KR960024651A - 포토마스크 제작 방법 - Google Patents
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- scribe lane
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술분야
스크라이브 레인(Scribe Lane)과 프러덕트 다이(Product Die)의 경계를 없애고, 가상의 라인을 설정한 뒤 다이구분 마크를 설정함으로써 지층(Topology)에 의한 단차가 형성되지 않도록 한 포토 마스크 제작 방법에 관한 것임.
2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제
프로세스 고정중에 프러덕트 다이와 스크라이브 레인 사이에 높은 단차가 형성되며 이 상태에서 공정을 진행함으로써 단차형성에 따른 감광막 코팅불량, 패턴선폭 변화와, 단차측벽(side wall)에 측벽 도전층 및 절연층의 잔류로 인한 벗겨짐(peeling)등의 결함을 해결하고자 함.
3. 고안의 해결 방법의 요지
프로덕트 다이와 스크라이브 레인의 경계선을 없애고 가상의 라인을 설정하는 단계와, 프로덕트 다이에서의 작업이 끝난뒤에 상기 가상라인에 의하여 다이구분 마크를 찍는 단계를 포함하여서 되는 것임.
4. 고안의 중요한 용도
프러덕트 다이와 스크라이브 레인의 경계선 대신에 다이 구분 마크를 가상라인에 의하여 설정한 뒤 공정이 계속되게 함으로써 상기 경계선에 의한 문제점이 개선된 포토 마스크로 사용됨.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 포토 마스크에 4개의 프러덕트 다이가 만나는 스크라이브 레인내의 중심점에 마크를 찍은 상태의 일부 확대 평면도, 제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼상의 프러덕트 다이의 배치상태를 나타내는 평면개략도.
Claims (2)
- 포토 마스크 제작방법에 있어서, 프러덕트 다이와 스크라이브 레인의 경계선을 없애고 가상의 라인을 설정하는 단계와, 설정된 가상의 라인에 의하여 다이구분 마크를 찍는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제작 방법.
- 제1항에 있어서, 프러덕트 다이 구분 마크는 그 중심이 4개의 프러덕트 다이가 만나는 중심점에 위치하게 함을 특징으로 하는 포토마스크 제작 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940040753A KR960024651A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 포토마스크 제작 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940040753A KR960024651A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 포토마스크 제작 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024651A true KR960024651A (ko) | 1996-07-20 |
Family
ID=66648215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940040753A KR960024651A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 포토마스크 제작 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960024651A (ko) |
-
1994
- 1994-12-30 KR KR1019940040753A patent/KR960024651A/ko not_active Application Discontinuation
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