JPS6277071A - リニア弾性波モ−タ - Google Patents
リニア弾性波モ−タInfo
- Publication number
- JPS6277071A JPS6277071A JP60213426A JP21342685A JPS6277071A JP S6277071 A JPS6277071 A JP S6277071A JP 60213426 A JP60213426 A JP 60213426A JP 21342685 A JP21342685 A JP 21342685A JP S6277071 A JPS6277071 A JP S6277071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- piezoelectric element
- elastic wave
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電素子の振動により駆動力を得るようにした
弾性波モータに関するものである。
弾性波モータに関するものである。
本発明は、円筒状圧電素子の内周面及び外周面のうちの
一方の面に少なくとも１個の電極を設けると共に、他方
の面に複数個の電極を設け、上記複数個の電極に複数相
の交流電圧を加えることにより、円周方向に進行する弾
性波を発生するようにして成る振動部の外周面の一部に
部材を圧接させることにより、上記振動部と上記部材と
が相対的に移動するようにしたリニア弾性波モータであ
る。このモーフによれば、均一な進行波を発生させるこ
とができ、また構造が簡単で小型化をはかることができ
る。
一方の面に少なくとも１個の電極を設けると共に、他方
の面に複数個の電極を設け、上記複数個の電極に複数相
の交流電圧を加えることにより、円周方向に進行する弾
性波を発生するようにして成る振動部の外周面の一部に
部材を圧接させることにより、上記振動部と上記部材と
が相対的に移動するようにしたリニア弾性波モータであ
る。このモーフによれば、均一な進行波を発生させるこ
とができ、また構造が簡単で小型化をはかることができ
る。
本出願人により、特願昭５８−２１２０６号、特願昭５
８−１５００７２号等において、圧電素子の振動を利用
して回転力を得るようにした弾性波モータが提案されて
いる。この弾性波モータは、リング状弾性体の軸方向に
垂直な一方の面に複数個の圧電素子を配列すると共に、
反対側の面にリング状又は円板状の回転体を圧接させて
成り、上記複数個の圧電素子を２組に分けて各組の圧電
素子に９０゛の位相差を有する駆動電圧を加えることに
より、上記リング状弾性体に円周方向に沿って進行する
弾性波を発生させ、この弾性波によって、上記回転体を
回転駆動するようにしたものである。
８−１５００７２号等において、圧電素子の振動を利用
して回転力を得るようにした弾性波モータが提案されて
いる。この弾性波モータは、リング状弾性体の軸方向に
垂直な一方の面に複数個の圧電素子を配列すると共に、
反対側の面にリング状又は円板状の回転体を圧接させて
成り、上記複数個の圧電素子を２組に分けて各組の圧電
素子に９０゛の位相差を有する駆動電圧を加えることに
より、上記リング状弾性体に円周方向に沿って進行する
弾性波を発生させ、この弾性波によって、上記回転体を
回転駆動するようにしたものである。
このような弾性波モータにおいて、上記リング状弾性体
を直線部分を有する楕円形状に形成し、上記直線部分に
移動体を圧接するように成せば、リニア弾性波モータが
実現される。
を直線部分を有する楕円形状に形成し、上記直線部分に
移動体を圧接するように成せば、リニア弾性波モータが
実現される。
また、単純な構成のリニア弾性波モータとして、例えば
端部を有する棒状体上に移動体を圧接させ、この棒状体
に進行波を発生させることにより、上記移動体を直線的
に移動させることが考えられる。
端部を有する棒状体上に移動体を圧接させ、この棒状体
に進行波を発生させることにより、上記移動体を直線的
に移動させることが考えられる。
尚、本発明に関する弾性波モータとして、特願昭６０〜
１６２２７５号が提案されている。
１６２２７５号が提案されている。
上記リング状弾性体を楕円形に形成するものでは、楕円
形弾性体の直線部分と手内部分とで曲率が大巾に変化す
るので、両方の部分に生しる波の形態が異り、このため
波の散乱や反射が起り、均一な進行波を得ることができ
ない。
形弾性体の直線部分と手内部分とで曲率が大巾に変化す
るので、両方の部分に生しる波の形態が異り、このため
波の散乱や反射が起り、均一な進行波を得ることができ
ない。
また、上記棒状体を用いるものでは、棒状体の端部で波
の反射が起り、この反射波と進行波とによって定在波が
生じる。このため波の反射を防止する機構が必要となり
、モータの構成が複雑で大型化することになる。
の反射が起り、この反射波と進行波とによって定在波が
生じる。このため波の反射を防止する機構が必要となり
、モータの構成が複雑で大型化することになる。
また上記楕円形弾性体を用いるもの、及び上記棒状体を
用いるものの何れの場合も移動体の移動に伴って、楕円
形弾性体の場合は半円筒からの距離が変化し、棒状体の
場合は端部からの距離が変化する。即ち、移動体が圧接
する部分からの上記距離が変化するので、波に対する影
響が変化し、移動体が常に一定の進行波を受けるように
成すことが非常に困難である。
用いるものの何れの場合も移動体の移動に伴って、楕円
形弾性体の場合は半円筒からの距離が変化し、棒状体の
場合は端部からの距離が変化する。即ち、移動体が圧接
する部分からの上記距離が変化するので、波に対する影
響が変化し、移動体が常に一定の進行波を受けるように
成すことが非常に困難である。
本発明においては、円筒形状圧電素子の内周面及び外周
面のうちの一方の面に少なくとも１個の電極を設けると
共に、他方の面に複数個の電極を設け、上記複数個の電
極に所定の位相差を有する交流電圧を加えるようにした
振動部と、上記振動部の外周面の一部に接触する部材と
、上記振動部と上記部材とを圧接させる手段とを設けて
いる。
面のうちの一方の面に少なくとも１個の電極を設けると
共に、他方の面に複数個の電極を設け、上記複数個の電
極に所定の位相差を有する交流電圧を加えるようにした
振動部と、上記振動部の外周面の一部に接触する部材と
、上記振動部と上記部材とを圧接させる手段とを設けて
いる。
進行波を発生する上記振動部は円形に形成されているの
で、移動体の位置によらず、移動体は常に均一な圧接力
を受けることになり、移動体の一定な送りを行うことが
できる。
で、移動体の位置によらず、移動体は常に均一な圧接力
を受けることになり、移動体の一定な送りを行うことが
できる。
第１図及び第２図において、保持部材１の内部には、第
３図に示す構造を有する円筒状の振動部２がその大部分
を埋設され且つ外周面の一部を外部に露出させた状態で
保持されている。この振動部１の内部には軸体３が同軸
的に挿通され、この軸体３は上記保持部１に固定されて
いる。この軸体３と振動部２の内周面との間には、半円
筒形のゴム等から成る弾性体４が介在されて、上記振動
部２を加圧及び固定している。
３図に示す構造を有する円筒状の振動部２がその大部分
を埋設され且つ外周面の一部を外部に露出させた状態で
保持されている。この振動部１の内部には軸体３が同軸
的に挿通され、この軸体３は上記保持部１に固定されて
いる。この軸体３と振動部２の内周面との間には、半円
筒形のゴム等から成る弾性体４が介在されて、上記振動
部２を加圧及び固定している。
振動部２の上記外部に露出された部分に接触して移動体
５が矢印ａ、ｂ方向に移動可能に設けられている。また
一対のガイドローラ６．７が上記移動体５を押圧して、
この移動体５を振動部２に圧接するようにしている。上
記移動体５は石綿入りゴム等から成る弾性体８と金属板
９とを積層した構造を有し、上記弾性体８が振動部２に
接触されている。尚、移動体５はガイドローラ６．７に
依らずガイド棒等に沿って移動させるようにしてもよい
。
５が矢印ａ、ｂ方向に移動可能に設けられている。また
一対のガイドローラ６．７が上記移動体５を押圧して、
この移動体５を振動部２に圧接するようにしている。上
記移動体５は石綿入りゴム等から成る弾性体８と金属板
９とを積層した構造を有し、上記弾性体８が振動部２に
接触されている。尚、移動体５はガイドローラ６．７に
依らずガイド棒等に沿って移動させるようにしてもよい
。
上記振動部２は第３図に示すように、長さｌを有する円
筒状を成す圧電素子１０の外周面に１個の電極１１が設
けられると共に、内周面に４個の電極１２＋ 〜１２４
が設けられて成るものである。
筒状を成す圧電素子１０の外周面に１個の電極１１が設
けられると共に、内周面に４個の電極１２＋ 〜１２４
が設けられて成るものである。
上記円筒状圧電素子１０は、矢印Ｃで示すように内側か
ら外側に向かう方向に分極されたものが用いられている
。電極１２．〜１２４は圧電素子１０の全周長さを４等
分するように配されている。
ら外側に向かう方向に分極されたものが用いられている
。電極１２．〜１２４は圧電素子１０の全周長さを４等
分するように配されている。
第４図は上記振動部２の駆動回路の実施例を示すもので
ある。
ある。
図において、交流駆動型＃１３から得られる駆動電圧は
アンプ１４を通じて電極１２１に加えられると共に、９
０゛移相器１５により９０゛移相された後、アンプ１６
を通じて電極１２□に加えられる。上記駆動電圧はさら
に１８０°移相器１７により１８０°移相された後、ア
ンプ１８を通じて電極１２３に加えられると共に、２７
０°移相器１９により２７０゛移相された後、アンプ２
０を通じて電極１２４に加えられる。また電極１１は接
地されている。以上によれば、各電極１２゜〜１２４に
は順次に９０°づつ位相のずれた電圧が加えられる。即
ち、電極１２．に加えられる電圧をｃｏｓωｔとすれば
、電極１２□、１２３．１２には夫々ｓｉｎωＬ、 −
ｃｏｓ ωｔ、−５ｉｎωｔの電圧が加えられることに
なる。
アンプ１４を通じて電極１２１に加えられると共に、９
０゛移相器１５により９０゛移相された後、アンプ１６
を通じて電極１２□に加えられる。上記駆動電圧はさら
に１８０°移相器１７により１８０°移相された後、ア
ンプ１８を通じて電極１２３に加えられると共に、２７
０°移相器１９により２７０゛移相された後、アンプ２
０を通じて電極１２４に加えられる。また電極１１は接
地されている。以上によれば、各電極１２゜〜１２４に
は順次に９０°づつ位相のずれた電圧が加えられる。即
ち、電極１２．に加えられる電圧をｃｏｓωｔとすれば
、電極１２□、１２３．１２には夫々ｓｉｎωＬ、 −
ｃｏｓ ωｔ、−５ｉｎωｔの電圧が加えられることに
なる。
この結果、圧電素子１０の、各電極１２１〜１２４と電
極１１とで挟まれた長さλ／４の部分１０１〜１０４に
は、順次に９０°ずつ位相のずれた半径方向の振動が発
生し、この振動が円周方向に沿って一方向に進行する。
極１１とで挟まれた長さλ／４の部分１０１〜１０４に
は、順次に９０°ずつ位相のずれた半径方向の振動が発
生し、この振動が円周方向に沿って一方向に進行する。
即ち、圧電素子１０の円周方向に沿って波長λの進行波
が生じることになる。
が生じることになる。
第１図及び第２図においては、上記進行波の振動が移動
体５に伝えられることにより、この移動体６がａ方向又
はｂ方向に移動する。尚、第１図及び第２図においては
移動体５を固定して、保持部材１に保持された振動部２
を移動させるようにしてもよい。また、ガイドローラ６
．７に代えて他の振動部２を用いてもよい。
体５に伝えられることにより、この移動体６がａ方向又
はｂ方向に移動する。尚、第１図及び第２図においては
移動体５を固定して、保持部材１に保持された振動部２
を移動させるようにしてもよい。また、ガイドローラ６
．７に代えて他の振動部２を用いてもよい。
第５図は本発明の第２の実施例を示すもので、第４図と
対応部分には同一符号を付しである。
対応部分には同一符号を付しである。
本実施例においては、圧電素子１０の分極方向を、図の
矢印ｄ、ｅで示すように前記部分１０．．１０ｚにおい
て内側から外側に向かう方向とし、前記部分１０３．１
０４において外側から内側に向かう方向としている。こ
れと共に、駆動電源１３の駆動電圧をアンプ１４．１８
を通じｃｏｓωｔとして電極１２３．１２３に加え、上
記駆動電圧を９０”移相器１５で９０°移相させた電圧
をアンプ１６．２０を通じｓｉｎωｔとして電極１２□
、１２、に加えるようにしている。
矢印ｄ、ｅで示すように前記部分１０．．１０ｚにおい
て内側から外側に向かう方向とし、前記部分１０３．１
０４において外側から内側に向かう方向としている。こ
れと共に、駆動電源１３の駆動電圧をアンプ１４．１８
を通じｃｏｓωｔとして電極１２３．１２３に加え、上
記駆動電圧を９０”移相器１５で９０°移相させた電圧
をアンプ１６．２０を通じｓｉｎωｔとして電極１２□
、１２、に加えるようにしている。
第６図は本発明の第３の実施例を示すもので、外側に１
個の接地用電極１１．と２個の駆動電極１２、．１２□
とを設けると共に、内側に１個の接地用電極１１□と２
個の駆動用電極１２３．１２４とを設けた構成となって
いる。
個の接地用電極１１．と２個の駆動電極１２、．１２□
とを設けると共に、内側に１個の接地用電極１１□と２
個の駆動用電極１２３．１２４とを設けた構成となって
いる。
この振動部２の場合は、各駆動電極１２１〜１２４に加
えられる駆動電圧は、駆動電極１２３．１２１．１２２
．１２４に夫々ｃｏｓ ωｔ 、 −５ｉｎωｔ、ｃｏ
ｓ ωし、−５ｉｎωｔの電圧が加えられる。
えられる駆動電圧は、駆動電極１２３．１２１．１２２
．１２４に夫々ｃｏｓ ωｔ 、 −５ｉｎωｔ、ｃｏ
ｓ ωし、−５ｉｎωｔの電圧が加えられる。
上述した第１〜第３の実施例の外に圧電素子１０の分極
方向と、電極１２１〜１２４に加える電圧の位相を種々
選ぶことができる。また、電極１２、〜１２４は４個に
限らず、最小２個から２×ｎ個まで用いることができる
。また駆動電圧は最低２相を必要とする。
方向と、電極１２１〜１２４に加える電圧の位相を種々
選ぶことができる。また、電極１２、〜１２４は４個に
限らず、最小２個から２×ｎ個まで用いることができる
。また駆動電圧は最低２相を必要とする。
また圧電素子ｌＯには、移動体５の移動に寄与する半径
方向の振動の外に、軸方向（第３図の長さｌの方向）の
振動も発生ずる。この軸方向の振動が移動体６の移動に
影響を及ぼすことを防く゛ためには、半径方向の振動の
周波数が、軸方向の振動の共振周波数よりも低くなるよ
うにすればよい。
方向の振動の外に、軸方向（第３図の長さｌの方向）の
振動も発生ずる。この軸方向の振動が移動体６の移動に
影響を及ぼすことを防く゛ためには、半径方向の振動の
周波数が、軸方向の振動の共振周波数よりも低くなるよ
うにすればよい。
このためには振動部２の長さβを、半径方向の振動の１
波長λに対して略ｌくλ／４の関係となるように選定す
ればよい。
波長λに対して略ｌくλ／４の関係となるように選定す
ればよい。
振動部２が第３図のように円筒状を成し、その外周面に
波を発生させるように構成されているので、曲率が一定
であり、しかも波の進行方向に対して切れ目がなく、即
ち、端部がなく連続体となっているので、波の散乱や反
射が起きることがない。このため均一な進行波を発生さ
・けることができる。また移動体は振動部の外周面にお
ける特定の部分のみに圧接するので、移動体と振動部と
の相対的な位置によらず波に与える影響は一定となる。
波を発生させるように構成されているので、曲率が一定
であり、しかも波の進行方向に対して切れ目がなく、即
ち、端部がなく連続体となっているので、波の散乱や反
射が起きることがない。このため均一な進行波を発生さ
・けることができる。また移動体は振動部の外周面にお
ける特定の部分のみに圧接するので、移動体と振動部と
の相対的な位置によらず波に与える影響は一定となる。
従って、一定の進行波により、一定の移動送りを行うこ
とができ、モータの構造を小型で簡単にすることができ
る。
とができ、モータの構造を小型で簡単にすることができ
る。
第１〜３図は本発明の第１の実施例を示すもので、第１
図は側面断面図、第２図は斜視図、第３図は振動部の斜
視図、第４図は駆動回路図、第５図は本発明の第２の実
施例を示す回路図、第６図は本発明の第３の実施例を示
す要部の側面図である。 なお図面に用いた符号において、 ２−一−−−−−−−−・−振動部 ５−・−一−−〜−−−−−−−−−−移動体６．７−
・−・−＝−ガイドローラ １ｏ−−−−−−−−−一・−円筒状圧電素子１１−−
−−−−−−一〜−−−−電極１２、〜１２．−電極 である。
図は側面断面図、第２図は斜視図、第３図は振動部の斜
視図、第４図は駆動回路図、第５図は本発明の第２の実
施例を示す回路図、第６図は本発明の第３の実施例を示
す要部の側面図である。 なお図面に用いた符号において、 ２−一−−−−−−−−・−振動部 ５−・−一−−〜−−−−−−−−−−移動体６．７−
・−・−＝−ガイドローラ １ｏ−−−−−−−−−一・−円筒状圧電素子１１−−
−−−−−−一〜−−−−電極１２、〜１２．−電極 である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 円筒状圧電素子の内周面及び外周面のうちの一方の面に
少なくとも１個の電極を設けると共に、他方の面に複数
個の電極を設け、上記複数個の電極に所定の位相差を有
する交流電圧を加えることにより、円周方向に進行する
弾性波を発生するようにした振動部、 上記振動部の外周面の一部に接触する部材、上記振動部
と上記部材とを圧接させる手段、を夫々具備して成り、
上記振動部と上記部材とが相対的に移動するようにした
リニア弾性波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60213426A JPH0646869B2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | リニア弾性波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60213426A JPH0646869B2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | リニア弾性波モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6277071A true JPS6277071A (ja) | 1987-04-09 |
| JPH0646869B2 JPH0646869B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=16639029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60213426A Expired - Lifetime JPH0646869B2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | リニア弾性波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646869B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6426373A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-27 | Honda Electronic | Ultrasonic drive assembly |
| JPS6477484A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-23 | Nec Corp | Ultrasonic motor and method for driving same |
| US4997177A (en) * | 1987-10-23 | 1991-03-05 | Hitachi, Ltd. | Method of and apparatus for conveying object by utilizing vibration |
| JPH03147652A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Casio Comput Co Ltd | 搬送装置 |
| CN118654195A (zh) * | 2024-08-14 | 2024-09-17 | 季华实验室 | 一种多模块串联的小型管道内窥机器人及其激励方法 |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP60213426A patent/JPH0646869B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6426373A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-27 | Honda Electronic | Ultrasonic drive assembly |
| JPS6477484A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-23 | Nec Corp | Ultrasonic motor and method for driving same |
| US4997177A (en) * | 1987-10-23 | 1991-03-05 | Hitachi, Ltd. | Method of and apparatus for conveying object by utilizing vibration |
| JPH03147652A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Casio Comput Co Ltd | 搬送装置 |
| CN118654195A (zh) * | 2024-08-14 | 2024-09-17 | 季华实验室 | 一种多模块串联的小型管道内窥机器人及其激励方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646869B2 (ja) | 1994-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0344008B1 (en) | Vibrator-type actuator | |
| EP0301430B1 (en) | An ultrasonic driving device | |
| KR960040082A (ko) | 전기-기계적 에너지 변환소자 및 이를 이용한 진동파 액츄에이터 | |
| JPH053688A (ja) | 超音波モータ | |
| JPS6277071A (ja) | リニア弾性波モ−タ | |
| JPS59177243A (ja) | シ−ト送り装置 | |
| JPH06233564A (ja) | 超音波モータ及び超音波搬送装置 | |
| JP2687233B2 (ja) | シート送り装置 | |
| JP2646668B2 (ja) | 超音波モータの駆動方法および超音波モータ用振動子 | |
| JPH05137359A (ja) | 超音波振動子および超音波駆動装置 | |
| JPS6223382A (ja) | 回転型アクチユエ−タ | |
| JP2590536B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JP2513241B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2605355B2 (ja) | 超音波モータの駆動方法および超音波モータ用振動子 | |
| JP3089324B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH01110070A (ja) | 超音波モータの駆動方法 | |
| JP2676758B2 (ja) | 紙送り機構 | |
| JPH0646870B2 (ja) | リニアアクチユエ−タ | |
| JPS63167686A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2585574B2 (ja) | リング状圧電体振動子を使用する超音波駆動装置 | |
| JP2000350481A (ja) | 振動波駆動装置および事務機 | |
| JP2847817B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH0331137A (ja) | シート送り装置 | |
| JPH01308172A (ja) | 超音波駆動装置 | |
| JPS63213482A (ja) | 超音波モ−タ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |