KR940003059A - 박막 트랜지스터 제조방법 - Google Patents
박막 트랜지스터 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR940003059A KR940003059A KR1019920012314A KR920012314A KR940003059A KR 940003059 A KR940003059 A KR 940003059A KR 1019920012314 A KR1019920012314 A KR 1019920012314A KR 920012314 A KR920012314 A KR 920012314A KR 940003059 A KR940003059 A KR 940003059A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- silicon layer
- amorphous silicon
- thin film
- film transistor
- manufacturing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
본 발명은 마스크의 수를 줄여 공정은 단축시킬 수 있게 한 박막트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로 액정 디스플레이에 적용되는 박막트랜지스터의 제조에 관한 것인바, 이는 기판위에 투명전극, 소오스/드레인전극,
n＋형 비정질 실리콘층, 비정질 실리콘층, 게이트 절연막, 게이트 전극을 차레로 형성한 것에 있어서, n＋형 비정질 실리콘층 증착후에 1차 패턴을 행하고 게이트 전극 증착후에 2차 패턴을 행하여 이루어진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명 박막트랜지스터의 단면도.
제3도는 본 발명의 공정단면도.
제4도는 제3도의 (D)부분 평면도.
Claims (2)
- 기판(10) 상에 ITO(11), 소오스/드레인전극(12), n＋형 비정질 실리콘층(13)을 차례로 형성하는 스텝과, 마스크를 사용하여 소오스/드레인 전극 (12)이 분리되도록 일차로 패터닝하는 스템과, 전표면에 비정질 실리콘층(14), 게이트 절연막(15), 게이트전극(16)을 차례로 형성하는 스템과, 마스크를 사용하여 트랜지스터가 형성되도록 이차로 패터닝하는 스텝을 포함하여서 된 박막트랜지스터 제조방법.
- 제1항에 있어서, n＋형 비정질 실리콘층(13)이나 비정질 실리콘층(14) 대신에 카드뮴 셀레나이드를 사용하는 박막트랜지스터 제조방법.※ 참고사항：최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920012314A KR940003059A (ko) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 박막 트랜지스터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920012314A KR940003059A (ko) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 박막 트랜지스터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940003059A true KR940003059A (ko) | 1994-02-19 |
Family
ID=67147083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920012314A KR940003059A (ko) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 박막 트랜지스터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940003059A (ko) |
-
1992
- 1992-07-10 KR KR1019920012314A patent/KR940003059A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR890011099A (ko) | 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법 | |
| KR970048718A (ko) | 액정표시장치의 제조방법 | |
| KR970028753A (ko) | 액정 표시 소자의 제조 방법 | |
| KR940003059A (ko) | 박막 트랜지스터 제조방법 | |
| JPS577972A (en) | Insulated gate type thin film transistor | |
| KR960018741A (ko) | 액정표시장치용 박막 트랜지스터의 제조방법 | |
| KR950021752A (ko) | 박막트랜지스터 제조방법 | |
| KR940015621A (ko) | 액정 표시 판넬 제작방법 및 전극 패드 구조 | |
| KR940001454A (ko) | 박막트랜지스터 구조 및 제조방법 | |
| KR950021763A (ko) | 박막트랜지스터 제조방법 | |
| KR970004085A (ko) | 박막 트랜지스터 및 그의 제조방법 | |
| KR920008957A (ko) | 박막트랜지스터의 제조방법 | |
| KR940016904A (ko) | 박막트랜지스터의 제조방법 | |
| KR940016910A (ko) | 스탭 커버리지를 개선한 박막트랜지스터의 제조방법 | |
| KR960019797A (ko) | 액정표시장치용 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
| KR940016942A (ko) | 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 제조방법 | |
| KR970054520A (ko) | 액정표시장치의 박막 트랜지스터 제조방법 | |
| KR970048854A (ko) | 액정표시장치의 제조방법 | |
| KR930005239A (ko) | Tft의 제조방법 | |
| KR940022902A (ko) | 박막트랜지스터 및 이를 구비한 액정판넬 제조방법 | |
| KR950006518A (ko) | 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 액정표시기의 제조방법 | |
| KR950009976A (ko) | 폴리실리콘 박막트랜지스터 제조방법 | |
| KR950021761A (ko) | 박막트랜지스터 제조방법 | |
| KR960029856A (ko) | 3매 마스크를 이용한 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| KR900007116A (ko) | 복수의 게이트 절연층을 가진 박막트랜지스터와 그 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |