JPS6026476A - 圧電体モ−タ - Google Patents
圧電体モ−タInfo
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- JPS6026476A JPS6026476A JP58136054A JP13605483A JPS6026476A JP S6026476 A JPS6026476 A JP S6026476A JP 58136054 A JP58136054 A JP 58136054A JP 13605483 A JP13605483 A JP 13605483A JP S6026476 A JPS6026476 A JP S6026476A
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- piezoelectric motor
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電体を用いたモータの改良に係シ、単純な駆
動力発生機構にもとづく高効率なモータを提供すること
を目的とする。
動力発生機構にもとづく高効率なモータを提供すること
を目的とする。
従来のとの種装置は固定子と可動子又は回転子との接触
面において一方の表面を同位相もしくは週期位相で部内
運動させ、部内の回転の向きと逆に生ずるトルクを利用
したものである。圧電体はとの部内運動の発生源として
利用されるが、たてモード素子の上に辷先モード素子を
結合し部内運動をさせる方法があるが、この方法では辷
シモード素子の製造が容易ではない欠点があった。一方
、圧電体で固定子もしくは可動子の表面に表面弾性波を
発生させ、生ずる進行波のうち一方を消滅させ他方を利
用する表面弾性波モーターもある。この場合も固体の表
面は周期位相の部内運動を行うが、反射波の制御を要す
るなど、駆動力への変換効率が低い欠点があった。
面において一方の表面を同位相もしくは週期位相で部内
運動させ、部内の回転の向きと逆に生ずるトルクを利用
したものである。圧電体はとの部内運動の発生源として
利用されるが、たてモード素子の上に辷先モード素子を
結合し部内運動をさせる方法があるが、この方法では辷
シモード素子の製造が容易ではない欠点があった。一方
、圧電体で固定子もしくは可動子の表面に表面弾性波を
発生させ、生ずる進行波のうち一方を消滅させ他方を利
用する表面弾性波モーターもある。この場合も固体の表
面は周期位相の部内運動を行うが、反射波の制御を要す
るなど、駆動力への変換効率が低い欠点があった。
この発明は上述した従来技術の欠点を解消するもので、
固定子と可動子とからなるモータにおいて、固定子と可
動子の面を略々一定間隔の平行平面に保つごとく保持し
、との平行平面間に、両主面に電極を施し、厚み方向を
電気軸とする圧電体の矩形状板を少なくとも１枚以上平
行面と垂直ならざる方位に固定するものとし、矩形状板
の一辺に沿った部分を支持部として、固定子もしくは可
動子のいづれか一方の平行面に斜めに接したとき、他の
平行面にも矩形板の対辺が固く接する状順で支持部を固
定し交番電圧の印加に伴う圧電体の伸縮が平面四隅を斜
めに押し広げるよう作用する結果、その分力を受けて可
動子が固定子に対して平行に移動することを特徴とする
圧電体モータによって目的を達成したものである。
固定子と可動子とからなるモータにおいて、固定子と可
動子の面を略々一定間隔の平行平面に保つごとく保持し
、との平行平面間に、両主面に電極を施し、厚み方向を
電気軸とする圧電体の矩形状板を少なくとも１枚以上平
行面と垂直ならざる方位に固定するものとし、矩形状板
の一辺に沿った部分を支持部として、固定子もしくは可
動子のいづれか一方の平行面に斜めに接したとき、他の
平行面にも矩形板の対辺が固く接する状順で支持部を固
定し交番電圧の印加に伴う圧電体の伸縮が平面四隅を斜
めに押し広げるよう作用する結果、その分力を受けて可
動子が固定子に対して平行に移動することを特徴とする
圧電体モータによって目的を達成したものである。
本発明の圧電体モータの動作原理を第１図に従って説明
する。
する。
圧電体結晶を電気軸に垂直にスライスし、スライスした
面に電極を施した圧電素子板に電圧を印加すると厚さが
変化すると同時に面内にも変形が生じる。例えば圧電セ
ラミック板を厚み方向に分極した圧電板の場合は、電圧
によって厚さが増加すると面が一様に縮少し、厚さが減
少すると面が一様に伸張する。この変形ひずみ５ｎ＝８
２２ は印加電圧■に対して Ｓ １１ ： ｄ ｘｓ Ｖ／ｌ （１１で表わされる
。ここでｄｘｓは圧電定数ｔは板の厚さである。板の長
さｌの変化△ｌは（１）式よシ△ｌ ＝ ｄｘｓ Ｖ’
