CN100431930C

CN100431930C - 用于大直径硅片储存和运输的包装容器

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Publication number: CN100431930C
Application number: CNB2005100889685A
Authority: CN
Inventors: 孙卫东; 黄萍; 王�华; 朱道峰; 刘哲伟; 刘秋晨
Original assignee: BEIJING PLASTICS RESEARCH INSTITUTE
Current assignee: BEIJING PLASTICS RESEARCH INSTITUTE
Priority date: 2005-08-04
Filing date: 2005-08-04
Publication date: 2008-11-12
Anticipated expiration: 2025-08-04
Also published as: CN1749118A

Abstract

本发明涉及一种硅片包装容器，包括：一个箱体，包括前部开口和带有开口的后部面板；两个平板端壁，其中一个端壁外侧成型有Y型定位卡口；两面相对立的侧壁，侧壁上包含多个有固定间距的齿条；一个用于密封箱体前部开口的前盖；一个用于密封箱体后部面板开口的后盖；两个用于衬托硅片的衬垫；三只用于定位箱体的卡件。该包装容器用于硅片生产过程，提高了生产效率，并使硅片取放方便。

Description

用于大直径硅片储存和运输的包装容器

技术领域

本发明涉及研制一种硅片的包装容器以用于该硅片的储存和运输，特别是大直径的硅片，如12英寸硅片。要求盛装硅片的容器可以保证在硅片生产过程中，无论遇到撞击、倾倒还是振动，其内部装载的硅片都不会损伤，而且要求该容器是密封的，以保证硅片不被外界的污染源所污染。

背景技术

硅材料是半导体材料发展的基础，也是集成电路(IC)产业发展的基础。IC的发展是靠提高产品性能和降低生产成本来达到的。缩小特征尺寸和使用更大直径的硅片是主要手段。因此大直径是今后硅材料发展的趋势。

在硅片生产过程中，经常遇到将硅片从一道工序，运送到另一道工序的问题。以前使用的硅片包装容器都是用于较小直径的硅片的储存和运输，而对于大直径硅片，由于体积和重量都较大，传统包装容器已经不能满足其储运要求。而已有的大直径硅片包装容器，包括FOSB(Front Opening Shipping Box)及FOUP(Front Opening UnifieldPod)，是为自动化生产线配备，在美国专利No.95197880.2(装运容器)、No.99110001.8(晶片的运送容器和封壳)和No.95197881.0(侧面有门的300毫米微环境舱)中已有记载，这类硅片包装容器结构复杂，价格昂贵，对于硅片生产过程中一些只需手工操作的场合，无需电子识别系统及机械连接系统，只需按照国际半导体设备与材料协会(SEMI)标准规定的定位系统，使用这些之前的包装容器，也可以称之为小型设备，是一种严重的浪费。

另外，硅片生产过程中所使用的包装容器，为了提高生产效率，还要求硅片取放方便。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明设计了一种用于大直径硅片生产过程中储存和运输的包装容器，其结构坚固耐用，并尽量减小体积，其设计便于人工或机械装入及取出硅片，并能保证内部空间相对密闭，防止外界污染，进而该包装容器的设计，更便于成型加工。

因此，本发明的一个目的是提供一种包装容器，它可以储存大直径硅片，比如12英寸硅片。

本发明的另一个目的是提供一种包装容器，它可以用于运输大直径硅片，并在运输过程中保护容器内的硅片在受到冲击、振动、挤压及摩擦等作用时不会划伤或碎裂。

本发明还有一个目的是所提供的容器可以方便硅片装入和取出。

本发明还有一个目的是所提供的容器内部为密闭空间，防止外界污染源进入。

以上和其它一些目的都是通过一种容器达到的，该容器具有以下几部分结构：

一个箱体，其前部和后部有开口，前部用于硅片的放入和取出，后部开口便于将硅片推出；两个平板端壁，其中一个端壁外侧成型有Y型定位卡口；两面相对立的侧壁，侧壁上包含多个有固定间距的齿条；

一个用于密封箱体前部开口的前盖；

一个用于密封箱体后部开口的后盖；

两个用于托衬硅片的衬垫；

三只用于定位箱体的卡件。

本发明所述硅片包装容器，为满足储存、运输及生产时硅片可见的要求，可采用聚碳酸酯(PC)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚醚醚酮(PEEK)等热塑性材料注射加工成型。

通过下面结合附图对优选实施例的说明，可以更好的理解本发明。

附图说明：

图1本发明的硅片包装容器各部分的分解视图。

图2本发明的硅片包装容器的箱体的立体图。

图3本发明的硅片包装容器的箱体的仰视图。

图4本发明的硅片包装容器的箱体后部面板定位卡件正反面的立体图。

图5本发明的硅片包装容器的前盖的立体图。

图6本发明的硅片包装容器的后盖的立体图。

图7本发明的硅片包装容器前盖内的硅片衬垫的立体图。

图8本发明的硅片包装容器箱体后部面板内的衬垫的立体图。

图9根据图8本发明的硅片包装容器箱体后部面板内的衬垫锯齿的剖视图。

具体实施方式

参照图1-5，结合以下实施例详细说明根据本发明的硅片包装容器。如前所述，该包装容器各部分是用热塑性塑料整体注塑成型。

如图1所示，根据本发明的硅片包装容器包括5大部分，其中：1为包装容器的箱体；2为包装容器的前盖；3为包装容器的后盖；4为包装容器前盖内的硅片衬垫；5为包装容器箱体后部面板内的衬垫。其中虚线圆圈0代表硅片。以下是对实体的各个部分的详述。

如图2所示的包装容器箱体1的立体图，其放置位置即为包装容器工作时的状态，即带有Y型定位卡件的端壁向下，与硅片生产设备上相应位置对应。箱体1由六大部分组成：前部开口11和带有开口的后部面板12，前部用于硅片的放入和取出，后部开口便于将硅片推出；连接在后部面板12上下两边的底部平板端壁13和上部平板端壁14；连接在后部面板12左右两边的两面相对立的侧壁15和16。

箱体前部开口11由环圈111、加强筋112、凸棱113及环圈111上两对称位置处的窄边114组成，这四个组成部分的作用是与包装容器前盖上相应位置连接，并是包装容器密封严密。

箱体后部面板12上布有开口120和4个呈矩形分布的支脚124，开口120由凹板121、缺口122及带凹槽的

形板123组成，其中120～123的作用为与后盖连接并密封。

箱体底部平板端壁13如图3所示，主要构件为三个呈倒“Y”形分布的分别装有三个定位7卡件的六边形围栏131，同时起到定位作用的还有位于该平板端壁13中心凸起的圆形定位孔132。十字形凹面133是为了防止平板端壁13长期使用中变形。

定位卡件6的细部示于图4中。定位卡件的正面(即朝向端壁外面的一面)为在平环61处下凹成型的具有可与硅片生产设备上相应位置接合的连续斜面体64，其反面(即背向端壁外面的一面)为在平环61处凸起的同心椭圆环体62和六棱环体63，其中六棱环体63与平板端壁13的六边形围栏131尺寸相配，卡在六边形围栏131的内部，椭圆环体62则正好套在六边形围栏131的外部，进行密封，以防在包装容器清洗时，被污染而难于清洗。

箱体上部平板端壁14上包括凸起的平板141和凹陷的平条142，此二构件的作用都是便于成型，并防止在使用过程中此较大面积的平板端壁14的变形。

箱体连接在后部面板12左右两边的两面相对立的侧壁15和16，由在其内部成型并小部分贯穿至外部用于支撑及固定硅片有固定间距的齿条151、161，以及在其外部靠近上部平板端壁14处成型的方便人工提取该箱体的长条形凸板152、162组成。

与箱体前部开口11相连接的前盖2如图5所示。在前盖2与箱体连接时，其最外圈的凸缘21与箱体前部开口11的环圈111相配合，同时两侧的卡舌24进入箱体前部开口11的窄边114内，通过其“之”字形斜面卡紧，而前盖2内面的一圈凹槽23正好将箱体前部开口11的凸棱113套住，这样通过前盖2的凸缘21、卡舌24、凹槽23与箱体前部开口11的环圈111、窄边114、凸棱113的相互配合，就形成了密封该包装容器前部开口的两层密封面。

与箱体后部面板12上的开口120相连接的后盖3如图6所示。后盖3的主要组成部分为弧形31和推拉门体32。在推拉门体32外面靠近弧形3 1处成型有矩形斜纹板33，以方便的将后盖开合。推拉门体32内面成型的凸板34卡在箱体后部面板12上的开口120的凹板121内部，这是通过凸板34上的卡口35、36、37完成的。

包装容器前盖内的硅片衬垫4如图7所示，由支撑框架41、42及框架中间均匀分布的用于压紧硅片的软垫43组成，每个软垫中间开有与硅片直径相应的弧形槽44，以支持硅片，各槽之间相互隔开，互不影响。

包装容器箱体后部面板内的衬垫5如图8所示，由支撑框架51、52，在51上部成型的用于支持硅片的锯齿53，锯齿底部为与硅片直径相应的一弧面(见图9)，以压紧硅片，固定衬垫的底面54a、54b，以及在底面54a、54b上用于与箱体后部面板12连接的十个销孔55(箱体后部面板12内部相应位置的销钉在图中未示出)。

本发明在不脱离其主旨的情况下可按其它形式实施，因此，图示实施例为本发明的说明而不是限制，涉及表明本发明范围的是所附的权利要求书而不是上述的说明。

Claims

1.一个硅片包装容器，其特征在于：

一个箱体，包括前部开口和带有开口的后部面板；两个平板端壁，其中一个端壁外侧成型有Y型定位卡口；两面相对立的侧壁，侧壁上包含多个有固定间距的齿条；

一个用于密封箱体前部开口的前盖；

一个用于密封箱体后部面板开口的后盖；

两个用于衬托硅片的衬垫；

三只用于定位箱体的卡件。

2.根据权利要求1所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器的后盖为推拉式门。

3.根据权利要求1或2所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器前盖(2)与箱体(1)连接时，其最外圈的凸缘(21)与箱体前部开口(11)的环圈(111)相配合，两侧的卡舌(24)通过其“之”字形斜面与箱体前部开口(11)的窄边(114)卡紧，而前盖(2)内面的一圈凹槽(23)将箱体前部开口(11)的凸棱(113)套住，形成的两层密封面。

4.根据权利要求3所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器上盖的衬垫上具有相互完全分离的同硅片直径相对应的弧形槽。

5.根据权利要求1或2所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器后部衬垫有用于支持硅片的锯齿(53)，锯齿底部为与硅片直径相应的一弧面。

6.根据权利要求1所述的硅片包装容器，其特征在于该硅片包装容器的定位卡件(6)反面为在平环(61)处凸起的同心椭圆环体(62)和六棱环体(63)，其中六棱环体(63)与平板端壁(13)的六边形围栏(131)尺寸相配，卡在六边形围栏(131)的内部，椭圆环体(62)则套在六边形围栏(131)的外部。