあるが，進行波を生じせるた
めに正確な位置関係で圧電板の伸縮振動領域を形成する
必要があり，個々の圧電板を所定の位置関係で導電性弾
性板７に正確に貼付けることは極めて面倒かつ困難で，
コストの急騰を招く欠点がある。
本発明はこのような従来の欠点を解決するためになされ
たもので，製造が簡単で圧電板に割れを生じさせること
なく大きな伸縮振動を生じさせることが可能な信頼性の
高い圧電アクチュエータの得られる製法を提供するもの
である。
たもので，製造が簡単で圧電板に割れを生じさせること
なく大きな伸縮振動を生じさせることが可能な信頼性の
高い圧電アクチュエータの得られる製法を提供するもの
である。
このような問題点を解決するために本発明は，第１図お
よび第２図のように，圧電板１１を用意してその圧電板
１１の片面に互いに間隔を置いて複数の第１の電極１
３，１７を配列形成し，その圧電板１１の対向面にその
第１の電極１３，１７と対向する第２の電極２１，２３
を形成する。
よび第２図のように，圧電板１１を用意してその圧電板
１１の片面に互いに間隔を置いて複数の第１の電極１
３，１７を配列形成し，その圧電板１１の対向面にその
第１の電極１３，１７と対向する第２の電極２１，２３
を形成する。
他方，金属等からなる導電性弾性体２９を用意して（第
４図），これを第１の電極１，１７側もしくは第２の電
極２１，２３側でその圧電板１１に貼合わせる（第５
図）。その圧電板１１には導電性弾性体２９の貼合わせ
の前もしくは後に，隣合う第１の電極１３，１７領域毎
に交互に逆方向に分極処理を施す（第３図）。
４図），これを第１の電極１，１７側もしくは第２の電
極２１，２３側でその圧電板１１に貼合わせる（第５
図）。その圧電板１１には導電性弾性体２９の貼合わせ
の前もしくは後に，隣合う第１の電極１３，１７領域毎
に交互に逆方向に分極処理を施す（第３図）。
それら分極処理工程および貼合わせ工程終了後に，第６
図のように隣合う第１の電極１３，１７間においてその
圧電板１１を分離して圧電アクチュエータを製造する。
図のように隣合う第１の電極１３，１７間においてその
圧電板１１を分離して圧電アクチュエータを製造する。
このような手段を備えた本発明は，一般に第１および第
２の電極１３，１７，２１，２３が極めて正確な位置関
係で簡単に形成され，それら電極の形成された圧電板１
１を導電性弾性板２９に貼合わせると，圧電板１１の伸
縮振動領域が正確な位置関係で配列されるし，伸縮振動
領域毎に逆の分極処理も簡単にできる。
２の電極１３，１７，２１，２３が極めて正確な位置関
係で簡単に形成され，それら電極の形成された圧電板１
１を導電性弾性板２９に貼合わせると，圧電板１１の伸
縮振動領域が正確な位置関係で配列されるし，伸縮振動
領域毎に逆の分極処理も簡単にできる。
一方，導電性弾性板２９に貼合わせた圧電板１１を第１
の電極１３，１７毎に分離しても，各伸縮振動領域の位
置関係も正確に保たれたまま各々の伸縮振動領域が連続
せずに略独立した状態となり，各々の伸縮振動が自由振
動可能となって大きな伸縮振動が生じ易く，大きな伸縮
振動が生じても圧電板１１に割れが生じ難いし，同じ大
きさ伸縮振動を発生させるにも，従来よりも小さな駆動
電圧を印加するだけよい。
の電極１３，１７毎に分離しても，各伸縮振動領域の位
置関係も正確に保たれたまま各々の伸縮振動領域が連続
せずに略独立した状態となり，各々の伸縮振動が自由振
動可能となって大きな伸縮振動が生じ易く，大きな伸縮
振動が生じても圧電板１１に割れが生じ難いし，同じ大
きさ伸縮振動を発生させるにも，従来よりも小さな駆動
電圧を印加するだけよい。
以下本発明の実施例を説明する。
第１図〜第６図は本発明の一実施例を示す工程図であ
る。
る。
まず，チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）やチタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）等の強誘電
体材料を偏平なリング状に成形・焼成して第１図のよう
な圧電板１１を作り，上面（第１図中では隠れる）およ
びこれに対向する下面を研磨する。
ルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）等の強誘電
体材料を偏平なリング状に成形・焼成して第１図のよう
な圧電板１１を作り，上面（第１図中では隠れる）およ
びこれに対向する下面を研磨する。
続いて，第２図Ａのように，圧電板１１の上面に，所定
の間隔を置いて周方向に配列した８個の分割電極１３か
らなる第１の区間電極１５と，同様に８個の分割電極１
７からなる第２の区間電極１９とを（３／４）λの間隔
を置いて非対称に形成する。符号λは圧電アクチュエー
タの固有振動波長である。
の間隔を置いて周方向に配列した８個の分割電極１３か
らなる第１の区間電極１５と，同様に８個の分割電極１
７からなる第２の区間電極１９とを（３／４）λの間隔
を置いて非対称に形成する。符号λは圧電アクチュエー
タの固有振動波長である。
圧電板１１の下面には，第２図Ｂに示すように，２つの
共通電極２１，２３を非対称に形成する。一方の共通電
極２１は第１の区間電極１５と対向し，他方の共通電極
２３は第２の区間電極１９と対向している。
共通電極２１，２３を非対称に形成する。一方の共通電
極２１は第１の区間電極１５と対向し，他方の共通電極
２３は第２の区間電極１９と対向している。
これら分割電極１３，１７や共通電極２１，２３は，例
えば銀材料の如き導電性金属材料を圧電板１１の上面お
よび下面に蒸着や印刷する等，従来公知の手法によって
形成する。
えば銀材料の如き導電性金属材料を圧電板１１の上面お
よび下面に蒸着や印刷する等，従来公知の手法によって
形成する。
次に，圧電板１１には，分割電極１３および分割電極１
７の各々において，第３図に示すように，交互に逆の厚
み方向分極を施して圧電振動子２５を形成する。
７の各々において，第３図に示すように，交互に逆の厚
み方向分極を施して圧電振動子２５を形成する。
交互に逆の分極を施すには，分割電極１３，１７のうち
１個置きの分割電極１３，１７と共通電極２１，２３間
に高直流電圧を印加する一方，分割電極１３，１７の残
りの１個置きの電極と共通電極２１，２３間に逆極性の
高直流電圧を印加すればよい。
１個置きの分割電極１３，１７と共通電極２１，２３間
に高直流電圧を印加する一方，分割電極１３，１７の残
りの１個置きの電極と共通電極２１，２３間に逆極性の
高直流電圧を印加すればよい。
次いで，例えば銅合金をリング状に成形加工しかつ上部
に直径方向に沿った多数のスリット２７を狭い間隔でく
し歯状に形成した導電性弾性板２９を用意する（第４
図）。
に直径方向に沿った多数のスリット２７を狭い間隔でく
し歯状に形成した導電性弾性板２９を用意する（第４
図）。
そして，分割電極１３，１７と導電性弾性板２９が接触
するようにして圧電振動子２５と導電性弾性板２９をエ
ポキシ系接着剤にて貼合わせ，第５図のような圧電アク
チュエータを作る。
するようにして圧電振動子２５と導電性弾性板２９をエ
ポキシ系接着剤にて貼合わせ，第５図のような圧電アク
チュエータを作る。
さらに，第６図に示すように，分割電極１５や１７にあ
って隣合う電極間ギャップ領域３１に相当する部分を，
共通電極２１，２３側からカッター（図示せず）にて圧
電板１１を切削して，各分割電極１５，１７毎に圧電板
１１を分離する。切削する際の目安として，共通電極２
１，２３には電極ギャップ領域３１に相当する位置に目
印を形成しておくとよい。
って隣合う電極間ギャップ領域３１に相当する部分を，
共通電極２１，２３側からカッター（図示せず）にて圧
電板１１を切削して，各分割電極１５，１７毎に圧電板
１１を分離する。切削する際の目安として，共通電極２
１，２３には電極ギャップ領域３１に相当する位置に目
印を形成しておくとよい。
第６図中の符号３３は分離溝である。また，切削時に導
電性弾性板２９にも極浅い分離溝が形成される場合があ
るが，圧電アクチュエータの動作に支障はない。
電性弾性板２９にも極浅い分離溝が形成される場合があ
るが，圧電アクチュエータの動作に支障はない。
こうして製造された圧電アクチュエータは，分割電極１
３，１７が導電性弾性板２９にて共通接触されており，
第７図に示すように，共通電極２１と導電性弾性板２９
間に圧電アクチュエータの固有振動数に等しい周波数の
交流電圧Ａ（Ｖ０ｓｉｎωｔ）を加え，共通電極２３と
導電性弾性板２９間には圧電アクチュエータの固有振動
数に等しくかつ時間的位相が９０゜異なる交流電圧Ｂ
（Ｖ０ｃｏｓωｔ）を印加することにより，圧電板１１
が分割電極１３，１７毎に交互に周方向に伸縮振動す
る。なお，共通電極２１，２３は各々分割されているか
ら，導線によって共通接続する。
３，１７が導電性弾性板２９にて共通接触されており，
第７図に示すように，共通電極２１と導電性弾性板２９
間に圧電アクチュエータの固有振動数に等しい周波数の
交流電圧Ａ（Ｖ０ｓｉｎωｔ）を加え，共通電極２３と
導電性弾性板２９間には圧電アクチュエータの固有振動
数に等しくかつ時間的位相が９０゜異なる交流電圧Ｂ
（Ｖ０ｃｏｓωｔ）を印加することにより，圧電板１１
が分割電極１３，１７毎に交互に周方向に伸縮振動す
る。なお，共通電極２１，２３は各々分割されているか
ら，導線によって共通接続する。
そのため，圧電振動子２５に貼付けた導電性弾性板２９
には異なる２つの定在波が生じ，それら双方の定在波が
干渉して周方向に進行する進行波が生じる（第１２図参
照）。従って，導電性弾性板２９に負荷を裁置すれば，
この進行波によって負荷が移動する。
には異なる２つの定在波が生じ，それら双方の定在波が
干渉して周方向に進行する進行波が生じる（第１２図参
照）。従って，導電性弾性板２９に負荷を裁置すれば，
この進行波によって負荷が移動する。
このように本発明では，圧電振動子２５と導電性弾性板
２９とを貼合わせた後に圧電板１１を個々の分割電極１
３，１７毎に切削分離するだけで，所定の正確な位置関
係で分割電極１３，１７が導電性弾性板２９に配列され
るから，一々分割電極毎に形成した圧電板を貼付けると
いう面倒な工程が不要で製造が簡単となる。そして，正
確な位置関係の振動領域によって良好な進行波が得られ
る。
２９とを貼合わせた後に圧電板１１を個々の分割電極１
３，１７毎に切削分離するだけで，所定の正確な位置関
係で分割電極１３，１７が導電性弾性板２９に配列され
るから，一々分割電極毎に形成した圧電板を貼付けると
いう面倒な工程が不要で製造が簡単となる。そして，正
確な位置関係の振動領域によって良好な進行波が得られ
る。
しかも，隣合う分割電極１３，１７間では分離溝３３に
よって圧電板１１が個々の分割電極１３，１７毎に分割
されているから，分割電極１３と共通電極２１で挟まれ
た圧電板１１部分や分割電極１７と共通電極２３で挟ま
れた圧電板１１部分では各々の振動領域が独立し，隣合
う伸縮振動の影響を受けずに十分に伸縮振動が可能とな
り，導電性弾性板２９には大きな屈曲振動が生じ，振幅
の大きな進行波が得られる。
よって圧電板１１が個々の分割電極１３，１７毎に分割
されているから，分割電極１３と共通電極２１で挟まれ
た圧電板１１部分や分割電極１７と共通電極２３で挟ま
れた圧電板１１部分では各々の振動領域が独立し，隣合
う伸縮振動の影響を受けずに十分に伸縮振動が可能とな
り，導電性弾性板２９には大きな屈曲振動が生じ，振幅
の大きな進行波が得られる。
また，共通電極２１，２３と分割電極１３，１７間に大
きな駆動電圧を印加して大きな伸縮振動が生じても圧電
板１１が割れ難いし，従来と同じレベルの駆動電圧を印
加しても従来例において圧電板１１に生じる大きさ以上
の伸縮振動を得ることが可能であるから，従来と同程度
の進行波を得るにはより小さい駆動電圧を印加すればよ
く，駆動電圧を出力する駆動回路の規模を小さくするこ
とが可能となり，駆動回路の消費電力が小さく信頼性が
向上する。
きな駆動電圧を印加して大きな伸縮振動が生じても圧電
板１１が割れ難いし，従来と同じレベルの駆動電圧を印
加しても従来例において圧電板１１に生じる大きさ以上
の伸縮振動を得ることが可能であるから，従来と同程度
の進行波を得るにはより小さい駆動電圧を印加すればよ
く，駆動電圧を出力する駆動回路の規模を小さくするこ
とが可能となり，駆動回路の消費電力が小さく信頼性が
向上する。
第８図は本発明によって製造した圧電アクチュエータを
用いた圧電モータを示す図である。
用いた圧電モータを示す図である。
回転軸３５を回転自在に支持したステータ基台３７にク
ッションシート３９を敷き，その上に圧電振動子２５と
導電性弾性板２９を貼合わせた圧電アクチュエータを取
付けてステータを形成し，導電性弾性板２９上にリンク
状のスライダー４１を重ねるとともにこれを回転軸３５
に固定してロータを形成して圧電モータが構成されてい
る。
ッションシート３９を敷き，その上に圧電振動子２５と
導電性弾性板２９を貼合わせた圧電アクチュエータを取
付けてステータを形成し，導電性弾性板２９上にリンク
状のスライダー４１を重ねるとともにこれを回転軸３５
に固定してロータを形成して圧電モータが構成されてい
る。
そして，圧電振動子２５に駆動交流電圧を印加させる
と，導電性弾性板２９の上面に進行波が生じてスライダ
ー４１が回転し，回転軸３５から回転力が得られる。な
お，符号４３はスプリングであってスライダー４１の導
電性弾性板２９への加圧力を調節するものである。
と，導電性弾性板２９の上面に進行波が生じてスライダ
ー４１が回転し，回転軸３５から回転力が得られる。な
お，符号４３はスプリングであってスライダー４１の導
電性弾性板２９への加圧力を調節するものである。
上述した第１図に示す実施例は，偏平なリング状の圧電
振動子２５とリング状の導電性弾性板２９を上下方向で
積層する構成であったが，本発明は筒型の圧電板の内外
面に電極を対向するように形成して圧電振動子を形成
し，その圧電振動子の内側もしくは外側に環状の導電性
弾性板を貼合わせた構成の圧電アクチュエータを製造す
る際にも実施可能である。
振動子２５とリング状の導電性弾性板２９を上下方向で
積層する構成であったが，本発明は筒型の圧電板の内外
面に電極を対向するように形成して圧電振動子を形成
し，その圧電振動子の内側もしくは外側に環状の導電性
弾性板を貼合わせた構成の圧電アクチュエータを製造す
る際にも実施可能である。
さらに，本発明は，第９図に示すように，長方形の圧電
板４５の片面に分割電極（第９図中隠れる）を所定の間
隔で直線状に配列形成する一方，裏面に共通電極４７を
形成し，各電極間ギャップ領域において共通電極４７側
から圧電板４５を切削分離する製造方法も可能である。
符号４９は分離溝であり，符号５１は圧電板４５と貼合
わせる導電性弾性板である。
板４５の片面に分割電極（第９図中隠れる）を所定の間
隔で直線状に配列形成する一方，裏面に共通電極４７を
形成し，各電極間ギャップ領域において共通電極４７側
から圧電板４５を切削分離する製造方法も可能である。
符号４９は分離溝であり，符号５１は圧電板４５と貼合
わせる導電性弾性板である。
このような構成の圧電アクチュエータでは，直線状に進
行する進行波が導電性弾性板５１に生じるから，直線方
向に負荷を移動させることが可能となる。
行する進行波が導電性弾性板５１に生じるから，直線方
向に負荷を移動させることが可能となる。
このように，圧電板１１１，４５の切削分離方向は分割
電極１３，１７の配列状態に応じて選定すればよく，分
割電極１３，１７の配列方向を横切る方向であればよ
く，さらに分離手法は切削に限定されない。
電極１３，１７の配列状態に応じて選定すればよく，分
割電極１３，１７の配列方向を横切る方向であればよ
く，さらに分離手法は切削に限定されない。
また，本発明は，第１０図に示すように，圧電板５３の
片面に分割電極５５を，対向面に共通電極５７を形成
し，共通電極５７を導電性弾性板５９に接触させるよう
にして圧電板５３と導電性弾性板５９を貼合わせ，分割
電極５５側から圧電板５３を切削分離して分離溝６１を
形成する手法も可能である。
片面に分割電極５５を，対向面に共通電極５７を形成
し，共通電極５７を導電性弾性板５９に接触させるよう
にして圧電板５３と導電性弾性板５９を貼合わせ，分割
電極５５側から圧電板５３を切削分離して分離溝６１を
形成する手法も可能である。
このように，分割電極５５側から圧電板５３を分離する
手法では，分離位置の目印を予め共通電極５７に形成す
る必要はないし，圧電板５３を導電性弾性板５９に貼付
けた後に分極処理可能である。
手法では，分離位置の目印を予め共通電極５７に形成す
る必要はないし，圧電板５３を導電性弾性板５９に貼付
けた後に分極処理可能である。
本発明においては，圧電板１１，４５，５３や導電性弾
性板２９，５１，５９の形状は圧電アクチュエータを駆
動源として用いる機器に応じて変形可能であり，分離す
る位置も任意であって全ての分割電極１３，１７，５５
間のギャップ領域に形成する必要はない。
性板２９，５１，５９の形状は圧電アクチュエータを駆
動源として用いる機器に応じて変形可能であり，分離す
る位置も任意であって全ての分割電極１３，１７，５５
間のギャップ領域に形成する必要はない。
以上説明したように本発明の圧電アクチュエータの製造
方法は，圧電板と導電性弾性体の貼付けの前もしくは後
に隣合う第１の電極領域毎に交互に逆方向にその圧電板
に分極処理を施し，その後に隣合う第１の電極間におい
てその圧電板を分離するから，分割電極毎に形成した圧
電板を貼付けることなく圧電板の伸縮振動領域が正確な
位置関係で導電性弾性板に形成されると同時に，極めて
簡単に伸縮振動領域が独立位置関係で配列される。
方法は，圧電板と導電性弾性体の貼付けの前もしくは後
に隣合う第１の電極領域毎に交互に逆方向にその圧電板
に分極処理を施し，その後に隣合う第１の電極間におい
てその圧電板を分離するから，分割電極毎に形成した圧
電板を貼付けることなく圧電板の伸縮振動領域が正確な
位置関係で導電性弾性板に形成されると同時に，極めて
簡単に伸縮振動領域が独立位置関係で配列される。
そのため，製造が簡単でコスト高を抑えることができる
し，振幅の大きな進行波を得ることが可能であるととも
に，品質が低下せず信頼性も向上する。
し，振幅の大きな進行波を得ることが可能であるととも
に，品質が低下せず信頼性も向上する。
なお，本発明の圧電アクチュエータの応用例としては，
上述した圧電モータの他にも種々に応用可能である。
上述した圧電モータの他にも種々に応用可能である。
第１図〜第６図は本発明に係る圧電アクチュエータの製
造方法の一実施例を示す工程図，第７図は第１図〜第６
図によって製造された圧電アクチュエータの動作を説明
する図，第８図は本発明によって製造された圧電アクチ
ュエータを用いた電子機器を圧電モータを例にして示す
斜視図（一部破断して示す），第９図および第１０図は
本発明の圧電アクチュエータの製造方法の他の例を示す
斜視図および要部断面図，第１１図は従来の圧電アクチ
ュエータを示す部分断面図，第１２図は圧電アクチュエ
ータの動作を説明する図である。 １，１１，４５，５３……圧電板 ３，１３，１７，５５……第１の電極（分割電極） ５，２１，２３，４７，５７……第２の電極（共通電
極） ７，２９，５１，５９……導電性弾性板（導電性弾性
板） ９，４１……スライダー １５……第１の区間電極 １９……第２の区間電極 ２５……圧電振動子 ３１……ギャップ領域 ３３，４９，６１……分離溝
造方法の一実施例を示す工程図，第７図は第１図〜第６
図によって製造された圧電アクチュエータの動作を説明
する図，第８図は本発明によって製造された圧電アクチ
ュエータを用いた電子機器を圧電モータを例にして示す
斜視図（一部破断して示す），第９図および第１０図は
本発明の圧電アクチュエータの製造方法の他の例を示す
斜視図および要部断面図，第１１図は従来の圧電アクチ
ュエータを示す部分断面図，第１２図は圧電アクチュエ
ータの動作を説明する図である。 １，１１，４５，５３……圧電板 ３，１３，１７，５５……第１の電極（分割電極） ５，２１，２３，４７，５７……第２の電極（共通電
極） ７，２９，５１，５９……導電性弾性板（導電性弾性
板） ９，４１……スライダー １５……第１の区間電極 １９……第２の区間電極 ２５……圧電振動子 ３１……ギャップ領域 ３３，４９，６１……分離溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秋友 英次 埼玉県上尾市西宮下４丁目235番地４ (56)参考文献 特開 昭62−159480（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−110388（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−245483（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−193572（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−146477（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】圧電板の片面に互いに間隔を置いて複数の
第１の電極を配列形成する一方，前記圧電板の対向面に
前記第１の電極と対向する第２の電極を形成する工程
と， 隣合う前記第１の電極領域における前記圧電板に交互に
逆方向の分極処理を施す工程と， 前記第１もしくは第２の電極側で前記圧電板と導電性弾
性体を貼合わせる工程と， 前記分極処理工程および前記貼合わせ工程終了後に隣合
う前記第１の電極間において前記圧電板を分離する工程
と， を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2754087A JPH0650949B2 (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 圧電アクチユエ−タの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2754087A JPH0650949B2 (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 圧電アクチユエ−タの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63194581A JPS63194581A (ja) | 1988-08-11 |
| JPH0650949B2 true JPH0650949B2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=12223919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2754087A Expired - Lifetime JPH0650949B2 (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 圧電アクチユエ−タの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650949B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5654604A (en) * | 1993-02-02 | 1997-08-05 | Nikon Corporation | Vibration motor having improved adhesive layer between electromechanical conversion element and elastic body |
| WO1997039520A2 (en) * | 1996-04-17 | 1997-10-23 | California Institute Of Technology | High torque ultrasonic motor system |
| JP2018108001A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ワーク搬送装置 |
| CN108249109B (zh) * | 2016-12-28 | 2021-10-26 | 昕芙旎雅有限公司 | 工件输送装置及工件输送装置的调整方法 |
-
1987
- 1987-02-09 JP JP2754087A patent/JPH0650949B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63194581A (ja) | 1988-08-11 |
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