KR960004168A - 웨이퍼 적재 상자 및 포장 꾸러미 - Google Patents

웨이퍼 적재 상자 및 포장 꾸러미 Download PDF

Info

Publication number
KR960004168A
KR960004168A KR1019950018717A KR19950018717A KR960004168A KR 960004168 A KR960004168 A KR 960004168A KR 1019950018717 A KR1019950018717 A KR 1019950018717A KR 19950018717 A KR19950018717 A KR 19950018717A KR 960004168 A KR960004168 A KR 960004168A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer carrier
carrier
lid
plastic container
wafer
Prior art date
Application number
KR1019950018717A
Other languages
English (en)
Inventor
엘. 니세스 데이비드
Original Assignee
스탠 게이어
플루오로웨어, 아이엔시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스탠 게이어, 플루오로웨어, 아이엔시 filed Critical 스탠 게이어
Publication of KR960004168A publication Critical patent/KR960004168A/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S206/00—Special receptacle or package
    • Y10S206/832—Semiconductor wafer boat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packging For Living Organisms, Food Or Medicinal Products That Are Sensitive To Environmental Conditiond (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼를 저장하고 적재하는 플라스틱 용기는 웨이퍼들을 지지하고 웨어들을 상호 떨어진 관계에 유지하는, 사실산 단단하며 투명인 웨이퍼 캐리어를 함유하고 있고, 웨이퍼 캐리어의 위 밑 밑 뚜껑들은 뻣뻣하나 탄력적으로 유연하게 구부릴 수 있는 재료로 형성돼 있고, 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 캐리어의 위 및 밑의 주변 둘레에 연장하는 상측 및 하측의 넓혀진 림 부들을 가지고 있어 위와 밑 뚜껑들의 넓혀진 주변으로 연장하는 림 부들에 의해 에워싸고 있고, 위와 밑 뚜껑들은 그에 형성된 가늘고 긴 비드를 또는 등성이들이 있는 반 원통ㅎ령의 판들을 가지어 웨이퍼들의 가장자리들에 닿아 웨이퍼 들의 가장자리들을 반 원통형의 표면들로부터 사이띄어 유지하게 되고, 웨이퍼 캐리어 및 위와 밑 뚜껑들 상의 치우침 태브들이 웨이퍼 캐리어로부터 뚜껑의 작은 부분을 유연하게 들어 올리고 그 다음 웨이퍼 캐리어로부터 뚜껑들이 점진적으로 떨어지는 것이 손쉽게 하고 있으며; 포장 꾸러미들은 적재 용기들을 그 안에 받는 격실들을 가진 복수의 커버 트레이들을 함유하고, 그 커버 트레이들은 웨이퍼 캐리어 상의 태브 부들에서 용기들을 지지하며 커버 트레이들은 뚜껑의 옆 가장자리를 또한 내리 누르고 있어 뚜껑들을 웨이퍼 캐리어에 닫혀있는 상태에 유지하게 된다.

Description

웨이퍼 적재 상자 및 포장 꾸러미
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 플라스틱 적재 용기의 사시도이다,
제2도는 셋의 기본 부분을 보이기 위하여 분해상태로 한 용기의 사시도이며; 웨이퍼 캐리어의 부분을 파단하여 상세를 명료히 하고 있는 그림이다,
제3도는 제1도에 3-3으로 가리킨 파단선에서 그린 적재 용기의 단면도이며, 그 파단은 제3도에 점쇠선으로 가리킨 중심선에서 취해져 있다,
제4도는 제1도의 4-4선에서 대략 취해져 용기에 저장되고 있는 수개의 반도체 웨이퍼를 보이는 단면도이다,
제5도는 제1도의 5-5선에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다,
제6도는 제1도의 6-6선에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다,
제7도는 캐리어의 측벽의 하측 가장자리 부와 밑 뚜껑의 인접두들을, 분해된 상태로 보이는 확대 상세 입면도이다,
제8도는 제1도의 8-8선에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다.

Claims (53)

  1. 반도체 웨이퍼들을 저장하며 적재하는 플라스틱 용기로서, 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 지지 치우침 부들과 웨이퍼 격리 리브들이 있는 측벽들로 이루어지고 있고, 그 캐리어는 측벽들을 상호 접속하는 제1 및 제2의 단벽을 또한 함유하고 있고, 그 측벽들과 단벽들은 웨이퍼들을 싣고 부리기에 손쉬운 캐리어의 꼭대기 구멍을 형성하는 상측 가장자리 부들을 함유하고, 측벽들과 단벽들은 캐리어의 웨이퍼들에 접근하게 하는 캐리어의 밑 구멍을 형성하는 하측 가장자리 부들을 또한 형성하고 있고, 상기 상측 가장자리 부들은 넓혀진 상측 림부들을 함유하고 있고, 밑 뚜껑이 웨이퍼 캐리어의 밑 구멍을 제거할 수 있게 가로질러 상기 하측 가장자리부들에 대해 놓여 그 밑 구멍을 닫게 돼 있으며, 위 뚜껑이 웨이퍼 캐리어의 꼭대기 구멍을 제거할 수 있게 가로질러 캐리어의 상기 상측 가장자리 부들에 대해 놓여 꼭대기 구멍을 닫아 웨이퍼들을 보유하게 돼 있고, 그 위 뚜껑은 웨이퍼 캐리어의 상측 림 부들을 스냅 맞춤 상태로 맞물어 포용하여 위 뚜껑을 웨이퍼 캐리어에서 제거할 수 있게 보유하는 넓혀진 위 뚜껑 림부들을 함유하고 있는, 플라스틱 용기.
  2. 제1항에 있어서, 위 뚜껑과 밑 뚜껑이 밀폐 상태로 봉함하는 관계에 웨이퍼 캐리어에 맞는 플라스틱 용기.
  3. 제1항에 있어서, 상측 가장자리 부들과 웨이퍼 캐리어의 상측 가장자리 부들이 웨이퍼 캐리어의 전체 주변 둘레로 연장하는 플라스틱 용기.
  4. 제3항에 있어서, 위 뚜껑 림 부가 위 뚜껑의 전 주변 둘레로 연장하여 웨이퍼 캐리어의 전 주변 둘레의 상측 림 부들을 포용하는 플라스틱 용기.
  5. 제4항에 있어서, 위 뚜껑과 웨이퍼 캐리어가 밀폐하여 봉함하는 관계의 상태로 상호 맞무는 플라스틱 용기.
  6. 제4항에 있어서, 웨이퍼 캐리어의 상측 림 부와 위 뚜껑 림 부가 밀폐하여 봉함하는 관계의 상태로 상호 맞무는 플라스틱 용기.
  7. 제6항에 있어서, 위 뚜껑이, 실제로 뻣뻣하나 구부릴 수 있는 플라스틱 재료로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  8. 제1항에 있어서, 웨이퍼 캐리어가 사실상 단단한 플라스틱 재료로 성형돼 있는, 플라스틱 용기.
  9. 제1항에 있어서, 위 뚜껑이, 실제로 뻣뻣하나 구부릴 수 있는 플라스틱 재료로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  10. 제1항에 있어서, 웨이퍼 캐리어와 위 뚜껑 중의 하나가 사실상 단단한 플라스틱 재료로 성형되고 웨이퍼 캐리어와 위 뚜껑 중의 하나가 사실상 뻣뻣하나 구부릴 수 있는 플라스틱 재료로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  11. 제1항에 있어서, 위 뚜껑과 웨이퍼 캐리어가 단지 웨이퍼 캐리어의 상측 림부들을 맞물어 포용하는 위 뚜껑 림 부들에 의해 제거가능하게 함께 되어서 보유도는 플라스틱 용기.
  12. 제1항에 있어서, 상호에 치우침 관계의 한쌍의 인접 태브 부들이 웨이퍼 캐리어와 하나의 뚜껑에 각기 부착돼 있어 웨이퍼 캐리어에서 뚜껑을 들어 올리는 데 수동으로 취급하게 되는 플라스틱 용기.
  13. 제12항에 있어서, 상기 하나의 상기 뚜껑이 사실상 뻣뻣하나 구부릴 수 있는 플라스틱 재료로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  14. 제13항에 있어서, 웨이퍼 캐리어가 사실상 단단한 플라스틱으로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  15. 제13항에 있어서, 상기 실제로 뻣뻣하나 순종가능한 플라스틱 재료는, 뚜껑을 부분적으로 휘어지게 하여 웨이퍼 캐리어에서 점진적으로 벗어지도록 휘기 쉽게 순종가능한 플라스틱 용기.
  16. 제1항에 있어서, 캐리어의 상기 하측 가장자리 부들이 넓혀진 하측 림 부들로 이루어져 있고, 또 밑 뚜껑이 웨이퍼 캐리어의 하측 림 부들을 스탭 맞춤 상태에 맞물어 포용하여 밑 뚜껑을 웨이퍼 캐이러에 제거가능하게 보유하고 있는 플라스틱 용기.
  17. 제16항에 잇어서, 웨이퍼 캐리어의 하측 가장자리 부들과 하측 림 부들이 웨이퍼 캐리어의 주변 둘레에 완전히 연장하는 플라스틱 용기.
  18. 제17항에 있어서, 밑 뚜껑 림 부가 밑 뚜껑의 전체 주변 둘레에 연장하여 웨이퍼 캐리어의 전체 주변둘레의 하측 림 부들을 포용하는 플라스틱 용기.
  19. 제16항에 있어서, 밑 뚜껑과 웨이퍼 캐리어가 상호 밀폐하여 봉함한 관계에 맞무는 플라스틱 용기.
  20. 제18항에 있어서, 웨이퍼 캐리어의 하측 림 부와 밑 뚜껑 림 부가 상호 밀폐하여 봉함하는 관계에 맞무는 플라스틱 용기.
  21. 제16항에 있어서, 밑 뚜껑과 위 뚜껑이 웨이퍼 캐리어에 밀폐하여 봉함하는 관계에 맞는 플라스틱 용기.
  22. 제1항에 있어서, 밑 뚜껑이 사실상 뻣뻣하나 순종가능한 플라스틱 재료로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  23. 제16항에 있어서, 밑 뚜껑과 웨이퍼 캐리어가 단지 웨이퍼 캐리어의 하측 림부들을 맞물어 포용하는 밑 뚜껑 림 부들에 의해 제거가능하게 함께 되어서 보유되는 플라스틱 용기.
  24. 제12항에 있어서, 상기 쌍의 인접 태브 부들이 웨이퍼 캐리어와 위 뚜껑에 각각 부착돼 있는 플라스틱 용기.
  25. 제12항에 있어서, 상기 쌍의 인접 태브 부들이 웨이퍼 캐리어와 밑 뚜껑에 각각 부착돼 있는 플라스틱 용기.
  26. 제1항에 있어서, 상기 위 뚜껑이, 웨이퍼 캐리어의 꼭대기 구멍과 마주하여 캐리어에 저장된 반도체 웨이퍼들의 가장자리의 곡선을 따르게 되는 오목한 표면을 가진 반 원통형상의 판으로 이루어져 있고, 그 뚜껑이, 또한 상기 반 원통형상의 판에 길이로 연장하고 상기 오목한 표면에서 돌출하고 있어 반도체 웨이퍼의 가장자리에 닿게 되는 복수의 가늘고 긴 비드를 함유하고 잇는 프라스틱 용기.
  27. 제1항에 있어서, 상기 밑 뚜껑이, 웨이퍼 캐리어의 밑 구멍에 인접하는 오목한 표면을 가진 가늘고 긴 일반 원통형상의 판으로 이루어져 있고, 상기 밑 뚜껑이, 또한 반 원통형상의 판에 길이로 연장하여 웨이퍼 캐리어의 반도체 웨이퍼의 가장자리에 닿게 되는 가늘고 긴 비드를 함유하고 있는 플라스틱 용기.
  28. 제27항에 있어서, 밑 뚜껑의 반 원통형상의 판 상의 상기 가늘고 긴 비드가 오목한 표면에서 웨이퍼 캐리어의 내부에 향해 돌출하고 있어 웨이퍼 캐리어 측벽들의 웨이퍼 지지 치우침에서 반도체 웨이퍼들의 가장 자리들을 들어 올리게 되는 플라스틱 용기.
  29. 제1항에 있어서, 상측 가장자리 부가 평면에 사실상 놓이고 있는 플라스틱 용기.
  30. 제4항에 있어서, 위 뚜껑 림부와 웨이퍼 캐리어의 인접 상측 림 부 양자가 사실상 평면에 놓이고 있는 플라스틱 용기.
  31. 제1항에 있어서, 웨이퍼 캐리어의 상기 하측 가장자리 부들이 사실상 평면에 놓이고 있는 플라스틱 용기.
  32. 제17항에 있어서, 캐리어의 상기 하측 가장자리 부들이 사실상 평면에 놓이고, 상기 측벽들의 하측 가장자리 부들이 위치맞춤 절결들을 함유하는, 반도체 웨이퍼들을 저장하며 적재하여 처리기와 위치맞춤 관계에 접속하는 플라스틱 용기.
  33. 제18항에 있어서, 측벽들의 상기 하측 가장자리 부들이 상기 하측 가장자리 부들을 통해 개방하고 있는 위치맞춤 절결들을 함유하고, 캐리어의 하측 림 부들과 밑 뚜껑 림 부들이 상기 위치 맞춤 절결을 따라 계속하여 측통하는, 반도체 웨이퍼들을 저장하며 적재하여 처리기와 위치맞춤 관계에 접속하는 플라스틱 용기.
  34. 제33항에 잇어서, 캐리어의 상기 하측 림 가장자리 부들과 상기 밑 뚜껑 림 부들의 양자가 인접 평면들에 사실상 놓이고 상기 위치맞춤 절결들을 측통하는 상태에 상기 평면들 밖으로 돌리고 있는 플라스틱 용기.
  35. 반도체 웨이퍼들을 저장하며 적재하여 처리기와 위치맞춤 관계에 접속하는 플라스틱 용기로서, 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 지지 치우침 부들 및 웨이퍼 격리 리브들이 있는 측벽들로 이루어지고 있고, 그 캐리어는 측벽들을 상호 접속하는 제1 및 제2의 단벽을 또한 함유하고 있고, 그 측벽들과 단벽들을 웨이퍼들을 싣고 부리기에 손쉬운 캐리어의 꼭대기 구멍을 형성하는 일반적으로 평면의 상측 가장자리 부들을 함유하고, 측벽들과 단벽들은 캐리어의 웨이퍼들에 접근하게 하는 캐리어의 밑 구멍을 형성하는 하측 가장자리 부들을 또한 형성하고 있고, 상기 상측 가장자리 부들은 넓혀진 상측 림 부들을 함유하고 있고, 밑 뚜껑이 웨이퍼 캐리어의 밑 구멍을 가로질러 상기 하측 가장자리 부들에 대해 제거할 수 있게 고정되어 그 밑 구멍을 닫게 돼 있고, 위 뚜껑이 웨이퍼 캐리어의 꼭대기 구멍을 가로질러 캐리어의 상기 상측 가장자리 부들에 대해 제거할 수 있게 고정되어 꼭대기 구멍을 닫아 웨이퍼들을 보유하게 돼 있으며, 한쌍의 사이띄인 지지 봉과 횡단의 위치맞춤 클로스바가 상기 단벽들 중의 하나에 부착돼 있고, 상기 사이띄인 지지 봉들이 상기상측 및 하측 가장자리 부들에 향해 연장하여 사실상 평면에 놓이고 있는, 플라스틱 용기.
  36. 제35항에 있어서, 상기 측벽들의 하측 가장자리 부들이 위치맞춤 절결들을 또한 함유하는 플라스틱 용기.
  37. 제36항에 있어서, 상기 위와 밑 뚜껑의 양자가 제거가능하게 웨이퍼 캐리어에 밀폐하여 봉함되는 플라스틱 용기.
  38. 반도체 웨이퍼들을 저장하며 적재하여 처리기와 위치 맞춤 관계에 접속하는 플라스틱 용기로서, 사실상 단단한 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 지지 치우침 부들 및 웨이퍼 격리 리브들이 있는 측벽들로 이루어지고 있고, 그 캐리어는 측벽들을 상호 접속하는 제1 및 제2의 단벽을 또한 함유하고 있고, 그 측벽들과 단벽들은 사실상 평면에 놓이어 반도체 웨이퍼들을 싣고 부리기에 손쉬운 캐리어의 꼭대기 구멍을 형성하는 상측 가장자리 부들을 함유하고, 측벽들과 단벽들은 캐리어의 웨이퍼들에 접근하게 하는 캐리어의 밑 구멍을 형성하는 하측 가장자리 부들을 또한 형성하고 있고, 상기 제1의 단벽은 상호 사이띄어 상측 및 하측 장자리 부들에 향해 연장하는 한쌍의 지지 봉들은 가지고 있고, 상기 지지 봉들이 인접의 제1의 단벽에서 떨어져 있어 평면에 놓이고 있는 외측 가장자리 부들을 가지고 있고, 상기 제1의 단벽이 상기 지지 봉들의 가로로 사이에 연장하는 위치맞춤 크로스바를 또한 가지고 있으며, 또 상기 제1의 단벽이 상기 위치맞춤 크로스바로부터 상기 상측 가장자리부들에 또 상기 하측 가장자리 부들에 완전히 반대방향으로 연장하는 판 부들을 함유하는, 플라스틱 용기.
  39. 제38항에 있어서, 위치맞춤 크로스바가 지지 봉들에 완전히 연장하는 플라스틱 용기.
  40. 제38항에 있어서, 상측 가장자리 부가 상기 측벽들과 단벽들 상의 넓혀진 상측 림으로 이루어져 웨이퍼 캐리어의 밑 구멍의 주변 둘레에 연속하여 연장하고, 상기 상측 림이 캐리어의 외향으로 또 그의 상기 꼭대기 구멍에서 떨어져 돌출하고 있는, 플라스틱 용기.
  41. 제38항에 있어서, 하측 가장자리 부가 상기 측벽들과 단벽들 상의 넓혀진 하측 림으로 이루어져 웨이퍼 캐리어의 밑 구멍의 주변 둘레에 연속하여 연장하고, 상기 하측 림이 캐리어의 외향으로 또 그의 상기 밑 구멍에서 떨어져 돌출하고 있는, 플라스틱 용기.
  42. 제38항에 있어서, 캐리어의 측벽들이, 용기에 저장된 반도체 웨이퍼들의 시각 검사을 허용하기 위하여, 투명한 플라스틱 용기.
  43. 웨이퍼 캐리어가, 폴리카르보메니트로 이루어지는 플라스틱으로 성형돼 있는 플라스틱 용기.
  44. 제41항에 있어서, 상기 측벽들의 각각이, 밑 구멍을 따라 연장하여 상기 하측 가장자리 부를 형성하는 족판으로 이루어져 있고, 그 족판의 하측 가장자리 부가 위치 맞춤 절결을 함유하고, 상기 넓혀진 하측 림이 측통하여 위치맞춤 절결에 인접하여 연장하는 플라스틱 용기.
  45. 반도체 웨이퍼를 적재하는 포장 꾸러미로서, 복수의 적재 용기들이 상기 반도체 웨이퍼들을 감금하여 맞물어 웨이퍼들을 서로로부터 사이띄어 지지하여 유지하고, 각각의 용기가 닫혀져 감금한 웨이퍼들을 오염으로부터 격리하게 되고, 복수의 포개어 끼워 치쌓은 커버 트레이가 완충의 해면상 플라스틱으로 성형되어 단일의 상기 적재 용기의 형상에 받아들여 적합시키는 상부개방 저장 격실을 가진 상측 부들을 함유하고, 그 커버 트레이가 격실 안에 적재 용기들을 지지하고, 커버 트레이들은 그에 형성된 상호 맞추어 포개를 변형을 가진 상측 및 하측의 면들을 함유하여 인접 커버 트레이들을 치쌓은 관계에 받아들이며, 커버 트레이들은, 저장 격실 밑에 놓이는 밑판을 가진 하측 부들을 함유하여 적재 용기를 밑판 아래의 커버 트레이의 격실들에 위로 놓아 감금하게 되는, 반도체 웨이퍼들을 적재하는 포장 꾸러미.
  46. 제45항에 있어서, 적재 용기들의 각각이, 캐리어의 꼭대기 구멍을 형성하는 상측 가장거리 부들이 있는, 에워싸고 있는 벽들을 가진 웨이퍼 캐리어를 함유하고, 위 뚜껑이, 상기 꼭대기 구멍을 막고 있어 캐리어 안의 웨이퍼들의 가장자리들에 면하는 중앙 리테이너 부를 함유하고, 위 뚜껑은 에워싸고 있는 벽들의 상측 가장자리 부들 상에 놓이고 있는 옆 가장자리 부들을 또한 함유하며, 커버 트레이들의 각각은 밑판 인접의 지지 족들을 함유하여 위 뚜껑의 옆 가장자리 부들을 하향으로 내리누르고 있는, 반도체 웨이퍼들을 적재하는 포장 꾸러미.
  47. 제46항에 있어서, 커버 트레이들의 밑판들이 위 뚜껑들의 중앙 리레이너 부들에서 띄어지고 있는, 반도체 웨이퍼들을 적재하는 포장 꾸러미.
  48. 제46항에 있어서, 위 뚜껑들은 사실상 뻣뻣하나 탄력있게 구부릴 수 있는 플라스틱으로 성형되고, 위 뚜껑들의 중앙 리테이너 부들은 반 원통형으로 형상지어져, 웨이퍼 캐리어의 위 구멍을 적면하는 오목한 내표면들을 형성하고, 이 오목한 내 표면이 그의 길이로 연장하는 가늘고 긴 비드들을 가지고 있어 웨이퍼 캐리어에 저장된 웨이퍼들의 가장자리에 닿게 되는, 반도체 웨이퍼들을 적재하는 포장 꾸러미.
  49. 제45항에 있어서, 적재 용기들의 각각이, 케리어의 위 구멍을 형성하는 상측 가장자리 부들이 있는 에워싸고 있는 벽들을 가진 웨이퍼 캐리어를 함유하고, 위 뚜껑이 상기 꼭대기 구멍을 막고 있어 에워싸고 있는 벽들의 상측 가장자리 부들 상에 놓이고 있고, 캐리어의 상기 한쌍의 에워싸는 벽들이 상호 마주하고 있고 또 상기 상측 가장자리 부들 인접의 외향으로 돌출하는 지지 태브들을 함유하며, 커버 트레이들의 상기 상측부들이 각 저장 격실의 인접의 지지 슬리브들을 한유하고, 그 지지 슬리브들이, 적재 용기들을 상기 저장 격실 안에 매다는 캐리어들의 지지 태브들을 맞물어 지지하고 있는, 반도체 웨이퍼들을 적재하는 포장 꾸러미.
  50. 제49항에 있어서, 상기 커버 트레이들의 상측 부들이 저장 격실들의 밑면들을 구성하고, 적재 용기들이 상기 밑면들로부터 떨어져 있는 포장 꾸러미.
  51. 제50항에 있어서, 커버 트레이들의 해면상 플라스틱은 압축가능하여 물리적 충격을 흡수하게 돼 있는 포장 꾸러미.
  52. 제50항에 있어서, 적재 용기는, 사실상 단단한 플라스틱으로 성형되어 웨이퍼를 지지하는 치우침 부들이 있는 측벽들을 가진 웨이퍼 캐리어를 함유하고, 각각의 적재 용기는 사실상 뻣뻣하나 탄력적으로 구부릴 수 있는 플라스틱으로 형성된 밑 뚜껑을 가지며, 그 밑 뚜껑이 웨이퍼들을 지지하여 측벽들의 치우침들에서 웨이퍼들을 들어 올리고 있는 포장 꾸러미.
  53. 제52항에 있어서, 적재 용기들의 밑 뚜껑들이, 웨이퍼 캐리어들의 내부에 면하는 가늘고 긴 오목한 표면이 있는 반 원통형상의 판들을 가지고 있고, 상기 반 원통형의 판들의 각각이 그의 일체로 형성된 한쌍의 가늘고 긴 비드를 가지고 있어 웨이퍼들을 지지하는 오목한 표면을 따라 또 오목한 면 상에 연장하고 있는 포장 꾸러미.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950018717A 1994-07-15 1995-06-30 웨이퍼 적재 상자 및 포장 꾸러미 KR960004168A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US8/276,096 1994-07-15
US08/276,096 US5575394A (en) 1994-07-15 1994-07-15 Wafer shipper and package

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR960004168A true KR960004168A (ko) 1996-02-23

Family

ID=23055147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950018717A KR960004168A (ko) 1994-07-15 1995-06-30 웨이퍼 적재 상자 및 포장 꾸러미

Country Status (9)

Country Link
US (2) US5575394A (ko)
EP (2) EP0910114B1 (ko)
JP (2) JP3179679B2 (ko)
KR (1) KR960004168A (ko)
CN (2) CN1062233C (ko)
DE (2) DE69511487T2 (ko)
DK (1) DK0910114T3 (ko)
HK (1) HK1025298A1 (ko)
SG (2) SG114477A1 (ko)

Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5575394A (en) * 1994-07-15 1996-11-19 Fluoroware, Inc. Wafer shipper and package
KR100207446B1 (ko) * 1995-07-08 1999-07-15 윤종용 반도체 제조관리용 카세트, 이의 제조방법 및 카세트 인식장치의 설치방법
KR100234359B1 (ko) * 1995-07-20 1999-12-15 윤종용 박스기능을 갖는 웨이퍼 카세트
JPH09107026A (ja) * 1995-10-12 1997-04-22 Shin Etsu Polymer Co Ltd ウェーハ収納容器のウェーハカセット
US5803269A (en) * 1995-10-13 1998-09-08 Empak, Inc. 300mm shipping container
US5921397A (en) * 1996-12-10 1999-07-13 Empak, Inc. Disk cassette
US6010008A (en) * 1997-07-11 2000-01-04 Fluoroware, Inc. Transport module
US6474474B2 (en) * 1998-02-06 2002-11-05 Sumitomo Metal Industries, Ltd. Sheet support container
JP3280305B2 (ja) * 1998-04-13 2002-05-13 信越半導体株式会社 精密基板輸送容器
JP3370279B2 (ja) * 1998-07-07 2003-01-27 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
US6267245B1 (en) * 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
CN1080177C (zh) * 1998-09-21 2002-03-06 财团法人工业技术研究院 集成电路晶片承载盘及其制造方法
JP3046010B2 (ja) * 1998-11-12 2000-05-29 沖電気工業株式会社 収納容器および収納方法
DE60044028D1 (de) 1999-07-23 2010-04-29 Ray G Brooks Sicherungssystem für wafer mit integriertem schaltkreis (ic)
USD429093S (en) * 1999-10-19 2000-08-08 Master Fasteners Inc. Display container for fastener packages
US6135289A (en) * 1999-12-10 2000-10-24 Master Fasteners Inc. Shipping containing and display case for fastening packages
US6857523B1 (en) * 2000-02-18 2005-02-22 Seiji Yamashita Method and apparatus for reducing contamination in a plastic container
DE10116382C2 (de) * 2001-04-02 2003-08-28 Infineon Technologies Ag Transportbehälter für Wafer
JP4467977B2 (ja) * 2001-11-14 2010-05-26 インテグリス・インコーポレーテッド 半導体ウェハ運搬容器のためのウェハ支持体取付け
US6920978B2 (en) * 2002-01-31 2005-07-26 3M Innovative Properties Company Tray for transporting multiple types of flat graphic articles
US7175026B2 (en) 2002-05-03 2007-02-13 Maxtor Corporation Memory disk shipping container with improved contaminant control
US20040074808A1 (en) * 2002-07-05 2004-04-22 Entegris, Inc. Fire retardant wafer carrier
DE10239319B4 (de) * 2002-08-27 2007-04-19 Schoeller Wavin Systems Services Gmbh Zweikomponenten Kunstoffbehälter
WO2004025721A1 (ja) * 2002-09-11 2004-03-25 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 基板収納容器
US20040262187A1 (en) * 2003-06-26 2004-12-30 Applied Materials, Inc. Clean room transportation package for process chamber kit
TWI337160B (en) * 2003-10-09 2011-02-11 Entegris Inc Shipper with tooth design for improved loading
US7252199B2 (en) * 2004-03-26 2007-08-07 Entegris, Inc. Disk cassette system
FR2869452B1 (fr) * 2004-04-21 2006-09-08 Alcatel Sa Dispositif pour le transport de substrats sous atmosphere controlee
FR2869451B1 (fr) 2004-04-21 2006-07-21 Alcatel Sa Enveloppe de transport a protection par effet thermophorese
US7240792B2 (en) * 2004-05-29 2007-07-10 Blanco Gmbh + Co Kg Packaging for a sink
US20080245686A1 (en) * 2004-07-30 2008-10-09 Showa Denko K.K. Magnetic Disk Case
US20060065571A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Tim Hsiao Wafer shipping box and wafer transportation method
CN102001482B (zh) * 2004-10-14 2012-12-05 未来儿株式会社 薄板支持容器用盖体
US7607543B2 (en) * 2005-02-27 2009-10-27 Entegris, Inc. Reticle pod with isolation system
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
US20060283770A1 (en) * 2005-06-03 2006-12-21 Applied Materials, Inc. Transportation fixture and package for substrate rack
CN100431930C (zh) * 2005-08-04 2008-11-12 北京市塑料研究所 用于大直径硅片储存和运输的包装容器
US20110215012A1 (en) 2006-02-16 2011-09-08 Haggard Clifton C Disk holding device
JP2007328226A (ja) * 2006-06-09 2007-12-20 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクル収納容器及びその製造方法
US9082459B2 (en) * 2007-10-01 2015-07-14 Seagate Technology Llc Media caddy handling
JP4999808B2 (ja) * 2008-09-29 2012-08-15 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
KR101133566B1 (ko) * 2009-08-26 2012-04-04 김성태 편광판용 캐리어 박스
WO2011063118A2 (en) * 2009-11-18 2011-05-26 Entegris, Inc. Universal disk shipper
DE102010018668B4 (de) 2010-04-07 2012-11-15 Curamik Electronics Gmbh Verpackungseinheit für Metall-Keramik-Substrate
CN102593029B (zh) * 2011-01-06 2015-05-06 无锡华润上华科技有限公司 半导体晶圆片的承载装置
CN104662650B (zh) * 2012-05-04 2017-12-22 恩特格里斯公司 可更换晶片支撑托架
JP6119287B2 (ja) * 2013-02-14 2017-04-26 株式会社Sumco ウェーハ収納容器梱包用緩衝材
TWM491030U (zh) * 2014-03-14 2014-12-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd 晶圓收納盒及其氣密構件
CN103943541A (zh) * 2014-05-04 2014-07-23 上海先进半导体制造股份有限公司 盖板载片盒装置
CN106505021B (zh) * 2015-09-06 2019-05-03 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 晶圆运载箱及其制备方法
CN105329557A (zh) * 2015-11-24 2016-02-17 怀宁县群力汽车配件有限公司 一种新型汽车配件周转箱
CN110337713B (zh) * 2017-02-27 2023-06-27 未来儿股份有限公司 基板收纳容器
CN111354664A (zh) * 2018-12-20 2020-06-30 中芯集成电路（宁波）有限公司 一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备
CN109703876B (zh) * 2018-12-26 2021-02-09 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 湿出中转器及半导体生产系统
CN112478391B (zh) * 2020-12-18 2022-07-08 洛阳鼎铭光电科技有限公司 一种轻量化硅基片储存装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3311231A (en) * 1965-10-18 1967-03-28 P O Box Protective packing apparatus, and fastener means, for easily damaged objects
US3416695A (en) * 1966-10-28 1968-12-17 Packaging Corp America Tray construction
DE6913118U (de) * 1969-04-01 1969-08-07 Wacker Chemie Gmbh Verpackung fuer epitaktisch beschichtete halbleiterscheiben
US4043451A (en) * 1976-03-18 1977-08-23 Fluoroware, Inc. Shipping container for silicone semiconductor wafers
US4248346A (en) * 1979-01-29 1981-02-03 Fluoroware, Inc. Shipping container for semiconductor substrate wafers
US4235338A (en) * 1979-04-20 1980-11-25 Owens-Illinois, Inc. Unitary molded container lid and tray for article packaging
US4557382A (en) * 1983-08-17 1985-12-10 Empak Inc. Disk package
US4593819A (en) * 1984-05-29 1986-06-10 Malcolm Will Covered pill tray and support therefor
US4687097A (en) * 1984-12-11 1987-08-18 Empak, Inc. Wafer processing cassette
US4721207A (en) * 1986-04-28 1988-01-26 Tensho Electric Industrial Co., Ltd. Hard disk container
US4934767A (en) * 1986-05-16 1990-06-19 Thermco Systems, Inc. Semiconductor wafer carrier input/output drawer
US4747488A (en) * 1986-12-01 1988-05-31 Shoji Kikuchi Hard disk container
US4940156A (en) * 1989-07-13 1990-07-10 National Semiconductor Corporation Thermoplastic multi-purpose tray with variable compartments
US5207727A (en) * 1990-07-06 1993-05-04 Rapsco Incorporated Can end handling system
DE9011822U1 (de) * 1990-08-14 1991-07-25 Aurotec-System GmbH, 88250 Weingarten Kassette für Präzisionskleinteile
US5253755A (en) * 1991-03-20 1993-10-19 Fluoroware, Inc. Cushioned cover for disk container
US5269430A (en) * 1992-01-28 1993-12-14 Packaging Corporation Of America Individual serving food container with improved housing and closure arrangement
US5273159A (en) * 1992-05-26 1993-12-28 Empak, Inc. Wafer suspension box
US5575394A (en) * 1994-07-15 1996-11-19 Fluoroware, Inc. Wafer shipper and package

Also Published As

Publication number Publication date
HK1025298A1 (en) 2000-11-10
CN1097003C (zh) 2002-12-25
US5575394A (en) 1996-11-19
EP0910114A2 (en) 1999-04-21
DE69511487D1 (de) 1999-09-23
CN1242335A (zh) 2000-01-26
EP0910114A3 (en) 1999-11-24
CN1128233A (zh) 1996-08-07
SG114477A1 (en) 2005-09-28
EP0692816A2 (en) 1996-01-17
EP0692816A3 (en) 1996-03-06
EP0692816B1 (en) 1999-08-18
SG77554A1 (en) 2001-01-16
CN1062233C (zh) 2001-02-21
DK0910114T3 (da) 2003-05-05
EP0910114B1 (en) 2003-01-15
DE69529426T2 (de) 2003-10-30
JP3179679B2 (ja) 2001-06-25
DE69529426D1 (de) 2003-02-20
DE69511487T2 (de) 2000-04-13
US5642813A (en) 1997-07-01
JP2000156401A (ja) 2000-06-06
JPH0846021A (ja) 1996-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960004168A (ko) 웨이퍼 적재 상자 및 포장 꾸러미
US3390766A (en) Multi-packaging device
US3853217A (en) Pipette tip package
US7232038B2 (en) Disposable test tube rack
US5098676A (en) Sterilization and storage container tray
KR930011962A (ko) 외과용 의료 기구 운반 트레이
CA2138561C (en) Egg container assembly
US3484035A (en) Multipurpose container
CA2796420C (en) Food server assembly
US5211915A (en) Instrument receptacle
US3305126A (en) Food packages for automated dispensing
US4817795A (en) Robotic accessible wafer shipper assembly
US5423422A (en) Flat panel display container
US5540334A (en) Beaker transport tray
HU220790B1 (hu) Tartály élelmiszer hordozására
KR100218554B1 (ko) 용기 캐리어
RU2005100181A (ru) Закрытая упаковка для бритвенных сменных блоков или других запасных деталей (варианты)
JP2004059116A5 (ko)
US2784840A (en) Salesmen's sample tray for ceramic and other fragile objects
EP0087306B1 (en) Packaging boxes or cartons
US20030213716A1 (en) Wafer shipping and storage container
JP2003104476A (ja) 卵収容トレー
EP0059024A1 (en) Box or carton for packaging eggs or the like
US7703865B2 (en) Storage compartment for a refrigeration device
US3260357A (en) Display-dispenser for packets

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application