JP2006004980A - 積層電気−機械エネルギー変換素子及び振動波駆動装置 - Google Patents
積層電気−機械エネルギー変換素子及び振動波駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006004980A JP2006004980A JP2004176707A JP2004176707A JP2006004980A JP 2006004980 A JP2006004980 A JP 2006004980A JP 2004176707 A JP2004176707 A JP 2004176707A JP 2004176707 A JP2004176707 A JP 2004176707A JP 2006004980 A JP2006004980 A JP 2006004980A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mechanical energy
- laminated
- energy conversion
- electro
- conversion element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 40
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 8
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 abstract 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 13
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
- H10N30/505—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view the cross-section being annular
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/874—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
【解決手段】 振動波モータ50は、振動子52及び回転部53を備え、振動子52は、金属の弾性体54と、円形状圧電層1〜11から成る積層圧電素子55と、金属の弾性体57と、弾性体54と協働して積層圧電素子55及び弾性体57を挟持する金属の弾性体58とから成る。圧電層2〜11のうち偶数番目の層の圧電層の第1層側の面には、内部電極A+,B+,A−,B−が設けられ、一方、圧電層2〜11のうち奇数番目の層の圧電層の第1層側の面には、内部電AG+,BG+,AG−,BG−が設けられている。これらの内部電極は、積層圧電素子55の内部の発生すべき歪に応じて、圧電層7〜11までの内部電極に比べて、圧電層5,6の内部電極の外径は小さく、圧電層2〜4の内部電極は外径がさらに小さくなっている。
【選択図】 図2
Description
1〜11、21〜39 圧電層
13 スル−ホ−ル
14 表面電極
41 接続用電極
42 外部電極
50、50’ 振動波モータ
52 振動子
Claims (9)
- 複数の電極層が夫々各一方の面に形成されると共に互いに積層された複数の電気−機械エネルギー変換機能材料層を備え、前記複数の電極層が夫々電気的に接続された積層電気−機械エネルギー変換素子において、前記複数の電極層は、形状が積層電気−機械エネルギー変換素子の内部に発生する歪分布に応じて異なることを特徴とする積層電気−機械エネルギー変換素子。
- 前記複数の電極層は、形状が夫々実質的に円形であることを特徴とする請求項1記載の積層電気−機械エネルギー変換素子。
- 前記複数の電極層は、形状が夫々実質的に多角形であることを特徴とする請求項1記載の積層電気−機械エネルギー変換素子。
- 前記多角形は矩形であることを特徴とする請求項3記載の積層電気−機械エネルギー変換素子。
- 前記の複数の電極層は、積層方向に向かって外径が段階的に小さくなることを特徴とする請求項1記載の積層電気-機械エネルギー変換素子。
- 前記複数の電極層は、積層方向に向かって内径が段階的に小さくなることを特徴とする請求項1記載の積層電気-機械エネルギー変換素子。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の積層電気−機械エネルギー変換素子、及び当該積層電気−機械エネルギー変換素子を挟持する2つの弾性体から成る振動子を有し、前記積層電気−機械エネルギー変換素子は、前記弾性体駆動用の交流電圧を受容するように構成されていることを特徴とする振動波駆動装置。
- 前記振動子に接触して前記振動子に励起した振動波によって駆動される移動体を有し、前記積層電気-機械エネルギー変換素子の積層方向の前記移動体側に向かって、前記複数の電極層の外径が段階的に小さくなることを特徴とする請求項7記載の振動波駆動装置。
- 前記振動子に接触して前記振動子に励起した振動波によって駆動される移動体を有し、前記積層電気-機械エネルギー変換素子の積層方向の前記移動体側に向かって、前記複数の電極層の内径が段階的に小さくなることを特徴とする請求項7記載の振動波駆動装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004176707A JP2006004980A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 積層電気−機械エネルギー変換素子及び振動波駆動装置 |
US11/151,375 US7183699B2 (en) | 2004-06-15 | 2005-06-13 | Stacked type electro-mechanical energy conversion element and vibration wave driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004176707A JP2006004980A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 積層電気−機械エネルギー変換素子及び振動波駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006004980A true JP2006004980A (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=35459828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004176707A Pending JP2006004980A (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 積層電気−機械エネルギー変換素子及び振動波駆動装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7183699B2 (ja) |
JP (1) | JP2006004980A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009189219A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ |
JP2011133790A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Tdk Corp | レンズ駆動装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006121886A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-05-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 駆動装置、レンズユニット、光量制御装置、及び撮像装置 |
US7492077B2 (en) * | 2005-05-13 | 2009-02-17 | Xinetics, Inc. | Actuator for deformable optical component |
US8080920B2 (en) * | 2007-03-21 | 2011-12-20 | The University Of Vermont And State Agricultural College | Piezoelectric vibrational energy harvesting systems incorporating parametric bending mode energy harvesting |
KR101040474B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2011-06-09 | 윤만순 | 비틀림진동모드가 가능한 전극구조를 갖는 압전진동체 및 이를 포함하는 회전형 초음파 모터 |
EP2682995A4 (en) * | 2011-03-01 | 2014-10-22 | Murata Manufacturing Co | PIEZOELECTRIC ELEMENT AND PIEZOELECTRIC DEVICE THEREWITH |
US9000656B2 (en) * | 2011-03-15 | 2015-04-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical system device including a metal proof mass and a piezoelectric component |
DE102022114863B3 (de) | 2022-06-13 | 2023-10-19 | Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG | Ultraschallmotor |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4786836A (en) * | 1984-03-01 | 1988-11-22 | Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. | Piezoelectric motor |
JPS63207185A (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-26 | Toyota Motor Corp | 圧電アクチユエ−タ |
JPH05146178A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-11 | Asmo Co Ltd | 振動モータ |
JP3311034B2 (ja) | 1992-08-25 | 2002-08-05 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子、積層圧電素子の製造方法、振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた機器 |
JP3313782B2 (ja) | 1992-10-06 | 2002-08-12 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子及びその製造方法並びに分極方法、及び振動波駆動装置、振動波駆動装置を備えた機器 |
JP3432321B2 (ja) | 1995-01-31 | 2003-08-04 | 太平洋セメント株式会社 | 積層セラミックス圧電体素子 |
JPH08308268A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Canon Inc | 積層型圧電素子及びその分極処理方法、振動波モータ、および駆動装置 |
US5814919A (en) * | 1995-04-28 | 1998-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Electro-mechanical energy conversion element and a vibration wave actuator using the electro-mechanical energy conversion element |
JP2001284675A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電トランス |
JP3902955B2 (ja) | 2002-01-11 | 2007-04-11 | キヤノン株式会社 | 振動体および振動波駆動装置 |
US6933657B2 (en) * | 2001-03-30 | 2005-08-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Stacked electro-mechanical energy conversion element and method of manufacturing the same |
JP2003134858A (ja) | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
JP4027090B2 (ja) | 2001-12-27 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 振動体および振動波駆動装置 |
US7098577B2 (en) * | 2002-10-21 | 2006-08-29 | Hrl Laboratories, Llc | Piezoelectric switch for tunable electronic components |
JP4343552B2 (ja) * | 2003-02-27 | 2009-10-14 | Tdk株式会社 | 積層圧電素子 |
JP4586352B2 (ja) * | 2003-11-11 | 2010-11-24 | Tdk株式会社 | 積層型圧電素子 |
JP4576185B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 超音波振動子 |
-
2004
- 2004-06-15 JP JP2004176707A patent/JP2006004980A/ja active Pending
-
2005
- 2005-06-13 US US11/151,375 patent/US7183699B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009189219A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ |
JP2011133790A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Tdk Corp | レンズ駆動装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7183699B2 (en) | 2007-02-27 |
US20050275318A1 (en) | 2005-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7183699B2 (en) | Stacked type electro-mechanical energy conversion element and vibration wave driving apparatus | |
US6051911A (en) | Vibration wave actuator | |
JP4881062B2 (ja) | 積層圧電素子、その製造方法および振動波駆動装置 | |
CN100428618C (zh) | 开槽金属方柱压电片复合超声微电机 | |
JP4697929B2 (ja) | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 | |
WO2018153091A1 (zh) | 一种多辐条型超声电机 | |
JP2001352768A (ja) | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 | |
US6114798A (en) | Stacked element and vibration drive device | |
JP2000082852A (ja) | 多層圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 | |
JP2006288061A (ja) | 電気−機械エネルギ変換素子、積層圧電素子、振動波駆動装置、及び積層圧電素子の製造方法 | |
US7825566B2 (en) | Ultrasonic actuator and method for manufacturing piezoelectric deformation portion used in the same | |
JP4871593B2 (ja) | 振動子及び振動波駆動装置 | |
KR100961096B1 (ko) | 양면 회전형 초음파 모터 및 진동자 | |
JP4818853B2 (ja) | 超音波モータ素子 | |
JP4878691B2 (ja) | 積層電気−機械エネルギー変換素子 | |
JP4658530B2 (ja) | 超音波振動子及びそれを用いた超音波モータ | |
JP5062927B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
JP4516365B2 (ja) | 超音波モータ | |
JP2006254548A (ja) | 振動体および振動型駆動装置 | |
JP2005150351A (ja) | 積層圧電素子、その製造方法、振動体、及び振動波駆動装置 | |
JP2004274898A (ja) | 超音波モータ | |
JP2008061344A (ja) | 超音波モータ素子 | |
JP2006186099A (ja) | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 | |
JP2001037262A (ja) | 圧電変換素子及び圧電変換素子を使用したアクチエータ | |
JP2004335554A (ja) | 積層電気−機械エネルギ変換素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060419 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060509 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20070626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071112 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080311 |