（２１ と表わされるので、同じ電圧に対する伸びはＩＡに比例
し、薄く長い程大きい。さてこの板１の一辺に沿った部
分１１を板５に斜めに埋め込み固定する。この圧電セラ
ミック薄板の先端が別の平板６に斜めに接した状態で平
板５と６を平りな一定間隔に保ったままセラミック薄板
１の電極２．３に電圧を印加する。板が長さ方向に伸び
ようとすると、平行平板５と６の間隔を広げる力が作用
し、平板５と６とはその分力で互に逆方向に平行移動し
、板ｌは点線のように反る。この反シで板１には曲けの
力が作用しているので、電圧をＯにすると板１線元の状
態に縮むがこのとき平板５と６と線移動しない。したが
って平板５と６とは、圧電板が伸びたときだけ移動する
ので、交流電比を印加すると半周期ごとに移動する。−
回の移動距離Δ）は（２１式で表わされ、ｄｓｘ＝２８
０ｐｍ／ｖｌ＝１４朋、ｔ ＝ ０．１ ｖｒｍとする
と△ＪＩ−＋４ＸｌＯｍｍ／Ｖとなり印加電圧に比例す
る。印加電圧が１００ｖの場合は４μ惟である。板と平
板５．６とのなす角を４５°にした場合平板の移動距離
は４／、／′Ｔｔｔｍである０ここで、実効値１００Ｖ
の交流電圧に対する一周期分の移動距離は４μ情であシ
、印加電圧の周波数を５０ＫＨｚとすると移動速度は２
０ Ｑｉｍ／Ｓとなる。以上が本発明の圧電モータの動
作原理である。以下、本発明の実施例を図面に従って説
明する。
面に電極を施した圧電素子板に電圧を印加すると厚さが
変化すると同時に面内にも変形が生じる。例えば圧電セ
ラミック板を厚み方向に分極した圧電板の場合は、電圧
によって厚さが増加すると面が一様に縮少し、厚さが減
少すると面が一様に伸張する。この変形ひずみ５ｎ＝８
２２ は印加電圧■に対して Ｓ １１ ： ｄ ｘｓ Ｖ／ｌ （１１で表わされる
。ここでｄｘｓは圧電定数ｔは板の厚さである。板の長
さｌの変化△ｌは（１）式よシ△ｌ ＝ ｄｘｓ Ｖ’
（２１ と表わされるので、同じ電圧に対する伸びはＩＡに比例
し、薄く長い程大きい。さてこの板１の一辺に沿った部
分１１を板５に斜めに埋め込み固定する。この圧電セラ
ミック薄板の先端が別の平板６に斜めに接した状態で平
板５と６を平りな一定間隔に保ったままセラミック薄板
１の電極２．３に電圧を印加する。板が長さ方向に伸び
ようとすると、平行平板５と６の間隔を広げる力が作用
し、平板５と６とはその分力で互に逆方向に平行移動し
、板ｌは点線のように反る。この反シで板１には曲けの
力が作用しているので、電圧をＯにすると板１線元の状
態に縮むがこのとき平板５と６と線移動しない。したが
って平板５と６とは、圧電板が伸びたときだけ移動する
ので、交流電比を印加すると半周期ごとに移動する。−
回の移動距離Δ）は（２１式で表わされ、ｄｓｘ＝２８
０ｐｍ／ｖｌ＝１４朋、ｔ ＝ ０．１ ｖｒｍとする
と△ＪＩ−＋４ＸｌＯｍｍ／Ｖとなり印加電圧に比例す
る。印加電圧が１００ｖの場合は４μ惟である。板と平
板５．６とのなす角を４５°にした場合平板の移動距離
は４／、／′Ｔｔｔｍである０ここで、実効値１００Ｖ
の交流電圧に対する一周期分の移動距離は４μ情であシ
、印加電圧の周波数を５０ＫＨｚとすると移動速度は２
０ Ｑｉｍ／Ｓとなる。以上が本発明の圧電モータの動
作原理である。以下、本発明の実施例を図面に従って説
明する。
実施例１
第１図で説、明したのと同じ、厚さＱ、 ｌ ｔｓｍ、
幅１０闘、長さ１４闘の圧電セラミック板を多数用意し
、長さ方向に直角に厚さ０．１ｘｉ ＠ １２順、長さ
４ｍｙｔの燐青銅板９をセラミック板の端部に導電ペー
ストで接着した部分Ｓ４の向きが互いに逆になるように
重ね、４５°の傾斜面を有する高さ４−の真鍮ブロック
７．８で挾み、これらをネジ１１で可動子５に固定した
０燐青銅板は交互に’ｌｎｗｒだけセラミックの左右へ
はみ出すように付けられておシ、左側へはみ出したグル
ープと右側へはみ出したグループとは別々のリード線１
０．１２を半田付けしてグループ同志接続し、グループ
間に電圧を印加できるようにした。リード線１０．１２
を通してグループ間に電圧を印加するとセラミック板１
には交互に逆位相の電圧が印加されるが、分極の向きが
交互に逆向きになっているので結局、分極の向きに対し
てはどの圧電セラミックにも同じ極性の同じ大きさの電
圧が印加されることになる。
幅１０闘、長さ１４闘の圧電セラミック板を多数用意し
、長さ方向に直角に厚さ０．１ｘｉ ＠ １２順、長さ
４ｍｙｔの燐青銅板９をセラミック板の端部に導電ペー
ストで接着した部分Ｓ４の向きが互いに逆になるように
重ね、４５°の傾斜面を有する高さ４−の真鍮ブロック
７．８で挾み、これらをネジ１１で可動子５に固定した
０燐青銅板は交互に’ｌｎｗｒだけセラミックの左右へ
はみ出すように付けられておシ、左側へはみ出したグル
ープと右側へはみ出したグループとは別々のリード線１
０．１２を半田付けしてグループ同志接続し、グループ
間に電圧を印加できるようにした。リード線１０．１２
を通してグループ間に電圧を印加するとセラミック板１
には交互に逆位相の電圧が印加されるが、分極の向きが
交互に逆向きになっているので結局、分極の向きに対し
てはどの圧電セラミックにも同じ極性の同じ大きさの電
圧が印加されることになる。
圧電セラミック板ｌを１００枚と燐青銅板９９枚とを上
述したように組み合わせた約３０朋のブロックを内蔵し
た可動子５を第３図に示したように車輪１４のついた枠
１３によってレール１５の上に固定した。接触圧調整ネ
ジ１６および１７によって駆動力を調整した。
述したように組み合わせた約３０朋のブロックを内蔵し
た可動子５を第３図に示したように車輪１４のついた枠
１３によってレール１５の上に固定した。接触圧調整ネ
ジ１６および１７によって駆動力を調整した。
レール上にセットされた可動子５の前に１ｋｌｉｌの重
さの鉄製の直方体ブロックを置き、リード線１０．１２
、に７０Ｖ約５０ＫＨｚの交流電圧を印加したところ可
動子は１ｋｇのブロックを滑らせなから１００闘／Ｓの
早さで移動した。
さの鉄製の直方体ブロックを置き、リード線１０．１２
、に７０Ｖ約５０ＫＨｚの交流電圧を印加したところ可
動子は１ｋｇのブロックを滑らせなから１００闘／Ｓの
早さで移動した。
実施例２
実施例１と同じ圧電セラミック板を１２０枚用意し、こ
れを直径６０朋の円筒状回転子５の上に第４図に示すよ
うに放射状に並らべ、回転子の面と４５°の角度で、間
に約１．４ｍｍ厚さのベーク板９と真鍮板８とを交互に
スペーサとして挿入した状態で固定した。真鍮板８は老
ラミック板１の電極と接し、さらに真鍮の回転子と電気
的に接しておシ、これらは回転軸１１を通して接地され
ている。ベークライトのスペーサと接した面の電極はベ
ークライト上の導電ペーストで電気的に接続されさらに
、リード線１０を通して全て同電位にまとめられている
。第４図に示した回転子のセラミック、駆動体と接する
ように直径６０闘の固定子の中心孔を回転軸１１に通し
て嵌め込む、固定子と回転子とは回転軸によって、回転
中心を固定し、さらにバネによってセラミック、駆動子
が固定子の面と強く接触するよう接触圧力を調整する。
れを直径６０朋の円筒状回転子５の上に第４図に示すよ
うに放射状に並らべ、回転子の面と４５°の角度で、間
に約１．４ｍｍ厚さのベーク板９と真鍮板８とを交互に
スペーサとして挿入した状態で固定した。真鍮板８は老
ラミック板１の電極と接し、さらに真鍮の回転子と電気
的に接しておシ、これらは回転軸１１を通して接地され
ている。ベークライトのスペーサと接した面の電極はベ
ークライト上の導電ペーストで電気的に接続されさらに
、リード線１０を通して全て同電位にまとめられている
。第４図に示した回転子のセラミック、駆動体と接する
ように直径６０闘の固定子の中心孔を回転軸１１に通し
て嵌め込む、固定子と回転子とは回転軸によって、回転
中心を固定し、さらにバネによってセラミック、駆動子
が固定子の面と強く接触するよう接触圧力を調整する。
リード線ｌＯと接地端子の間に５０ＫＨｚ１００Ｖの電
圧を印加したところ回転子が秒速２回転位で回転し始め
た。この状態で周波数を変えてみたところ、５３ＫＨｚ
付近で鋭い共振特性を有するらしく、電圧を３０Ｖ程度
に下げても、毎秒数１０回転で回わることが判った。以
上の実施例では、老ラミック状には矩形板を用いたが、
二辺が平行ならば台形でも菱形でも良い。なおこれら士
ラミック駆動子を固定子に取シ付けた場合も同様に可動
子を動かすことができた。さらに本実施例では駆動子に
圧電セラミックを用いた例について説明したが、チタン
酸バリウム、ニオブ酸リチウム、硫酸グリシン、ロッシ
エル塩など圧電効果の大きな単結晶を用いても同様の結
果が得られることは言うまでもない。
圧を印加したところ回転子が秒速２回転位で回転し始め
た。この状態で周波数を変えてみたところ、５３ＫＨｚ
付近で鋭い共振特性を有するらしく、電圧を３０Ｖ程度
に下げても、毎秒数１０回転で回わることが判った。以
上の実施例では、老ラミック状には矩形板を用いたが、
二辺が平行ならば台形でも菱形でも良い。なおこれら士
ラミック駆動子を固定子に取シ付けた場合も同様に可動
子を動かすことができた。さらに本実施例では駆動子に
圧電セラミックを用いた例について説明したが、チタン
酸バリウム、ニオブ酸リチウム、硫酸グリシン、ロッシ
エル塩など圧電効果の大きな単結晶を用いても同様の結
果が得られることは言うまでもない。
以上説明したように、固定子と可動子とからなるモータ
において、固定子と可動子の面を略々上定間隔の平行平
面に保つべく保持し、この平行平面間に両生面に電極を
施し、厚み方向を電気軸とする圧電体の矩形状板を少な
くとも１枚以上子行面と垂直ならざる方位に固定するも
のとし、矩形状板の一辺に沿った部分を支持部として、
固定子もしくは可動子のいづれか一方の平行面に斜めに
接したとき、他方の平行面にも、矩形状板の対辺が固く
接する状態で支持部を固定し、交番電圧の印加に伴う圧
電体の伸縮が平面間隔を斜めに押し広げるように作用す
る結果、その分力として可動子が固定子に対して平行移
動するように構成したから、入力電気エネルギーに対し
て得られる機械的駆動力の割合が高い高効率のモータを
、単純な原理にもとづく単純な構成法で実現できた。
において、固定子と可動子の面を略々上定間隔の平行平
面に保つべく保持し、この平行平面間に両生面に電極を
施し、厚み方向を電気軸とする圧電体の矩形状板を少な
くとも１枚以上子行面と垂直ならざる方位に固定するも
のとし、矩形状板の一辺に沿った部分を支持部として、
固定子もしくは可動子のいづれか一方の平行面に斜めに
接したとき、他方の平行面にも、矩形状板の対辺が固く
接する状態で支持部を固定し、交番電圧の印加に伴う圧
電体の伸縮が平面間隔を斜めに押し広げるように作用す
る結果、その分力として可動子が固定子に対して平行移
動するように構成したから、入力電気エネルギーに対し
て得られる機械的駆動力の割合が高い高効率のモータを
、単純な原理にもとづく単純な構成法で実現できた。
第１図は本発明による圧電体モータの原理説明図０第２
図は本発明による圧電体モータの一実施例の構成説明の
断面図。 第３図は第２図の圧電モータをレール上にセットして、
駆動する構成説明のための断ｍ１図。 第４図は本発明による圧電体モータの回転型の一実施例
を示す回転子面の平面図。 １・・・セラミック板、４・・・分極、５・・・可動子
、７，８・・・真鍮ブロック、９・・・燐青銅板、１０
．１２・・・リード線、１３・・・枠、１４・・・車輪
、１５・・・レール出願人 日立マクセル株式会社 代表者 永 井 厚 第１図 ＼ 第２図 ／ 第３図 ６ ５ 第４図
図は本発明による圧電体モータの一実施例の構成説明の
断面図。 第３図は第２図の圧電モータをレール上にセットして、
駆動する構成説明のための断ｍ１図。 第４図は本発明による圧電体モータの回転型の一実施例
を示す回転子面の平面図。 １・・・セラミック板、４・・・分極、５・・・可動子
、７，８・・・真鍮ブロック、９・・・燐青銅板、１０
．１２・・・リード線、１３・・・枠、１４・・・車輪
、１５・・・レール出願人 日立マクセル株式会社 代表者 永 井 厚 第１図 ＼ 第２図 ／ 第３図 ６ ５ 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）固定子と可動子とからなるモータにおいて、固定
子と可動子の面を略々一定間隔の平行平面に保つごとく
保持し、この平行平面間に、両生面に電極を施し、厚み
方向を電気軸とする圧電体の矩形状板を少なくとも１枚
以上子行面と垂直ならざる方位に固定するものとし、矩
形状板の一辺に沿った部分を支持部として、固定子もし
くは可動子のいづれか一方の平行面に斜めに接したとき
、他方の平行面にも、矩形状板の対辺が固く接する状態
で支持部を固定し、交番電圧の印加に伴う圧電体の伸縮
が平面間隔を斜めに押し広げるよう作用する結果、その
分力として可動子が固定子に対して平行に移動すること
を特徴とする圧電体モータ。 （２、特許請求の範囲第１項記載の圧電体モータにおい
て、圧電体が厚み方向に分極されたセラミック圧電板で
あることを特徴とした圧電体モータ。 （３）特許請求の範囲第１項記載の圧電体モータにおい
て、２枚以上の圧電板を用い、これらを同位相で、駆動
することを特徴とした圧電体モータ０（４）特許請求の
範囲第１項記載の圧電体モータにおいて、駆動子を中心
軸に対して回転する円板とし、圧電板を円周に沿って放
射状に配置したことを特徴とする圧電体モータ。 （５）特許請求の範囲第１項記載の圧電体モータにおい
て固定子を直線状のレールとし、可動子に圧電板を直線
状に配置し直線移動を可能としたことを特徴とする圧電
モータ。 （６）特許請求の範囲第５項記載の圧電体モータにおい
て固定子と可動子とを車輪付き支持枠で固定することに
よって両者間の距離を一定に保ち、かつ、圧電体板に作
用り声接触圧力を調整可能としたことを特徴とする圧電
体モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136054A JPS6026476A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 圧電体モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136054A JPS6026476A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 圧電体モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6026476A true JPS6026476A (ja) | 1985-02-09 |
Family
ID=15166100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58136054A Pending JPS6026476A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 圧電体モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026476A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62204885A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | 株式会社三鈴エリ− | 振動型研磨機 |
| JPS6391713A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | 超音波型駆動装置 |
| JPS6391712A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | ２次元駆動装置 |
| WO2002015378A1 (fr) * | 2000-08-11 | 2002-02-21 | Ecchandes Inc. | Stator piezoelectrique de type a recouvrement, actionneur piezoelectrique de type a recouvrement et applications associees |
| JP2021513829A (ja) * | 2018-03-09 | 2021-05-27 | ウーテーアー・エス・アー・マニファクチュール・オロロジェール・スイス | 移動がより長い線形圧電モータ |
-
1983
- 1983-07-25 JP JP58136054A patent/JPS6026476A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62204885A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | 株式会社三鈴エリ− | 振動型研磨機 |
| JPS6391713A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | 超音波型駆動装置 |
| JPS6391712A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | ２次元駆動装置 |
| WO2002015378A1 (fr) * | 2000-08-11 | 2002-02-21 | Ecchandes Inc. | Stator piezoelectrique de type a recouvrement, actionneur piezoelectrique de type a recouvrement et applications associees |
| US6870306B2 (en) | 2000-08-11 | 2005-03-22 | Ecchandes Inc. | Overlapping type piezoelectric stator, overlapping type piezoelectric actuator and applications thereof |
| JP2021513829A (ja) * | 2018-03-09 | 2021-05-27 | ウーテーアー・エス・アー・マニファクチュール・オロロジェール・スイス | 移動がより長い線形圧電モータ |
| US11581826B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-02-14 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Linear piezoelectric motor with longer travel |
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